JP5236402B2 - 炭素質フィルムの製造方法 - Google Patents
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Description
炭素材料の新展開、日本学術振興会 炭素材料 第117委員会 60周年記念出版
本発明の第二は、重ねたポリイミドフィルムを炭化する工程において、その工程が減圧で行なわれる事を特徴とする前記記載の炭素質フィルムの製造方法である。ここで「重ねたポリイミドフィルム」とは、ポリイミドフィルムどうしが、黒鉛材などを挟むことなく直接積層されたものをいう。
ポリイミドフィルムを不活性ガス下、1000℃まで処理すると500℃付近から徐々に分解が始まり、一酸化炭素や二酸化炭素、窒素やアンモニアなどの低分子気体やベンゼン、アニリンやフェノール、ベンゾニトリルなどの低分子有機物が分解ガスとして観測される。900℃付近になるとこれらの分解ガスの発生はほぼ収束し、最終的に1000℃まで処理した後は6割ほどに重量が減少した炭素質フィルムが得られてくる。上記成分の他にも同定困難な低分子量物質が多数観測され、これらの有機物成分は炭化処理後に不揮発性のタール成分として回収される。
異物による炭化フィルムの引っ掛かり傷は、その後の黒鉛化工程においても消える事は無く、そこから更に傷が広がり裂けを生じてしまったり、グラファイトフィルムの割れを誘発してしまったりと様々な問題を引き起こす。また、この炭素フィルム上に付いた傷がグラファイト層の発達を阻害し、熱拡散率の低下を引き起こすといった問題も出てくる。グラファイトフィルムを熱源に接続して放熱を行なう場合、グラファイトフィルム上に傷や裂けが存在するとその部分が大きな熱抵抗となり、グラファイトフィルムの放熱性能が大きく低下してしまう。グラファイトフィルムの放熱性能を最大限に発揮させる為にも、表面傷は出来る限り抑制しなくてはならない。
炭化処理量を増やすという観点でポリイミドフィルムを多数枚直接に積層して炭化処理を行なう事は効果的である。しかし、ポリイミドフィルムを2枚直接に重ねて黒鉛材ではさみ炭化処理を行なった場合、1枚のみを処理した時に比べてフィルム間では分解ガスがより多く発生するので異物が発生しやすくなってしまう。このようなフィルムを直接に積層した場合においても、本発明の炭化処理方法を用いれば異物の発生を大幅に削減できる。
多層積層したポリイミドフィルムを炭化処理する場合は、減圧下で処理を行なうと同時に不活性ガスを導入するとより効果的に異物及び融着を防止する事が可能となる。焼成部の一方から不活性ガスを導入し、もう一方から排気を同時に行なう事によって焼成部に不活性ガスの流路が発生し、フィルム間に滞留する分解ガスをさらに速やかに系外に除去する事が出来る。この時、不活性ガスの流量V1(単位:L/s)と排気量V2(単位:L/s)を調整して、炉内部を適当な減圧状態に維持する事が重要である。導入する不活性ガスの量は多いほど効果が高いが、量が多過ぎる場合にはフィルムからの分解ガスが出にくくなってしまう為に好ましくない。また、不活性ガスの使用が多くなるとコストが高くなってしまうという問題もある。処理物の体積をVとした場合、処理物の体積と必要な不活性ガスの量は比例関係で表わす事が出来る。ここで言う処理物の体積Vとは、炉の焼成部の体積を指すのではなく、処理するポリイミドフィルム、ポリイミドフィルムの容器、合紙など、加熱装置内に配置して加熱する全ての部材の総体積を表す。不活性ガスの流量V1を処理物の体積Vで除した値V/V1の値(単位:s)が好ましくは0.01以上1000以下、より好ましくは0.1以上100以下、さらに好ましくは1以上10以下である。V/V1の値が0.01未満である場合は、導入する不活性ガスの量が処理物に対して多すぎるので良くない。また、V/V1の値が1000より大きい場合は不活性ガスの量が少なすぎる為に異物及び融着を十分に防止出来ない可能性がある。
原料ポリイミドフィルムの厚みが厚いほど、炭化処理の際に発生する分解ガスの量は多くなり、より異物の発生や融着が起こりやすくなってくる。グラファイトフィルム自体の熱拡散能力は熱伝導率(単位:W/(m・K))で表わされるが、実際に熱を輸送する能力は、この熱伝導率の値にグラファイトフィルムの厚みを掛けた値が指標となる。例えば平面方向の熱伝導率が同じ1000W/(m・K)のグラファイトフィルムであっても、厚みが25μmと40μmでは40μmのグラファイトフィルムの方が高い熱輸送能力を有するという事となる。すなわち、同一面積を使用した場合に40μmのグラファイトフィルムはより熱源からの熱を拡散しやすいという事となる。最小限の面積で大量の熱輸送を行ないたいという観点において、厚いグラファイトフィルムを作製する事は極めて有効な手段である。
排気方法に関しては、真空ポンプや排気ファンを使用した方法など、焼成炉自体の安全性を損なわない範囲であれば既知のあらゆる方法を用いる事が出来る。特に真空ポンプは様々な種類のものが各社から市販されており、操作も簡便な事から本発明に好適に用いられる。本発明の圧力範囲−0.001kPa〜−0.1MPaで用いる事が出来る真空ポンプとしては、アスピレーター(水流ポンプ)、ドライ真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ、油回転ポンプ、ソープションポンプ、油エゼクタポンプなどが挙げられる。減圧度の調整は真空ポンプの排気部にバルブを取り付け、排気量を調節して使用すれば良い。ここで「圧力−0.001kPa」とは真空ポンプで0.001kPaだけ減圧することをいい、「圧力−0.1kPa」とは真空ポンプで0.1kPaだけ減圧することをいう。
ポリイミドフィルムの分解ガスには前述した成分の他に様々な低分子量物質が含まれていて、ポリイミドフィルムを炭化処理した際にはこれらの物質が不揮発性のタール状物質として得られてくる。多くの枚数のポリイミドフィルムを一度に炭化する場合には、この発生したタールの処理は一つの課題となってくる。タールの成分には有毒なものも多く、掃除の手間や人体に対する危険性などを考えると出ガスは効率的に処理する必要がある。また、ヒーターや断熱材にタールが付着したまま連続運転を続けると劣化が促進するという恐れもある。この事から炭化処理時の分解ガスは発生後、素早く炉の外部に誘導する必要性がある。真空ポンプにて高真空中(101Pa以下)でポリイミドフィルムを処理した場合、フィルムから発生した出ガスは一気に炉内で拡散を起こしてしまう。その為、真空ポンプの排気方向に上手く出ガスが誘導されずに炉の内部に滞留してしまい、炉を汚染してしまう。上手く炉の外へ出ガスを誘導する為には、高真空下で炭化処理を行なうのではなく、一方から不活性ガスを導入し、一方から排気を行ない炉内に不活性ガスの流れを作れば良い。こうする事で発生した出ガスが速やかに炉外に排出され、炉内を汚染する危険性が大幅に減少する。本発明の炭化処理方法においては分解ガスの処理も有効に行なう事が出来る。
本発明の方法で作製した炭素質フィルムは2400℃以上の高温で熱処理する黒鉛化過程を経る事により、さらに良質な炭素質フィルム(グラファイトフィルム)にする事が出来る。この黒鉛化過程は炭化処理後に炉を一度降温させた後に再度炉を昇温させて行っても良いし、途中で降温過程を経る事なく一度に黒鉛化を行っても良い。
4,4’−オキシジアニリンの1当量を溶解したDMF(ジメチルフォルムアミド)溶液に、ビロメリット酸二無水物の1当量を溶解してポリアミド酸溶液(18.5wt%)を得た。
上記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−0.01kPaを保ったまま昇温を続けた。室温まで冷却後、得られた炭化フィルムの厚みと表面状態、および単位面積当たりの重量(g/m2)を測定した。またフィルム処理前後において炉内汚れの評価も行なった。続けてこの炭化フィルムを、縦250mm×横250mm×厚み250μmの膨張黒鉛シートで上下から挟み、グラファイト化炉を用いて2900℃まで2℃/minで昇温してグラファイト化処理をおこなった。室温まで冷却後、熱処理後のグラファイトフィルムを、縦250mm×横250mm×厚み125μmのポリイミドフィルムで上下から挟み圧縮成型機を用いて後面状加圧工程を実施した。加えた圧力は10MPaとした。最終的に得られたグラファイトフィルムの熱拡散率を、光交流法による熱拡散率測定装置(アルバック理工(株)社から入手可能な(商品名)「LaserPit」)を用いて、20℃の雰囲気下、10Hzにおいて測定した。その結果を表1にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−0.01kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも0.01kPa低いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−0.1kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例1と同じ工程で行った。