JP5220447B2 - 基板処理システムの洗浄方法、記憶媒体及び基板処理システム - Google Patents
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Description
(ロット内クリーニング機能)
本機能は1ロット分のウエハWに関し、各チャンバ21において、RIE処理(以下、「製品処理」という。)(所定の処理)と洗浄処理とを連続して実行する機能である。洗浄処理とは、チャンバ21内の構成部品の表面等に付着したパーティクル等をクリーニングガスから発生させたプラズマによってエッチングする処理である。
(プロセスモジュール(PM)使用回数クリーニング機能)
本機能は複数のロット分のウエハWに関し、各チャンバ21において、製品処理を連続して実行する機能である。
(枚数指定クリーニングカウンタ継承機能)
本機能は、上述したPM使用回数クリーニング機能と同様に、複数のロット分のウエハWに関し、各チャンバ21において製品処理を連続して実行する機能であるが、各ロットのウエハWに施される製品処理の種類や連続する2つのロットにおける前のロットと後のロットの時間的間隔に応じて洗浄処理が実行されるタイミングが変化する。
(条件1)連続する2つのロットにおいて、前のロットと後のロットの時間的間隔が所定時間以内である場合
(条件2)連続する2つのロットにおいて、前のロットで実行された最後の製品処理の種類と、後のロットで実行される最初の製品処理の種類とが同じである場合
本機能では現状が上記条件1や条件2に該当するか否かを判別するために、以下に説明するロット安定ダミー処理機能を利用する。
10 基板処理システム
21 チャンバ
25 システムコントローラ
27a〜27c,28a〜28c,29a,29b,30a〜30c,31a〜31c,32a〜32c,34a〜34c ロット
33a〜33c,35a〜35c システムレシピ
Claims (5)
- 基板を収容する収容室を備え、所定の複数枚の前記基板を1ロットとして複数の前記ロットに含まれる前記基板に対して所定の処理を前記収容室において実行し、所定回数の前記基板に対する処理の後に前記収容室内の洗浄処理を実行する基板処理システムの洗浄方法であって、
前記収容室内の洗浄処理を実行するタイミングを設定するための前記基板に対する処理の実行回数を予め設定する回数設定ステップと、
前記複数のロットのロット毎に、各ロットに含まれる基板に対して実行される処理の種類及び該処理に適した前記収容室内の洗浄処理の種類を予め設定する処理設定ステップと、
前記複数のロットのうち連続する2つのロットにおいて、前のロットの基板に対して実行される処理の種類と、後のロットの基板に対して実行される処理の種類とが同じか否かを判別する種類判別ステップと、
前記前のロットの基板に対して実行される処理の種類と前記後のロットの基板に対して実行される処理の種類とが同じ場合に、前記前のロットの基板に対する処理の実行回数と前記後のロットの基板に対する処理の実行回数を累計する回数累計ステップと、
前記累計された実行回数が前記予め設定された実行回数に到達したときに、その直前に処理された基板を含むロットに対して前記処理設定ステップで設定された洗浄処理を前記収容室内に対して実行する洗浄処理実行ステップとを有することを特徴とする基板処理システムの洗浄方法。 - 前記回数累計ステップでは、前記前のロットの基板に対する処理の終了時間と前記後のロットの基板に対する処理の開始時間との間の時間的間隔が所定時間以内である場合にのみ、前記前のロットの基板に対する処理の実行回数と前記後のロットの基板に対する処理の実行回数とを累計することを特徴とする請求項1記載の基板処理システムの洗浄方法。
- 前記種類判別ステップでは、前記前のロットの基板に対する処理の名称と前記後のロットの基板に対する処理の名称とに基づいて、前記前のロットの基板に対する処理の種類と前記後のロットの基板に対する処理の種類とが同じか否かを判別することを特徴とする請求項1又は2記載の基板処理システムの洗浄方法。
- 基板を収容する収容室を備え、所定の複数枚の前記基板を1ロットとして複数の前記ロットに含まれる前記基板に対して所定の処理を前記収容室において実行し、所定回数の前記基板に対する処理の後に前記収容室内の洗浄処理を実行する基板処理システムの洗浄方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータで読み取り可能な記憶媒体であって、
前記基板処理システムの洗浄方法は、
前記収容室内の洗浄処理を実行するタイミングを設定するための前記基板に対する処理の実行回数を予め設定する回数設定ステップと、
前記複数のロットのロット毎に、各ロットに含まれる基板に対して実行される処理の種類及び該処理に適した前記収容室内の洗浄処理の種類を予め設定する処理設定ステップと、
前記複数のロットのうち連続する2つのロットにおいて、前のロットの基板に対して実行される処理の種類と、後のロットの基板に対して実行される処理の種類とが同じか否かを判別する種類判別ステップと、
前記前のロットの基板に対して実行される処理の種類と前記後のロットの基板に対して実行される処理の種類とが同じ場合に、前記前のロットの基板に対する処理の実行回数と前記後のロットの基板に対する処理の実行回数を累計する回数累計ステップと、
前記累計された実行回数が前記予め設定された実行回数に到達したときに、その直前に処理された基板を含むロットに対して前記処理設定ステップで設定された洗浄処理を前記収容室内に対して実行する洗浄処理実行ステップとを有することを特徴とする記憶媒体。 - 基板を収容する収容室と、制御部とを備え、所定の複数枚の前記基板を1ロットとして複数の前記ロットに含まれる前記基板に対して所定の処理を前記収容室において実行し、所定回数の前記基板に対する処理の後に前記収容室内の洗浄処理を実行する基板処理システムであって、
前記制御部は、
前記収容室内の洗浄処理を実行するタイミングを設定するための前記基板に対する処理の実行回数を予め設定し、
前記複数のロットのロット毎に、各ロットに含まれる基板に対して実行される処理の種類及び該処理に適した前記収容室内の洗浄処理の種類を予め設定し、
前記複数のロットのうち連続する2つのロットにおいて、前のロットの基板に対して実行される処理の種類と、後のロットの基板に対して実行される処理の種類とが同じか否かを判別し、
前記前のロットの基板に対して実行される処理の種類と前記後のロットの基板に対して実行される処理の種類とが同じ場合に、前記前のロットの基板に対する処理の実行回数と前記後のロットの基板に対する処理の実行回数を累計し、
前記累計された実行回数が前記予め設定された実行回数に到達したときに、その直前に処理された基板を含むロットに対して前記設定された洗浄処理を前記収容室内に対して実行することを特徴とする基板処理システム。
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