JP5211807B2 - Mask collation method and mask collation system - Google Patents
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Description
本発明は、カラーフィルター等をフォトリソグラフィ法で製造する際のフォトマスクのセット間違いやガラス基板の取り違えを防止する技術に関する。 The present invention relates to a technique for preventing a mistake in setting a photomask and a glass substrate when manufacturing a color filter or the like by a photolithography method.
従来から、カラーフィルターの製造方法として、ガラス基板上にレジストを塗布しフォトマスクを介して露光し現像することを、ブラックマトリクス、ＲＧＢ各色ごとに繰り返して、それらのパターンを形成するフォトリソグラフィ法によるものが知られている。 Conventionally, as a manufacturing method of a color filter, by applying a resist on a glass substrate, exposing and developing through a photomask, and repeating the process for each color of the black matrix and RGB, a photolithography method for forming those patterns is used. Things are known.
そして従来から、露光機へのフォトマスクのセット間違えを防止する為、フォトマスクに二次元コード等の識別コードを付け露光機の識別コード読取装置で読み取り、読み取った識別コードを、データベースに保管されている製造指示情報と照合することにより、正しいフォトマスクが露光機にセットされたかを判定するマスク照合方法及びマスク照合システムが知られている（特許文献１参照）。 Conventionally, in order to prevent mistakes in setting the photomask on the exposure machine, an identification code such as a two-dimensional code is attached to the photomask and read by the identification code reader of the exposure machine, and the read identification code is stored in a database. A mask collation method and a mask collation system for determining whether a correct photomask is set in an exposure machine by collating with manufacturing instruction information that is currently known (see Patent Document 1).
しかしながら特許文献１のマスク照合方法及びマスク照合システムは、露光機へのフォトマスクのセット間違えによる不良品の製造防止は可能であるが、パターニングするガラス基板の取り違えまでは判別不可であった。 However, the mask collation method and the mask collation system of Patent Document 1 can prevent the manufacture of defective products due to a mistake in setting a photomask in an exposure machine, but cannot discriminate until the glass substrate to be patterned is mistaken.
そこで本願出願人は、特許文献１のマスク照合方法及びマスク照合システムにおいて、ガラス基板にも二次元コード等の識別コードを付け露光機の識別コード読取装置で読み取り、読み取った識別コードを、データベースに保管されている製造指示情報と照合することにより、正しいガラス基板が露光機にセットされたかをも判定するものを、特願２００６−２５２３０５で出願した。 Therefore, the applicant of the present application uses a mask verification method and a mask verification system disclosed in Patent Document 1, and attaches an identification code such as a two-dimensional code to a glass substrate and reads it with an identification code reader of an exposure machine. Japanese Patent Application No. 2006-252305 filed an application for determining whether or not a correct glass substrate was set in an exposure machine by collating with stored manufacturing instruction information.
ところで、ガラス基板への識別コードの付与はブラックマトリクス工程の中の露光工程においてタイトラーで印字することにより行われる。そのため、ブラックマトリクス用露光機にガラス基板をセットした時点では、ガラス基板に識別コードがなく、特願２００６−２５２３０５のマスク照合方法及びマスク照合システムによって、正しいガラス基板が露光機にセットされたかを判定することはできない。
本発明は斯かる従来技術の問題に鑑みてなされたもので、ガラス基板に識別コードが付与される前でも、正しいガラス基板が露光機にセットされたかを判定できるようにすることを課題とする。 The present invention has been made in view of the problems of the prior art, and an object of the present invention is to make it possible to determine whether a correct glass substrate is set in an exposure machine even before an identification code is given to the glass substrate. .
