JP5242007B2 - 光ファイバの製造方法 - Google Patents
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Description
光ファイバの製造方法としては、気相軸付け法(Vapor-phase Axial Deposition method:VAD法)、修正化学気相堆積法(Modified Chemical Vapor Deposition method:MCVD法)、外側気相堆積法(Outside Vapor Deposition method:OVD法)、プラズマ化学気相堆積法(Plasma Chemical Vapor Deposition method:PCVD法)、ゾル−ゲル法、ロッドインチューブ法(Rod-In-Tube method:RIT法)、及びこれらを組み合わせた製造方法が知られている。
本発明に係る光ファイバの製造方法は、コア層とクラッド層とを有し種々の屈折率分布特性をもつ光ファイバの製造方法に適応されて有益なものであり、特に損失の増加が小さく、広帯域WDM伝送に好適な光ファイバの製造方法に適応されて有益なものであり、具体的には、シングルモードファイバ(Single Mode Fiber;以下、SMFと呼ぶ)等の光ファイバの製造方法に好適である。
図1は本発明に係る光ファイバの製造方法の実施の形態の工程の順序を示すフローチャートである。本実施の形態の光ファイバの製造方法は、筒状多孔質体作製工程(ステップS1)と、脱水工程(ステップS2)と、焼結工程(ステップS3)と、コアロッド挿入工程(ステップS4)と、線引き工程(ステップS5)とを含んでいる。
(実施例1)
図2は実施例1にて作製した光ファイバ51の屈折率プロファイルを示す図である。光ファイバ51は、図2に示すように、ステップインデックス型の屈折率分布を有するもので、1.3μm帯にゼロ分散波長を有しており、所謂SMFである。図2において、光ファイバ51は、断面同心円状に形成された積層構造をなし、中心軸線に沿ってコア層3Aが形成され、そして以降、中心部から径方向外方に向かって、第1クラッド層5A及び第2クラッド層9Aの順に形成された各層にて構成されている。尚、第2クラッド層9Aの外側に施される被覆層は省略している。
本実施例においては、まず、後にコアロッド7Aとなるコアスート7BをVAD法にて作製した。図3は本実施例のVAD法によるコアスート7Bの作製過程を説明する模式図であり、コアロッド母材7Bの部分を縦断面としている。図3において、VAD法では多重管構造からなるコアバーナ21を通じて、気化させた四塩化珪素(SiCl4)、四塩化ゲルマニウム(GeCl4)、酸素(O2)及び水素(H2)とで構成されるガス23を送り込み、点火燃焼させる。そして、火炎中で加水分解反応させて合成ガラス微粒子を得る。この合成ガラス微粒子を種棒11に吹き付けて種棒11に付着させる。
ついで、この透明ガラス化されたコア層3Aと第1クラッド層5Aとからなるコアロッド7Aを、図3に示す縦型の電気炉延伸装置41にて加熱・延伸して外径35mmのロッドとした。図3はコアロッド7Aを加熱・延伸する様子を示す電気炉延伸装置41の側面図であり、加熱炉42の部分を縦断面としている。図3において、電気炉延伸装置41は、鉛直方向に貫通した開口42a,42bを有する加熱炉42と、この加熱炉42の上方に設置された上部把持部43と、加熱炉42の下方に設置された下部把持部44とを有している。
チューブ状の石英系ガラス製ハンドル55に、高純度アルミナもしくは高純度カーボンにて作製された直径36mmのマンドレル53を挿入し、マンドレル53の外周に、図5に示したOVD法を用いて石英系ガラス微粒子を堆積させ、外径300mmの筒状多孔質体9Cを作製した。筒状多孔質体9Cは、後に半透明ガラスシリンダ9Bとなり、さらに最終的には透明ガラス化されて第2クラッド層9Aになる部分である。
ついで、この筒状多孔質体9Cを図6に示した脱水・焼結炉61にて表1の条件で脱水・焼結させ、内部が実質的に真空の独立気泡を含む半透明ガラスシリンダ9Bとした。
S [cc(STP)/cm3*atm] = 0.0252×EXP(-6665/T) ・・・(1)
ここで、STPは標準温度、標準圧力を意味する。
図11は、独立気泡内には減圧されたN2が残留しているものとして、雰囲気温度T=1600℃でのN2の石英ガラス中の飽和溶解度7.18×10-4[cc(STP)/cm3*atm]から、透明化で気泡が残留しないための焼結工程の圧力と半透明ガラス母材層の密度の関係を計算により示したものである。
