JP5213326B2

JP5213326B2 - サーメット

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Publication number: JP5213326B2
Application number: JP2006320616A
Authority: JP
Inventors: 隆司徳永
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2006-11-28
Filing date: 2006-11-28
Publication date: 2013-06-19
Anticipated expiration: 2026-11-28
Also published as: JP2008133509A

Description

本発明は切削工具や耐摩耗部材等に適するサーメットに関する。

現在、切削工具や耐摩部材、摺動部材といった耐摩耗性や摺動性、耐欠損性を必要とする部材としてＴｉを主成分とするサーメットが広く使われている。

例えば、特許文献１では、ＴｉＣＮ等（周期表第５族遷移金属の炭窒化物）からなるＩ型粒子と、Ｔｉとそれ以外の周期表第４、５、６族金属を含んでＷの含有量が芯部で多くて周辺部で少ないII型粒子の２種類の硬質相を含むサーメットが開示されている。

また、特許文献２では、サーメットの極表面に、黒色の第１硬質相の面積比率が８０面積％以上の極表面領域が５μｍ以下の深さで存在するサーメットが開示され、サーメットの耐摩耗性が維持できることが記載されている。
特開平２−１９０４３８号公報特開２００５−２１３５９９号公報

しかしながら、上記特許文献１、２のようなサーメットの構成によっても、まだ耐摩耗性および耐欠損性が不十分であり、特に切削工具として用いた場合の切刃となるサーメット表面の耐摩耗性および耐欠損性を改善することが望まれていた。

そこで、本発明のサーメットは上記問題を解決するためのものであり、その目的は、サーメットの表面において高い耐摩耗性と耐欠損性を有するサーメットを提供することである。

本発明のサーメットは、Ｔｉを主成分とする周期表４、５および６族金属の窒化物または炭窒化物からなる硬質相をＣｏまたはＮｉを主成分とする結合相で結合したサーメットであって、断面組織を観察した場合、内部における前記硬質相の平均粒径が０．０５〜１μｍであるとともに、前記硬質相が、ＴｉＣＮを主成分とする第１硬質相と、周期表第４、５および６族金属の少なくとも1種とＴｉとの複合炭窒化物固溶体の第２硬質相とからなり、かつ表面に、前記第１硬質相の比率が７０面積％以上で該第１硬質相の平均粒径が内部における前記第１硬質相の平均粒径に比べて小さい表面領域が存在することを特徴とする。

ここで、上記構成において、前記第２硬質相はＷおよびＮｂの少なくとも一方を含むとともに、該第２硬質相の中心部ではＷおよびＮｂの少なくとも一方の含有量が多く、該第２硬質相の外周部ではＷおよびＮｂの少なくとも一方の含有量が少ないことが望ましい。

また、上記構成において、前記第２硬質相の外周部における（ＷとＮｂとの合計量）／（金属元素全体の合計量）が２〜２０原子％であることが望ましい。

さらに、断面組織を観察した場合に、内部における前記第１硬質相の平均粒径をａ_ｉとし、該第２硬質相の平均粒径をｂ_ｉとしたとき、ａ_ｉとｂ_ｉとの比率（ｂ_ｉ／ａ_ｉ）が２〜８であることが望ましい。

また、断面組織を観察した場合に、内部における前記硬質相全体に対する前記第１硬質相が占める平均面積をＡ_ｉとし、前記第２硬質相が占める平均面積をＢ_ｉとしたとき、Ａ_ｉとＢ_ｉとの比率（Ｂ_ｉ／Ａ_ｉ）が１．５〜５であることが望ましい。

さらに、前記表面領域が表面から０．２〜５μｍの厚さで存在することが望ましい。

また、断面組織を観察した場合に、前記表面領域と内部との中間に、前記硬質相全体に対する前記第１硬質相が占める平均面積をＡ_ｍとし、前記第２硬質相が占める平均面積をＢ_ｍとしたとき、Ａ_ｍとＢ_ｍとの比率（Ｂ_ｍ／Ａ_ｍ）が前記比率（Ｂ_ｉ／Ａ_ｉ）よりも大きい中間領域が存在することが望ましい。

