JP5189469B2

JP5189469B2 - Eddy current inspection probe and eddy current inspection device

Info

Publication number: JP5189469B2
Application number: JP2008302823A
Authority: JP
Inventors: 久遠藤; 明寛瀧; 亮西水; 弘文大内; 善夫野中
Original assignee: Hitachi GE Nuclear Energy Ltd
Current assignee: Hitachi GE Nuclear Energy Ltd
Priority date: 2008-11-27
Filing date: 2008-11-27
Publication date: 2013-04-24
Anticipated expiration: 2028-11-27
Also published as: JP2010127767A

Description

本発明は、渦電流探傷プローブ及び渦電流検査装置に係り、特に、狭隘部の曲面を検査する好適な渦電流探傷プローブ及び渦電流検査装置に関する。 The present invention relates to an eddy current flaw detection probe and an eddy current inspection device, and more particularly to a suitable eddy current flaw detection probe and eddy current inspection device for inspecting a curved surface of a narrow portion.

渦電流探傷試験は、コイルに交流電流を流し、交流磁場を発生させ、発生させた交流磁場を被検査体に照射し、被検査体表面のき裂や材質（導電率、透磁率）の変化に起因する磁場分布の変化を、別途記録しておいた正常部位との信号の差で評価する非破壊検査方法である。非接触で測定できるため、狭隘部や複雑な曲面の検査への応用が可能であるが、コイルと被検査体との距離が変わるとリフトオフノイズと呼ばれるノイズが発生し、検出したい信号、例えばき裂に起因する信号と区別がつきにくくなることがある。そのため、コイルと被検査体の間は密着もしくは一定の距離を保つほうが望ましい。 In the eddy current flaw detection test, an alternating current is applied to the coil to generate an alternating magnetic field, and the test object is irradiated with the generated alternating magnetic field, and changes in cracks and materials (conductivity, permeability) on the surface of the object to be inspected. This is a non-destructive inspection method in which the change in magnetic field distribution caused by the above is evaluated by the difference in signal from the normal part recorded separately. Since it can be measured without contact, it can be applied to inspection of narrow spaces and complex curved surfaces.However, if the distance between the coil and the object to be inspected changes, noise called lift-off noise is generated and the signal to be detected, for example, It may be difficult to distinguish the signal from the crack. For this reason, it is desirable to maintain close contact or a constant distance between the coil and the object to be inspected.

狭隘部をおける検査では、狭隘部に挿入可能なプレートの先端にセンサを設置することで、センサを狭隘部に挿入するセンサ送り装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。 In an inspection in a narrow portion, a sensor feeding device that inserts a sensor into a narrow portion by installing a sensor at the tip of a plate that can be inserted into the narrow portion is known (for example, see Patent Document 1).

また、曲面をもつ金属構造物の渦電流探傷試験には、可撓性基板に固定されたコイルを備えた渦電流探傷プローブが用いられるようになり、弾性体を用いた曲面部の押圧手段をもち、リフトオフノイズの低減する渦電流探傷プローブが知られている（例えば、特許文献２参照）。 In addition, an eddy current flaw detection probe having a coil fixed to a flexible substrate is used for an eddy current flaw detection test of a metal structure having a curved surface, and a pressing means for a curved surface portion using an elastic body is used. In addition, an eddy current flaw detection probe that reduces lift-off noise is known (see, for example, Patent Document 2).

特開平６−２０７９２７号公報JP-A-6-207927 特開２００６−１９４６６１号公報JP 2006-194661 A

しかしながら、特許文献１に記載のセンサ送り装置では、プレートの先端に設置したセンサを、平面に対しては十分な押圧力を与えることはできるが、狭隘部の曲面と平面に対して十分な押圧力を与えることは困難で、検査面の凹凸によるリフトオフノイズが発生し、正確に探傷が実施できない可能性がある。 However, in the sensor feeding device described in Patent Document 1, the sensor installed at the tip of the plate can give a sufficient pressing force to the flat surface, but a sufficient pressing force to the curved surface and the flat surface of the narrow portion. It is difficult to apply pressure, and lift-off noise due to unevenness on the inspection surface is generated, which may prevent accurate flaw detection.

また、特許文献２に記載の渦電流探傷プローブでは、プローブの挿入方向からの押圧力でプローブを検査面に密着させるため、狭隘部で曲面と平面が混在する検査の場合、両方の面に十分な押圧力を与えることが困難である。さらに、プローブの送りは、弾性体に接続させたアームの移動で実行されるため、探傷領域の広い検査が実施できない問題がある。 Further, in the eddy current flaw detection probe described in Patent Document 2, the probe is brought into close contact with the inspection surface by the pressing force from the probe insertion direction. It is difficult to give a proper pressing force. Furthermore, since the probe is fed by the movement of the arm connected to the elastic body, there is a problem that inspection with a wide flaw detection area cannot be performed.

本発明の目的は、狭隘かつ複雑な曲面の検査面に密着かつ追従でき、広い領域を検査することを可能とする渦電流探傷プローブ及び渦電流検査装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an eddy current flaw detection probe and an eddy current inspection apparatus that can closely contact and follow a narrow and complicated curved inspection surface and can inspect a wide area.

（１）上記目的を達成するために、本発明は、被検査体表面に密着させて走査し、可撓性基板に固定された複数のコイルを有する渦電流探傷プローブであって、前記可撓性基板の走査方向と異なる方向に前記可撓性基板を送るために、回転ローラーによってＶ字形に張架され、ポリイミドフィルムを複数層積層して形成したベルトを備え、前記可撓性基板は、前記ベルトの外周に取り付けられ、前記ベルトの内周側から外周側に向かって前記ベルトを被検査体の曲面と平面に同時に押圧する押圧手段とを備えるようにしたものである。
かかる構成により、狭隘かつ複雑な曲面の検査面に密着かつ追従でき、広い領域を検査できるものとなる。 (1) In order to achieve the above object, the present invention is an eddy current flaw detection probe having a plurality of coils fixed to a flexible substrate, which is scanned in close contact with the surface of an object to be inspected. In order to send the flexible substrate in a direction different from the scanning direction of the conductive substrate, the flexible substrate is provided with a belt that is stretched in a V shape by a rotating roller and is formed by laminating a plurality of layers of polyimide films. It is attached to the outer periphery of the belt, and comprises pressing means for simultaneously pressing the belt against the curved surface and flat surface of the object to be inspected from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the belt .
With this configuration, it is possible to closely contact and follow the narrow and complicated curved inspection surface, and to inspect a wide area.

（２）上記（１）において、好ましくは、前記送り手段は、複数のコイルを固定した前記可撓性基板と接着し、走査方向と異なる方向に配置したベルトと、前記ベルトの移動を可能とするモータと、前記モータから動力を伝えると同時に、前記ベルトと接触し、送り方向を案内する複数の回転ローラーと、これらローラーの回転軸を保持する本体とを備えるようにしたものである。 ( 2 ) In the above (1), preferably, the feeding means is bonded to the flexible substrate to which a plurality of coils are fixed, and is arranged in a direction different from the scanning direction, and the belt can be moved. And a plurality of rotating rollers that contact the belt and guide the feeding direction, and a main body that holds the rotating shafts of these rollers.

