JP5188385B2 - プラズマ処理装置及びプラズマ処理装置の運転方法 - Google Patents
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Description
により達成される。
102 大気側試料搬送室
103,104 ロック室
105 真空側試料搬送室
106 真空処理ユニット
200 処理室
201 アンテナ
202 磁場形成装置
203 排気ポンプ
204 真空排気弁
206 直流電源
207 RFバイアス電源
208,222 マッチングボックス
209 温調ユニット
210 真空容器
211 側壁
212 下部容器
213 ガス源
214 ガス供給調整弁
220 ウエハ
221 高周波電源
250 試料台
251 金属製ブロック
253 セラミック製カバー
254 流路
255 誘電体膜
256 フィルター回路
257 電極
258 アクチュエータ
259 アーム
260 プッシャピン
301 ベローズフランジ
302 Oリング
303,501 ボス
304 フレキシブルチューブ
305 配管
601 プラズマ
Claims (10)
- 真空容器内に配置され減圧されたその内部でプラズマが形成される処理室と、この処理室内の下方に配置されその上面に前記プラズマにより処理されるウエハが載せられる試料台と、この試料台内部に配置され上下方向に駆動され前記ウエハの裏面と当接してこのウエハを前記試料台上面の上方で昇降させる複数のピンと、前記試料台の上面に配置され前記複数のピンの各々が内側を移動する複数の開口とを備えたプラズマ処理装置の運転方法であって、
前記試料台上方の前記処理室内にプラズマが形成された間であって、前記開口の内部と連通された供給口から前記ウエハが前記上面に載せられていない間または開口が前記処理室に曝されている間にガスを前記開口を介して前記処理室に供給して、前記開口の内側を処理室内部より高い圧力にするプラズマ処理装置の運転方法。
- 請求項1に記載のプラズマ処理装置の運転方法であって、前記試料台上方の前記処理室内にプラズマが形成された間に前記複数のピンが駆動されその上端が前記試料台の上面上方に移動した状態で前記ガスとして不活性ガスが前記開口から前記処理室内に供給されるプラズマ処理装置の運転方法。
- 請求項1または2に記載のプラズマ処理装置の運転方法であって、前記プラズマ処理装置が前記開口の下方に配置され前記ピンの下部の周囲を覆いこのピンの上下の移動に伴って伸縮するベローズを備え、前記ガス供給口からの前記ガスにより前記ベローズ内部の空間が充填されるプラズマ処理装置の運転方法。
- 請求項3に記載のプラズマ処理装置の運転方法であって、前記プラズマ処理装置が前記ベローズの内側に配置され各々が前記ピン下部の周囲を覆う上下2つの管状の部材とを備え、これら2つの管状の部材のうち下方の部材は前記ピンの移動に伴って上下に移動して前記ピンが前記試料台内部に収納された状態で少なくともその一部が上方の前記管状の部
材と隙間を介して重なり合って前記ピンを二重に覆うプラズマ処理装置の運転方法。
- 請求項3または4のいずれかに記載のプラズマ処理装置の運転方法であって、前記プラズマ処理装置が前記ベローズ内部の空間と外部とを気密に封止するシール部材とを備え前記ベローズ内部の空間が前記ガスにより充填されるプラズマ処理装置の運転方法。
- 真空容器内に配置され減圧されたその内部でプラズマが形成される処理室と、この処理室内の下方に配置されその上面に前記プラズマにより処理されるウエハが載せられる試料台と、この試料台内部に配置され上下方向に駆動され前記ウエハの裏面と当接してこのウエハを前記試料台上面の上方で昇降させる複数のピンと、前記試料台の上面に配置され前記複数のピンの各々が内側を移動する複数の開口とを備えたプラズマ処理装置であって、
前記試料台上方の前記処理室内にプラズマが形成された間であって、前記開口の内部と連通された供給口から前記ウエハが前記上面に載せられていない間または開口が前記処理室に曝されている間にガスを前記開口の内部に供給するガス供給口を備え、前記開口の内部が前記ガス供給口からのガスの供給により前記処理室内部より高圧にされるプラズマ処理装置。
- 請求項6に記載のプラズマ処理装置であって、前記試料台上方の前記処理室内にプラズマが形成された間に前記複数のピンが駆動されその上端が前記試料台の上面上方に移動した状態で前記ガスとして不活性ガスが前記処理室内に供給されるプラズマ処理装置。
- 請求項6または7に記載のプラズマ処理装置であって、前記開口の下方に配置され前記ピンの下部の周囲を覆いこのピンの上下の移動に伴って伸縮するベローズとを備え、前記ガス供給口からの前記ガスにより前記ベローズ内部の空間が充填されるプラズマ処理装置。
- 請求項8に記載のプラズマ処理装置であって、前記ベローズの内側に配置され各々が前記ピン下部の周囲を覆う上下2つの管状の部材とを備え、これら2つの管状の部材のうち下方の部材は前記ピンの移動に伴って上下に移動して前記ピンが前記試料台内部に収納された状態で少なくともその一部が上方の前記管状の部材と隙間を介して重なり合って前記ピンを二重に覆うプラズマ処理装置。
- 請求項8または9のいずれかに記載のプラズマ処理装置であって、前記ベローズ内部の空間と外部とを気密に封止するシール部材とを備え前記ベローズ内部の空間が前記ガスにより充填されるプラズマ処理装置。
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