さらに、前記中間領域が３０〜３００μｍの厚さで存在することが望ましい。

本発明のサーメットは、断面組織を観察した場合、内部における前記硬質相の平均粒径が０．０５〜１μｍであるとともに、前記硬質相が、ＴｉＣＮを主成分とする第１硬質相と、周期表第４、５および６族金属の少なくとも1種とＴｉとの複合炭窒化物固溶体の第２硬質相とからなり、かつ表面に、前記第１硬質相の比率が７０面積％以上であるとともに該第１硬質相の平均粒径が内部における前記第１硬質相の平均粒径に比べて小さい表面領域が存在することを特徴とする。これによって、耐摩耗性に優れるとともに表面領域においてはクラックが発生した場合でもクラックの進展を抑制する効果が高く、耐摩耗性および耐欠損性に優れる。

ここで、上記構成において、前記第２硬質相はＷおよびＮｂの少なくとも一方を含むとともに、該第２硬質相の中心部ではＷおよびＮｂの少なくとも一方の含有量が多く、該第２硬質相の外周部ではＷおよびＮｂの少なくとも一方の含有量が少ないことが、第２硬質相の中心部では靭性が向上して耐衝撃性が高くなるとともに、第２硬質相の外周部では硬度が向上して塑性変形性が向上する点で望ましい。

また、上記構成において、前記第２硬質相の外周における（ＷとＮｂと合計量）／（金属元素全体の合計量）が２〜２０原子％であることが、サーメットの熱伝導性が向上して耐熱衝撃性が向上するため望ましい。

さらに、断面組織を観察した場合に、内部における前記第１硬質相の平均粒径をａ_ｉとし、該第２硬質相の平均粒径をｂ_ｉとしたとき、ａ_ｉとｂ_ｉとの比率（ｂ_ｉ／ａ_ｉ）が２〜８であることが、第２硬質相が熱伝播に有効に寄与してサーメットの熱伝導率が向上し、サーメットの耐熱衝撃性が向上する点で望ましい。

また、断面組織を観察した場合に、内部における前記硬質相全体に対する前記第１硬質相が占める平均面積をＡ_ｉとし、前記第２硬質相が占める平均面積をＢ_ｉとしたとき、Ａ_ｉとＢ_ｉとの比率（Ｂ_ｉ／Ａ_ｉ）が１．５〜５であることが、第２硬質相が熱伝播に有効に寄与してサーメットの熱伝導率が向上し、サーメットの耐熱衝撃性が向上する点で望ましい。

さらに、前記表面領域が表面から０．２〜５μｍの厚さで存在することが、サーメット表面における耐摩耗性が高く、かつ耐熱衝撃性をさほど低下させずにサーメットの耐熱衝撃性が維持できるために望ましい。

また、断面組織を観察した場合に、前記表面領域と内部との中間に、前記硬質相全体に対する前記第１硬質相が占める平均面積をＡ_ｍとし、前記第２硬質相が占める平均面積をＢ_ｍとしたとき、Ａ_ｍとＢ_ｍとの比率（Ｂ_ｍ／Ａ_ｍ）が前記比率（Ｂ_ｉ／Ａ_ｉ）よりも大きい中間領域が存在することが、サーメット表面近傍における熱伝導性を高めてサーメットの耐熱衝撃性を向上させるために望ましい。

さらに、前記中間領域が３０〜３００μｍの厚さで存在することが、サーメット表面近傍における熱伝導性を高めてサーメットの耐熱衝撃性を向上させるために望ましい。

本発明のサーメットの一例について、図１の（ａ）表面付近、（ｂ）内部についての走査型電子顕微鏡写真を基に説明する。

図１（ａ）のように、本発明のサーメット１は、Ｔｉを主成分とする周期表４、５および６族金属の窒化物または炭窒化物からなる硬質相２をＣｏまたはＮｉを主成分とする結合相３で結合しており、断面組織を観察した場合、内部における硬質相２の平均粒径が０．０５〜１μｍであるとともに、硬質相２が、ＴｉＣＮを主成分とする第１硬質相４と、周期表第４、５および６族金属の少なくとも1種とＴｉとの複合炭窒化物固溶体の第２硬質相５からなり、かつ表面に、第１硬質相４の比率が７０面積％以上で、第１硬質相４の平均粒径が内部における第１硬質相４の平均粒径に比べて小さい表面領域７が存在することを特徴とする。これによって、耐摩耗性に優れるとともに表面領域においてはクラックが発生した場合でもクラックの進展を抑制する効果が高く、耐摩耗性および耐欠損性に優れる。