本発明において上記課題を解決するために、まず請求項１の発明では、
製造指示情報を保管する段階と、
ガラス基板の洗浄を行う洗浄工程ラインにガラス基板を投入し、このガラス基板を識別する仮識別コードを発行する段階と、
前記製造指示情報に基づきガラス基板を識別する仮識別コードと、このガラス基板にパターニングするために用いるフォトマスクの識別コードとを紐付けて保管する段階と、
前記洗浄工程ラインから前記ガラス基板をカセットに回収し、前記ガラス基板を識別する仮識別コードと前記カセットの情報とを紐付けて保管する段階と、
前記カセットに収納されたガラス基板をブラックマトリクス工程のラインに投入し、前記カセットの情報と、前記仮識別コードとを照合する段階と、
前記ブラックマトリクス工程のラインを構成する装置の一つである露光機にセットされているフォトマスクに付いている識別コードを読み取る段階と、
読み取ったフォトマスクの識別コードを、報告された仮識別コードに紐付けられているフォトマスクの識別コードと照合し、照合の結果、正常ならば、この露光機に正しいフォトマスクがセットされていると判断し、他方、異常ならば、間違ったフォトマスクがセットされていると判断する段階とを備えることを特徴とするマスク照合方法としたものである。
In order to solve the above problems in the present invention, first, in the invention of claim 1,
Storing manufacturing instruction information;
A step of placing a glass substrate in a cleaning process line for cleaning the glass substrate and issuing a temporary identification code for identifying the glass substrate;
A step of storing a temporary identification code for identifying a glass substrate based on the manufacturing instruction information and an identification code of a photomask used for patterning the glass substrate,
Recovering the glass substrate from the cleaning process line into a cassette, storing the temporary identification code for identifying the glass substrate and the information of the cassette in association with each other;
Putting the glass substrate stored in the cassette into the black matrix process line, collating the cassette information with the temporary identification code,
Reading an identification code attached to a photomask set in an exposure machine, which is one of the devices constituting the black matrix process line;
The read photomask identification code is collated with the photomask identification code linked to the reported temporary identification code. If the result of the collation is normal, a correct photomask is set in the exposure machine. determining that, while, if abnormal, in which wrong photomask was characterized and to luma disk collation method further comprising the step of determining to have been set.
また請求項２の発明では、
製造指示情報を保管する手段と、
ガラス基板の洗浄を行う洗浄工程ラインにガラス基板を投入し、このガラス基板を識別する仮識別コードを発行する手段と、
前記製造指示情報に基づきガラス基板を識別する仮識別コードと、このガラス基板にパターニングするために用いるフォトマスクの識別コードとを紐付けて保管する手段と、
前記洗浄工程ラインから前記ガラス基板をカセットに回収し、前記ガラス基板を識別する仮識別コードと前記カセットの情報とを紐付けて保管する手段と、
前記カセットに収納されたガラス基板をブラックマトリクス工程のラインに投入し、前記カセットの情報と、前記仮識別コードとを照合する手段と、
前記ブラックマトリクス工程のラインを構成する装置の一つである露光機にセットされているフォトマスクに付いている識別コードを読み取る手段と、
読み取ったフォトマスクの識別コードを、報告された仮識別コードに紐付けられているフォトマスクの識別コードと照合し、照合の結果、正常ならば、この露光機に正しいフォトマスクがセットされていると判断し、他方、異常ならば、間違ったフォトマスクがセットされていると判断する手段とを備えることを特徴とするマスク照合システムとしたものである。
In the invention of claim 2 ,
Means for storing manufacturing instruction information;
Means for putting a glass substrate into a cleaning process line for cleaning the glass substrate and issuing a temporary identification code for identifying the glass substrate;
Means for associating and storing a temporary identification code for identifying a glass substrate based on the manufacturing instruction information and an identification code of a photomask used for patterning on the glass substrate;
Means for collecting the glass substrate from the cleaning process line into a cassette, and storing the temporary identification code for identifying the glass substrate in association with information on the cassette;
Means for putting the glass substrate housed in the cassette into a black matrix process line, and collating the cassette information with the temporary identification code;
Means for reading an identification code attached to a photomask set in an exposure machine, which is one of the devices constituting the black matrix process line;
The read photomask identification code is collated with the photomask identification code linked to the reported temporary identification code. If the result of the collation is normal, a correct photomask is set in the exposure machine. determining that, while, if the abnormality is obtained by the features and to luma disk verification system that the wrong photomask and means for determining that has been set.
本発明は、ガラス基板に識別コードが付与される前でも、正しいガラス基板が露光機にセットされたかを判定できるという効果がある。 The present invention has an effect that it is possible to determine whether or not a correct glass substrate is set in an exposure machine even before an identification code is given to the glass substrate.
以下に、本発明の最良の一実施形態を説明する。 The best embodiment of the present invention will be described below.