（３）上記（１）において、好ましくは、前記送り手段は、前記ベルトを一定の位置に保持する位置保持手段を備え、前記位置保持手段は、前記ベルトの送り方向に設けた複数の穴と、前記ベルトとの接触面に前記複数の穴に嵌る突起部を設けた前記回転ローラーと、前記ベルトに接着した前記プローブの送り方向を案内する本体とを備えるようにしたものである。 ( 3 ) In the above (1), preferably, the feeding means includes position holding means for holding the belt in a fixed position, and the position holding means includes a plurality of holes provided in the belt feeding direction. The rotating roller provided with projections that fit into the plurality of holes on the contact surface with the belt, and a main body that guides the feeding direction of the probe adhered to the belt.

（４）また、上記目的を達成するために、本発明は、可撓性基板に固定された複数のコイルを有する渦電流探傷プローブと、該渦電流探傷プローブを被検査体表面に密着させて走査する走査手段と、前記コイルのうち検出用コイルからの探傷信号を表示する表示部とを有する渦電流検査装置であって、前記渦電流探傷プローブは、前記可撓性基板の走査方向と異なる方向に前記可撓性基板を送るために、回転ローラーによってＶ字形に張架され、ポリイミドフィルムを複数層積層して形成したベルトを備え、前記可撓性基板は、前記ベルトの外周に取り付けられ、前記ベルトの内周側から外周側に向かって前記ベルトを被検査体の曲面と平面に同時に押圧する押圧手段とを備えるようにしたものである。
かかる構成により、狭隘かつ複雑な曲面の検査面に密着かつ追従でき、広い領域を検査できるものとなる。 ( 4 ) In order to achieve the above object, the present invention provides an eddy current flaw detection probe having a plurality of coils fixed to a flexible substrate, and the eddy current flaw detection probe in close contact with the surface of an object to be inspected. An eddy current inspection apparatus having scanning means for scanning and a display unit for displaying a flaw detection signal from a detection coil among the coils, wherein the eddy current flaw detection probe is different from a scanning direction of the flexible substrate. In order to feed the flexible substrate in the direction, a belt is formed which is stretched in a V shape by a rotating roller and is formed by laminating a plurality of polyimide films, and the flexible substrate is attached to the outer periphery of the belt. The belt comprises pressing means for simultaneously pressing the belt against the curved surface and the flat surface of the object to be inspected from the inner circumference side toward the outer circumference side .
With this configuration, it is possible to closely contact and follow the narrow and complicated curved inspection surface, and to inspect a wide area.

本発明によれば、狭隘かつ複雑な曲面の検査面に密着かつ追従でき、広い領域を検査することを可能となる。 According to the present invention, it is possible to closely contact and follow a narrow and complicated inspection surface, and to inspect a wide area.

以下、図１〜図８を用いて、本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブ及び渦電流検査装置の構成及び動作について説明する。
最初に、図１及び図２を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブの構成について説明する。
図１は、本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す正面図である。図２は、本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す分解斜視図である。なお、図１及び図２において、同一符号は同一部分を示している。 Hereinafter, the configuration and operation of an eddy current flaw detection probe and an eddy current inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
First, the configuration of the eddy current flaw detection probe according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
FIG. 1 is a front view showing a configuration of an eddy current flaw detection probe according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an exploded perspective view showing the configuration of the eddy current flaw detection probe according to the embodiment of the present invention. 1 and 2, the same reference numerals indicate the same parts.

図１に示すように、渦電流探傷プローブ１は、被検査体２の表面に面する可撓性基板３を備えている。ここで、図２に示すように、可撓性基板３には、複数のコイル４が固定されている。また、図１に示すように、渦電流探傷プローブ１は、可撓性基板３に固定されたコイル４を被検査体２側に密着させる弾性体５と、弾性体５に接着したベルト６を介してコイル４を被検査体２側に押圧する押圧手段７を備えている。さらに、渦電流探傷プローブ１は、回転ローラー９，回転ローラー１０によってベルト６を送る送り手段１３を備えている。図２に示すように、回転ローラー１０には、モータ８が接続されている。 As shown in FIG. 1, the eddy current flaw detection probe 1 includes a flexible substrate 3 that faces the surface of an inspection object 2. Here, as shown in FIG. 2, a plurality of coils 4 are fixed to the flexible substrate 3. As shown in FIG. 1, the eddy current flaw detection probe 1 includes an elastic body 5 that closely contacts a coil 4 fixed to a flexible substrate 3 to the inspected object 2 side, and a belt 6 that is bonded to the elastic body 5. And a pressing means 7 for pressing the coil 4 toward the object 2 to be inspected. Further, the eddy current flaw detection probe 1 includes a feeding means 13 for feeding the belt 6 by the rotating roller 9 and the rotating roller 10. As shown in FIG. 2, a motor 8 is connected to the rotating roller 10.

可撓性基板３は、例えば、ポリイミドフィルムを複数層積層して形成されたものを基板としている。可撓性基板３はプリント配線を備えており、コイル４と渦電流探傷プローブ１に接続される外部の測定装置とが電気的に接続される。 For example, the flexible substrate 3 is formed by laminating a plurality of polyimide films. The flexible substrate 3 includes a printed wiring, and the coil 4 and an external measurement device connected to the eddy current flaw detection probe 1 are electrically connected.

コイル４は、銅線を巻いたものを可撓性基板３に接着したものや、可撓性基板３のプリント配線を渦状に施し、コイルとして使用できるものを用いている。 As the coil 4, a coil wound with a copper wire is bonded to the flexible substrate 3, or a coil that can be used as a coil by applying a printed wiring of the flexible substrate 3 in a spiral shape.

弾性体５は、例えば、ポリウレタンゴム製のスポンジで直方体上に形成され、可撓性基板３に面する側にコイル４を収容している。 The elastic body 5 is formed on a rectangular parallelepiped with a polyurethane rubber sponge, for example, and accommodates the coil 4 on the side facing the flexible substrate 3.

次に、送り手段１３の構成について説明する。 Next, the configuration of the feeding means 13 will be described.

ベルト６は、例えばポリイミドフィルムを複数層積層して形成した可撓性基板やプラスティック製のチェーン、キャタピラなどを用いており、回転ローラー９，１０，１１，１２に係合している。ベルト６は、回転ローラー１１によって、Ｖ字形に張架されており、狭隘部に挿入しやすい形状としている。回転ローラー１０は、図２に示すモータ８などの動力源と機械的に接続されており、この動力源によって回転ローラー９あるいは１０の回転し、ベルト６が送られる。また、図２に示すように、ベルト６には、ベルト送り方向１４に一定の間隔で穴１５が設けられている。回転ローラー９，１０とベルト６の接触面には、ベルト６に設けられた穴１５と噛み合わせるための突起１６が設けられており、ベルト６のベルト送り方向１４への案内と、ベルト６とモータ８の動力伝達と、渦電流探傷プローブ１の走査でベルト６の引きずりで発生する位置ずれを防止する。回転ローラー９，１０に用いる材料は、例えば、コイル４から発生する磁場分布に影響を与えない（導電性、磁性がない）アクリル樹脂材、ピーク材、ポリカーボネート、高分子ポリエチレン材などのプラスティック材が望ましい。 The belt 6 uses, for example, a flexible substrate formed by laminating a plurality of layers of polyimide films, a plastic chain, a caterpillar, and the like, and is engaged with rotating rollers 9, 10, 11, and 12. The belt 6 is stretched in a V shape by a rotating roller 11 and has a shape that can be easily inserted into a narrow portion. The rotating roller 10 is mechanically connected to a power source such as the motor 8 shown in FIG. 2, and the rotating roller 9 or 10 is rotated by this power source to feed the belt 6. As shown in FIG. 2, holes 15 are provided in the belt 6 at regular intervals in the belt feeding direction 14. A protrusion 16 for meshing with a hole 15 provided in the belt 6 is provided on a contact surface between the rotary rollers 9 and 10 and the belt 6, and guides the belt 6 in the belt feeding direction 14, Misalignment caused by dragging of the belt 6 is prevented by power transmission of the motor 8 and scanning of the eddy current flaw detection probe 1. The material used for the rotating rollers 9 and 10 is, for example, a plastic material such as an acrylic resin material, a peak material, a polycarbonate, or a high-molecular polyethylene material that does not affect the magnetic field distribution generated from the coil 4 (no conductivity or magnetism). desirable.