すなわち、硬質相２の平均粒径が０．０５μｍよりも小さいサーメット１は現状の技術では作製することができず、硬質相２の平均粒径が１μｍを越えるとサーメット１の硬度と強度が低下して、サーメット１を切削工具や耐摩耗部材として用いた場合にはサーメット１の表面において変形が発生しやすくなる。

ここで、断面組織を走査型電子顕微鏡にて観察した場合に、第１硬質相４は黒色の粒子、または黒色の芯部の周辺に灰白色の周辺部が存在する有芯構造からなる粒子として観察される。一方、第２硬質相４は灰白色の粒子、または白色の芯部の周辺に灰白色の周辺部が存在する有芯構造からなる粒子として観察される。なお、上記灰白色とは、写真撮影の条件によって白色に近い色調に見えることもあり、灰色に近い色調に見えることもある。

また、この構成において、表面領域７における第１硬質相４の平均粒径をａ_ｓとし、内部における第１硬質相４の平均粒径ａ_ｉとしたとき、ａ_ｓとａ_ｉとの比（ａ_ｓ／ａ_ｉ）が０．６〜０．９５であることが、サーメット１の表面における硬度および耐チッピング性を向上させることができる点で望ましい。（ａ_ｓ／ａ_ｉ）の特に望ましい範囲は０．６５〜０．８７である。

なお、上記構成において、第２硬質相５は、ＷおよびＮｂの少なくとも一方を含むとともに、第２硬質相５の中心部ではＷおよびＮｂの少なくとも一方の含有量が多く、第２硬質相５の外周部ではＷおよびＮｂの少なくとも一方の含有量が少ないことが、第２硬質相５の中心部では靭性が向上して耐衝撃性が高くなるとともに、第２硬質相５の外周部では硬度が向上して塑性変形性が向上する点で望ましい。

また、第２硬質相５の外周における（ＷとＮｂと合計量）／（金属元素全体の合計量）が２〜２０原子％であることが、サーメット１の熱伝導性が向上して耐熱衝撃性が向上するため望ましい。（ＷとＮｂと合計量）／（金属元素全体の合計量）の特に望ましい範囲は３０〜４２原子％である。

さらに、断面組織を観察した場合に、内部における第１硬質相４の平均粒径をａ_ｉとし、第２硬質相５の平均粒径をｂ_ｉとしたとき、ａ_ｉとｂ_ｉとの比率（ｂ_ｉ／ａ_ｉ）が２〜８であることが、第２硬質相５が熱伝播に有効に寄与してサーメット１の熱伝導率が向上し、サーメット１の耐熱衝撃性が向上する点で望ましい。

また、断面組織を観察した場合に、内部における硬質相２全体に対する第１硬質相４が占める平均面積をＡ_ｉとし、第２硬質相５が占める平均面積をＢ_ｉとしたとき、Ａ_ｉとＢ_ｉとの比率（Ｂ_ｉ／Ａ_ｉ）が１．５〜５であることが、第２硬質相５が熱伝播に有効に寄与してサーメット１の熱伝導率が向上し、サーメット１の耐熱衝撃性が向上する点で望ましい。

さらに、表面領域７が表面から０．２〜５μｍの厚さで存在することが、サーメット１の表面における耐摩耗性が高く、かつ耐熱衝撃性をさほど低下させずにサーメット１の耐熱衝撃性が維持できるために望ましい。表面領域７の厚さの特に望ましい範囲は、表面から０．５〜３μｍである。

また、断面組織を観察した場合に、表面領域７と内部との中間に、硬質相２全体に対する第１硬質相４が占める平均面積をＡ_ｍとし、第２硬質相５が占める平均面積をＢ_ｍとしたとき、Ａ_ｍとＢ_ｍとの比率（Ｂ_ｍ／Ａ_ｍ）が前記比率（Ｂ_ｉ／Ａ_ｉ）よりも大きい中間領域８が存在することが、サーメット１の表面近傍における熱伝導性を高めてサーメット１の耐熱衝撃性を向上させるために望ましい。比率（Ｂ_ｍ／Ａ_ｍ）の特に望ましい範囲は３〜１０であり、比率（Ｂ_ｍ／Ａ_ｍ）／比率（Ｂ_ｉ／Ａ_ｉ）の望ましい範囲は１．２〜２．３である。

