JP5221314B2 - 超音波測定方法、及び、電子部品製造方法 - Google Patents
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Description
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、超音波照射方向で複数の界面が交差する測定対象物に対しても、高精度な超音波測定方法、及び、電子部品製造方法を提供することにある。
前記超音波探触子で受信した前記波形信号の振幅に基づいて前記測定対象物の内部の基準界面での反射波の波形信号を演算部で検出し、
前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を始点として特定された前記測定対象物の測定対象界面を前記演算部で測定するに際し、
前記測定対象物は電子部品であり、前記測定対象界面は、前記電子部品の内部の、接合材で電極同士が接合される電極接合部又は前記電極接合部に隣接した部分であり、前記測定対象界面を前記演算部で測定したのち、前記測定対象界面での前記電極接合部の接合状態を前記演算部で評価する超音波測定方法を提供する。
前記超音波探触子で受信した前記波形信号の振幅に基づいて前記測定対象物の内部の基準界面での反射波の波形信号を演算部で検出し、
前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を始点として特定された前記測定対象物の測定対象界面を前記演算部で測定するに際し、
前記波形信号を検出するとき、前記基準界面が、前記測定対象物内の複数の界面の内で最大振幅強度を有する界面である超音波測定方法を提供する。
前記超音波探触子で受信した前記波形信号の振幅に基づいて前記測定対象物の内部の基準界面での反射波の波形信号を演算部で検出し、
前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を始点として特定された前記測定対象物の測定対象界面を前記演算部で測定するに際し、
前記波形信号を検出するとき、前記基準界面が、前記測定対象物内に埋め込まれた埋設物の表面である超音波測定方法を提供する。
前記超音波探触子で受信した前記波形信号の振幅に基づいて前記測定対象物の内部の基準界面での反射波の波形信号を演算部で検出し、
前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を始点として特定された前記測定対象物の測定対象界面を前記演算部で測定するに際し、
前記波形信号を検出するとき、前記測定対象物が、半導体パッケージであって、前記基準界面が、前記半導体パッケージの内部の、前記接合材で前記電極同士が接合される電極接合部又は前記電極接合部に隣接した部分であって、かつ材質の異なる2つの層の界面に位置する超音波測定方法を提供する。
前記超音波探触子で受信した前記波形信号の振幅に基づいて前記測定対象物の内部の基準界面での反射波の波形信号を演算部で検出し、
前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を始点として特定された前記測定対象物の測定対象界面を前記演算部で測定するに際し、
前記超音波の波形信号を受信するとき、前記超音波探触子から送信された前記超音波が前記測定対象物の複数の界面で反射した超音波の波形信号を受信し、
さらに、前記基準界面での波形信号を検出した後でかつ前記測定対象界面を前記演算部で測定する前に、前記超音波探触子と前記測定対象物とを近づけながら受信した波形信号に基づいて前記超音波探触子の位置を調整する超音波測定方法を提供する。
前記超音波探触子で受信した前記波形信号の振幅に基づいて前記測定対象物の内部の基準界面での反射波の波形信号を演算部で検出し、
前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を始点として特定された前記測定対象物の測定対象界面を前記演算部で測定するに際し、
前記測定対象界面を前記演算部で測定するとき、前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を基準に、前記基準界面での前記反射波の前記波形信号より後に検出された波形信号を予め入力された良品の波形信号と比較し、その比較結果により前記測定対象界面の評価を行う超音波測定方法を提供する。
前記超音波探触子で受信した前記波形信号の振幅に基づいて前記電子部品の内部の基準界面での反射波の波形信号を演算部で検出し、
前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を始点として特定された前記電子部品の測定対象界面を前記演算部で測定して評価を行い、
良品評価された前記電子部品を製品とする、電子部品製造方法を提供する。
図1Aは、本発明の実施の形態1の超音波測定方法を実施するための超音波測定装置の概略構成図である。
R=(Z2−Z1)/(Z2+Z1)
で表される。この関係から、音響インピーダンス差の大きな物質層間の界面での反射波をトリガとする必要がある。
図7は、本発明の実施の形態2の超音波測定動作を示す説明図である。
図10は、本発明の実施の形態3の超音波測定動作を示す図である。
本発明の実施の形態4では、前述の実施の形態1〜実施の形態3のいずれかを用いて、測定対象物(半導体パッケージ)の内部の傷を探す超音波探傷において、トリガを超音波探触子21の焦点位置合わせに用いる方法について説明する。