(1−ρ1/2.2)×P/(1.013×105)[cc/cm3] (1.013×105は大気圧)
となる。この独立気泡内のガス体積が、透明化温度での石英ガラス中の飽和溶解度以下であれば透明化できるので、
(飽和溶解度)>(1−ρ1/2.2)×P/(1.013×105) >0 …(2)
となるまで焼結を進めておく必要がある。図10の曲線は、
7.18×10-4=(1−ρ1/2.2)×P/(1.013×105)
となる焼結工程の圧力と半透明ガラス母材層の密度の関係を示したもので、(2)式は図11の曲線よりも上の斜線で示した領域を示す。
なお、透明ガラス化工程または線引き工程での気泡残留を極力少なくするためには、焼結工程における圧力は1000Pa以下が特に好ましい。
次に、前述のコアロッド7Aを半透明ガラスシリンダ9Bに挿入した。挿入完了後、図7に示すように、半透明ガラスシリンダ9Bの線引き方向側の端部をバーナ35から放射される酸水素火炎により加熱溶融させて溶融封止するとともに、半透明ガラスシリンダ9Bの端部とコアロッド7Aの端部とを溶融一体化させた。この処理を行う目的は、半透明ガラスシリンダ9Bの溶融封止を線引き炉内で行うと、半透明ガラスシリンダ9Bが当該線引き炉内の雰囲気中に含まれる不純物を取り込んでしまい、これによりコアロッド7Aの内面と半透明ガラスシリンダ9Bの表面を汚染する可能性があるので、線引き炉に投入する前に半透明ガラスシリンダ9Bの溶融封止を行うものである。また、半透明ガラスシリンダ9Bの端部とコアロッド7Aの端部とが溶融一体化されていれば、線引き開始時から定常状態に移行するまでの時間を短くすることができるためである。
実施例1と同様に作製した中心軸上に穴の開いた筒状の筒状多孔質体9Cを表2の条件にて脱水・焼結させ、内部が実質的に真空の独立気泡を含む半透明ガラスシリンダ9Bとした。
実施例1と同様に作製した中心軸上に穴の開いた筒状の筒状多孔質体9Cを表3の条件にて脱水・焼結させ、内部が実質的に真空の独立気泡を含む半透明ガラスシリンダ9Bとした。
実施例1と同様に作製した中心軸上に穴の開いた筒状の筒状多孔質体9Cを表4の条件にて脱水・焼結させ、内部が実質的に真空の独立気泡を含む半透明ガラスシリンダ9Bとした。
実施例1と同様に作製した中心軸上に穴の開いた筒状の筒状多孔質体9Cを表5の条件にて脱水・焼結させ、内部に独立気泡を含む半透明ガラスシリンダ9Bとした。
比較例1においては、脱水処理、焼結処理ともに石英炉心管62の内部を減圧していない。また、焼結処理には不活性ガスとしてヘリウムガスを用いた。
次に、実施例1から4、比較例1で作製したコアロッド7Aと半透明ガラスシリンダ9Bを、溶融封止した部分から線引き機に付属する加熱炉(以下、線引き炉と呼ぶ)に挿入し、コアロッド7Aと半焼結ガラスシリンダとの間の空間を減圧状態にしながら、半透明状態のガラス層を透明ガラス化しつつ、コアロッド7Aと半透明ガラスシリンダ9Bとを溶融一体化させながら外径約125μmのガラス光ファイバに線引きした。ここで、減圧状態は、半透明ガラスシリンダ9Bに接続された石英系ガラス製ハンドル55の開放端に真空吸引ポンプを繋ぎ、吸引することによって実現した。この場合の減圧度は、約100Paであった。
この実施例における線引き速度は、2000m/分であった。
尚、ここでいうカットオフ波長とは、ITU−T G.650規格で定義されるケーブルカットオフ波長λccのことである。
また、線引き後の光ファイバの全長に対して約2%の伸びに相当する張力を付与しつつ、別のリールに巻き移すことにより、該光ファイバの強度を調査した。その結果、破断は起こらず、問題ない光ファイバであることを確認した。
一方、筒状多孔質体9Cの脱水・焼結処理雰囲気を減圧状態とはせずに、焼結処理においてヘリウムガスを用いた比較例1(SMF(5))においては、伝送特性には問題ないものの、泡不良率が高くなっている。これは、半透明ガラスシリンダ9B内に溶解度の大きなヘリウムガスが溶け込んでいたため、線引き中にこのヘリウムガスが発泡して光ファイバ内に空洞ができたためと推定される。
本実施例においては、ガラスシリンダ9Bにフッ素を添加した。実施例1と同様に作製した中心軸上に穴の開いた筒状多孔質体9Cを脱水・焼結させる際に、表8の条件にてフッ素添加を行い、内部が実質的に真空の独立気泡を含む半透明ガラスシリンダ9Bとした。
