JP5216210B2 - 水晶振動片および水晶振動デバイス - Google Patents
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Description
そこで、本発明の目的は、熱処理における温度変化に対して周波数変動の少ない圧電振動片および圧電デバイスを提供することである。
上記構成によれば、第一面に圧電片の熱膨張係数よりも大きな熱膨張係数を有する第1電極膜と、第二面に圧電片の熱膨張係数よりも小さな熱膨張係数を有する第2電極膜とを有している。これらの第1電極膜および第2電極膜により圧電片は励振する。第1電極膜は熱処理した状態では、第1電極膜は、圧電片より熱膨張係数が大きいため発振周波数を低い方向に変動させる要因を有する。一方、第2電極膜は、圧電片より熱膨張係数が小さいため発振周波数を高い方向に変動させる要因を有する。このため、熱処理後の圧電振動片であっても、第1電極膜および第2電極膜が互いに周波数変動を打ち消し合う方向に働く。したがって、熱処理前後の周波数変動が極めて小さくなる。
水晶の熱膨張係数に対して、第1電極膜の熱膨張係数と第2電極膜の熱膨張係数とは完全に対称になっているのではない。このため、第1電極膜の影響と第2電極膜の影響とがちょうど周波数変動を打ち消し合うように電極膜の厚みを調整する。電極膜の厚みは、スパッタリングまたはCVDなどで薄膜を作る工程で、電源出力を変えたり成膜時間を調整したりして適切に変えることができる。
上記構成によれば、第1電極膜と第2電極膜により圧電片が励振する。そして圧電片を挟んで対称形状で且つ同一面積であるため、周波数変動の影響を互いに打ち消すことができる。
上記構成によれば、第1電極膜が直接蒸着できない場合などに、二層構造にして下地に第3電極膜を形成しその上に第1電極膜を形成することができる。
上記構成によれば、導電性の高い金属膜を使用することでCI値が小さく、電気的特性の優れた圧電振動片を得ることができる。
上記構成によれば、生産性が高く品質のよい圧電振動片を使い、圧電デバイスを製造することができる。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
図1は、本発明の圧電振動デバイス50の実施形態を示している。図1(a)は圧電振動デバイス50の透視した概略平面図、図1(b)は図1(a)のB−B線概略断面図である。図1において、圧電振動デバイス50は、矩形形状の圧電振動片20を構成した例を示しており、圧電振動デバイス50は、パッケージ51内に圧電振動片20を収容している。パッケージ51は、たとえば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質の混練物からなるセラミックグリーンシートを成形して形成される複数の基板を積層し、焼結して形成されている。
図2(a)は、矩形形状の圧電振動片20の全体構成を示した斜視図であり、(b)は、矩形形状の圧電振動片20のB−B断面図である。矩形形状の圧電振動片20の母材は、ほぼ正方形でATカットに加工された水晶単結晶ウエハ10で形成されている。また正方形の圧電振動片20は、たとえば100MHzで発振する振動片で、極めて小型の振動片となっており、全体の長さが2.0mm程度、幅2.0mm程度である。矩形形状の圧電振動片20の表面には、第1電極パターン23が下地の第3電極パターン27の上に形成されている。圧電振動片20の裏面には第2電極パターン25が形成されている。第1電極パターン23および第2電極パターン25はともに、圧電振動片20の中央領域に形成され、中央領域から端部へ延びる第1引き出し電極23−aおよび第2引き出し電極25−aを有している。
第1電極パターン23の金層の代わりに、銅(Cu)層を設けることも可能である。銅の熱膨張係数は16.7*10−6である。銅層は、直接水晶などの圧電材料に蒸着させることができるため、下地としての第3電極パターン27が不要となる。銅層とアルミニウム層とは、約7:10の厚みの比率にすると、周波数変動を打ち消し合う。
なお、金層または銀層の下地としての第3電極パターン27のクロム層の代わりに、タングステン(W)層、ニッケル(Ni)層、ニッケルタングステン層またはチタン(Ti)層を使用してもよい。