なお、中間領域８においては、中間領域８における第２硬質相５の平均粒径をｂ_ｍとしたとき、内部における第２硬質相５の平均粒径ｂ_ｉとの比率（ｂ_ｍ／ｂ_ｉ）が１．１〜２であることが、中間領域８における第２硬質相５が熱伝播に有効に寄与してサーメット１の熱伝導率が向上し、サーメット１の耐熱衝撃性が向上する点で望ましい。

さらに、中間領域８が３０〜３００μｍの厚さで存在することが、サーメット１の表面近傍における熱伝導性を高めてサーメット１の耐熱衝撃性を向上させるために望ましい。

ここで、サーメット１に含有される硬質相をなすＴｉを主成分とする周期表４、５および６族金属の窒化物または炭窒化物の合計含有量は７０〜９６質量％であることが望ましく、特に耐摩耗性の向上の点で８５〜９５質量％であることが望ましい。一方、結合相３の含有量は４〜１４質量％であることによって、基体の硬度および靭性のバランスに優れたものとなる。また、結合相としては、鉄族金属の総量に対してＣｏを６５質量％以上含有することが切削工具の耐熱衝撃性を高めるために望ましい。なお、サーメット１の焼肌面が平滑な面となるようにサーメット１の良好な焼結性を維持するためには、鉄族金属としてＮｉを５〜５０質量％、特に１０〜３５質量％の割合で含有せしめることが望ましい。

なお、本発明における硬質相２の粒径の測定は、ＣＩＳ−０１９Ｄ−２００５に規定された超硬合金の平均粒径の測定方法に準じて測定する。この時、硬質相２が有芯構造からなる場合については、芯部と周辺部を含めた周辺部の外縁までを１つの硬質相として測定する。

（製造方法）
次に、上述した工具の製造方法について説明する。

まず、平均粒径０．１〜１．２μｍ、特に０．２〜０．９μｍのＴｉＣＮ粉末と、平均粒径０．１〜２μｍのＴｉＮ粉末、上述した他の金属の炭化物粉末、窒化物粉末または炭窒化物粉末のいずれか１種と、Ｃｏ粉末やＮｉ粉末とを混合した混合粉末を調整する。

本発明によれば、上記ＴｉＣＮ原料粉末中の炭素と窒素との含有量の合計に対して、窒素含有比率を０．４５〜０．５０の範囲に、ＷＣ原料粉末中に含有される炭素量を６．３０〜６．４０の範囲に制御することが重要であり、この炭素量と窒素量の範囲から外れると、サーメット１の表面に所定の表面領域を作製することができない。ＴｉＣＮ原料粉末中の窒素含有比率の望ましい範囲は０．４７〜０．５０であり、ＷＣ原料粉末中に含有される炭素量の特に望ましい範囲は６．３１〜６．３５である。

さらに、鉄族金属粉末、すなわちＣｏ粉末やＮｉ粉末の平均粒径は２μｍ以下、特に０．０５〜１．５μｍであることが、サーメット基体の焼結性を高めるために望ましい。さらには、結合金属原料粉末として、ＣｏおよびＮｉを所定の比率で含有する固溶体粉末を用いることが、さらに焼結性を高める点で望ましい。なお、他の原料粉末の平均粒径は０．０５〜３μｍであることが望ましい。

そして、この混合粉末にバインダを添加して、プレス成形、押出成形、射出成形等の公知の成形方法によって所定形状に成形する。

次に、本発明によれば、下記の条件にて焼成することにより、上述した所定組織の超硬合金を作製することができる。焼成条件としては、（ａ）１０５０〜１２５０℃の焼成温度Ａまで５〜１５℃／分で昇温した後、焼成温度Ａから１２７５〜１３７５℃の焼成温度Ｂまでを０．１〜３℃／分で昇温し、（ｂ）ついで窒素分圧３０〜２０００Ｐａの雰囲気下にて焼成温度Ｂから１５００〜１６００℃の焼成温度Ｃまで４〜１５℃／分で昇温して、焼成温度Ｃにて窒素分圧３０〜２５００Ｐａの雰囲気下で、０．５〜２時間焼成した後、（ｄ）窒素分圧を５００〜５０００Ｐａの焼成時よりも高いガス圧に上げた雰囲気下で降温する。

