JP5239709B2 - 圧電振動片用の折り取り冶具、折り取り装置、不良品折り取りシステム - Google Patents
圧電振動片用の折り取り冶具、折り取り装置、不良品折り取りシステム Download PDFInfo
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Description
[適用例1]枠部と、前記枠部に連結部を介して連結された圧電振動片とが、圧電素板をエッチングすることで一体形成されたウェハから、前記圧電振動片を折り取る圧電振動片用の折り取り冶具であって、前記ウェハの一面に対向する対向部を有する押さえ部と、前記対向部に突出して設けられ、かつ、前記圧電振動片の前記連結部から離れた位置に押し付けられて、前記圧電振動片を前記枠部に対して傾斜させ、前記連結部を破断させて前記圧電振動片を折り取る突起部と、を有し、前記突起部は、前記押さえ部が前記圧電振動片の一部と当接した状態で前記連結部を破断させる長さを有することを特徴とする圧電振動片用の折り取り冶具。
上記構成により、枠部は折り取りの際に歪むことがないため、折り取り作業を確実に行うことが可能な圧電振動片用折り取り装置となる。
上記構成により、視覚的に検出可能な圧電振動片の不良品を確実に折り取り、圧電振動片の歩留まりを向上させた圧電振動片の不良品折り取りシステムとなる。
上記構成により、圧電振動片の両面を検査することになるので圧電振動片の不良品の検出効率を高めることができる。
[適用例5]枠部に連結部を介して連結された圧電振動片を折り取る製造方法であって、前記圧電振動片の一面に対向する対向部を有する押さえ部と、前記対向部に突出して設けられた突起部と、を有する折り取り治具と、前記枠部の外形に倣って形成され、前記枠部を保持する下枠と、前記圧電振動片に対して前記突起部を当接させるための移動手段と、を有する折り取り装置を使用し、前記下枠により前記枠部を保持し、前記移動手段により前記突起部を前記圧電振動片の前記連結部から離れた位置に押し付け、前記圧電振動片を前記枠部に対して傾斜させることにより、前記押さえ部を前記圧電振動片の一部に当接させた状態で前記連結部を破断させて前記圧電振動片を折り取ることを特徴とする圧電振動片の製造方法。
制御部82は、本実施形態の不良品折り取りシステム10全体の動作を制御するものである。制御部82は第1給送アーム42乃至第3給送アーム46、XYステージ52、第1画像処理部84、第2画像処理部86、第2演算処理部90、折り取り装置66にそれぞれ接続されているが、制御部82による制御は大きく分けて、第1給送アーム42乃至第3給送アーム46、XYステージ52、第1画像処理部84、第2画像処理部86を制御する段階と、折り取り装置66を制御する段階に分けられる。
Claims (5)
- 枠部と、前記枠部に連結部を介して連結された圧電振動片とが、圧電素板をエッチングすることで一体形成されたウェハから、前記圧電振動片を折り取る圧電振動片用の折り取り冶具であって、
前記ウェハの一面に対向する対向部を有する押さえ部と、
前記対向部に突出して設けられ、かつ、前記圧電振動片の前記連結部から離れた位置に押し付けられて、前記圧電振動片を前記枠部に対して傾斜させ、前記連結部を破断させて 前記圧電振動片を折り取る突起部と、を有し、
前記突起部は、前記押さえ部が前記圧電振動片の一部と当接した状態で前記連結部を破断させる長さを有することを特徴とする圧電振動片用の折り取り冶具。 - 請求項1に記載の圧電振動片用の折り取り冶具と、
前記枠部の外形に倣って形成され、前記枠部を保持する下枠と、を有し、
前記枠部を前記下枠で保持しつつ前記圧電振動片を折り取ることを特徴とする圧電振動片用の折り取り装置。 - 請求項2に記載の折り取り装置を有し、
枠部に連結部を介して接続された複数の圧電振動片を撮影し、撮影された画像から欠陥を有する圧電振動片を検出し、前記欠陥を有する圧電振動片の位置情報を出力する検出手段と、
前記折り取り装置に前記枠部を給送する給送手段と
前記給送手段に前記枠部を前記折り取り装置に給送させるとともに、入力された前記位置情報を基に前記折り取り装置に前記欠陥を有する圧電振動片を折り取る制御を行う制御部と、を有することを特徴とする圧電振動片の不良品折り取りシステム。 - 前記検出手段は、前記複数の圧電振動片を両面から撮影して欠陥を有する圧電振動片を検出することを特徴とする請求項3に記載の圧電振動片の不良品折り取りシステム。
- 枠部に連結部を介して連結された圧電振動片を折り取る製造方法であって、
前記圧電振動片の一面に対向する対向部を有する押さえ部と、前記対向部に突出して設けられた突起部と、を有する折り取り治具と、
前記枠部の外形に倣って形成され、前記枠部を保持する下枠と、
前記圧電振動片に対して前記突起部を当接させるための移動手段と、
を有する折り取り装置を使用し、
前記下枠により前記枠部を保持し、
前記移動手段により前記突起部を前記圧電振動片の前記連結部から離れた位置に押し付け、
前記圧電振動片を前記枠部に対して傾斜させることにより、前記押さえ部を前記圧電振動片の一部に当接させた状態で前記連結部を破断させて前記圧電振動片を折り取ることを特徴とする圧電振動片の製造方法。
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