以下、他の実施例と同様にコアロッド7Aを半透明ガラスシリンダ9Bに挿入し、線引き開始側を加熱して溶融封止した後、溶融封止した部分から線引き炉に挿入し、該コアロッド7Aと線引き炉半焼結ガラスシリンダとの間の空間を減圧状態にしながら、半透明ガラスシリンダ9Bを透明ガラス化しつつ、該コアロッド7Aと半透明ガラスシリンダ9Bとを溶融一体化させながら外径約125μmのガラス光ファイバ51に線引きした。線引き中にコーティングを施し、線引き後のガラス光ファイバ中に気泡の残留がなく、強度にも問題がない被覆外径が約250μmの光ファイバを得た。フッ素添加したクラッド部の屈折率は純粋なシリカガラスの屈折率に比べて0.4%低く、本実施例のように、クラッド層の一部に屈折率の小さな領域を設ける事も可能である。
3B コアスート
5A クラッド層
5B クラッドスート
7A コアロッド
7B コアロッド母材
9A クラッド層
9B 半透明ガラスシリンダ
9C 筒状多孔質体
9D 多孔質母体層
11 種棒
21 コアバーナ
22 クラッドバーナ
26 ガス
27 ガス 31 バーナ
32 ガス
34 ガス
35 バーナ
41 電気炉延伸装置
42 加熱炉
42a 開口
42b 開口
43 上部把持部
44 下部把持部
45 ヒータ
46 上部チャック
47 下部チャック
48 ガイドレール
51 ガラス光ファイバ
53 マンドレル
55 ハンドル
61 脱水・焼結炉
62 石英炉心管
63 ヒータ
65 真空ポンプ
66 断熱材
67 炉体
68 ガス導入管
83 平行光線
84 前方散乱光
85 イメージセンサ
86 信号処理部
87 判定部
88 モニタ部
89 警報部
90 記録部
91 散乱光強度分布パターン
Claims (6)
- コア層と該コア層を取り囲むクラッド層とを有する光ファイバの製造方法であって、
マンドレルの外周に石英系ガラス微粒子を堆積させて多孔質母材層を形成し、次いで前記多孔質母材層から前記マンドレルを引き抜いて筒状多孔質体を作製する筒状多孔質体作製工程と、
減圧下、不活性ガスとハロゲンガスの雰囲気及び不活性ガスとハロゲン系化合物ガスの雰囲気の少なくともいずれか一つの条件にて前記筒状多孔質体を脱水する脱水工程と、
脱水した前記筒状多孔質体を、減圧下にて独立気泡を含む半透明ガラスシリンダになるまで焼結する焼結工程と、
前記コア層を有し棒状をなす石英系ガラスからなるコアロッドを前記半透明ガラスシリンダの中に挿入するコアロッド挿入工程と、
前記コアロッドが挿入された前記半透明ガラスシリンダに対して熱を加えながら、前記コアロッドと前記半透明ガラスシリンダとが溶融一体化するように且つ前記半透明ガラスシリンダが透明ガラスでなる前記クラッド層となるように線引きする線引き工程と、を有し、
前記焼結工程は、石英系ガラスからなる炉心管の内部で、1400℃以下の温度且つ前記減圧下の条件として2000Pa以下の圧力にて行われ、前記半透明ガラスシリンダに含まれる前記独立気泡の内部は実質的に真空である
ことを特徴とする光ファイバの製造方法。 - 前記脱水工程及び前記焼結工程は、前記炉心管を圧力容器内に設け、前記炉心管の周囲に複数のヒータを配置した加熱炉で、前記多孔質母材層全体を均一に加熱することにより行う
ことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバの製造方法。 - 前記脱水工程は1300℃以下で行われ、
前記焼結工程は前記多孔質母材層の平均密度が1.8g/cm3以上2.2g/cm3未満となるような条件で行う
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光ファイバの製造方法。 - 前記コアロッド挿入工程と前記線引き工程との間で、前記コアロッドを挿入した前記半透明ガラスシリンダの線引き方向側端部を加熱溶融し一体化した状態とする
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の光ファイバの製造方法。 - 前記コアロッドを挿入した前記半透明ガラスシリンダの線引き方向側端部を予め加熱溶融する際の加熱方法として、酸水素、メタン等の可燃性ガス火炎の放射、プラズマ火炎の放射及び電気炉による加熱のいずれかを用いる
ことを特徴とする請求項4に記載の光ファイバの製造方法。 - 前記線引き工程において、少なくとも前記コアロッドと前記半透明ガラスシリンダの間を減圧状態にする
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の光ファイバの製造方法。
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