JP5212981B2 - 極低温冷却装置 - Google Patents
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Description
他方、クライオスタットから離れた場所に冷凍機を設置し、両者をヘリウム循環回路で接続し、クライオスタット内で発生したヘリウムガスを冷凍機に戻して冷却し液化し、液体ヘリウムをクライオスタットへ供給する液体ヘリウム再凝縮装置が知られている(例えば、特許文献2参照。)。
他方、上記従来の液体ヘリウム再凝縮装置では、ノイズ源となる冷凍機がクライオスタットから離れているため、SQUIDで測定する時に冷凍機を止めなくても済む。しかし、クライオスタット内でヘリウムガスが汚染される(不純物が混入する)ため、ヘリウムガスの乾燥・精製を行うための乾燥機や精製器が必要になる。そして、乾燥機や精製器に不純物が蓄積すると、運転を止めて乾燥機や精製器を再生しなければならない問題点がある。
そこで、本発明の目的は、冷凍機のノイズの悪影響がなく且つ冷媒ガス循環系の汚染を防止できる極低温冷却装置を提供することにある。
上記構成において、冷媒ガスは例えばヘリウムガスや窒素ガスである。
上記第1の観点による極低温冷却装置(100)では、ノイズ源となる冷凍機(31)をクライオスタット(10)から離れた場所に設置するため、クライオスタット(10)内のSQUID等のセンサで測定を行う時に冷凍機(31)を止めなくても、冷凍機(31)のノイズの悪影響を受けない。また、冷凍機(31)の冷媒ガス循環系と内槽(11)内の空間とを、ネック凝縮器(17)により熱的には結合するが、冷媒ガス的には分離しているため、冷媒ガス循環系の汚染を防止できる。
上記第2の観点による極低温冷却装置(100)では、冷凍機(31)の冷媒ガス循環系とネック空隙(16)とを、ネック熱交換器(18)により熱的には結合するが、冷媒ガス的には分離しているため、冷媒ガス循環系の汚染を防止し且つネック空隙(15a)を冷却できる。
この極低温冷却装置100は、クライオスタット10と、クライオスタット10から離れた場所に設置された冷凍装置30とを具備している。
ネック凝縮器17は、内槽11で気化したヘリウムガスG1を冷却して液体ヘリウムL1に戻す。
ネック熱交換器18は、ネック空隙15aを冷却して、その結果としてネック15および熱シールド14を間接的に冷却して外部からの熱の侵入を抑制する。
ネック凝縮器17の外壁では、ネック凝縮器17内の温度よりわずかに高い内槽11内のヘリウムガスG1を再凝縮することができる。その結果、液化ヘリウムL2は気化してヘリウムガス戻り管1aに戻るヘリウムガスG2となる。
循環は液体と気体の密度差および重力を利用した自然循環によるので、第2ステージ凝縮器33はネック凝縮器17より高い位置に配置しなければならない。
ネックインサート16の断熱材は、仕切板16aで仕切られている。仕切板16aは、ネック熱交換器18で冷却されている。
ヘリウムガス戻り管1aと液体ヘリウム供給管1bの周りを断熱材7aで取り巻き、断熱材7aの周りを取り巻くように二重管を設けて該二重管をネック空隙冷却管3cとし、ネック空隙冷却管3cの周りを断熱材7bで取り巻き、断熱材7bの周りを外管6で覆っている。なお、断熱材7a及び7bは、真空層を含む。
(1)ノイズ源となる凝縮冷凍機31をクライオスタット10から離れた場所に設置するため、クライオスタット10内の超伝導装置Sで測定を行う時に凝縮冷凍機31を止めなくても、凝縮冷凍機31のノイズの悪影響を受けない。
(2)ヘリウムガスG2の循環系は、不純物で汚染されるヘリウムガスG1と分離されている。従って、ヘリウムガスG2の循環系の汚染を防止できる。
(3)ヘリウムガスG3の循環系も、ヘリウムガスG1と分離されている。従って、ヘリウムガスG3の循環系の汚染も防止できる。
(4)ヘリウムガス戻り管1aと液体ヘリウム供給管1bへの熱の侵入を、ネック空隙冷却管3cにより抑制することが出来る。
この極低温冷却装置200は、クライオスタット10と、クライオスタット10から離れた場所に設置された冷凍装置30’とを具備している。
低温側熱交換器32を出たヘリウムガスG2は、第2ステージ凝縮器33で冷却されて液化ヘリウムL2となる。液体ヘリウムL2は、液体ヘリウム供給管1bを通してネック凝縮器17へ供給される。
ネック凝縮器17の外壁では、ネック凝縮器17内の温度よりわずかに高い内槽11内のヘリウムガスG1を再凝縮することができる。その結果、液化ヘリウムL2は気化してヘリウムガス戻り管1aに戻るヘリウムガスG2’となる。
流量調整弁36により、ヘリウムガスG2とG3’の割合を調整できる。
この極低温冷却装置300は、クライオスタット10’と、クライオスタット10’から離れた場所に設置された冷凍装置30’とを具備している。
上記以外の構成は、実施例2と同様である。
操作部19aにより弁19での流量を調整できる。
1b 液体ヘリウム供給管
2 循環ポンプ
3a,3b ヘリウムガス戻り流路
3c ネック空隙冷却管
10 クライオスタット
11 内槽
12 真空空間
13 外槽
14 熱シールド
15 ネック
15a ネック空隙
16 ネックインサート
17 ネック凝縮器
18 ネック熱交換器
19 弁
19a 操作部
30 冷凍装置
31 凝縮冷凍機
32 低温側熱交換器
33 第2ステージ凝縮器
34 高温側熱交換器
35 第1ステージ熱交換器
36 流量調整弁
100 極低温冷却装置
L 液体ヘリウム
G1,G2,G ヘリウムガス
Claims (1)
- クライオスタット(10)のネックインサート(16)にネック凝縮器(17)を設け、前記クライオスタット(10)から離れた場所に冷凍機(31)を設置し、前記冷凍機(31)の凝縮器(35)と前記ネック凝縮器(17)とを冷媒給排管(1a,1b)で接続し、前記クライオスタット(10)の内槽(11)内の冷媒ガス(G1)を前記冷凍機(31)に戻さず前記内槽(11)内で前記ネック凝縮器(17)により冷却する極低温冷却装置であって、前記ネックインサート(16)にネック熱交換器(18)を設け、前記クライオスタット(10)から離れた場所に循環ポンプ(2)を設置し、前記ネック熱交換器(18)と前記循環ポンプ(2)とを冷媒ガス戻り流路(3a)で接続し、前記循環ポンプ(1)と前記冷凍機(31)の第1ステージ熱交換器(33)とを冷媒ガス戻り流路(3b)で接続し、前記冷凍機(31)の第1ステージ熱交換器(33)と前記ネック熱交換器(18)とをネック空隙冷却管(3c)で接続し、前記ネック熱交換器(18)により前記クライオスタット(10)のネック空隙(15a)を冷却することを特徴とする極低温冷却装置。
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