JP5231907B2 - 静電振動子 - Google Patents
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Description
T.Mattila et al.,"14MHz Micromechanical Oscillator",TRANSDUCERS'01 EUROSENSORS XV,The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators,Munich,Germany,2001
102、103、502、503、804 振動部
104、105、504、505、803 固定部
106、506 周波数調整ビーム
107、507、702、802 ボックス層
108、508 空隙
109、110、509、510 振動変位
111、112、113、114、511、512、805 励振電極
115 空隙部
201、202、601、602 熱弾性変形応力
203、603 イオンビーム
301、401 特性曲線
703 シリコン層
806 屈曲振動変位
Claims (4)
- 両端固定型の振動境界条件をもったMEMS型静電駆動屈曲振動子の振動部の両端部と他の構造体が一体形成された静電振動子において、
少なくとも前記他の構造体にはシリコン酸化膜が形成されると共に、前記他の構造体の熱弾性応力に起因する圧縮応力が前記振動部に印加される構造を有し、
前記他の構造体は、前記振動部と平行な位置にシリコン酸化膜が形成されたビームであって、前記ビームの両端部と前記振動部の両端部が一体形成され、前記振動部の一方の端部のみがシリコン基板上に連結されていることを特徴とする静電振動子。 - 前記シリコン酸化膜は熱焼成膜にて形成されている請求項1に記載の静電振動子。
- 前記シリコン酸化膜はCVD膜で形成されている請求項1に記載の静電振動子。
- 前記ビームに形成されている前記シリコン酸化膜をイオンミーリング等によって除去する事によって振動子の固有周波数を調整する請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の静電振動子。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008229978A JP5231907B2 (ja) | 2008-09-08 | 2008-09-08 | 静電振動子 |
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JP (1) | JP5231907B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103346785B (zh) * | 2013-06-19 | 2015-08-05 | 东南大学 | 基于微机械直接热电式功率传感器的锁相环及其制备方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3230359B2 (ja) * | 1993-12-16 | 2001-11-19 | 株式会社村田製作所 | 共振型振動素子 |
JP2007005909A (ja) * | 2005-06-21 | 2007-01-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気機械信号選択素子、その製造方法およびそれを用いた電気機器 |
JP4822212B2 (ja) * | 2006-09-04 | 2011-11-24 | セイコーインスツル株式会社 | 静電振動子 |
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JP2010068035A (ja) | 2010-03-25 |
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