結果を表1にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−0.1kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも0.1kPa低いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−0.5kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例1と同じ工程で行った。結果を表1にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−0.5kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも0.5kPa低いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−1kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例1と同じ工程で行った。結果を表1にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−1kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも1kPa低いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−10kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例1と同じ工程で行った。結果を表1にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−10kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも10kPa低いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素を流さずに行ない、内圧は真空ポンプにて−10kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例1と同じ工程で行った。結果を表1にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−10kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも10kPa低いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素を流さずに行ない、内圧は真空ポンプにて−80kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例1と同じ工程で行った。結果を表1にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−80kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも80kPa低いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧が±0kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例1と同じ工程で行った。結果を表1にまとめた。
上記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧が+2kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例1と同じ工程で行った。結果を表1にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて+2kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも2kPa高いことをいう。
(比較例3)
上記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素を流さずに行ない、内圧は真空ポンプにて10-1kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例1と同じ工程で行った。結果を表1にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて10-1kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも10-1kPa高いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−0.01kPaを保ったまま昇温を続けた。室温まで冷却後、得られた炭化フィルムの厚みと表面状態、および単位面積当たりの重量(g/m2)を測定した。またフィルム処理前後において炉内汚れの評価も行なった。続けてこの炭化フィルムを、縦250mm×横250mm×厚み250μmの膨張黒鉛シートで上下から挟み、グラファイト化炉を用いて2900℃まで2℃/minで昇温してグラファイト化処理をおこなった。室温まで冷却後、熱処理後のグラファイトフィルムを、縦250mm×横250mm×厚み125μmのポリイミドフィルムで上下から挟み圧縮成型機を用いて後面状加圧工程を実施した。加えた圧力は10MPaとした。最終的に得られたグラファイトフィルムの熱拡散率を、光交流法による熱拡散率測定装置(アルバック理工(株)社から入手可能な(商品名)「LaserPit」)を用いて、20℃の雰囲気下、10Hzにおいて測定した。その結果を表2にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−0.01kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも0.01kPa低いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−0.1kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例8と同じ工程で行った。結果を表2にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−0.1kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも0.1kPa低いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−0.5kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例8と同じ工程で行った。結果を表2にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−0.5kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも0.5kPa低いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−1kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例8と同じ工程で行った。結果を表2にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−1kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも1kPa低いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−10kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例8と同じ工程で行った。結果を表2にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−10kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも10kPa低いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素を流さずに行ない、内圧は真空ポンプにて−10kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例8と同じ工程で行った。