図3は、他の圧電振動片の形状を示した平面図であり、(a)は円板形状の圧電振動片31であり、(b)は、六角形の圧電振動片35である。ともに、第1電極パターン23と第2電極パターン25とは、ほぼ同じ電極パターンの形状で且つ同じ面積となっている。電極パターンの形状は必ずしも圧電振動片の形状と同じでなくて良い。上述した条件を組み合わせて、第1電極パターン23と第2電極パターン25とを形成すれば、熱処理における温度変化に対して周波数変動の少ない円板形状の圧電振動片31または六角形の圧電振動片35を製造することが可能となる。このように、圧電振動片の形状は、矩形、円形または多角形でもいずれも良い。
図4は、縦軸に周波数変動をとり横軸に時間をとり、圧電振動片の熱処理による周波数変動の経時変化を示したグラフである。
圧電振動片20、31、35は、セラミックなどのパッケージングの際に熱硬化の導電性接着剤57で接着される際に、250度C前後に加熱される。また、圧電振動デバイス子50として、リフロー炉などに入る際にも250度C前後に熱処理される。このような場合でも、圧電振動デバイス50の周波数変動の規格値(周波数安定度)81内、たとえば周波数*10−4に入ることが求められている。
図5(a)は、水晶発振器40aを示す図である。この水晶発振器40aは、図1で説明した圧電振動デバイス50と多くの部分で構成が共通している。したがって、圧電振動デバイス50と圧電振動片20の構成、作用等については、同一符号を付する等して、その説明を省略する。
図5(b)は、シリンダータイプ振動子40bを示す概略図である。このシリンダータイプ振動子40bは、上述の圧電振動片20を使用している。
図5(b)に示すようにシリンダータイプ振動子40bは、その内部に圧電振動片20を収容するための金属製のキャップ46を有している。このキャップ46は、ステム47に対して圧入され、その内部が真空状態に保持されるようになっている。また、キャップ75に収容された圧電振動片20を保持するためのリード48が2本配置されている。圧電振動片20はリード48に導電性接着剤57で接着される。この圧電振動片20は、電極部から一定の電流が与えられると振動するようになっている。
23 … 第1電極パターン
23−a … 第1引き出し電極
25 … 第2電極パターン
25−a … 第2引き出し電極
27 … 第3電極パターン
40a … 水晶発振器
40b … シリンダータイプ振動子
50 … 圧電振動デバイス
51 … パッケージ
52 … 電極部
55 … 実装端子
Claims (6)
- 第1面と、その第1面の反対面の第2面とを有し、結晶方向に平行な方向に所定の熱膨張係数を有する水晶片と、
前記所定の熱膨張係数よりも大きな熱膨張係数を有し、前記第1面に形成される第1電極膜と、
前記所定の熱膨張係数よりも小さな熱膨張係数を有し、前記第2面に形成される第2電極膜と、を有し、
前記第1電極膜と前記第2電極膜とは、前記水晶片を挟んで対称形状で且つ同一面積であり、
前記第1電極膜が第1厚みで形成され、前記第2電極膜が前記第1厚みに対して熱処理された場合に周波数変動を抑える比率になる第2厚みで形成され、
前記熱処理された場合に前記第1電極膜と前記第2電極膜とが互いに前記周波数変動を打ち消し合う方向に動くことを特徴とする、熱処理における温度変化に対して周波数変動の少ない水晶振動片。 - 前記周波数変動が所定の規格値内になり、
前記所定の規格値が、振動周波数×10 −4 である請求項1に記載の水晶振動片。 - 前記水晶片はATカットの水晶片であり、
前記第1電極膜は、前記ATカットの水晶片との間に第3電極膜を介して形成され
前記第1電極膜は金膜、前記第2電極膜はアルミニウム膜、前記第3電極膜はクロム膜であり、
前記第1厚みと前記第2厚みとが、1:7の比率に形成されている請求項1又は請求項2に記載の水晶振動片。 - 前記水晶片はATカットの水晶片であり、
前記第1電極膜は、前記ATカットの水晶片との間に第3電極膜を介して形成され
前記第1電極膜は銀膜、前記第2電極膜はアルミニウム膜、前記第3電極膜はクロム膜であり、
前記第1厚みと前記第2厚みとが、5:7の比率に形成されている請求項1又は請求項2に記載の水晶振動片。 - 前記水晶片はATカットの水晶片であり、
前記第1電極膜は銅膜、前記第2電極膜はアルミニウム膜であり、
前記第1厚みと前記第2厚みとが、7:10の比率に形成されている請求項1又は請求項2に記載の水晶振動片。 - 請求項1ないし請求項5に記載の水晶振動片を配置するパッケージと、
前記パッケージ内を真空状態にして封止する蓋部と
を有することを特徴とする水晶振動デバイス。
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