図２に示すモータ８は、回転ローラー１０を回転させ、ベルト６を送るためのものであり、ベルト６の送り量を精度良く制御できるステッピングモータや、ベルト６に加わる拘束力が強い時でも、ベルト６を送ることが可能な始動トルクの大きい直流モータを用いている。図示していないが、ギアボックスを設置し、このギアボックスを介してモータを接続すればベルト送りのトルクや速度を調節することができる。 The motor 8 shown in FIG. 2 is for feeding the belt 6 by rotating the rotary roller 10, and even when a stepping motor that can accurately control the feed amount of the belt 6 or a binding force applied to the belt 6 is strong, A DC motor having a large starting torque capable of feeding the belt 6 is used. Although not shown, if a gear box is installed and a motor is connected via this gear box, the torque and speed of the belt feed can be adjusted.

回転ローラー１１は、ベルト６のベルト送り方向１４への案内を目的として設置されている。また、この部分は、渦電流探傷プローブ１が狭隘部に挿入される場合の先端部付近にあたり、コイル４を押付ける役目も担う。回転ローラー１１は、回転ローラー９，１０と同様に、ベルト６の穴１５との噛み合わせるのための突起１６を設けてもよいが、突起１６によってコイル４への圧力が局所的に高くなる可能性があるため、コイル４が変形する恐れがある。そのため、回転ローラー１１には、突起１６を設けなくてもよい。回転ローラー１１に用いる材料は、実際の検査の測定において、コイル４との距離が近くなる場合があるため、コイル４から発生する磁場分布に影響を与えない（導電性及び磁性がない）アクリル樹脂材、ピーク材、ポリカーボネート、高分子ポリエチレン材などのプラスティック材で構成されている。 The rotating roller 11 is installed for the purpose of guiding the belt 6 in the belt feeding direction 14. Further, this portion is in the vicinity of the tip when the eddy current flaw detection probe 1 is inserted into the narrow portion, and also plays a role of pressing the coil 4. The rotating roller 11 may be provided with a protrusion 16 for meshing with the hole 15 of the belt 6, as with the rotating rollers 9 and 10, but the protrusion 16 may locally increase the pressure on the coil 4. Therefore, the coil 4 may be deformed. Therefore, the rotation roller 11 does not have to be provided with the protrusion 16. The material used for the rotating roller 11 is an acrylic resin that does not affect the distribution of the magnetic field generated from the coil 4 (there is no conductivity and magnetism) because the distance from the coil 4 may be close in the actual inspection measurement. It is made of plastic materials such as wood, peak material, polycarbonate, and polymer polyethylene material.

次に、ベルト緩み調節手段の構成について説明する。 Next, the configuration of the belt slack adjusting means will be described.

回転ローラー１２は、ベルト６の張りを自動調節するために設置されている。回転ローラー１２の回転軸の位置は、回転ローラー９，１０，１１と異なり、移動可能である。回転ローラー１２の回転軸と直交する方向に支持軸１７を設け、その支持軸１７にバネ１８を挿入してある。止め板２０には、支持軸１７の軸径より大きく、バネ１８の径より小さい径の貫通穴１９が設けられている。バネ１８を挿入した支持軸１７は、止め板２０の貫通穴１９を通してある。 The rotating roller 12 is installed to automatically adjust the tension of the belt 6. Unlike the rotating rollers 9, 10, and 11, the position of the rotating shaft of the rotating roller 12 is movable. A support shaft 17 is provided in a direction orthogonal to the rotation axis of the rotating roller 12, and a spring 18 is inserted into the support shaft 17. The stop plate 20 is provided with a through hole 19 having a diameter larger than the shaft diameter of the support shaft 17 and smaller than the diameter of the spring 18. The support shaft 17 into which the spring 18 is inserted passes through the through hole 19 of the stop plate 20.

止め板２０とローラー１２の回転軸は、図２に示すように、２枚板からなる本体２１に設けられた保持穴２２と支持穴２３に差し込み、両面から挟むことで、渦電流探傷プローブ１の位置を保つようにしている。その際、回転ローラー１２の回転軸を支持する支持穴２３は、回転ローラー１２の回転軸の位置が移動できるように、止め板２０で支持された支持軸１７と平行方向の長穴である。 As shown in FIG. 2, the rotating shafts of the stop plate 20 and the roller 12 are inserted into a holding hole 22 and a support hole 23 provided in a main body 21 made of two plates, and sandwiched from both sides, so that the eddy current flaw detection probe 1 To keep the position. At that time, the support hole 23 that supports the rotation shaft of the rotation roller 12 is a long hole parallel to the support shaft 17 supported by the stop plate 20 so that the position of the rotation shaft of the rotation roller 12 can be moved.

ベルト６は、回転ローラー１２の支持軸１７と反対側に掛けられており、バネ１８の反発力を利用して、ベルト６の張りを保つ機能を有する。ベルト６の張りは、押圧手段７によりベルト６を押圧する程度によって変化する。すなわち、狭隘部の角度が図１に示すように、大きい場合には押圧手段７によるベルト６の張りは強くなり、図５で後述するようなＶ字形の狭隘部の角度が小さい場合には、押圧手段７によるベルト６の張りは弱くなる。このように狭隘部の角度によりベルト６の張りが変化するため、ベルト緩み調節手段を設けることで、ベルト６の張りが弱くなったときも自動的に張りが調節されるため、回転ローラー９，１０の突起１６とベルト６に設けられた穴１５の噛み合わせが保たれ、モータ８からの動力をベルト６に伝えることができるようになる。逆に、ベルト６の張りが強くなったときも自動的に張りが調節されるため、回転ローラー９，１０の突起１６とベルト６に設けられた穴１５の噛み合わせが保たれ、モータ８からの動力をベルト６に伝えることができるようになる。 The belt 6 is hung on the opposite side of the rotating roller 12 from the support shaft 17 and has a function of keeping the belt 6 tight by utilizing the repulsive force of the spring 18. The tension of the belt 6 changes depending on the degree to which the belt 6 is pressed by the pressing means 7. That is, as shown in FIG. 1, when the angle of the narrow portion is large, the tension of the belt 6 by the pressing means 7 becomes strong, and when the angle of the V-shaped narrow portion as described later in FIG. 5 is small, The tension of the belt 6 by the pressing means 7 is weakened. Since the tension of the belt 6 changes depending on the angle of the narrow portion as described above, the tension is automatically adjusted even when the tension of the belt 6 is weakened by providing the belt looseness adjusting means. As a result, the engagement of the projections 16 of the 10 and the holes 15 provided in the belt 6 is maintained, and the power from the motor 8 can be transmitted to the belt 6. On the contrary, since the tension is automatically adjusted when the tension of the belt 6 becomes strong, the engagement between the protrusion 16 of the rotating rollers 9 and 10 and the hole 15 provided in the belt 6 is maintained. Can be transmitted to the belt 6.