本実施形態のマスク照合システムは、図１に示すように、装置コントローラ１〜Ｎ、ラインコントローラ、ライン管理システム、データベース、端末を備える。また、装置コン
トローラ１〜Ｎとラインコントローラとはリング状の通信ネットワークを介して接続される。また、ラインコントローラーとライン管理システム、ライン管理システムとデータベース、データベースと端末は、それぞれ通信ネットワークを介して接続される。
As shown in FIG. 1, the mask collation system of this embodiment includes apparatus controllers 1 to N, a line controller, a line management system, a database, and a terminal. The device controllers 1 to N and the line controller are connected via a ring-shaped communication network. The line controller and the line management system, the line management system and the database, and the database and the terminal are connected to each other via a communication network.
装置コントローラ１〜Ｎは、カラーフィルタの製造ラインを構成する装置１〜Ｎを、それぞれコントロールするコントローラである。カラーフィルタの製造ラインは、一枚ずつ装置１に投入されたガラス基板を装置１からＮまで順番に移動させながら、このガラス基板に対してカラーフィルタの製造工程を実行するラインである。 The device controllers 1 to N are controllers that respectively control the devices 1 to N constituting the color filter production line. The color filter production line is a line for executing the color filter production process on the glass substrates while sequentially moving the glass substrates put into the device 1 one by one from the devices 1 to N.
ラインコントローラは、カラーフィルタの製造ライン全体をコントロールするコントローラである。 The line controller is a controller that controls the entire production line of the color filter.
ライン管理システムは、カラーフィルタの製造ラインにおいてガラス基板に施されるワークを、そのガラス基板一枚単位で管理するコンピュータシステムである。 The line management system is a computer system that manages a workpiece applied to a glass substrate in a color filter production line in units of the glass substrate.
データベースは、製造指示情報、仮識別コード紐付け情報など、カラーフィルタの製造に係る情報を保管する装置である。仮識別コード紐付け情報は、識別コードが付与される前にガラス基板を識別するために発行された仮識別コードと他の情報とを紐付けた情報であって、例えば、仮識別コードと、この仮識別コードで識別されるガラス基板にパターニングするために用いるフォトマスクの識別コードとを紐付けた情報や、仮識別コードと、この仮識別コードで識別されるガラス基板に実際に付与された識別コードとを紐付けた情報などがある。 The database is a device that stores information relating to the manufacture of the color filter, such as manufacturing instruction information and provisional identification code linking information. The temporary identification code linking information is information that links the temporary identification code issued to identify the glass substrate before the identification code is given and other information, for example, the temporary identification code, Information associated with the photomask identification code used for patterning on the glass substrate identified by this temporary identification code, the temporary identification code, and the glass substrate identified by this temporary identification code There is information associated with an identification code.
端末は、データベースに保管されている情報を参照するためのコンピュータである。 The terminal is a computer for referring to information stored in a database.
以下に、ガラス基板に識別コードが付けられ、その識別コードで管理されるまでになされる処理の流れを、図２のフローチャートに従って説明する。 In the following, the flow of processing performed until an identification code is attached to a glass substrate and managed by the identification code will be described with reference to the flowchart of FIG.
Ｓ（ＳＴＥＰ）１；
一枚のガラス基板が装置１に投入されると、装置コントローラ１は、その投入を、ラインコントローラを介して、ライン管理システムに伝える。
S (STEP) 1;
When a single glass substrate is inserted into the apparatus 1, the apparatus controller 1 transmits the input to the line management system via the line controller.
Ｓ（ＳＴＥＰ）２；
ライン管理システムは、装置１に投入されたガラス基板を識別する仮識別コードを発行し、ラインコントローラを介して、装置コントローラ１に送ると同時に、ライン管理システムは、製造指示情報に基づいて、この仮識別コードと、このガラス基板にパターニングするために用いるフォトマスクの識別コードとを紐付けてデータベースに保管する。
S (STEP) 2;
The line management system issues a temporary identification code for identifying the glass substrate put into the apparatus 1 and sends it to the apparatus controller 1 via the line controller. At the same time, the line management system performs this process based on the manufacturing instruction information. The temporary identification code and the identification code of the photomask used for patterning on this glass substrate are linked and stored in the database.
Ｓ（ＳＴＥＰ）３；
ガラス基板が露光機又はタイトラーにセットされるまで、このガラス基板を装置ｉ（１≦ｉ≦Ｎ−１）から装置（ｉ＋１）へ移動させ、その移動にともなって、このガラス基板を識別する仮識別コードも装置コントローラｉから装置コントローラ（ｉ＋１）へ引き継がせるトラッキングを行い、
このガラス基板が露光機にセットされたら、ＳＴＥＰ４に進み、
このガラス基板がタイトラーにセットされたら、ＳＴＥＰ１０に進む。
S (STEP) 3;
The glass substrate is moved from the apparatus i (1 ≦ i ≦ N−1) to the apparatus (i + 1) until the glass substrate is set in the exposure machine or the titler, and the glass substrate is temporarily identified along with the movement. Tracking is performed to transfer the identification code from the device controller i to the device controller (i + 1).
