JP5251243B2 - 気相成長装置およびシリコンエピタキシャル膜の気相成長方法 - Google Patents
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Description
このような構成の場合、薄膜を気相成長させている間、すべてのマスフローコントローラの流量設定値は図6に示したように一定であるので、出来上がった薄膜の不純物濃度も成長の開始から終了まで一定となる。
この場合には、気相成長のステップに記載されたマスフローコントローラの設定値をステップ開始時の設定値とし、次のステップに記載されているマスフローコントローラの設定値をステップ終了時の値として、1つのステップの中で設定値を時々刻々変化させることが出来る。
しかしながらこのように設定した装置でも、それぞれのマスフローコントローラの設定値の変化方法は、時間に対して直線的な変化に限られ、任意な厚さ方向の不純物濃度分布を持つ薄膜を成長させることは出来なかった。
なぜなら、マスフローコントローラが精度良く流量を調節できる範囲は概ねフルスケールの10%から100%であり、10%以下では誤差が大きくなってしまうからである。そのため、流量の調整幅は精々10倍程度までであり、抵抗率の変化も1/10程度が限界であった。このため、これ以上大きく抵抗率が変化した薄膜を作製することは困難であった。
よって、この方法では、不純物ガス・希釈ガス・希釈不純物ガスの三つのマスフローコントローラの設定値をどの様に変化させればよいか一意に定められなくなる。そのため、シリコンエピタキシャル成長のステップ内で三つのマスフローコントローラの設定値を時々刻々変化させる設定は困難であった。
このような演算制御機構を備えたものとすることによって、不純物ガス流量、希釈ガス流量と希釈不純物ガス流量の間に一定の関係を定めることができ、必要な不純物量に対応する不純物ガス流量と不純物ガス濃度を一意に規定することができる。これによって、薄膜が厚さ方向で所望の抵抗率プロファイルとなるように不純物ガス流量、希釈不純物ガス流量と希釈ガス流量を精度良く容易に同時に変化させることができ、従って、流量調整機構の流量制御の精度の限界に関係なく、厚さ方向に不純物濃度が連続的に変化した薄膜や、不純物濃度が大きく変化(特に約10倍よりも大きく変化)した薄膜をウエーハ上に気相成長させることができる気相成長装置となっている。
このように、演算制御機構が、薄膜の成長開始時の不純物ガス流量、希釈ガス流量、主ガスへの希釈不純物ガスの混合量と、成長終了時の不純物ガス流量、希釈ガス流量、主ガスへの希釈不純物ガスの混合量によって規定した不純物濃度プロファイルを用いるものとすることで、薄膜のウエーハ側と表面側の不純物濃度を規定することができ、これによって、容易に所望の抵抗率プロファイルの薄膜を気相成長させることのできる気相成長装置となっている。
このように、演算制御機構が、不純物濃度プロファイルとして、成長開始時と成長終了時の不純物濃度の値の他に、更に薄膜の不純物濃度と成長開始からの経過時間の値を一組以上選択して規定したものを用いるものとすることによって、薄膜のウエーハ側と表面側の間のある厚さでの不純物濃度を規定する事ができ、より容易に薄膜中も所望の抵抗率プロファイルとなった薄膜をウエーハ上に気相成長させることができる気相成長装置となっている。
このように、演算制御機構が、更に、前述の選択した値と、薄膜の成長開始時と成長終了時の不純物濃度の間を直線または曲線で補間して規定した不純物濃度プロファイルを用いるものとすることによって、より容易に、かつ精度良く薄膜中も所望の抵抗率プロファイルとなった薄膜をウエーハ上に気相成長させることができる。
このように、演算制御機構が、薄膜の成長開始時と成長終了時の不純物濃度を結ぶ関数によって規定した不純物濃度プロファイルを用いるものとすることによって、薄膜中の間の不純物濃度プロファイルを高精度に規定する事ができ、つまりより高精度に薄膜中の全体で所望の抵抗率プロファイルとなった薄膜をウエーハ上に気相成長させることができる。
これによって、薄膜が厚さ方向で所望の抵抗率プロファイルとなるように不純物ガス流量、希釈ガス流量、希釈不純物ガス流量を精度良く同時に変化させることができ、従って、厚さ方向に不純物濃度が連続的に変化した薄膜や、不純物濃度が大きく変化した薄膜をウエーハ上に気相成長させることができる。
このように、薄膜の成長開始時と成長終了時の不純物濃度を規定することによって、薄膜のウエーハ側と表面側の不純物濃度を規定することができ、これによって、容易に所望の抵抗率プロファイルの薄膜を気相成長させることができる。