25 水
26,37 半導体パッケージ
27,38 基板
28,39 基板側パッド
29,40 インターポーザ
30,41 インターポーザ側パッド
31,42 ハンダ
32,43 半導体チップ
33,44 樹脂モールド
41 埋設物
74 演算部
Claims (7)
- 測定対象物内の複数の界面でそれぞれ反射した超音波の波形信号を超音波探触子で受信し、
前記超音波探触子で受信した前記波形信号の振幅に基づいて前記測定対象物の内部の基準界面での反射波の波形信号を演算部で検出し、
前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を始点として特定された前記測定対象物の測定対象界面を前記演算部で測定するに際し、
前記測定対象物は電子部品であり、前記測定対象界面は、前記電子部品の内部の、接合材で電極同士が接合される電極接合部又は前記電極接合部に隣接した部分であり、前記測定対象界面を前記演算部で測定したのち、前記測定対象界面での前記電極接合部の接合状態を前記演算部で評価する超音波測定方法。 - 測定対象物内の複数の界面でそれぞれ反射した超音波の波形信号を超音波探触子で受信し、
前記超音波探触子で受信した前記波形信号の振幅に基づいて前記測定対象物の内部の基準界面での反射波の波形信号を演算部で検出し、
前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を始点として特定された前記測定対象物の測定対象界面を前記演算部で測定するに際し、
前記波形信号を検出するとき、前記基準界面が、前記測定対象物内の複数の界面の内で最大振幅強度を有する界面である超音波測定方法。 - 測定対象物内の複数の界面でそれぞれ反射した超音波の波形信号を超音波探触子で受信し、
前記超音波探触子で受信した前記波形信号の振幅に基づいて前記測定対象物の内部の基準界面での反射波の波形信号を演算部で検出し、
前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を始点として特定された前記測定対象物の測定対象界面を前記演算部で測定するに際し、
前記波形信号を検出するとき、前記基準界面が、前記測定対象物内に埋め込まれた埋設物の表面である超音波測定方法。 - 測定対象物内の複数の界面でそれぞれ反射した超音波の波形信号を超音波探触子で受信し、
前記超音波探触子で受信した前記波形信号の振幅に基づいて前記測定対象物の内部の基準界面での反射波の波形信号を演算部で検出し、
前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を始点として特定された前記測定対象物の測定対象界面を前記演算部で測定するに際し、
前記波形信号を検出するとき、前記測定対象物が、半導体パッケージであって、前記基準界面が、前記半導体パッケージの内部の、前記接合材で前記電極同士が接合される電極接合部又は前記電極接合部に隣接した部分であって、かつ材質の異なる2つの層の界面に位置する、超音波測定方法。 - 測定対象物内の複数の界面でそれぞれ反射した超音波の波形信号を超音波探触子で受信し、
前記超音波探触子で受信した前記波形信号の振幅に基づいて前記測定対象物の内部の基準界面での反射波の波形信号を演算部で検出し、
前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を始点として特定された前記測定対象物の測定対象界面を前記演算部で測定するに際し、
前記超音波の波形信号を受信するとき、前記超音波探触子から送信された前記超音波が前記測定対象物の複数の界面で反射した超音波の波形信号を受信し、
さらに、前記基準界面での波形信号を検出した後でかつ前記測定対象界面を前記演算部で測定する前に、前記超音波探触子と前記測定対象物とを近づけながら受信した波形信号に基づいて前記超音波探触子の位置を調整する超音波測定方法。 - 測定対象物内の複数の界面でそれぞれ反射した超音波の波形信号を超音波探触子で受信し、
前記超音波探触子で受信した前記波形信号の振幅に基づいて前記測定対象物の内部の基準界面での反射波の波形信号を演算部で検出し、
前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を始点として特定された前記測定対象物の測定対象界面を前記演算部で測定するに際し、
前記測定対象界面を前記演算部で測定するとき、前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を基準に、前記基準界面での前記反射波の前記波形信号より後に検出された波形信号を予め入力された良品の波形信号と比較し、その比較結果により前記測定対象界面の評価を行う超音波測定方法。 - 電子部品内の複数の界面でそれぞれ反射した超音波の波形信号を超音波探触子で受信し、
前記超音波探触子で受信した前記波形信号の振幅に基づいて前記電子部品の内部の基準界面での反射波の波形信号を演算部で検出し、
前記基準界面での前記反射波の前記波形信号を始点として特定された前記電子部品の測定対象界面を前記演算部で測定して評価を行い、
良品評価された前記電子部品を製品とする、電子部品製造方法。
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