Once this glass substrate is set in the exposure machine, proceed to STEP4,
When this glass substrate is set on the titler, the process proceeds to STEP10.
ＳＴＥＰ４；
ガラス基板が露光機にセットされると、この露光機のコントローラは、この露光機にセットされているフォトマスクに付いている識別コードを、この露光機の識別コード読取装置で読み取り、読み取ったフォトマスクの識別コードと、このガラス基板を識別する仮識別コードとを、ラインコントローラを介して、ライン管理システムに送る。
STEP4;
When the glass substrate is set in the exposure machine, the controller of the exposure machine reads the identification code attached to the photomask set in the exposure machine with the identification code reader of the exposure machine, and reads the read photo. The mask identification code and the temporary identification code for identifying the glass substrate are sent to the line management system via the line controller.
ＳＴＥＰ５；
ライン管理システムは、データベースから製造指示情報を読み出し、この製造指示情報と露光機から送られた仮識別コードとを照合し、
照合の結果が正常な場合、露光機に正しいガラス基板がセットされたと判断して、ＳＴＥＰ６に進み、
照合の結果が異常な場合、間違ったガラス基板がセットされたと判断して、ＳＴＥＰ９に進む。
STEP5;
The line management system reads the manufacturing instruction information from the database, collates the manufacturing instruction information with the temporary identification code sent from the exposure machine,
If the collation result is normal, it is determined that the correct glass substrate is set in the exposure machine, and the process proceeds to STEP6.
If the collation result is abnormal, it is determined that the wrong glass substrate is set, and the process proceeds to STEP9.
尚、ライン管理システムは、この照合結果をデータベースに保管しても良い。 The line management system may store the collation result in a database.
ＳＴＥＰ６；
ライン管理システムは、露光機から送られた仮識別コードと紐付けられたフォトマスクの識別コードをデータベースから読み出し、このフォトマスクの識別コードと、露光機から送られたフォトマスク識別コードとを照合し、
照合が正常である場合、露光機に正しいフォトマスクがセットされていると判断して、ＳＴＥＰ７に進み、
照合が異常な場合、間違ったフォトマスクがセットされていると判断して、ＳＴＥＰ９に進む。
STEP6;
The line management system reads the photomask identification code associated with the temporary identification code sent from the exposure machine from the database, and compares this photomask identification code with the photomask identification code sent from the exposure machine. And
If the collation is normal, it is determined that the correct photomask is set in the exposure machine, and the process proceeds to STEP7.
If the collation is abnormal, it is determined that the wrong photomask is set, and the process proceeds to STEP9.
尚、ライン管理システムは、この照合結果をデータベースに保管しても良い。 The line management system may store the collation result in a database.
ＳＴＥＰ７；
ライン管理システムは、ラインコントローラを介して、露光機にセットされたガラス基板に対して露光を行わせる。
STEP7;
The line management system exposes the glass substrate set in the exposure machine via the line controller.
ＳＴＥＰ８；
露光機にセットされているガラス基板を、露光機の次の装置に移動させ、その移動にともなって、このガラス基板を識別する仮識別コードも露光機のコントローラから次の装置のコントローラへ引き継がせるトラッキングを行い、ＳＴＥＰ３に戻る。
STEP8;
The glass substrate set in the exposure machine is moved to the next apparatus of the exposure machine, and the temporary identification code for identifying this glass substrate is also transferred from the controller of the exposure machine to the controller of the next apparatus in accordance with the movement. Perform tracking and return to STEP3.
ＳＴＥＰ９；
ライン管理システムは、ラインコントローラを介して、露光機に露光を停止させると同時に、異常報告をオペレータに伝え、ＥＮＤに進む。
STEP9;
The line management system causes the exposure machine to stop exposure via the line controller, and at the same time, reports an abnormality report to the operator and proceeds to END.