次に、押圧手段７の構成について説明する。 Next, the configuration of the pressing means 7 will be described.

弾性体５に接着したベルト６は、可動ブロック２４で押圧する。渦電流探傷プローブ１の内側に設置する固定ブロック２５と、可動ブロック２４の間にバネ２６を挿入してある。バネ２６の両端は、可動ブロック２４と固定ブロック２５に設けられている穴２７で位置が固定されている。バネ２６或いはダンパー１５０によって、渦電流探傷プローブ１の外側に向かって、可動ブロック２４に力を与え、ベルト６を介してコイル４を被検査体２の表面に押圧する。 The belt 6 bonded to the elastic body 5 is pressed by the movable block 24. A spring 26 is inserted between the fixed block 25 installed inside the eddy current flaw detection probe 1 and the movable block 24. The positions of both ends of the spring 26 are fixed by holes 27 provided in the movable block 24 and the fixed block 25. A force is applied to the movable block 24 toward the outside of the eddy current flaw detection probe 1 by the spring 26 or the damper 150, and the coil 4 is pressed against the surface of the inspection object 2 via the belt 6.

可動ブロック２４は、例えば、コイル４から発生する磁場分布に影響を与えない（導電性及び磁性がない）アクリル樹脂材、ピーク材、ポリカーボネート、高分子ポリエチレン材などのプラスティック材を用いる。可動ブロック２４の側面には、コイル４の被検査体２側からの押し込みとバネ２６による反発力による移動を可能とし、本体２１で支持できるようにするための突起２８が備えられている。突起２８は、図２に示す本体２１に設けられた長穴２９に差し込むことができ、可動ブロック２４の移動範囲を案内となる。長穴２９の長手方向は、押圧方向と同一とすることで、バネ２６による反発力を効率よくコイル４への押圧力とすることができる。 The movable block 24 is made of, for example, a plastic material such as an acrylic resin material, a peak material, a polycarbonate, or a polymer polyethylene material that does not affect the distribution of the magnetic field generated from the coil 4 (has no conductivity and magnetism). On the side surface of the movable block 24, a protrusion 28 is provided to enable the coil 4 to be pushed from the inspection object 2 side and to move by the repulsive force of the spring 26 and to be supported by the main body 21. The protrusion 28 can be inserted into a long hole 29 provided in the main body 21 shown in FIG. 2, and serves as a guide for the moving range of the movable block 24. By making the longitudinal direction of the long hole 29 the same as the pressing direction, the repulsive force by the spring 26 can be efficiently used as the pressing force to the coil 4.

固定ブロック２５は、例えば、コイル４から発生する磁場分布に影響を与えない（導電性及び磁性がない）アクリル樹脂材、ピーク材、ポリカーボネート、高分子ポリエチレン材などのプラスティック材を用いる。固定ブロック２５は、本体２１に接着または（図示していないが）ネジ止めするなどの方法で固定し、バネ２６の反発力を受け止める役目を果たす。固定ブロックの形は、押圧面に平行とし、長穴２９の長手方向が押圧方向と同一であれば、バネ２６による反発力を効率よくコイル４への押圧力とすることができる。 The fixed block 25 is made of, for example, a plastic material such as an acrylic resin material, a peak material, a polycarbonate, or a polymer polyethylene material that does not affect the distribution of the magnetic field generated from the coil 4 (has no electrical conductivity or magnetism). The fixing block 25 is fixed to the main body 21 by a method such as bonding or screwing (not shown), and serves to receive the repulsive force of the spring 26. If the shape of the fixed block is parallel to the pressing surface and the longitudinal direction of the long hole 29 is the same as the pressing direction, the repulsive force by the spring 26 can be efficiently used as the pressing force to the coil 4.

本実施形態の渦電流探傷プローブ１を構成する部品を固定もしくは支持する本体２１は、コイル４から発生する磁場分布に影響を与えない（導電性及び磁性がない）アクリル樹脂材、ピーク材、ポリカーボネート、高分子ポリエチレン材などのプラスティック材の板２枚で構成されている。本体２１は、狭隘部の表面形状に応じて先端に尖がりをもつ形で、各部品を差し込み可能な保持穴もしくは支持穴を有し、前記２枚の板２１で、前記部品を挟んで固定もしくは支持する。回転ローラー９，１０，１１の回転軸は、それぞれ、図２に示す保持穴３０，３１，３２に差し込まれ、回転ローラー１２の回転軸は、支持穴２３に差し込まれ、止め板２０は、保持穴２２に差し込まれ、可動ブロック２４に設けられている突起２８は、長穴２９に差し込まれ、保持もしくは支持されている。固定ブロック２５は、接着または、図示していないが、ネジ止めするなどの方法で、本体２１に固定している。 The main body 21 that fixes or supports the components constituting the eddy current flaw detection probe 1 of the present embodiment does not affect the magnetic field distribution generated from the coil 4 (no conductivity and magnetism), an acrylic resin material, a peak material, and a polycarbonate It is composed of two sheets of plastic material such as polymer polyethylene material. The main body 21 has a sharp point at the tip according to the surface shape of the narrow part, has a holding hole or a support hole into which each part can be inserted, and is fixed by sandwiching the part with the two plates 21. Or support. The rotating shafts of the rotating rollers 9, 10, 11 are respectively inserted into the holding holes 30, 31, 32 shown in FIG. 2, the rotating shaft of the rotating roller 12 is inserted into the support hole 23, and the stopper plate 20 is held. The projection 28 inserted into the hole 22 and provided on the movable block 24 is inserted into the elongated hole 29 and is held or supported. The fixing block 25 is fixed to the main body 21 by bonding or screwing (not shown).

次に、図３を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブのコイルを送ったときの状態について説明する。
図３は、本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブのコイルを送ったときの状態を示す正面図である。なお、図１及び図２と同一符号は、同一部分を示している。 Next, the state when the coil of the eddy current flaw detection probe according to the present embodiment is sent will be described with reference to FIG.
FIG. 3 is a front view showing a state when the coil of the eddy current flaw detection probe according to the embodiment of the present invention is sent. 1 and 2 indicate the same parts.

ベルト６は、回転ローラー９，１０，１１，１２に引っ掛けられ、回転ローラー１０がモータ８などの動力源と機械的に接続されており、この動力源による回転ローラー１０の回転で弾性体５に接着したベルト６が送られ、弾性体５に装着されている可撓性基板３に固定された複数のコイル４がベルト送り方向１４に沿って移動する。 The belt 6 is hooked on rotating rollers 9, 10, 11, and 12, and the rotating roller 10 is mechanically connected to a power source such as a motor 8, and the rotating roller 10 is rotated by the power source to the elastic body 5. The bonded belt 6 is fed, and the plurality of coils 4 fixed to the flexible substrate 3 attached to the elastic body 5 move along the belt feeding direction 14.

