JP5187694B2 - 非破壊分析方法および非破壊分析装置 - Google Patents
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Description
<X線検出装置>上述の第1の実施形態および第2の実施形態において、透過型結晶分析体4a・反射型結晶分析体4bからのX線の検出はX線検出装置10により行うが、このX線検出装置10としては、2次元検出器(たとえば、X線フィルム、原子核乾板、X線撮像管、X線蛍光増倍管、X線イメージインテンシファイア、X線用イメージングプレート、X線用CCD、X線用非晶質体等)にもとづくフラット型パネルまたは円柱形パネルなど、あるいはラインセンサー1次元検出器を用いることができる。
2 物体
3 屈折X線等
4a 透過型結晶分析体
40a 原子面
41a 前方方向回折X線
42a 回折方向回折X線
4b 反射型結晶分析体
40b 原子面
41b 透過X線
42b 反射X線
5 暗視野画像
6 明視野画像
7 入射X線
8 非対称モノクロメータ
8a,8b,8c,8d 非対称モノクロメータ
80 原子面
9 コリメータ
90 原子面
10 X線検出装置
11 スリット
Claims (2)
- 単色平行X線を物体に照射し、物体からの透過X線、屈折X線、回折X線または小角散乱X線を透過型結晶分析体の結晶格子面にブラッグ角θ B で入射させ、前記透過型結晶分析体の動力学的回折によって透過方向で得られる前方方向回折X線および回折方向で得られる回折方向回折X線のうち、前方方向回折X線を検出して前記物体内の像を暗視野内の明像として得る非破壊分析方法であって、
前記透過型結晶分析体の厚さHが、Nを自然数、Λを消衰距離としたとき、
H=[(2N+1)/2]・Λ
であることを特徴とする非破壊分析方法。
ただし消衰距離Λは、X線の波長をλとしたとき、
Λ=(λcosθ B )/|χ G |
で表され、このとき上記χ G は「−[(r e λ 2 )/πV C ]F G 」であり、「r e 」は電子古典半径を、「V C 」は結晶単位格子(=単位胞体積)を、「F G 」はブラッグ角θ B ≠0の時の結晶構造因子を表す。 - 単色平行X線を物体に照射し、物体からの透過X線、屈折X線、回折X線または小角散乱X線を透過型結晶分析体の結晶格子面にブラッグ角θ B で入射させ、前記透過型結晶分析体の動力学的回折によって透過方向で得られる前方方向回折X線および回折方向で得られる回折方向回折X線のうち、前方方向回折X線を検出して前記物体内の像を暗視野内の明像として得る非破壊分析装置であって、
前記透過型結晶分析体の厚さHが、Nを自然数、Λを消衰距離としたとき、
H=[(2N+1)/2]・Λ
であることを特徴とする非破壊分析装置。
ただし消衰距離Λは、X線の波長をλとしたとき、
Λ=(λcosθ B )/|χ G |
で表され、このとき上記χ G は「−[(r e λ 2 )/πV C ]F G 」であり、「r e 」は電子古典半径を、「V C 」は結晶単位格子(=単位胞体積)を、「F G 」はブラッグ角θ B ≠0の時の結晶構造因子を表す。
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