JP5252389B2 - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
以下の実施の形態では、本発明が原子力間顕微鏡(AFM)に適用される。
図1は、第1の実施の形態に係るAFMの構成を示している。AFM1は、全体構成としては、試料ステージ3と、カンチレバー5と、試料ステージ3をXYZ方向に走査する構成と、カンチレバー5を共振周波数付近の周波数で振動させる構成と、カンチレバー5の変位を検出する構成と、カンチレバー5の振動の振幅を検出して振幅を一定に保つフィードバック走査のための構成と、カンチレバー5の振動の位相を検出するための構成と、装置全体を制御するコンピュータ7とを備えている。
図7は、振幅および位相の、探針−試料間距離依存性を示す図であり、同図を用いて位相に基づくフィードバック走査の原理を説明する。図7において、横軸は、探針と試料の間の距離である。図7の振幅ラインLaは、カンチレバー振動の振幅特性であり、探針−試料間距離とカンチレバー振動振幅の関係である。位相ラインLbは、カンチレバー振動の位相特性であり、探針−試料間距離とカンチレバー振動位相の関係である。
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。本実施の形態は、上述の実施の形態のさらなる応用例である。これまでの実施の形態では、基準波信号の1周期の間に1つのトリガパルス信号が生成された。本実施の形態では、基準波信号の1周期の間に、互いにずれた複数のトリガパルス信号が生成される。そして、これら複数のトリガパルス信号の各々から位相信号が生成される。これにより、位相検出点(タイミング)を増やすことができる。
次に、本発明の第4の実施の形態について説明する。第4の実施の形態は、上述の第3の実施の形態の変形例である。第3の実施の形態では、一つの共通の基準波信号から3つの位相信号が生成され、それから3つの位相信号のオフセット調整が行われた。第4の実施の形態では、予め位相がずれた3つの基準波信号が用意され、3つの基準波信号と3つのトリガパルス信号から3つの位相信号が生成される。
Claims (22)
- カンチレバーを振動させて、前記カンチレバーと試料を相対的に走査する走査型プローブ顕微鏡であって、
前記カンチレバーを励振する励振手段と、
前記カンチレバーの変位を検出するセンサと、
前記カンチレバーの励振信号に応じた周波数を有しており前記励振信号との位相差が固定された基準波信号を生成する基準波生成手段と、
前記カンチレバーの変位に基づき、前記カンチレバーの振動の位相に応じてパルス位置が変化するトリガパルス信号を生成するトリガパルス生成手段と、
前記基準波信号と前記トリガパルス信号に基づき、前記パルス位置における前記基準波信号の大きさに応じた信号を前記カンチレバーの振動の位相信号として生成する位相信号生成手段と、
を備え、
前記トリガパルス生成手段は、前記カンチレバーが前記試料に接触または最接近するタイミングに対応する前記振動波形上の位置で前記トリガパルス信号を発生させることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - カンチレバーを振動させて、前記カンチレバーと試料を相対的に走査する走査型プローブ顕微鏡であって、
前記カンチレバーを励振する励振手段と、
前記カンチレバーの変位を検出するセンサと、
前記カンチレバーの励振信号に応じた周波数を有しており前記励振信号との位相差が固定された基準波信号を生成する基準波生成手段と、
前記カンチレバーの変位に基づき、前記カンチレバーの振動の位相に応じてパルス位置が変化するトリガパルス信号を生成するトリガパルス生成手段と、
前記基準波信号と前記トリガパルス信号に基づき、前記パルス位置における前記基準波信号の大きさに応じた信号を前記カンチレバーの振動の位相信号として生成する位相信号生成手段と、
を備え、
前記トリガパルス生成手段は、前記基準波信号の1周期の間に互いにずれた複数のトリガパルス信号を生成し、
前記位相信号生成手段は、前記複数のトリガパルス信号の各々から前記位相信号を生成することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記位相信号生成手段は、前記トリガパルス信号をサンプリングタイミングとして用いて前記基準波信号を保持する複数のサンプルホールド回路を含み、前記複数のサンプルホールド回路に前記複数のトリガパルス信号がそれぞれ入力されることを特徴とする請求項2に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記複数のサンプルホールドで生成される複数の位相信号を、前記複数のトリガパルス信号のずれに応じてオフセットする手段を含むことを特徴とする請求項3に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記トリガパルス信号のずれに応じて互いにずれた複数の基準波信号を生成する手段を含み、前記複数のサンプルホールド回路に前記複数のトリガパルス信号と共に前記複数の基準波信号がそれぞれ入力されることを特徴とする請求項3に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記基準波生成手段は、前記基準波信号として、前記励振信号と同一の周波数を有し、前記励振信号との位相差が固定された信号を生成し、