結果を表2にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−10kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも10kPa低いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素を流さずに行ない、内圧は真空ポンプにて−80kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例8と同じ工程で行った。結果を表2にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−80kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも80kPa低いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量5L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−10kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例8と同じ工程で行った。結果を表2にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−10kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも10kPa低いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧が±0kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例8と同じ工程で行った。結果を表2にまとめた。
上記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧が+2kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例8と同じ工程で行った。結果を表2にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて+2kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも2kPa高いことをいう。
上記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)を黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素を流さずに行ない、内圧は真空ポンプにて10-1kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例8と同じ工程で行った。結果を表2にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて10-1kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも10-1kPa高いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−0.01kPaを保ったまま昇温を続けた。室温まで冷却後、得られた炭化フィルムが融着しているかどうかを、○:融着なし、△:わずかに融着、×:全面的に融着の3段階で評価を行なった。同様の工程で10枚、50枚、75枚、100枚を直接積層したものに関しても、炭化処理後に融着しているかどうかの評価を行なった。その結果を表3にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−0.01kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも0.01kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−0.1kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例16と同じ工程で行った。結果を表3にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−0.1kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも0.1kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−0.5kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例16と同じ工程で行った。結果を表3にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−0.5kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも0.5kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−1kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例16と同じ工程で行った。結果を表3にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−1kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも1kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−10kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例16と同じ工程で行った。結果を表3にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−10kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも10kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素を流さずに行ない、内圧は真空ポンプにて−10kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例16と同じ工程で行った。結果を表3にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−10kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも10kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素を流さずに行ない、内圧は真空ポンプにて−80kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例16と同じ工程で行った。結果を表3にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−80kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも80kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量5L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−10kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例16と同じ工程で行った。結果を表3にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−10kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも10kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧が±0kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例16と同じ工程で行った。結果を表3にまとめた。