本実施形態の渦電流探傷プローブ１では、狭隘部の曲面検査における広領域探傷のためのコイル４の位置移動は、狭隘部に挿入したまま、ベルトの送り手段１３で実行することができる。 In the eddy current flaw detection probe 1 of the present embodiment, the movement of the position of the coil 4 for wide area flaw detection in the curved surface inspection of the narrow portion can be executed by the belt feeding means 13 while being inserted into the narrow portion.

次に、図４及び図５を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブを用いて狭隘部曲面検査する際の状態について説明する。
図４及び図５は、本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブを用いて狭隘部曲面検査する際の状態を示す正面図である。なお、図１及び図２と同一符号は、同一部分を示している。 Next, with reference to FIG. 4 and FIG. 5, a state at the time of narrow surface curved surface inspection using the eddy current flaw detection probe according to the present embodiment will be described.
4 and 5 are front views showing a state in which a narrow curved surface is inspected using the eddy current flaw detection probe according to the embodiment of the present invention. 1 and 2 indicate the same parts.

図４は、本実施形態の渦電流探傷プローブ１を狭隘部な形状をもつ被検査体２に挿入し、コイル４が完全に密着する前段階を示し、図５は、図４の状態からさらに狭隘部な形状をもつ被検査体２の最も奥部まで押し込んだ状態を示している。 FIG. 4 shows a pre-stage where the eddy current flaw detection probe 1 of the present embodiment is inserted into the inspection object 2 having a narrow shape and the coil 4 is completely brought into close contact, and FIG. The state which pushed in to the innermost part of the to-be-inspected object 2 which has a narrow shape is shown.

図４において、本実施形態の渦電流探傷プローブ１は、図面上方の狭隘部入口から挿入方向５０へ向かって押し込んでいる。長穴２９によって支持され、バネ２６の反発力によって渦電流探傷プローブ１の外側に向かう力が与えられている可動ブロック２４の突起２８は、コイル４が被検査体２に押し込まれていない状態では、本体２１に備えられた長穴２９の最も被検査体２側に位置する。これにより、可動ブロック２４は、渦電流探傷プローブ１の最も被検査体２側に位置し、ベルト６は、より被検査体２側に位置する。 In FIG. 4, the eddy current flaw detection probe 1 according to the present embodiment is pushed toward the insertion direction 50 from the narrow entrance at the top of the drawing. The protrusion 28 of the movable block 24 supported by the long hole 29 and applied with the force toward the outside of the eddy current flaw detection probe 1 by the repulsive force of the spring 26 is in a state where the coil 4 is not pushed into the inspection object 2. The long hole 29 provided in the main body 21 is located closest to the inspection object 2. As a result, the movable block 24 is positioned closest to the inspection object 2 side of the eddy current flaw detection probe 1, and the belt 6 is positioned closer to the inspection object 2 side.

すべての可動ブロック２４の突起２８が、長穴２９において渦電流探傷プローブ１の最も被検査体２側に位置する時、本実施形態の渦電流探傷プローブ１は、最も幅をもった状態である。渦電流探傷プローブ１の幅が広くなる場合、可動ブロック２４と回転ローラー９，１０，１１それぞれの間でベルト６の長さを長くする必要がある。 When the protrusions 28 of all the movable blocks 24 are located closest to the inspection object 2 side of the eddy current flaw detection probe 1 in the long holes 29, the eddy current flaw detection probe 1 of the present embodiment is in the state having the widest width. . When the width of the eddy current flaw detection probe 1 is increased, it is necessary to increase the length of the belt 6 between the movable block 24 and the rotating rollers 9, 10, 11.

そこで、回転ローラー１２と回転ローラー９，１のそれぞれの間にあるベルト６の長さを利用する。渦電流探傷プローブ１の幅が広くなった場合、可動ブロック２４と回転ローラー９，１０，１１のそれぞれの間でベルト６の長さを長くなるため、回転ローラー１２と回転ローラー９，１０のそれぞれの間にあるベルト６の長さが短くなる。回転ローラー１２の回転軸の位置は、回転ローラー１２の回転軸を支持する支持穴２３に従って移動可能であるため、ベルト６が回転ローラー１２に引っかかる位置が変わり、回転ローラー１２と回転ローラー９，１０のそれぞれの間にあるベルト６の長さを短くすることが可能となる。 Therefore, the length of the belt 6 between the rotating roller 12 and the rotating rollers 9 and 1 is used. When the width of the eddy current flaw detection probe 1 is increased, the length of the belt 6 is increased between the movable block 24 and each of the rotating rollers 9, 10, 11. The length of the belt 6 in between is shortened. Since the position of the rotating shaft of the rotating roller 12 is movable according to the support hole 23 that supports the rotating shaft of the rotating roller 12, the position where the belt 6 is caught by the rotating roller 12 changes, and the rotating roller 12 and the rotating rollers 9, 10 are changed. It is possible to shorten the length of the belt 6 between the two.

さらに、回転ローラー１２の回転軸と直交する方向に支持軸１７を設け、その支持軸１７にバネ１８を挿入し、前記支持軸が通る貫通穴１９を設けた止め板２０によって、回転ローラー１２は、バネ１８の反発力を利用して常にベルト６の張りをもたせるような位置になる。 Further, the rotation roller 12 is provided by a stop plate 20 provided with a support shaft 17 in a direction orthogonal to the rotation axis of the rotation roller 12, a spring 18 inserted into the support shaft 17, and a through hole 19 through which the support shaft passes. The position of the belt 6 is always kept using the repulsive force of the spring 18.

図４に示す場合、回転ローラー１２と回転ローラー９，１０のそれぞれの間にあるベルト６の長さが短くなるため、回転ローラー１２の位置は、回転ローラー９，１０に近い、渦電流探傷プローブ１の上方になり、バネ１８は収縮する。 In the case shown in FIG. 4, the length of the belt 6 between each of the rotating roller 12 and the rotating rollers 9 and 10 is shortened, so that the position of the rotating roller 12 is close to the rotating rollers 9 and 10 and the eddy current flaw detection probe. 1 and the spring 18 contracts.

図５において、本実施形態の渦電流探傷プローブ１は、図面上方の狭隘部入口から挿入方向５０へ向かって押し込んでいる。長穴２９によって支持され、バネ２６の反発力によって渦電流探傷プローブ１の外側に向かう力が与えられている可動ブロック２４の突起２８は、コイル４が被検査体２に押し込まれている状態では、本体２１に備えられた長穴２９の本体２１中央側に位置する。これにより可動ブロック２４は、渦電流探傷プローブ１の内側に位置する。 In FIG. 5, the eddy current flaw detection probe 1 of the present embodiment is pushed in from the narrow entrance at the top of the drawing in the insertion direction 50. The protrusion 28 of the movable block 24 supported by the long hole 29 and applied with a force toward the outside of the eddy current flaw detection probe 1 by the repulsive force of the spring 26 is in a state where the coil 4 is pushed into the object 2 to be inspected. The long hole 29 provided in the main body 21 is located on the center side of the main body 21. Accordingly, the movable block 24 is positioned inside the eddy current flaw detection probe 1.