このように、成長開始時と成長終了時の不純物濃度の値の他に、更に薄膜の不純物濃度と成長開始からの経過時間の値を一組以上選択して規定した不純物濃度プロファイルを用いて制御することによって、薄膜のウエーハ側と表面側の間のある厚さでの不純物濃度を規定する事ができ、従って、より容易に薄膜中も所望の抵抗率プロファイルとなった薄膜をウエーハ上に気相成長させることができる。
このように、前述の選択した不純物濃度と、成長開始時と成長終了時の不純物濃度を直線または曲線で補間することによって得られた不純物濃度プロファイルに従ってガス流量を制御することで、より容易に、かつ精度良く薄膜中も所望の抵抗率プロファイルとなった薄膜をウエーハ上に気相成長させることができる。
このように、薄膜の成長開始時と成長終了時の不純物濃度を関数で結ぶことによって、薄膜のウエーハ側と表面側の間の不純物濃度プロファイルを高精度に規定する事ができ、これを用いて制御することでより高精度に薄膜中の全体で所望の抵抗率プロファイルとなった薄膜をウエーハ上に気相成長させることができる。
前述のように、厚さ方向に不純物濃度が連続的に変化した薄膜や、不純物濃度が大きく変化した薄膜、特に抵抗率を10倍以上に変化させた薄膜を、容易に気相成長させることができる気相成長装置および薄膜の気相成長方法の開発が待たれていた。
本発明の気相成長装置10は、少なくとも、気相成長を行う反応室22と、反応室22に原料ガスを導入する流路11と、反応室22からガスを排気する排出口23と、ウエーハWを載置するサセプタ24と、ウエーハWを加熱する加熱手段25とを備えたものである。
また、第一、第二、第三の流量調整機構12、14、16のガスの流量を薄膜が厚さ方向で所望の抵抗率プロファイルとなるように同時に連続的に変化させることができる演算制御機構21とを備えたものである。
これによって、作製される薄膜の成長開始時と成長終了時の不純物濃度を規定することができるため、例えば仕様により決定される所望の成長開始時と終了時の抵抗率を有する気相成長された抵抗率プロファイルとなるような供給ガスの不純物濃度プロファイルを規定することができる。これによってより容易に第一、第二、第三の流量調整機構のガスの流量を所望の抵抗率プロファイルとなるように同時に連続的に変化させることができる。
このように作製される薄膜の成長開始時と成長終了時の不純物濃度の値の他に、任意の厚さ方向の一点以上の不純物濃度を規定することによって、表面のみならず薄膜の中身の抵抗率プロファイルをより所望のものとするための供給ガスの不純物濃度プロファイルをより容易に規定することができるため、より容易に所望の抵抗率プロファイルの薄膜を気相成長させることができる。
更に、薄膜の成長開始時と前述の選択した値と成長終了時の不純物濃度の間を直線または曲線で補間して規定した不純物濃度プロファイルを用いて第一、第二、第三の流量調整機構のガスの流量を同時に連続的に変化させれば、薄膜の抵抗率プロファイルを所望のものとするための供給ガスの不純物濃度プロファイルを更に容易にかつ精度良く規定することができる。
このように、薄膜の成長開始時と成長終了時の不純物濃度の間を関数で規定した不純物濃度プロファイルを用いて第一、第二、第三の流量調整機構のガスの流量を同時に連続的に変化させれば、薄膜の抵抗率プロファイルをより所望のものとするための供給ガスの不純物濃度プロファイルをより高精度に規定することができるため、より高精度に所望の抵抗率プロファイルの薄膜を気相成長させることができる気相成長装置とすることができる。
そして気相成長させる際に、不純物ガスを第一の流量調整機構12によって、希釈ガスを第二の流量調整機構14によって流量を制御して希釈不純物ガスを調整する。そして調整した希釈不純物ガスを、第三の流量調整機構16によって流量を制御して、第四の流量調整機構18によって流量を制御した主ガスと混合させて原料ガスを調整し、その原料ガスを反応室22に導入する。
そしてこのとき、少なくとも第一、第二、第三の流量調整機構12、14、16を流れるガスの流量を、薄膜が厚さ方向で所望の抵抗率プロファイルとなるように、演算制御機構21によって演算制御しながら同時に連続的に変化させながら反応室22に原料ガスを供給しながら気相成長を行う。
本発明においては、このレシピには、気相成長のステップ以外は従来の気相成長装置と同じようにバルブ開閉やマスフローコントローラの流量設定値が直接記載されている。そして、気相成長のステップだけには、流量調整機構の設定値ではなく、薄膜が所望の抵抗率プロファイルとなるような情報が記録されている。
