JP5234994B2 - 真空装置への試料搬送導入装置 - Google Patents
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Description
11 本体
12 ネジ部
13 ノブ
14 軸受け
15 可動パイプ
15a 位置決めジョイント用ピン
15b 変換アダプタ
15c ネジ
16 コンフラットフランジ
17 真空ベローズ
18 コンフラットフランジ
19 ブランクフランジ
20 真空引き用フランジ
21 バルブ
22 引口
30 試料ホルダー格納部
31 試料ホルダー受け板
32 試料ホルダー設置部
33 側板
34 上板
35 ピン差込用溝
36 Oリング
37 中間板
50 真空容器
51 シールフランジ
52 周壁
52a 第二真空槽
53 真空槽
54 引口
55 バルブ
80 コンフラットフランジ
81 Oリング
90 試料ホルダー
101 直線導入機
102 試料ホルダー格納部
102a 試料ホルダー受け板
103 真空容器
103a 周壁
104 専用フランジ
104a Oリング
105 試料ホルダー
106 真空ポート
Claims (6)
- 真空装置へ試料を搬送し導入する試料搬送導入装置であって、
可動パイプが直進運動により前進及び後退する直線導入機と、
試料を設置する試料ホルダーを格納する試料ホルダー格納部と、
試料ホルダー格納部の試料ホルダー受け板とのはめ合いで試料ホルダーを収容する真空槽を形成する真空容器とを備え、
試料ホルダー格納部が直線導入機の可動パイプの先端部分に着脱可能に取り付けられ、かつ真空容器が直線導入機の本体の先端部分に着脱可能に取り付けられ、直線導入機の可動パイプを介して真空槽を真空引きできる、真空装置への試料搬送導入装置。 - 真空装置に装着するための規格化されたコンフラットフランジを備えた請求項1に記載の真空装置への試料搬送導入装置。
- 試料ホルダー格納部が、ワンタッチ機構により直線導入機の可動パイプの先端部分に着脱可能である請求項1又は2に記載の真空装置への試料搬送導入装置。
- 試料ホルダー格納部にヒータ線が装着され、加熱手段としての電極が直線導入機の可動パイプ内を通されて前記ヒータ線に接続されている請求項1〜3のいずれかに記載の真空装置への試料搬送導入装置。
- 試料ホルダー格納部を冷却する冷媒を、直線導入機の可動パイプ内を通して導入可能とした請求項1〜3のいずれかに記載の真空装置への試料搬送導入装置。
- 真空容器の周壁が二重であり、この二重の周壁の先端部分が当接する試料ホルダー格納部の試料ホルダー受け板にシール手段を二重に配置し、この二重のシール手段を介して真空容器が試料ホルダー格納部の試料ホルダー受け板とのはめ合いで真空槽を形成し、真空容器の二重の周壁間の第二真空槽を真空排気する真空排気手段を備えた請求項1〜5のいずれかに記載の真空装置への試料搬送導入装置。
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