JP5180198B2 - 圧電/電歪セラミックス及び圧電/電歪素子 - Google Patents
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Description
<1−1 圧電/電歪素子1の構造>
図1は、本発明の第1実施形態に係る圧電/電歪素子1の主要部の模式図である。図1は、圧電/電歪素子1の断面図となっている。図1に示す圧電/電歪素子1は、インクジェットプリンタのヘッドに採用されるアクチュエータである。ただし、このことは、インクジェットプリンタのヘッドに採用されるアクチュエータ以外の圧電/電歪素子に本発明を適用することを妨げるものではない。例えば、各種のアクチュエータやセンサに本発明を適用することができる。
基体102は、積層体108を支持する。基体102は、セラミックス粉末のシート状成形体を積層したものを焼成したセラミックスである。
圧電/電歪体膜112,116は、セラミックス粉末の膜状成形体を焼成したセラミックスである。
電極膜110,114,118は、導電材料で構成される。電極膜110,114を構成する導電材料としては、白金(Pt)若しくはパラジウム(Pd)又はこれらを主成分とする合金を採用することが望ましい。ただし、圧電/電歪体膜112,116との共焼結が可能であれば、他の導電材料で電極膜110,114を構成してもよい。電極膜118を構成する導電材料としては、金(Au)又はこれを主成分とする合金を採用することが望ましい。
図3は、圧電/電歪素子1の製造方法を説明するフローチャートである。
図4は、中間体の粉末の合成方法を説明するフローチャートである。
図5は、本発明の第2実施形態に係る圧電/電歪素子2の主要部の模式図である。図5は、圧電/電歪素子2の断面図となっている。図5に示す圧電/電歪素子2は、第1実施形態に係る圧電/電歪素子1と同様に、インクジェットプリンタのヘッドに採用されるアクチュエータである。
<3−1 圧電/電歪素子3の構造>
図6は、本発明の第3実施形態に係る圧電/電歪素子3の主要部の模式図である。図6は、圧電/電歪素子3の断面図となっている。図6に示す圧電/電歪素子3は、アクチュエータである。
圧電/電歪体板302は、セラミックス粉末の板状成形体を焼成したセラミックスである。
電極膜304,306は、導電材料で構成される。導電材料としては、銀(Ag)又はこれを主成分とする合金を採用することが望ましい。
図7は、圧電/電歪素子3の製造方法を説明するフローチャートである。
図8は、ペロブスカイト酸化物の粉末の合成方法を説明するフローチャートである。
実施例1では、まず、組成が0.22Pb(Ni1/3Nb2/3)O3−0.04Pb(Al1/2Nb1/2)O3−0.33PbZrO3−0.41PbTiO3となるように、酸化アルミニウム以外の素原料、すなわち、酸化鉛(PbO)、酸化ニッケル(NiO)、酸化ニオブ(Nb2O5)、酸化ジルコニウム(ZrO2)及び酸化チタン(TiO2)を秤量した。
比較例1では、酸化アルミニウムを含まない基体を用いた点以外は実施例1と同様にして圧電/電歪素子を製造した。このような圧電/電歪素子を実施例1と同様に評価したところ、屈曲変位の変位量は1.8μm、耐久試験を行った後の電気抵抗値は7×105Ω、結晶粒径は5〜8μmであることがわかった。
実施例1と比較例1との対比から明らかなように、アルミニウム以外の構成元素を含むペロブスカイト酸化物の中間体に酸化アルミニウムを固溶させることにより得た圧電/電歪体膜112,116を備える圧電/電歪素子1では、屈曲変位の変位量及び耐久試験を行った後の電気抵抗値を向上することができており、圧電/電歪体膜112,116の結晶粒径も小さくなっている。
実施例2では、まず、実施例1と同様に中間体の粉末を得た。
比較例2では、組成が0.22Pb(Ni1/3Nb2/3)O3−0.04Pb(Al1/2Nb1/2)O3−0.33PbZrO3−0.41PbTiO3となるように全ての素原料、すなわち、酸化鉛、酸化アルミニウム、酸化ニッケル、酸化ニオブ、酸化ジルコニウム及び酸化チタンを秤量、混合、仮焼及び粉砕することにより合成した原料の粉末を用いて、実施例2と同様の手順で圧電/電歪素子を製造し、実施例2と同様に評価を行った。