前記方法によって作製した厚さ50μmのポリイミドフィルムA(PI−A)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧が+2kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例16と同じ工程で行った。結果を表3にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて+2kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも2kPa高いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−0.01kPaを保ったまま昇温を続けた。室温まで冷却後、得られた炭化フィルムが融着しているかどうかを、○:融着なし、△:わずかに融着、×:全面的に融着の3段階で評価を行なった。同様の工程で10枚、50枚、75枚、100枚を直接積層したものに関しても、炭化処理後に融着しているかどうかの評価を行なった。その結果を表4にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−0.01kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも0.01kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−0.1kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例24と同じ工程で行った。結果を表4にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−0.1kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも0.1kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−0.5kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例24と同じ工程で行った。結果を表4にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−0.5kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも0.5kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−1kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例24と同じ工程で行った。結果を表4にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−1kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも1kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−10kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例24と同じ工程で行った。結果を表4にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−10kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも10kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素を流さずに行ない、内圧は真空ポンプにて−10kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例24と同じ工程で行った。結果を表4にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−10kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも10kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素を流さずに行ない、内圧は真空ポンプにて−80kPaを保ったまま昇温を続けたその後は実施例24と同じ工程で行った。結果を表4にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−80kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも80kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量5L/min)で行ない、内圧は真空ポンプにて−80kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例24と同じ工程で行った。結果を表4にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて−80kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも80kPa低いことをいう。
前記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧が±0kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例24と同じ工程で行った。結果を表4にまとめた。
前記方法によって作製した厚さ75μmのポリイミドフィルムB(PI−B)(縦200mm×横200mm)2枚を直接に積層したものを黒鉛材に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで2℃/minで昇温して炭化処理を行なった。炭化処理は窒素気流中(流量1L/min)で行ない、内圧が+2kPaを保ったまま昇温を続けた。その後は実施例24と同じ工程で行った。結果を表4にまとめた。なおここで「内圧が真空ポンプにて+2kPaである」とは、電気炉の内圧が電気炉外よりも2kPa高いことをいう。
Claims (15)
- 重ねた高分子フィルムを熱処理し炭素質フィルムを製造する方法であって、重ねた高分子フィルムを炭化する工程の少なくとも一部が減圧で行なわれる事を特徴とする炭素質フィルムの製造方法。
- 重ねた高分子フィルムを炭化する工程が減圧で行なわれる事を特徴とする請求項1記載の炭素質フィルムの製造方法。
- 重ねた高分子フィルム層が10層以上であること事を特徴とする請求項1又は2に記載の炭素質フィルムの製造方法。
- 高分子フィルムに上から荷重をかけて熱処理する事を特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の炭素質フィルムの製造方法。
- 減圧の範囲が−0.001kPa〜−0.1MPaである事を特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の炭素質フィルムの製造方法。
- 減圧の範囲が−0.01kPa〜−0.08MPaである事を特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の炭素質フィルムの製造方法。
- 不活性ガスを導入しながら−0.01kPa〜−0.08MPaの範囲で減圧して炭化する事を特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の炭素質フィルムの製造方法。
- 処理物の体積をV(L)、導入する不活性ガスの量をV1(L/s)とした時にV/V1(s)の値が0.01以上1000以下である事を特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の炭素質フィルムの製造方法。
- 高分子フィルムの厚みが10μm以上250μm以下である事を特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の炭素質フィルムの製造方法。
- 高分子フィルムの面積が40000mm2以上である事を特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の炭素質フィルムの製造方法。
- 2枚以上の高分子フィルムを直接積層したものから炭素質フィルムを製造する請求項1〜10のいずれか1項に記載の炭素質フィルムの製造方法。
- 10枚以上の高分子フィルムを直接積層したものから炭素質フィルムを製造する請求項1〜10のいずれか1項に記載の炭素質フィルムの製造方法。
- 高分子フィルムがポリイミドフィルムである事を特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の炭素質フィルムの製造方法。
- 重ねたポリイミドフィルムを炭化する工程において、その工程が減圧で行なわれる事を特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の炭素質フィルムの製造方法。
- 請求項1〜14のいずれか1項に記載の製造方法により炭素質フィルムを得た後、当該炭素質フィルムを2400℃以上で熱処理することで黒鉛化工程を行いグラファイトフィルムを製造することを特徴とする、グラファイトフィルムの製造方法。
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