本発明によれば、上記焼成時の昇温パターン、および所定量の不活性ガスを導入するタイミングを制御することによって上述した組織のサーメット１を作製することができる。

そして、所望により、サーメット１の表面に被覆層を成膜する。被覆層の成膜方法として、イオンプレーティング法やスパッタリング法等の物理蒸着（ＰＶＤ）法が好適に適応可能である。

マイクロトラック法による測定にて表１に示す炭素量と窒素量（表１に炭素量と窒素量との比率をＣＮ比と）で平均粒径０．６μｍのＴｉＣＮ粉末、平均粒径１．１μｍで表１の炭素量のＷＣ粉末、平均粒径１．５μｍのＴｉＮ粉末、平均粒径２μｍのＴａＣ粉末、平均粒径１．５μｍのＮｂＣ粉末、平均粒径１．８μｍのＺｒＣ粉末、平均粒径１．０μｍのＶＣ粉末、平均粒径２．４μｍのＮｉ粉末、および平均粒径１．９μｍのＣｏ粉末を表１に示す割合で調整した混合粉末をステンレス製ボールミルと超硬ボールを用いて、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）にて湿式混合し、パラフィンを３質量％添加、混合した後、２００ＭＰａでＣＮＭＧ１２０４０８の工具形状にプレス成形し、表２に示す焼成条件で焼成した。

得られた切削工具について、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）観察を行い、１００００倍の写真にて、表面および内部のそれぞれ任意５箇所について市販の画像解析ソフトを用いて８μｍ×８μｍの領域で画像解析を行い、硬質相の存在状態、表面領域、中間領域の存在を確認するとともにこれらの平均粒径を測定し、これらの比率を算出した。結果は表３に示した。

また、オージェ電子分光分析法（ＡＥＳ）の線分析によってサーメット内部の第２硬質相の中心部と外周部の組成について定量した。なお、オージェ電子分光分析法（ＡＥＳ）の測定条件は、加速電圧は２０ＫｅＶ、試料電流１０ｎＡ、試料傾斜角３０度として測定を行った。そして、周期表４、５および６族金属の総量に対するＷとＮｂの合計含有量の比率を算出した。なお、比率の算出については任意の第２硬質相５個についての平均値をとった。結果は表４に示した。

次に、得られた切削工具を用いて以下の切削条件にて切削試験を行った。結果は表４に合わせて併記した。

（耐摩耗性試験）
被削材：ＳＣＭ４３５
切削速度：２５０ｍ／ｍｉｎ
送り：０．２０ｍｍ／ｒｅｖ
切込み：１．０ｍｍ
切削状態：湿式（水溶性切削液使用）
評価方法：摩耗量が０．２ｍｍに達するまでの時間
（耐欠損性試験）
被削材：ＳＣＭ４４０Ｈ
切削速度：１００ｍ／ｍｉｎ
送り：０．２５ｍｍ／ｒｅｖ
切込み：１．０ｍｍ
切削状態：乾式
評価方法：欠損するまでの衝撃回数

表１〜４より、炭素量が６．４０を越えるＷＣ原料粉末を用いた試料Ｎｏ．８では硬質相の平均粒径が１μｍを越えてしまい、炭素量が６．３０よりも少ないＷＣ原料粉末を用いた試料Ｎｏ．９では、サーメットの表面領域が形成されずに、いずれも切削性能における切刃の耐摩耗性が低いものであった。また、焼成温度Ｃで焼成する際の雰囲気ガス圧と冷却時の雰囲気ガス圧とが同じ試料Ｎｏ．１０では表面領域における第１硬質相の平均粒径が内部における第１硬質相の平均粒径と同じとなって、切削性能において耐チッピング性に劣るものであった。また、焼成後の冷却工程において真空の雰囲気で冷却した試料Ｎｏ．１１、および焼成温度Ｃへの昇温と焼成温度Ｃで焼成する際に真空の雰囲気で焼成した試料Ｎｏ．１５では表面領域が形成されず耐摩耗性に劣るものであった。さらに、窒素含有比率が０．４５よりも少ないＴｉＣＮ原料粉末の試料Ｎｏ．１３では硬質相の平均粒径が１μｍを越えてしまい、切削性能における切刃の耐摩耗性が低かった。また、窒素含有比率が０．５０を越えるＴｉＣＮ原料粉末の試料Ｎｏ．１６ではサーメット表面に多数のボイドが発生してしまい、切刃の耐摩耗性が低かった。

