JP5214174B2 - 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法 - Google Patents
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また、本発明は、基板と、前記基板上に形成された有機薄膜とを有する有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、前記基板を載せるステージの、前記基板に重ならない部分の上に、前記有機薄膜の材料と有機溶媒とを含むインクまたは前記有機溶媒を配置する第1工程と、前記インクまたは前記有機溶媒が配置された前記ステージに載せられた前記基板上の、前記有機薄膜を形成する領域に、前記インクを塗布する第2工程とを有することを特徴とする製造方法(第1の製造方法)を提供する。「ステージ」は、基板を載せる台である。第1の製造方法によれば、インクの乾燥工程において、基板上に塗布されたインクから有機溶媒が揮発するとともに、基板の周辺(ステージの、基板に重ならない部分の上)に配置された液体(インクまたは有機溶媒)から有機溶媒が揮発するから、基板の端部付近の雰囲気における有機溶媒の濃度が、基板の中央部付近の雰囲気における有機溶媒の濃度に近くなり、有機薄膜の膜厚ムラが低減される。また、第1の製造方法によれば、ダミー領域となるスペースを基板上に確保せずに済む。よって、第1の製造方法によれば、有機EL装置の狭額縁化を阻害することなく、乾燥ムラに起因する輝度ムラや発光色ムラを低減することができる。
図1〜図7は、本発明の第1の実施の形態に係る有機EL装置の製造方法を説明するための図である。図1は最初の工程を示す断面図、図2は図1の次の工程を示す断面図、図3は図2の工程を示す平面図、図4は図2および図3の次の工程を示す断面図、図5は図4の次の工程を示す断面図、図6は図5の次の工程を示す断面図、図7は図6の工程の結果を示す断面図である。
図8は、本発明の第2の実施の形態に係る有機EL装置の製造方法を説明するための図である。第2の実施の形態における図8の位置付けは、第1の実施の形態における図6の位置付けと同様である。図8から明らかなように、第2の実施の形態が第1の実施の形態と異なる点は、描画ステージ70に代えて描画ステージ90を用いる点である。描画ステージ90の上面は、全域にわたって平坦である。
図9は、本発明の第3の実施の形態に係る有機EL装置の製造方法を説明するための図である。第3の実施の形態における図9の位置付けは、第2の実施の形態における図8の位置付けと同様である。図9から明らかなように、第3の実施の形態が第2の実施の形態と異なる点は、容器92が取り付けられた描画ステージ90を用いる点である。
図10は、本発明の第4の実施の形態に係る有機EL装置の製造方法を説明するための図である。第4の実施の形態における図10の位置付けは、第3の実施の形態における図9の位置付けと同様である。図10から明らかなように、第4の実施の形態が第3の実施の形態と異なる点は、容器92が取り付けられた描画ステージ90に代えて描画ステージ95を用いる点である。描画ステージ95の、基板10に重ならない部分には、上方に開口した凹部96が形成されている。凹部96は、図9における凹部93に相当し、その底は、基板10が描画ステージ95に載置された状態では、基板10の下面よりも上方に位置する。
図11は、本発明の第5の実施の形態に係る有機EL装置の製造方法を説明するための図である。第5の実施の形態における図11の位置付けは、第3の実施の形態における図9の位置付けと同様である。図11から明らかなように、第5の実施の形態が第3の実施の形態と異なる点は、容器92が取り付けられた描画ステージ90に代えて、容器97が取り付けられた描画ステージ90を用いる点である。
本発明は、その範囲に、上述した実施の形態のみならず、以下の変形例をも含む。
例えば、上述した各実施の形態を変形し、ダミーとして、有機溶媒ではなく、インクを用いるようにしてもよい。この場合、乾燥工程が終了すると、描画ステージ上の、基板10に重ならない部分上に有機薄膜が形成される。例えば、このような変形を第1の実施の形態に対して行った場合、図12に示すように、描画ステージ70の凹部72に有機薄膜65が形成される。
次に、上記の各実施の形態または上記の各変形例に係る有機EL装置(以降、「本有機EL装置」と呼ぶ)を適用した電子機器について説明する。なお、本有機EL装置を適用した電子機器は、有機EL装置を有する装置でもあるから、本発明に係る有機EL装置に含まれる。
図13は、本有機EL装置を画像表示装置に利用したモバイル型のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。パーソナルコンピュータ2000は、表示装置としての本有機EL装置と本体部2010とを備える。本体部2010には、電源スイッチ2001およびキーボード2002が設けられている。
図14に、本有機EL装置を適用した携帯電話機を示す。携帯電話機3000は、複数の操作ボタン3001およびスクロールボタン3002、ならびに表示装置としての本有機EL装置を備える。スクロールボタン3002を操作することによって、本有機EL装置に表示される画面がスクロールされる。
図15に、本有機EL装置を適用した情報携帯端末(PDA:Personal Digital Assistant)を示す。情報携帯端末4000は、複数の操作ボタン4001および電源スイッチ4002、ならびに表示装置としての本有機EL装置を備える。電源スイッチ4002を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が本有機EL装置に表示される。
Claims (1)
- 基板と、前記基板上に形成された有機薄膜とを有する有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、
上方が開口する凹部を有し、着脱可能な容器が取り付けられたステージにおける前記容器が取り付けられていない部分に前記基板を載せる工程と、
前記容器の前記凹部に前記有機薄膜の材料と有機溶媒とを含むインクまたは前記有機溶媒を配置する工程と、
前記インクまたは前記有機溶媒が配置された前記ステージに載せられた前記基板上の、前記有機薄膜を形成する領域に、前記インクを塗布する工程とを有し、
前記凹部の底は、前記有機薄膜を挟む画素電極及び対向電極のうちの前記画素電極が形成され、前記基板上に設けられる層の上面よりも上方に位置することを特徴とする製造方法。
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