JP5234151B2 - 回折素子および光ヘッド装置 - Google Patents
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Description
また、前記透明基板の一方の面に形成される光学多層膜からなる凸部の格子ピッチと、前記透明基板の他方の面に形成される光学多層膜からなる凸部の格子ピッチとは、異なることを特徴とする。
また、透明基板上に形成された周期的な凹凸部を備える回折素子であって、凸部は透明基板面に平行に配された光学多層膜を備え、また少なくとも凹部は透明基板とは屈折率の異なる充填材によって充填されている回折素子において、前記凸部は屈折率の高い層(H層)と低い層(L層)の周期構造を有する前記光学多層膜であり、前記光学多層膜の屈折率の算術平均値と前記凹部に充填された充填剤の屈折率との差が0.12以下であって、前記透明基板の一方の面には、レリーフ型の回折格子が形成されており、前記透明基板の他方の面には、前記光学多層膜が形成されていることを特徴とする。前記光学多層膜の屈折率の算術平均値は、H層の屈折率n H とH層のそれぞれの層の厚みd H の積の和と、L層の屈折率n L とL層のそれぞれの層の厚みd L の積の和とを合計した値を、すべてのH層とすべてのL層の合計厚みで割った値である。
また、前記基板は平行平板であって、前記基板面に対し垂直方向より光が入射するものであることを特徴とする。
また、前記回折素子には、複数の波長の光が入射するものであることを特徴とする。
また、前記充填剤は、フッ化物材料、有機物材料、複屈折性材料のいずれかにより形成されている。
2、12:充填材
3:透明基板
4:カバー
21、22:光源
23:回折素子
24:コリメートレンズ
25:ビームスプリッタ
26:対物レンズ
27:光記録媒体
28:光検出光学系
31:石英ガラス基板
32:回折格子
33:誘電体多層膜凸部
34:接着剤
35:カバーガラス
Claims (8)
- 透明基板上に形成された周期的な凹凸部を備える回折素子であって、凸部は透明基板面に平行に配された光学多層膜を備え、また少なくとも凹部は透明基板とは屈折率の異なる充填材によって充填されている回折素子において、前記凸部は屈折率の高い層(H層)と低い層(L層)の周期構造を有する前記光学多層膜であり、前記光学多層膜の屈折率の算術平均値と前記凹部に充填された充填剤の屈折率との差が0.12以下であって、前記光学多層膜は、前記透明基板の両面に形成されていることを特徴とする回折素子。前記光学多層膜の屈折率の算術平均値は、H層の屈折率nHとH層のそれぞれの層の厚みdHの積の和と、L層の屈折率nLとL層のそれぞれの層の厚みdLの積の和とを合計した値を、すべてのH層とすべてのL層の合計厚みで割った値である。
- 前記透明基板の一方の面に形成される光学多層膜からなる凸部の格子ピッチと、前記透明基板の他方の面に形成される光学多層膜からなる凸部の格子ピッチとは、異なることを特徴とする請求項1に記載の回折素子。
- 透明基板上に形成された周期的な凹凸部を備える回折素子であって、凸部は透明基板面に平行に配された光学多層膜を備え、また少なくとも凹部は透明基板とは屈折率の異なる充填材によって充填されている回折素子において、前記凸部は屈折率の高い層(H層)と低い層(L層)の周期構造を有する前記光学多層膜であり、前記光学多層膜の屈折率の算術平均値と前記凹部に充填された充填剤の屈折率との差が0.12以下であって、前記透明基板の一方の面には、レリーフ型の回折格子が形成されており、前記透明基板の他方の面には、前記光学多層膜が形成されていることを特徴とする回折素子。前記光学多層膜の屈折率の算術平均値は、H層の屈折率n H とH層のそれぞれの層の厚みd H の積の和と、L層の屈折率n L とL層のそれぞれの層の厚みd L の積の和とを合計した値を、すべてのH層とすべてのL層の合計厚みで割った値である。
- 前記基板は平行平板であって、
前記基板面に対し垂直方向より光が入射するものであることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の回折素子。 - 前記回折素子には、複数の波長の光が入射するものであることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の回折素子。
- 前記充填剤は、フッ化物材料、有機物材料、複屈折性材料のいずれかにより形成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の回折素子。
- 前記光学多層膜が、交互に重ねられたSiO2膜およびTiO2膜を備えている請求項1から6のいずれかに記載の回折素子。
- 光源と、前記光源からの出射光を光記録媒体へ集光するための対物レンズと、集光され前記光記録媒体によって反射された出射光を検出するための光検出器とを備える光ヘッド装置において、前記光源と前記対物レンズとの間の光路中に請求項1から7のいずれかに記載の回折素子が配置されている光ヘッド装置。
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JP2011191964A JP5234151B2 (ja) | 2011-09-02 | 2011-09-02 | 回折素子および光ヘッド装置 |
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JP2011191964A JP5234151B2 (ja) | 2011-09-02 | 2011-09-02 | 回折素子および光ヘッド装置 |
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