すべての可動ブロック２４の突起２８が、長穴２９において最も本体２１中央側に位置する時、本実施形態の渦電流探傷プローブ１は、幅が狭くなる状態である。渦電流探傷プローブ１の幅が狭くなる場合、可動ブロック２４と回転ローラー９，１０，１１のそれぞれの間でベルト６の長さを短くする必要がある。 When the protrusions 28 of all the movable blocks 24 are located closest to the center of the main body 21 in the elongated hole 29, the eddy current flaw detection probe 1 of the present embodiment is in a state where the width becomes narrow. When the width of the eddy current flaw detection probe 1 becomes narrow, it is necessary to shorten the length of the belt 6 between the movable block 24 and each of the rotating rollers 9, 10, 11.

そこで、回転ローラー１２と回転ローラー９，１０のそれぞれの間にあるベルト６の長さを調節する。渦電流探傷プローブ１の幅が狭くなった場合、可動ブロック２４と回転ローラー９，１０，１１のそれぞれの間でベルト６の長さを短くなるため、回転ローラー１２と回転ローラー９，１０のそれぞれの間にあるベルト６の長さが長くなる。回転ローラー１２の回転軸の位置は、回転ローラー１２の回転軸を支持する支持穴２３に従って移動可能であるため、ベルト６が回転ローラー１２に引っかかる位置が変わり、回転ローラー１２と回転ローラー９，１０のそれぞれの間にあるベルト６の長さを長くすることが可能となる。 Therefore, the length of the belt 6 between the rotating roller 12 and the rotating rollers 9 and 10 is adjusted. When the width of the eddy current flaw detection probe 1 is reduced, the length of the belt 6 is shortened between the movable block 24 and each of the rotary rollers 9, 10, and 11, so that each of the rotary roller 12 and the rotary rollers 9 and 10 is provided. The length of the belt 6 in between is increased. Since the position of the rotating shaft of the rotating roller 12 is movable according to the support hole 23 that supports the rotating shaft of the rotating roller 12, the position where the belt 6 is caught by the rotating roller 12 changes, and the rotating roller 12 and the rotating rollers 9, 10 are changed. It is possible to increase the length of the belt 6 between the two.

さらに、回転ローラー１２の回転軸と直交する方向に支持軸１７を設け、その支持軸１７にバネ１８を挿入し、支持軸１７が通る貫通穴１９を設けた止め板２０によって、回転ローラー１２は、バネ１８の反発力を利用して常にベルト６の張りをもたせるような位置になる。 Further, the rotary roller 12 is provided by a stop plate 20 provided with a support shaft 17 in a direction orthogonal to the rotation axis of the rotary roller 12, inserting a spring 18 into the support shaft 17, and provided with a through hole 19 through which the support shaft 17 passes. The position of the belt 6 is always kept using the repulsive force of the spring 18.

図５に示す場合、回転ローラー１２と回転ローラー９，１０のそれぞれの間にあるベルト６の長さが長くなるため、回転ローラー１２の位置は、回転ローラー９，１０に遠い、渦電流探傷プローブ１の中央になり、バネ１８は伸張する。なお、バネ１８は、図６のように、空気圧や油圧を利用したダンパー１５０と置き換えて押圧力を供給してもよい。このとき、空気圧や油圧を各ダンパーに供給するためにチューブ１５１を用いて、プローブ１外部に設置するポンプ（図示なし）と接続する。チューブ１５１は、他の押圧手段７や送り手段１３の機能を妨げないように穴１５２などを設置し、プローブ１の外部に引き出す。 In the case shown in FIG. 5, since the length of the belt 6 between the rotating roller 12 and the rotating rollers 9 and 10 becomes longer, the position of the rotating roller 12 is far from the rotating rollers 9 and 10. 1 and the spring 18 extends. The spring 18 may be replaced with a damper 150 using air pressure or hydraulic pressure as shown in FIG. At this time, in order to supply air pressure and hydraulic pressure to each damper, the tube 151 is used to connect to a pump (not shown) installed outside the probe 1. The tube 151 is provided with a hole 152 or the like so as not to interfere with the functions of the other pressing means 7 and the feeding means 13, and is pulled out of the probe 1.

以上説明した構成及び動作により、ベルト６は、回転ローラー９，１０，１１に対する引っ掛かりが緩まず、ベルト送り手段１３を機能させることができるようになる。 With the configuration and operation described above, the belt 6 is able to function as the belt feeding means 13 without being caught on the rotating rollers 9, 10, and 11.

なお、可動ブロック２４の移動範囲が広くなったり、渦電流探傷プローブ１の本体２１の幅がさらに狭くなったりするような場合、可動ブロック２４の回転ローラー１１側と回転ローラー１１でお互いに物理的な干渉を起こす可能性が高くなる。そこで、可動ブロック２４の先端３３を細く板ばね状にすることで解決できる。また、板ばね３３は、可動ブロック２４の弾性によってベルト６に対する押圧効果を生む。 When the moving range of the movable block 24 is widened or the width of the main body 21 of the eddy current flaw detection probe 1 is further narrowed, the rotating block 11 side and the rotating roller 11 of the movable block 24 are physically connected to each other. There is a high possibility of causing serious interference. Therefore, the problem can be solved by making the tip 33 of the movable block 24 into a thin leaf spring shape. The leaf spring 33 produces a pressing effect on the belt 6 due to the elasticity of the movable block 24.

板ばね３３を可動ブロック２４に設ける場合、板ばね３３の先端でベルト６を損傷させる恐れがある。これを解決するために板ばね３３の先端３４の形状を工夫することでベルト６の損傷を押えることができる。 When the leaf spring 33 is provided on the movable block 24, the belt 6 may be damaged at the tip of the leaf spring 33. In order to solve this problem, the belt 6 can be prevented from being damaged by devising the shape of the tip 34 of the leaf spring 33.

次に、図７を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブの押圧手段７に用いる可動ブロック２４の構成について説明する。
図７は、本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブの押圧手段に用いる可動ブロックの構成を示す正面図である。なお、図１及び図２と同一符号は、同一部分を示している。 Next, the configuration of the movable block 24 used in the pressing means 7 of the eddy current flaw detection probe according to the present embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 7 is a front view showing the configuration of the movable block used for the pressing means of the eddy current flaw detection probe according to the embodiment of the present invention. 1 and 2 indicate the same parts.

図７は、板ばね３３の先端３４の形状を変えた可動ブロック２４の例を示している。 FIG. 7 shows an example of the movable block 24 in which the shape of the tip 34 of the leaf spring 33 is changed.

図７（Ａ）は、図１に示した可動ブロック２４を拡大して図示したものである。可動ブロック２４の端部に儲けられた板ばね３３の先端は、尖形としている。板ばね３３の先端は、コイル４を押付ける場合、ベルト６をひっかくことがある。 FIG. 7A is an enlarged view of the movable block 24 shown in FIG. The tip of the leaf spring 33 sown at the end of the movable block 24 is pointed. The tip of the leaf spring 33 may scratch the belt 6 when the coil 4 is pressed.