これに対し、本発明の範囲内の組織となったサーメットである試料Ｎｏ．１〜７、１２、１４、１７および１８では、優れた耐摩耗性を発揮するとともに耐欠損性も良好であり、その結果、工具寿命も長いものであった。

実施例１で作製した試料Ｎｏ．７の切削工具形状のサーメットをダイヤモンド砥石によって加工し、アークイオンプレーティング法にて被覆層の成膜を行った。具体的には、上記基体をアークイオンプレーティング装置にセットし５００℃に加熱した後にＴｉ_0.3Ａｌ_0.5Ｗ_0.２Ｎの被覆層を成膜した。なお、成膜条件は窒素ガスとアルゴンガスの混合ガスを総圧力２．５Ｐａの雰囲気中、アーク電流１００Ａ、バイアス電圧５０Ｖ、加熱温度５００℃とした。なお、被覆層の層厚は１．０μｍとした。

得られた切削工具を用いて実施例１と同様の切削条件にて切削試験を行った。

その結果、切削開始後摩耗量が０．２ｍｍに達するまでの時間は８０分と良好な切削性能を示した。

本発明のサーメットの一例を示し、（ａ）表面付近、（ｂ）内部についての走査型電子顕微鏡写真である。

符号の説明

１サーメット
２硬質相
３結合相
４第１硬質相
５第２硬質相
７表面領域
８中間領域

Claims

Ｔｉを主成分とする周期表４、５および６族金属の窒化物または炭窒化物からなる硬質相をＣｏまたはＮｉを主成分とする結合相で結合したサーメットであって、断面組織を観察した場合、内部における前記硬質相の平均粒径が０．０５〜１μｍであるとともに、前記硬質相が、ＴｉＣＮを主成分とする第１硬質相と、周期表第４、５および６族金属の少なくとも1種とＴｉとの複合炭窒化物固溶体の第２硬質相とからなり、かつ表面に、前記
第１硬質相の比率が７０面積％以上で該第１硬質相の平均粒径が内部における前記第１硬質相の平均粒径に比べて小さい表面領域が存在することを特徴とするサーメット。
前記第２硬質相はＷおよびＮｂの少なくとも一方を含むとともに、該第２硬質相の中心部ではＷおよびＮｂの少なくとも一方の含有量が多く、該第２硬質相の外周部ではＷおよびＮｂの少なくとも一方の含有量が少ないことを特徴とする請求項１記載のサーメット。
前記第２硬質相の外周部における（ＷとＮｂとの合計量）／（金属元素全体の合計量）が２〜２０原子％であることを特徴とする請求項２記載のサーメット。
断面組織を観察した場合に、内部における前記第１硬質相の平均粒径をａ_ｉとし、該第２硬質相の平均粒径をｂ_ｉとしたとき、ａ_ｉとｂ_ｉとの比率（ｂ_ｉ／ａ_ｉ）が２〜８であることを特徴とする請求項２または３記載のサーメット。
断面組織を観察した場合に、内部における前記硬質相全体に対する前記第１硬質相が占める平均面積をＡ_ｉとし、前記第２硬質相が占める平均面積をＢ_ｉとしたとき、Ａ_ｉとＢ_ｉとの比率（Ｂ_ｉ／Ａ_ｉ）が１．５〜５であることを特徴とする請求項４記載のサーメット。
前記表面領域が表面から０．２〜５μｍの厚さで存在することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか記載のサーメット。
断面組織を観察した場合に、前記表面領域と内部との中間に、前記硬質相全体に対する前記第１硬質相が占める平均面積をＡ_ｍとし、前記第２硬質相が占める平均面積をＢ_ｍとしたとき、Ａ_ｍとＢ_ｍとの比率（Ｂ_ｍ／Ａ_ｍ）が前記比率（Ｂ_ｉ／Ａ_ｉ）よりも大きい中間領域が存在することを特徴とする請求項５記載のサーメット。
前記中間領域が３０〜３００μｍの厚さで存在することを特徴とする請求項７記載のサ
ーメット。