JP5210088B2 - 電子ビーム装置 - Google Patents
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(4)請求項4記載の発明は、前記電子レンズのヨーク部の肉厚は偏向器に近づくほど薄くなっていることを特徴とする。
図4は本発明の第3の実施の形態を示す構成図である。図3と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、26は電子レンズ、18は電子レンズヨーク、18aは励磁コイルである。電子レンズ26は、電子レンズヨーク18と励磁コイル18aから構成されている。5は電子レンズ25から離して設けられた偏向器である。この実施の形態は、偏向器5付近のヨークの肉厚を薄くしている。
2 グリッド
3 アノード
4 電子レンズ
5 偏向器
6 電子ビーム
10 電子レンズヨーク
10a 励磁コイル
10b スリット部
10c スリット
15 電子レンズ
Claims (4)
- 電子銃から出射された電子ビームを試料上に照射する電子ビーム装置であって、電子レンズによりビームを収束し、偏向器によってビームを偏向するようにした電子ビーム装置において、
前記電子レンズは、励磁コイルを包むヨーク部と、励磁コイルを含まないヨーク部とからなり、励磁コイルを含まないヨーク部が偏向器側に位置するようにし、励磁コイルを含まないヨーク部に前記電子ビームを中心とした放射状のスリットを形成したことを特徴とする電子ビーム装置。 - 前記偏向器に近い側のヨーク部の肉厚を他のヨーク部より薄くしたことを特徴とする請求項1記載の電子ビーム装置。
- 前記電子レンズは円錐状の形状であることを特徴とする請求項1記載の電子ビーム装置。
- 前記電子レンズのヨーク部の肉厚は偏向器に近づくほど薄くなっていることを特徴とする請求項1記載の電子ビーム装置。
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JP2008210979A JP5210088B2 (ja) | 2008-08-19 | 2008-08-19 | 電子ビーム装置 |
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