ここで、例えば、ベルト６の材料として、ポリイミドフィルムを複数層積層して形成したものを用いた場合、その剛性が高くあまり問題とはならないが、プラスティック製のチェーンやキャタピラを用いた場合には、ベルトを損傷させる可能性がある。その場合には、図７（Ｂ）や図７（Ｃ）に示す板ばねの形状とする。 Here, for example, when a material formed by laminating a plurality of polyimide films as the material of the belt 6 is used, its rigidity is not so high, but when a plastic chain or a caterpillar is used, May damage the belt. In that case, it is set as the shape of the leaf | plate spring shown in FIG.7 (B) or FIG.7 (C).

図７（Ｂ）や図７（Ｃ）に示す可動ブロック２４Ｂ、２４Ｃの板ばねの先端は、曲面を有し、ベルト６の潤滑性が高いため、ベルトの損傷の可能性が低くなる。特に可動ブロック２４Ｃの板ばねの先端３４Ｃは、先端まで弾性を持ち、なおかつ、省スペースとなるため、回転ローラー１１やもう一方の可動ブロック２４Ｂに対する物理的な干渉を低減することが可能となる。 The tips of the leaf springs of the movable blocks 24B and 24C shown in FIGS. 7B and 7C have a curved surface, and the belt 6 has high lubricity, so the possibility of damage to the belt is reduced. In particular, the tip 34C of the leaf spring of the movable block 24C is elastic to the tip and saves space, so that it is possible to reduce physical interference with the rotating roller 11 and the other movable block 24B.

一方では、図７（Ａ）に示した構成の板ばねは、図７（Ｂ）や図７（Ｃ）に示す板ばねに比べて、ベルトと接触する有効長を長くすることができる。従って、ベルト６に作用する押圧力を大きくすることができる。 On the other hand, the leaf spring having the structure shown in FIG. 7A can have a longer effective length in contact with the belt than the leaf springs shown in FIGS. 7B and 7C. Accordingly, the pressing force acting on the belt 6 can be increased.

次に、図８を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブを用いた渦電流探傷装置の構成について説明する。
図７は、本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブを用いた渦電流探傷装置の構成を示す斜視図である。なお、図１及び図２と同一符号は、同一部分を示している。 Next, the configuration of the eddy current flaw detection apparatus using the eddy current flaw detection probe according to the present embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 7 is a perspective view showing a configuration of an eddy current flaw detection apparatus using an eddy current flaw detection probe according to an embodiment of the present invention. 1 and 2 indicate the same parts.

本実施形態の渦電流探傷装置１００は、被検査体２の表面に渦電流プローブを走査させるスキャナ装置１０１と、スキャナ装置１０１や図１及び図２にて説明した送り手段１３におけるモータ８を制御する制御装置１０２と、探傷結果を表示する表示装置１０３とから構成されている。 The eddy current flaw detector 100 of this embodiment controls the scanner device 101 that scans the surface of the inspection object 2 with the eddy current probe, and the motor 8 in the scanner device 101 and the feeding means 13 described in FIG. 1 and FIG. And a display device 103 for displaying the flaw detection result.

スキャナ装置１０１は、被検査体２の表面に吸盤や磁石により固定する固定具１０４を備えた一対の枠体１０５Ａ，１０５Ｂと、枠体１０５Ａ，１０５Ｂ間に跨って設置された案内レール１０６と、枠体１０５Ａ，１０５Ｂ間に軸支され案内レール１０６と平行に設置されたねじ棒１０７と、ねじ棒１０７を回転駆動するモータ１０８と、案内レール１０６に案内されねじ棒１０７に螺合するスキャナヘッド１０９と、スキャナヘッド１０９に押圧ばね１１０を介して支持された渦電流探傷プローブ１とを備えている。 The scanner device 101 includes a pair of frame bodies 105A and 105B provided with a fixture 104 that is fixed to the surface of the inspection object 2 with a suction cup or a magnet, and guide rails 106 installed across the frame bodies 105A and 105B. A screw rod 107 pivotally supported between the frame bodies 105A and 105B and installed in parallel with the guide rail 106, a motor 108 for rotationally driving the screw rod 107, and a scanner head guided by the guide rail 106 and screwed into the screw rod 107. 109 and an eddy current flaw detection probe 1 supported by a scanner head 109 via a pressing spring 110.

制御装置１０２は、渦電流探傷プローブ１の複数のコイル４に探傷条件を設定する手段としてのコンピュータ１１１と、コンピュータ１１１の指令により電圧を発生させる発信回路１１２と、発信回路１１２の電圧を設定しながら供給して各コイル４に励磁する励磁回路１１３と、発信回路１１２の電圧を参照し各コイル４のうち検出用のコイルからの探傷信号を入力する位相器１１４と、位相器１１４からの信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器１１５と、Ａ／Ｄ変換器１１５からの信号を順に電子データとして蓄積するメモリ１１６とを備えている。 The control device 102 sets a computer 111 as means for setting flaw detection conditions for the plurality of coils 4 of the eddy current flaw detection probe 1, a transmission circuit 112 that generates a voltage according to a command from the computer 111, and a voltage of the transmission circuit 112. The phase shifter 114 inputs the flaw detection signal from the detection coil of each coil 4 with reference to the voltage of the transmission circuit 112, and the signal from the phase shifter 114. Are provided with an A / D converter 115 for A / D converting the signal and a memory 116 for sequentially storing signals from the A / D converter 115 as electronic data.

表示装置１０３は、メモリ１１６に蓄積した電子データをコンピュータ１１１の指令に基づいて表示する。 The display device 103 displays the electronic data stored in the memory 116 based on a command from the computer 111.

上記構成の渦電流探傷装置１００は、各コイル４の探傷を終了した後、コンピュータ１１１の指令により、モータ１０８を駆動してねじ棒１０７を回転させる。ねじ棒１０７の回転により、スキャナヘッド１０９は案内レール１０６に沿って被検査体２の表面上を移動する。次の探傷、すなわち、スキャナ装置１０１の移動方向（走査方向）と異なる方向の位置にコイル４を移動させる時、制御装置１０２より、本発明の渦電流探傷プローブ１の送り手段におけるモータ８を制御し、前記モータを動力源としてベルト６をベルト送り方向１４へ送る。 The eddy current flaw detector 100 having the above-described configuration rotates the screw rod 107 by driving the motor 108 according to a command from the computer 111 after completing the flaw detection of each coil 4. As the screw rod 107 rotates, the scanner head 109 moves along the guide rail 106 on the surface of the device under test 2. When the coil 4 is moved to a position different from the next flaw detection, that is, the moving direction (scanning direction) of the scanner device 101, the control device 102 controls the motor 8 in the feeding means of the eddy current flaw detection probe 1 of the present invention. The belt 6 is fed in the belt feeding direction 14 using the motor as a power source.

以上説明したように、本実施形態によれば、狭隘部の曲面と平面が混在する検査面でも、広い領域の探傷ができ、コイルが検査面を密着かつ追従でき、正確な探傷が行える。
As described above, according to the present embodiment, a wide range of flaws can be detected even on an inspection surface in which a curved surface and a flat surface of a narrow portion are mixed, and the coil can closely contact and follow the inspection surface, so that accurate flaw detection can be performed.

