JP5235225B2 - 基板への蒸着被膜の形成方法および搬送トレイ - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 94
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 title claims description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 21
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 47
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 6
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 5
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000037237 body shape Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
また、本発明の搬送トレイは、請求項2記載の通り、四角形状の基板を水平に維持して真空蒸着装置の蒸着室に搬送し、基板に蒸着被膜を形成するために用いられる搬送トレイであって、四角形状の枠体と、枠体の対向する枠辺と枠辺の間に、その両端を枠体の各枠辺と弾性部材を介して連結することでテンションを付加して架設した薄体状部材とから構成され、基板はガラスから構成され、薄体状部材は、基板の熱膨張率の±20%の範囲内の材料から構成され、薄体状部材の厚みを0.1mm−0.8mmとし、薄体状部材を、一方の対向する枠辺と枠辺の間に他方の枠辺に平行に3本以上、他方の対向する枠辺と枠辺の間に一方の枠辺に平行に2本以上、架設し、基板が枠体と接触しないようにして薄体状部材のみで基板載置面を構成して、個々の薄体状部材を、基板が搬送トレイに載置されている状態を形成するための保持部材として機能させるとともに、基板における2つ以上の蒸着被膜形成領域を画定し、且つ、基板の外周縁をマスクするためのマスク部材として機能させるようにしたことを特徴とする。
1 枠体
2 薄体状部材
3 スプリング
X ガラス基板
Y 蒸着被膜形成領域
Claims (2)
- 四角形状の基板を水平に維持して真空蒸着装置の蒸着室に搬送し、基板に蒸着被膜を形成するために用いられる搬送トレイを、四角形状の枠体と、枠体の対向する枠辺と枠辺の間に、その両端を枠体の各枠辺と弾性部材を介して連結することでテンションを付加して架設した薄体状部材とから構成し、基板はガラスから構成し、薄体状部材は、基板の熱膨張率の±20%の範囲内の材料から構成し、薄体状部材の厚みを0.1mm−0.8mmとし、薄体状部材を、一方の対向する枠辺と枠辺の間に他方の枠辺に平行に3本以上、他方の対向する枠辺と枠辺の間に一方の枠辺に平行に2本以上、架設して、個々の薄体状部材を、基板が枠体と接触しないようにして薄体状部材のみで基板の載置面を構成して、搬送トレイに載置されている状態を形成するための保持部材として機能させ、且つ、薄体状部材を、基板における2つ以上の蒸着被膜形成領域を画定し、且つ、基板の外周縁をマスクするためのマスク部材として機能させ、基板の下方から蒸着被膜を形成することを特徴とする基板への蒸着被膜の形成方法。
- 四角形状の基板を水平に維持して真空蒸着装置の蒸着室に搬送し、基板に蒸着被膜を形成するために用いられる搬送トレイであって、四角形状の枠体と、枠体の対向する枠辺と枠辺の間に、その両端を枠体の各枠辺と弾性部材を介して連結することでテンションを付加して架設した薄体状部材とから構成され、基板はガラスから構成され、薄体状部材は、基板の熱膨張率の±20%の範囲内の材料から構成され、薄体状部材の厚みを0.1mm−0.8mmとし、薄体状部材を、一方の対向する枠辺と枠辺の間に他方の枠辺に平行に3本以上、他方の対向する枠辺と枠辺の間に一方の枠辺に平行に2本以上、架設し、基板が枠体と接触しないようにして薄体状部材のみで基板載置面を構成して、個々の薄体状部材を、基板が搬送トレイに載置されている状態を形成するための保持部材として機能させるとともに、基板における2つ以上の蒸着被膜形成領域を画定し、且つ、基板の外周縁をマスクするためのマスク部材として機能させるようにしたことを特徴とする搬送トレイ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011132297A JP5235225B2 (ja) | 2004-07-06 | 2011-06-14 | 基板への蒸着被膜の形成方法および搬送トレイ |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004199383 | 2004-07-06 | ||
JP2004199383 | 2004-07-06 | ||
JP2011132297A JP5235225B2 (ja) | 2004-07-06 | 2011-06-14 | 基板への蒸着被膜の形成方法および搬送トレイ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005084627A Division JP2006045663A (ja) | 2004-07-06 | 2005-03-23 | 基板への蒸着被膜の形成方法および搬送トレイ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011184802A JP2011184802A (ja) | 2011-09-22 |
JP5235225B2 true JP5235225B2 (ja) | 2013-07-10 |
Family
ID=44791421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011132297A Active JP5235225B2 (ja) | 2004-07-06 | 2011-06-14 | 基板への蒸着被膜の形成方法および搬送トレイ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5235225B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102607248B1 (ko) * | 2018-06-25 | 2023-11-30 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 기판을 위한 캐리어 및 기판을 운반하기 위한 방법 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3885261B2 (ja) * | 1996-11-21 | 2007-02-21 | 東レ株式会社 | 基板支持具および基板の支持方法 |
JP4246828B2 (ja) * | 1999-01-07 | 2009-04-02 | 株式会社アルバック | 真空蒸着装置におけるマスキング装置 |
JP4480239B2 (ja) * | 2000-07-19 | 2010-06-16 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
JP4590748B2 (ja) * | 2001-02-08 | 2010-12-01 | ソニー株式会社 | マスク |
-
2011
- 2011-06-14 JP JP2011132297A patent/JP5235225B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011184802A (ja) | 2011-09-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160405 Year of fee payment: 3 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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