前記トリガパルス生成手段は、前記トリガパルス信号として、前記カンチレバーの変位から得られる振動波形の時間軸上の位置を表すパルス信号を生成することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。 - 前記基準波生成手段は、前記基準波信号としてノコギリ波信号を生成することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 複数のチャネルを有する発振器を備え、
前記発振器が、前記励振手段の前記励振信号を生成すると共に、前記基準波生成手段として前記基準波信号を生成することを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。 - 前記トリガパルス生成手段は、
前記カンチレバーの変位信号から前記励振信号の周波数成分の振動波形信号を抽出するバンドパスフィルタと、
前記振動波形信号を矩形波信号に変換するコンパレータと、
前記矩形波信号から矩形波発生タイミングのパルス信号を生成する微分器と、
を含むことを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。 - 前記位相信号生成手段は、前記トリガパルス信号をサンプリングタイミングとして用いて前記基準波信号を保持するサンプルホールド回路を含むことを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記カンチレバーは、長さが10μm以下で、幅が2μm以下であることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記位相信号生成手段により生成される位相信号が一定になるように前記試料と前記カンチレバーをZ方向に相対的に走査することを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記位相信号を一定に制御するための信号から前記試料のZ方向の位置を特定し、前記試料の形状を求めることを特徴とする請求項12に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- カンチレバーを振動させて、前記カンチレバーと試料を相対的に走査する走査型プローブ顕微鏡であって、
カンチレバーと、
前記カンチレバーを振動させる発振器と、
前記カンチレバーの変位を検出するセンサと、
前記カンチレバーの励振信号に応じた周波数を有しており前記励振信号との位相差が固定された基準波信号を生成する基準波生成回路と、
前記カンチレバーの変位に基づき、前記カンチレバーの振動の位相に応じてパルス位置が変化するトリガパルス信号を生成するトリガパルス生成回路と、
前記基準波信号と前記トリガパルス信号に基づき、前記パルス位置における前記基準波信号の大きさに応じた信号を前記カンチレバーの振動の位相信号として生成する位相信号生成回路と、
を備え、
前記トリガパルス生成手段は、前記カンチレバーが前記試料に接触または最接近するタイミングに対応する前記振動波形上の位置で前記トリガパルス信号を発生させることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - カンチレバーを振動させて、前記カンチレバーと試料を相対的に走査する走査型プローブ顕微鏡であって、
カンチレバーと、
前記カンチレバーを振動させる発振器と、
前記カンチレバーの変位を検出するセンサと、
前記カンチレバーの励振信号に応じた周波数を有しており前記励振信号との位相差が固定された基準波信号を生成する基準波生成回路と、
前記カンチレバーの変位に基づき、前記カンチレバーの振動の位相に応じてパルス位置が変化するトリガパルス信号を生成するトリガパルス生成回路と、
前記基準波信号と前記トリガパルス信号に基づき、前記パルス位置における前記基準波信号の大きさに応じた信号を前記カンチレバーの振動の位相信号として生成する位相信号生成回路と、
を備え、
前記トリガパルス生成手段は、前記基準波信号の1周期の間に互いにずれた複数のトリガパルス信号を生成し、