ＳＴＥＰ１０；
ガラス基板がタイトラーにセットされて、このガラス基板に識別コードが付与されると、タイトラーのコントローラーは、このガラス基板に付与された識別コードと、このガラス基板を識別する仮識別コードとを、ラインコントローラを介して、ライン管理システムに報告する。
STEP10;
When the glass substrate is set on the titler and an identification code is assigned to the glass substrate, the titler controller lines the identification code assigned to the glass substrate and the temporary identification code for identifying the glass substrate. Report to the line management system via the controller.
ＳＴＥＰ１１；
ライン管理システムは、ガラス基板を識別する仮識別コードと、このガラス基板に付与された識別コードとを紐付けてデータベースに保管する。
STEP11;
The line management system associates the temporary identification code for identifying the glass substrate and the identification code assigned to the glass substrate and stores them in the database.
ＳＴＥＰ１２；
ライン管理システムは、ガラス基板に付与された識別コードを用いて、このガラス基板に施されるワークを管理する。
STEP12;
A line management system manages the workpiece | work given to this glass substrate using the identification code provided to the glass substrate.
本発明の実施例を具体的に説明する。 Examples of the present invention will be specifically described.
本実施例では、カラーフィルタの製造ラインは、受入洗浄工程のライン、ブラックマトリクス工程のラインなどに別れている。 In this embodiment, the color filter production line is divided into an acceptance cleaning process line, a black matrix process line, and the like.
受入洗浄工程のラインは、ガラス基板として一枚ずつ投入された素ガラスに対して、受入洗浄工程を実行して、カセットに回収するラインである。 The line for the receiving cleaning process is a line for performing the receiving cleaning process on the raw glass put in one by one as a glass substrate and collecting it in a cassette.
またブラックマトリクス工程のラインは、カセットから一枚ずつ投入されたガラス基板に対して、ブラックマトリクス工程を実行して、カセットに回収するラインである。 Further, the black matrix process line is a line for executing the black matrix process on the glass substrates loaded one by one from the cassette and collecting them in the cassette.
以下に、ガラス基板に識別コードが付けられ、その識別コードで管理されるまでになされる処理の流れを、図３及び４を参照しながら説明する。 Hereinafter, the flow of processing that is performed until an identification code is attached to a glass substrate and managed by the identification code will be described with reference to FIGS.
ＳＴＥＰ１；
図３に示すように、パレットに積載された素ガラスがガラス基板として受入洗浄工程のラインに一枚投入されると、ライン管理システムは、このガラス基板を識別する仮識別コードを発行して、受入洗浄工程のラインにダウンロードすると同時に、製造指示情報に基づいて、この仮識別コードと、このガラス基板にパターニングするために用いるフォトマスクの識別コードとを紐付けてデータベースに保管する。
STEP1;
As shown in FIG. 3, when one piece of raw glass loaded on the pallet is inserted as a glass substrate into the receiving and cleaning process line, the line management system issues a temporary identification code for identifying the glass substrate, At the same time as downloading to the incoming cleaning process line, based on the manufacturing instruction information, the temporary identification code and the identification code of the photomask used for patterning on the glass substrate are linked and stored in the database.
ＳＴＥＰ２；
受入洗浄工程のラインを構成する装置間をガラス基板が移動すると、このガラス基板の仮識別コードも、装置のコントローラ間で移動させるトラッキングが行われる。
STEP2;
When the glass substrate moves between apparatuses constituting the line of the receiving cleaning process, tracking is performed in which the temporary identification code of the glass substrate is also moved between the controllers of the apparatus.
ＳＴＥＰ３；
受入洗浄工程が終了してガラス基板がカセットに回収された時、ライン管理システムは、受入洗浄工程のラインから、このカセットを識別するカセットＩＤと、このガラス基板が収納されたこのカセットの収納段と、このガラス基板を識別する仮識別コードとを受け取り、このカセットＩＤ及び収納段と、この仮識別コードとを紐付けてデータベースに保管する。
STEP3;
When the glass cleaning process is completed and the glass substrate is collected in the cassette, the line management system detects the cassette ID for identifying the cassette from the line of the cleaning process and the storage stage of the cassette storing the glass substrate. The temporary identification code for identifying the glass substrate is received, and the cassette ID and the storage stage are associated with the temporary identification code and stored in a database.