本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す正面図である。It is a front view which shows the structure of the eddy current test probe by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the structure of the eddy current test probe by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブのコイルを送ったときの状態を示す正面図である。It is a front view which shows a state when the coil of the eddy current test probe by one Embodiment of this invention is sent. 本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブを用いて狭隘部曲面検査する際の状態を示す正面図である。It is a front view which shows the state at the time of a narrow part curved surface test | inspection using the eddy current test probe by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブを用いて狭隘部曲面検査する際の状態を示す正面図である。It is a front view which shows the state at the time of a narrow part curved surface test | inspection using the eddy current test probe by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブを用いて押圧手段に用いる押圧源の構成を示す正面図である。It is a front view which shows the structure of the press source used for a press means using the eddy current test probe by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブの押圧手段に用いる可動ブロックの構成を示す正面図である。It is a front view which shows the structure of the movable block used for the press means of the eddy current test probe by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブを用いた渦電流探傷装置の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the eddy current flaw detector using the eddy current flaw probe by one Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１…渦電流探傷プローブ
２…被検査体
３…可撓性基板
４…コイル
５…弾性体
６…ベルト
７…押圧手段
８…モータ
９，１０，１１，１２…回転ローラー
１３…送り手段
１４…ベルト送り方向
１５…穴
１６…突起
１７…支持軸
１８…バネ
１９…貫通穴
２０…止め板
２１…本体
２２…保持穴
２３…支持穴
２４…可動ブロック
２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ…可動ブロック
２５…固定ブロック
２６…バネ
２７…穴
２８…突起
２９…長穴
３０，３１，３２…保持穴
３３…板ばね
５０…押し込み方向
１００…渦電流探傷装置
１０１…スキャナ装置
１０２…制御装置
１０３…表示装置
１０４…固定具
１０５Ａ，１０５Ｂ…枠体
１０６…案内レール
１０７…ねじ棒
１０８…モータ
１０９…スキャナヘッド
１１０…押圧ばね
１１１…コンピュータ
１１２…発信回路
１１３…励磁回路
１１４…位相器
１１５…Ａ／Ｄ変換器
１１６…メモリ
１５０…ダンパー
１５１…チューブ
１５２…穴 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Eddy current test probe 2 ... Test object 3 ... Flexible board 4 ... Coil 5 ... Elastic body 6 ... Belt 7 ... Pressing means 8 ... Motor 9, 10, 11, 12 ... Rotating roller 13 ... Feeding means 14 ... Belt feed direction 15 ... hole 16 ... projection 17 ... support shaft 18 ... spring 19 ... through hole 20 ... stop plate 21 ... main body 22 ... holding hole 23 ... support hole 24 ... movable blocks 24A, 24B, 24C ... movable block 25 ... fixed Block 26 ... Spring 27 ... Hole 28 ... Protrusion 29 ... Slots 30, 31, 32 ... Holding hole 33 ... Plate spring 50 ... Pushing direction 100 ... Eddy current flaw detector 101 ... Scanner device 102 ... Control device 103 ... Display device 104 ... Fixing tools 105A, 105B ... frame 106 ... guide rail 107 ... screw rod 108 ... motor 109 ... scanner head 110 ... pressing spring 111 ... computer 112 ... transmitting circuit 11 ... exciting circuit 114 ... phaser 115 ... A / D converter 116 ... memory 150 ... damper 151 ... tube 152 ... hole

Claims

被検査体表面に密着させて走査し、可撓性基板に固定された複数のコイルを有する渦電流探傷プローブであって、
前記可撓性基板の走査方向と異なる方向に前記可撓性基板を送るために、回転ローラーによってＶ字形に張架され、ポリイミドフィルムを複数層積層して形成したベルトを備え、
前記可撓性基板は、前記ベルトの外周に取り付けられ、
前記ベルトの内周側から外周側に向かって前記ベルトを被検査体の曲面と平面に同時に押圧する押圧手段とを備えることを特徴とする渦電流探傷プローブ。 An eddy current flaw detection probe having a plurality of coils fixedly attached to a flexible substrate, scanned in close contact with the surface of an object to be inspected,
In order to send the flexible substrate in a direction different from the scanning direction of the flexible substrate , the belt is stretched in a V shape by a rotating roller and formed by laminating a plurality of polyimide films.
The flexible substrate is attached to the outer periphery of the belt,
An eddy current flaw detection probe comprising pressing means for simultaneously pressing the belt against a curved surface and a flat surface of an object to be inspected from an inner peripheral side to an outer peripheral side of the belt .

請求項１記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記送り手段は、
複数のコイルを固定した前記可撓性基板と接着し、走査方向と異なる方向に配置したベルトと、
前記ベルトの移動を可能とするモータと、
前記モータから動力を伝えると同時に、前記ベルトと接触し、送り方向を案内する複数の回転ローラーと、
これらローラーの回転軸を保持する本体とを備えることを特徴とする渦電流探傷プローブ。 The eddy current flaw detection probe according to claim 1,
The feeding means is
A belt that is bonded to the flexible substrate to which a plurality of coils are fixed and disposed in a direction different from the scanning direction;
A motor that enables movement of the belt;
A plurality of rotating rollers that transmit power from the motor and simultaneously contact the belt and guide the feed direction;
An eddy current flaw detection probe comprising a main body for holding the rotation shafts of these rollers.

請求項１記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記送り手段は、前記ベルトを一定の位置に保持する位置保持手段を備え、
前記位置保持手段は、前記ベルトの送り方向に設けた複数の穴と、前記ベルトとの接触面に前記複数の穴に嵌る突起部を設けた前記回転ローラーと、前記ベルトに接着した前記プローブの送り方向を案内する本体とを備えることを特徴とする渦電流探傷プローブ。 The eddy current flaw detection probe according to claim 1,
The feeding means includes position holding means for holding the belt in a fixed position;
The position holding means includes a plurality of holes provided in the belt feeding direction, a rotating roller provided with projections that fit into the plurality of holes on a contact surface with the belt, and a probe bonded to the belt. An eddy current flaw detection probe comprising a main body for guiding a feeding direction.

可撓性基板に固定された複数のコイルを有する渦電流探傷プローブと、該渦電流探傷プローブを被検査体表面に密着させて走査する走査手段と、前記コイルのうち検出用コイルからの探傷信号を表示する表示部とを有する渦電流検査装置であって、
前記渦電流探傷プローブは、
前記可撓性基板の走査方向と異なる方向に前記可撓性基板を送るために、回転ローラーによってＶ字形に張架され、ポリイミドフィルムを複数層積層して形成したベルトを備え、
前記可撓性基板は、前記ベルトの外周に取り付けられ、
前記ベルトの内周側から外周側に向かって前記ベルトを被検査体の曲面と平面に同時に押圧する押圧手段とを備えることを特徴とする渦電流検査装置。 An eddy current flaw detection probe having a plurality of coils fixed to a flexible substrate, scanning means for scanning the eddy current flaw detection probe in close contact with the surface of the object to be inspected, and a flaw detection signal from a detection coil among the coils An eddy current inspection apparatus having a display unit for displaying
The eddy current flaw detection probe is
In order to send the flexible substrate in a direction different from the scanning direction of the flexible substrate , the belt is stretched in a V shape by a rotating roller and formed by laminating a plurality of polyimide films.
The flexible substrate is attached to the outer periphery of the belt,
An eddy current inspection apparatus comprising: a pressing unit that simultaneously presses the belt against a curved surface and a flat surface of an object to be inspected from an inner peripheral side to an outer peripheral side of the belt .