前記位相信号生成手段は、前記複数のトリガパルス信号の各々から前記位相信号を生成することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記位相信号生成手段により生成される位相信号が一定になるように前記試料と前記カンチレバーをZ方向に相対的に走査することを特徴とする請求項14又は15に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- カンチレバーを振動させて、前記カンチレバーと試料を相対的に走査する走査型プローブ顕微鏡にて用いられ、前記カンチレバーの振動の位相を検出するカンチレバー位相検出装置であって、
前記カンチレバーの励振信号に応じた周波数を有しており前記励振信号との位相差が固定された基準波信号を生成する基準波生成手段と、
前記カンチレバーの変位に基づき、前記カンチレバーの振動の位相に応じてパルス位置が変化するトリガパルス信号を生成するトリガパルス生成手段と、
前記基準波信号と前記トリガパルス信号に基づき、前記パルス位置における前記基準波信号の大きさに応じた信号を前記カンチレバーの振動の位相信号として生成する位相信号生成手段と、
を備え、
前記トリガパルス生成手段は、前記カンチレバーが前記試料に接触または最接近するタイミングに対応する前記振動波形上の位置で前記トリガパルス信号を発生させることを特徴とするカンチレバー位相検出装置。 - カンチレバーを振動させて、前記カンチレバーと試料を相対的に走査する走査型プローブ顕微鏡にて用いられ、前記カンチレバーの振動の位相を検出するカンチレバー位相検出装置であって、
前記カンチレバーの励振信号に応じた周波数を有しており前記励振信号との位相差が固定された基準波信号を生成する基準波生成手段と、
前記カンチレバーの変位に基づき、前記カンチレバーの振動の位相に応じてパルス位置が変化するトリガパルス信号を生成するトリガパルス生成手段と、
前記基準波信号と前記トリガパルス信号に基づき、前記パルス位置における前記基準波信号の大きさに応じた信号を前記カンチレバーの振動の位相信号として生成する位相信号生成手段と、
を備え、
前記トリガパルス生成手段は、前記基準波信号の1周期の間に互いにずれた複数のトリガパルス信号を生成し、
前記位相信号生成手段は、前記複数のトリガパルス信号の各々から前記位相信号を生成することを特徴とするカンチレバー位相検出装置。 - 前記位相信号生成手段により生成される位相信号が一定になるように前記試料と前記カンチレバーをZ方向に相対的に走査することを特徴とする請求項17又は18に記載のカンチレバー位相検出装置。
- カンチレバーを振動させて、前記カンチレバーと試料を相対的に走査する走査型プローブ顕微鏡にて用いられ、前記カンチレバーの位相を検出するカンチレバー位相検出方法であって、
前記カンチレバーの励振信号に応じた周波数を有しており前記励振信号との位相差が固定された基準波信号を生成する基準波生成ステップと、
前記カンチレバーの変位に基づき、前記カンチレバーの振動の位相に応じてパルス位置が変化するトリガパルス信号を生成するトリガパルス信号生成ステップと、
前記基準波信号と前記トリガパルス信号に基づき、前記パルス位置における前記基準波信号の大きさに応じた信号を前記カンチレバーの振動の位相信号として生成する位相信号生成ステップとを含み、
前記トリガパルス生成ステップは、前記カンチレバーが前記試料に接触または最接近するタイミングに対応する前記振動波形上の位置で前記トリガパルス信号を発生させることを特徴とするカンチレバー位相検出方法。 - カンチレバーを振動させて、前記カンチレバーと試料を相対的に走査する走査型プローブ顕微鏡にて用いられ、前記カンチレバーの位相を検出するカンチレバー位相検出方法であって、
前記カンチレバーの励振信号に応じた周波数を有しており前記励振信号との位相差が固定された基準波信号を生成する基準波生成ステップと、
前記カンチレバーの変位に基づき、前記カンチレバーの振動の位相に応じてパルス位置が変化するトリガパルス信号を生成するトリガパルス信号生成ステップと、
前記基準波信号と前記トリガパルス信号に基づき、前記パルス位置における前記基準波信号の大きさに応じた信号を前記カンチレバーの振動の位相信号として生成する位相信号生成ステップとを含み、
前記トリガパルス生成ステップは、前記基準波信号の1周期の間に互いにずれた複数のトリガパルス信号を生成し、
前記位相信号生成ステップは、前記複数のトリガパルス信号の各々から前記位相信号を生成することを特徴とするカンチレバー位相検出方法。 - 前記位相信号生成ステップにより生成される位相信号が一定になるように前記試料と前記カンチレバーをZ方向に相対的に走査することを特徴とする請求項20又は21に記載のカンチレバー位相検出方法。
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