ＳＴＥＰ４；
図４に示すように、カセットに収納されたガラス基板がブラックマトリクス工程のラインに一枚投入されると、ライン管理システムは、ブラックマトリクス工程のラインから、このガラス基板を収納していたカセットのカセットＩＤと、このガラス基板が収納されていたこのカセットの収納段とを受け取り、このカセットＩＤ及び収納段と紐付いている仮識別コードをデータベースから読み出してブラックマトリクス工程のラインにダウンロードする。
STEP4;
As shown in FIG. 4, when one glass substrate stored in the cassette is inserted into the black matrix process line, the line management system starts from the black matrix process line. The cassette ID and the storage stage of the cassette in which the glass substrate has been stored are received, and the cassette ID and the temporary identification code associated with the storage stage are read from the database and downloaded to the black matrix process line.
ＳＴＥＰ５；
ブラックマトリクス工程のラインを構成する装置間をガラス基板が移動すると、このガラス基板の仮識別コードも、装置のコントローラ間で移動させるトラッキングが行われる。
STEP5;
When the glass substrate moves between the devices constituting the black matrix process line, tracking is performed in which the temporary identification code of the glass substrate is also moved between the controllers of the device.
ＳＴＥＰ６；
ガラス基板が露光機にセットされると、この露光機のコントローラは、この露光機にセットされているフォトマスクに付いている識別コードを、この露光機の識別コード読取装置で読み取り、読み取ったフォトマスクの識別コードと、このガラス基板を識別する仮識別コードとをライン管理システムに送る。
STEP6;
When the glass substrate is set in the exposure machine, the controller of the exposure machine reads the identification code attached to the photomask set in the exposure machine with the identification code reader of the exposure machine, and reads the read photo. An identification code for the mask and a temporary identification code for identifying the glass substrate are sent to the line management system.
ＳＴＥＰ７；
ライン管理システムは、データベースから製造指示情報を読み出し、この製造指示情報と露光機から送られた仮識別コードとを照合する。またライン管理システムは、露光機から送られた仮識別コードと紐付けられたフォトマスクの識別コードをデータベースから読み出し、このフォトマスクの識別コードと、露光機から送られたフォトマスク識別コードとを照合する。
STEP7;
The line management system reads the manufacturing instruction information from the database, and collates the manufacturing instruction information with the temporary identification code sent from the exposure machine. The line management system also reads the photomask identification code associated with the temporary identification code sent from the exposure machine from the database, and uses the photomask identification code and the photomask identification code sent from the exposure machine. Collate.
何れの照合も正常である場合、ライン管理システムは、正しいガラス基板と正しいフォトマスクとが露光機にセットされたと判断して、露光機にセットされたガラス基板に対して露光を行わせて、次のＳＴＥＰ８に進む。 If any verification is normal, the line management system determines that the correct glass substrate and the correct photomask are set in the exposure machine, and causes the glass substrate set in the exposure machine to perform exposure, Proceed to the next STEP8.
何れかの照合が異常な場合、間違ったガラス基板又は間違ったフォトマスクが露光機にセットされたと判断して、ライン管理システムは、露光機に露光を停止させると同時に、異常報告をオペレータに伝える。 If any of the verifications are abnormal, the line management system determines that the wrong glass substrate or the wrong photomask is set in the exposure machine, and stops the exposure of the exposure machine, and at the same time notifies the operator of the abnormality report. .
ＳＴＥＰ８；
再び、ブラックマトリクス工程のラインを構成する装置間をガラス基板が移動すると、このガラス基板の仮識別コードも、装置のコントローラ間で移動させるトラッキングが行われる。
STEP8;
Again, when the glass substrate moves between the devices constituting the black matrix process line, tracking is performed in which the temporary identification code of the glass substrate is also moved between the controllers of the device.
ＳＴＥＰ９；
ガラス基板がタイトラーにセットされて、このガラス基板に識別コードが付与されると、ライン管理システムは、タイトラーのコントローラーから、このガラス基板に付与された識別コードと、このガラス基板を識別する仮識別コードとを受け取り、このガラス基板を識別する仮識別コードと、このガラス基板に付与された識別コードとを紐付けてデータベースに保管する。
STEP9;
When the glass substrate is set on the titler and an identification code is assigned to the glass substrate, the line management system will identify the identification code assigned to the glass substrate from the titler controller and the temporary identification that identifies the glass substrate. The code is received, and the temporary identification code for identifying the glass substrate and the identification code assigned to the glass substrate are linked and stored in the database.