比較例3では、組成が0.26Pb(Ni1/3Nb2/3)O3−0.33PbZrO3−0.41PbTiO3にAl2O3を0.3wt%加えた組成となるように全ての素原料、すなわち、酸化鉛、酸化ニッケル、酸化ニオブ、酸化ジルコニウム、酸化チタン及び酸化アルミニウムを秤量、混合、仮焼及び粉砕することにより合成した原料の粉末を用いて、実施例2と同様の手順で圧電/電歪素子を製造し、実施例2と同様に評価を行った。
実施例2と比較例2,3との対比から明らかなように、アルミニウム以外のBサイト構成元素よりAサイト構成元素が過剰となる中間体をまず合成してから、酸化アルミニウムを中間体に固溶させて目的とするペロブスカイト酸化物を合成することにより、アルミニウム化合物の偏析を減らし、圧電定数や耐久試験後の機械強度を向上することができる。
実施例3〜10では、まず、実施例1と同様の中間体の粉末を得た。
先述の第1実施形態においては、基体102から中間体の膜へ酸化アルミニウムを拡散させたが、酸化アルミニウムの供給源(拡散元)を基体102以外としてもよい。例えば、電極膜110,114となる導電体ペーストの塗布膜から中間体の膜へ酸化アルミニウムを拡散させてもよい。又は、基体102の上に酸化アルミニウムを主成分とする層を間に挟んで中間体の膜を形成し、基体と酸化アルミニウムを主成分とする層と中間体の膜とを一体的に焼成することのより、酸化アルミニウムを主成分とする層から中間体の膜へ酸化アルミニウムを拡散させ、中間体に酸化アルミニウムを固溶させてもよい。このように、基体102以外の酸化アルミニウムの供給源を設けた場合、基体102は、必ずしも酸化アルミニウムを含んでいる必要はない。
Claims (6)
- Aサイト構成元素として鉛を含み、Bサイト構成元素としてニッケル、アルミニウム、ニオブ、ジルコニウム及びチタンを含むペロブスカイト酸化物を母相とする圧電/電歪セラミックスであって、
前記ペロブスカイト酸化物は、
(a) アルミニウム以外の構成元素を含む中間体を合成する工程と、
(b) 前記中間体に酸化アルミニウムを固溶させる工程と、
により合成され、
前記ペロブスカイト酸化物の組成が一般式Pb A {(Ni 1/3 Nb 2/3 ) w (Al 1/2 Nb 1/2 ) x Ti y Zr z }O 3 (w+x+y+z=1)で表される圧電/電歪セラミックス。 - 前記工程(a)は、アルミニウム以外のBサイト構成元素よりAサイト構成元素が過剰な前記中間体を合成する請求項1に記載の圧電/電歪セラミックス。
- アルミニウム化合物の異相の含有量が0.1体積%以下である請求項1又は請求項2に記載の圧電/電歪セラミックス。
- Aサイト構成元素として鉛を含み、Bサイト構成元素としてニッケル、アルミニウム、ニオブ、ジルコニウム及びチタンを含むペロブスカイト酸化物を母相とする圧電/電歪セラミックスの圧電/電歪体膜と、
前記圧電/電歪体膜を挟んで対向する電極膜と、
前記圧電/電歪体膜及び前記電極膜を支持する基体と、
を備える圧電/電歪素子であって、
前記ペロブスカイト酸化物は、
(a) アルミニウム以外の構成元素を含む中間体を合成する工程と、
(b) 前記中間体に酸化アルミニウムを固溶させる工程と、
により合成され、
前記ペロブスカイト酸化物の組成が一般式Pb A {(Ni 1/3 Nb 2/3 ) w (Al 1/2 Nb 1/2 ) x Ti y Zr z }O 3 (w+x+y+z=1)で表される圧電/電歪素子。 - 前記基体が酸化アルミニウムを含み、
前記基体の上に前記中間体の膜を形成し、前記基体と前記中間体の膜とを一体的に焼成することにより、前記基体から前記中間体の膜へ酸化アルミニウムを拡散させ、前記中間体に酸化アルミニウムを固溶させる請求項4に記載の圧電/電歪素子。 - 前記基体の上に酸化アルミニウムを主成分とする層を間に挟んで前記中間体の膜を形成し、前記基体と前記酸化アルミニウムを主成分とする層と前記中間体の膜とを一体的に焼成することにより、前記酸化アルミニウムを主成分とする層から前記中間体の膜へ酸化アルミニウムを拡散させ、前記中間体に酸化アルミニウムを固溶させる請求項4に記載の圧電/電歪素子。
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