そして、実際の各々の流量調整機構の設定値は、演算制御機構によって、このレシピの情報から計算で求められ、この値に基づいて、第一、第二、第三の流量調整機構を流れる各々のガスの流量を同時に連続して調整し、薄膜の厚さ方向の抵抗率分布を制御しながら気相成長させる。
S=1.1−D (0.1<D<1.0) (式1)
I=S (式2)
の様に、関係式を用いることが望ましい。
X=Cs×{(S×Sf)/(S×Sf+D×Df)}×I×If (式3)
となるから、逆に主ガスに混合すべき不純物の量Xが定まれば、(式1)〜(式3)からS、D、Iは一意に定まる。ここでSfは不純物ガスのマスフローコントローラのフルスケール、Dfは希釈ガスのマスフローコントローラのフルスケール、Ifは希釈不純物ガスのマスフローコントローラのフルスケールである。
さらに主ガスに混合すべき不純物量Xは、成長させたい薄膜の不純物濃度Ceによって定めることが出来る。例えば各マスフローの流量がS0、I0、D0のとき出来上がったシリコンエピタキシャル層の不純物濃度Ce0であったという実験結果があれば、XとCeの関係は
X=Cs×{(S0×Sf)/(S0×Sf+D0×Df)}×I0×If×(Ce/Ce0)
とできる。
また、薄膜の濃度を指定する変わりに、その薄膜の濃度を得るために必要な不純物ガス流量、希釈ガス流量、主ガスへの希釈不純物ガスの混合量の組を指定しても良い。
(実施例)
図1に示したような気相成長装置10を用いて、シリコンウエーハ上に、キャリア濃度が直線的に30倍変化するシリコン薄膜をエピタキシャル成長させた。このとき、第一〜第四の流量調整機構として、4台のマスフローコントローラを準備した。
シリコン薄膜の成長条件は、基板となるシリコンウエーハには、直径200mmのシリコン単結晶ウエーハを用いた。そして主ガスとしてトリクロロシラン3%、水素97%の混合ガス、希釈ガスとして水素、不純物ガスとして1ppmのジボランガスを用いた。そしてシリコンウエーハ上に、厚さ50μmのシリコン薄膜をエピタキシャル成長させた。また、第一〜第三のマスフローコントローラを流れる各々のガスの流量の関係式として、前述した(式1)(式2)を用い、図3に示したような流量でエピタキシャル成長させた。
図4に示すように、3台のマスフローコントローラを用いて、希釈ガスと不純物ガスと希釈不純物ガスの流量を同時に変化させることによって、30倍という大きくキャリア濃度を変化させたシリコン薄膜を有したエピタキシャルウエーハを作製できることがわかった。
11…流路、
12…第一の流量調整機構、 13…不純物ガス供給路、
14…第二の流量調整機構、 15…希釈ガス供給路、
16…第三の流量調整機構、 17…希釈不純物ガス供給路、
18…第四の流量調整機構、 19…主ガス供給路、
20…原料ガス供給路、
21…演算制御機構、
22…反応室、 23…排出口、 24…サセプタ、 25…加熱機構、
W…ウエーハ。
Claims (10)
- サセプタ上にウエーハを載置し、該ウエーハ上にシリコンエピタキシャル膜を気相成長させる装置であって、
少なくとも、気相成長を行う反応室と、該反応室に原料ガスを導入する流路と、前記反応室からガスを排気する排出口と、ウエーハを載置するサセプタと、前記ウエーハを加熱する加熱手段とを備え、
前記流路は、不純物ガスを供給する不純物ガス供給路と該不純物ガスの流量を調整する第一の流量調整機構と、希釈ガスを供給する希釈ガス供給路と該希釈ガスの流量を調整する第二の流量調整機構と、流量を調整された前記不純物ガスと前記希釈ガスを混合させた希釈不純物ガスを供給する希釈不純物ガス供給路と該希釈不純物ガスの流量を調整する第三の流量調整機構と、主ガスを供給する主ガス供給路と該主ガスの流量を調整する第四の流量調整機構と、流量を調整された前記希釈不純物ガスと主ガスを混合させた原料ガスを反応室に供給する原料ガス供給路からなり、
かつ、前記第一、第二、第三の流量調整機構のガスの流量を、シリコンエピタキシャル膜が厚さ方向で10倍以上に変化させた抵抗率プロファイルとなるように、同時に連続的に変化させることが可能な演算制御機構を備えたものであることを特徴とする気相成長装置。 - 前記演算制御機構は、前記シリコンエピタキシャル膜の成長開始時の不純物ガス流量、希釈ガス流量、主ガスへの希釈不純物ガスの混合量と、該シリコンエピタキシャル膜の成長終了時の不純物ガス流量、希釈ガス流量、主ガスへの希釈不純物ガスの混合量とによって規定される該シリコンエピタキシャル膜の不純物プロファイルを用いて前記第一、第二、第三の流量調整機構のガスの流量を同時に連続的に変化させるものであることを特徴とする請求項1に記載の気相成長装置。