ＳＴＥＰ１０；
ライン管理システムは、ガラス基板に付与された識別コードを用いて、このガラス基板に施されるワークを管理する。
STEP10;
A line management system manages the workpiece | work given to this glass substrate using the identification code provided to the glass substrate.
Claims (2)
ガラス基板の洗浄を行う洗浄工程ラインにガラス基板を投入し、このガラス基板を識別する仮識別コードを発行する段階と、
前記製造指示情報に基づきガラス基板を識別する仮識別コードと、このガラス基板にパターニングするために用いるフォトマスクの識別コードとを紐付けて保管する段階と、
前記洗浄工程ラインから前記ガラス基板をカセットに回収し、前記ガラス基板を識別する仮識別コードと前記カセットの情報とを紐付けて保管する段階と、
前記カセットに収納されたガラス基板をブラックマトリクス工程のラインに投入し、前記カセットの情報と、前記仮識別コードとを照合する段階と、
前記ブラックマトリクス工程のラインを構成する装置の一つである露光機にセットされているフォトマスクに付いている識別コードを読み取る段階と、
読み取ったフォトマスクの識別コードを、報告された仮識別コードに紐付けられているフォトマスクの識別コードと照合し、照合の結果、正常ならば、この露光機に正しいフォトマスクがセットされていると判断し、他方、異常ならば、間違ったフォトマスクがセットされていると判断する段階とを備えることを特徴とするマスク照合方法。 Storing manufacturing instruction information;
A step of placing a glass substrate in a cleaning process line for cleaning the glass substrate and issuing a temporary identification code for identifying the glass substrate;
A step of storing a temporary identification code for identifying a glass substrate based on the manufacturing instruction information and an identification code of a photomask used for patterning the glass substrate,
Recovering the glass substrate from the cleaning process line into a cassette, storing the temporary identification code for identifying the glass substrate and the information of the cassette in association with each other;
Putting the glass substrate stored in the cassette into the black matrix process line, collating the cassette information with the temporary identification code,
Reading an identification code attached to a photomask set in an exposure machine, which is one of the devices constituting the black matrix process line;
The read photomask identification code is collated with the photomask identification code linked to the reported temporary identification code. If the result of the collation is normal, a correct photomask is set in the exposure machine. determining that, while, if abnormal, wrong features and to luma disk collation method that the photo mask and a step of determining to have been set.
ガラス基板の洗浄を行う洗浄工程ラインにガラス基板を投入し、このガラス基板を識別する仮識別コードを発行する手段と、
前記製造指示情報に基づきガラス基板を識別する仮識別コードと、このガラス基板にパターニングするために用いるフォトマスクの識別コードとを紐付けて保管する手段と、
前記洗浄工程ラインから前記ガラス基板をカセットに回収し、前記ガラス基板を識別する仮識別コードと前記カセットの情報とを紐付けて保管する手段と、
前記カセットに収納されたガラス基板をブラックマトリクス工程のラインに投入し、前記カセットの情報と、前記仮識別コードとを照合する手段と、
前記ブラックマトリクス工程のラインを構成する装置の一つである露光機にセットされているフォトマスクに付いている識別コードを読み取る手段と、
読み取ったフォトマスクの識別コードを、報告された仮識別コードに紐付けられているフォトマスクの識別コードと照合し、照合の結果、正常ならば、この露光機に正しいフォトマスクがセットされていると判断し、他方、異常ならば、間違ったフォトマスクがセットされていると判断する手段とを備えることを特徴とするマスク照合システム。 Means for storing manufacturing instruction information;
Means for putting a glass substrate into a cleaning process line for cleaning the glass substrate and issuing a temporary identification code for identifying the glass substrate;
Means for associating and storing a temporary identification code for identifying a glass substrate based on the manufacturing instruction information and an identification code of a photomask used for patterning on the glass substrate;
Means for collecting the glass substrate from the cleaning process line into a cassette, and storing the temporary identification code for identifying the glass substrate in association with information on the cassette;
Means for putting the glass substrate housed in the cassette into a black matrix process line, and collating the cassette information with the temporary identification code;
Means for reading an identification code attached to a photomask set in an exposure machine, which is one of the devices constituting the black matrix process line;
The read photomask identification code is collated with the photomask identification code linked to the reported temporary identification code. If the result of the collation is normal, a correct photomask is set in the exposure machine. determining that, while, if abnormal, features and to luma disk verification system that comprises a means for incorrect photomask is determined to be set.
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