- 前記演算制御機構は、更に、前記シリコンエピタキシャル膜の不純物濃度の値と成長開始からの経過時間の値を一組以上選択することによって規定される前記不純物濃度プロファイルを用いてガス流量を変化させるものであることを特徴とする請求項2に記載の気相成長装置。
- 前記演算制御機構は、更に、前記選択した値と、前記シリコンエピタキシャル膜の成長開始時の不純物ガス流量、希釈ガス流量、主ガスへの希釈不純物ガスの混合量によって規定される成長開始時の不純物濃度と、該シリコンエピタキシャル膜の成長終了時の不純物ガス流量、希釈ガス流量、主ガスへの希釈不純物ガスの混合量によって規定される成長終了時の不純物濃度との間を、直線または曲線で補間することによって規定される前記不純物濃度プロファイルを用いてガス流量を変化させるものであることを特徴とする請求項3に記載の気相成長装置。
- 前記演算制御機構は、更に、前記シリコンエピタキシャル膜の成長開始時の不純物ガス流量、希釈ガス流量、主ガスへの希釈不純物ガスの混合量によって規定される成長開始時の不純物濃度と、該シリコンエピタキシャル膜の成長終了時の不純物ガス流量、希釈ガス流量、主ガスへの希釈不純物ガスの混合量によって規定される成長終了時の不純物濃度とを結ぶ関数によって規定される前記不純物濃度プロファイルを用いてガス流量を変化させるものであることを特徴とする請求項2に記載の気相成長装置。
- 反応室のサセプタ上にウエーハを載置し、該ウエーハ上にシリコンエピタキシャル膜を気相成長させる方法であって、
少なくとも、不純物ガスを第一の流量調整機構によって、希釈ガスを第二の流量調整機構によって流量を制御して混合させた希釈不純物ガスを、第三の流量調整機構によって流量を制御して第四の流量調整機構によって流量を制御した主ガスと混合させた原料ガスを前記反応室に導入し、かつ前記第一、第二、第三の流量調整機構を流れるガスの流量を、シリコンエピタキシャル膜が厚さ方向で10倍以上に変化させた抵抗率プロファイルとなるように、演算制御によって同時に連続的に変化させて前記反応室に原料ガスを供給しながら気相成長を行うことで、該シリコンエピタキシャル膜の厚さ方向の抵抗率分布を制御することを特徴とするシリコンエピタキシャル膜の気相成長方法。 - 前記演算制御は、少なくとも、前記シリコンエピタキシャル膜の成長開始時の不純物ガス流量、希釈ガス流量、主ガスへの希釈不純物ガスの混合量、該シリコンエピタキシャル膜の成長終了時の不純物ガス流量、希釈ガス流量、主ガスへの希釈不純物ガスの混合量によって規定される該シリコンエピタキシャル膜の不純物濃度プロファイルを用いて前記第一、第二、第三の流量調整機構を流れるガスの流量を同時に連続的に変化させることを特徴とする請求項6に記載のシリコンエピタキシャル膜の気相成長方法。
- 前記演算制御は、更に、前記シリコンエピタキシャル膜の不純物濃度の値と成長開始からの経過時間の値を一組以上選択することによって規定される前記不純物濃度プロファイルを用いてガス流量を変化させることを特徴とする請求項7に記載のシリコンエピタキシャル膜の気相成長方法。
- 前記演算制御は、前記選択した値と、前記シリコンエピタキシャル膜の成長開始時の不純物ガス流量、希釈ガス流量、主ガスへの希釈不純物ガスの混合量によって規定される成長開始時の不純物濃度と、該シリコンエピタキシャル膜の成長終了時の不純物ガス流量、希釈ガス流量、主ガスへの希釈不純物ガスの混合量によって規定される成長終了時の不純物濃度との間を、直線または曲線で補間することによって規定される前記不純物濃度プロファイルを用いてガス流量を変化させることを特徴とする請求項8に記載のシリコンエピタキシャル膜の気相成長方法。
- 前記演算制御は、更に、前記シリコンエピタキシャル膜の成長開始時の不純物ガス流量、希釈ガス流量、主ガスへの希釈不純物ガスの混合量によって規定される成長開始時の不純物濃度と、該シリコンエピタキシャル膜の成長終了時の不純物ガス流量、希釈ガス流量、主ガスへの希釈不純物ガスの混合量によって規定される成長終了時の不純物濃度とを結ぶ関数によって規定される前記不純物濃度プロファイルを用いてガス流量を変化させることを特徴とする請求項7に記載のシリコンエピタキシャル膜の気相成長方法。
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