JP5178557B2 - 分光ユニット及びそれを用いたレーザ加工装置 - Google Patents
分光ユニット及びそれを用いたレーザ加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5178557B2 JP5178557B2 JP2009021704A JP2009021704A JP5178557B2 JP 5178557 B2 JP5178557 B2 JP 5178557B2 JP 2009021704 A JP2009021704 A JP 2009021704A JP 2009021704 A JP2009021704 A JP 2009021704A JP 5178557 B2 JP5178557 B2 JP 5178557B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- polarization
- wave
- spectroscopic unit
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 80
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000001307 laser spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
このような要求に答えるため、従来特許文献1に示すようなレーザ加工装置が提案されている。図4は1つのレーザ光を偏光ビームスプリッタで2つのレーザ光に分光し、2つのレーザ光を独立に走査することにより、2箇所同時に加工を実施することができる従来のレーザ加工装置の主要構成図であり、以下これについて簡単に説明する。
実施の形態1.
図1は、この実施の形態1に係るレーザ分光ユニットを説明する構成図である。レーザ分光ユニットは、例えばP波成分の偏光方向2pを持つ、−X方向に進行するレーザ光2に対して、次の反射光22がYZ平面においてY軸から−45°方向(時計回り方向に45°)に進行するように反射ミラー21を配置する。
図2は、この実施の形態2に係るレーザ分光ユニットを説明する構成図である。レーザ分光ユニットは、例えばP波成分の偏光方向2pを持つ、−X方向に進行するレーザ光2に対して、次の反射光22がYZ平面においてY軸から−45°方向(時計回り方向に45°)に進行するように反射ミラー21を配置する。この時、反射光22は偏光方向22spを持っている。つまり、22spはS波とP波に45°の角度を持っている。
図3は、実施の形態1、2のレーザ分光ユニットを具備し、1つのレーザ光を4つのレーザ光に分光し、4つのレーザ光を独立に走査することにより、4箇所同時に加工を実施することができる穴あけ用レーザ加工装置を示す構成図である。従来技術の第4図と同一構成については同一番号を付与し、詳細な説明は省略する。
レーザ発振器1よりP波の偏向方向2pを持つ直線偏光にて発振されたレーザ光2は、実施の形態2の分光ユニットを通ることにより、S波とP波に45°の角度である偏光方向28spと29spを持つレーザ光28、29を生成する。
4、4a、4b、26、27 反射ミラー、
5、5a、5b 第一の偏光ビームスプリッタ、
8、8a、8b 第二の偏光ビームスプリッタ、 9 ダンパー、
12、12a、12b 第二のガルバノスキャンミラー、
13、13ax、13ay、13bx、13by 第一のガルバノスキャンミラー、
14、14ax、14ay、14bx、14by ミラー、
15 第一のシャッター、 16 第二のシャッター、
17、17a、17b fθレンズ、 18 XYテーブル、
19 パワーセンサ、 20 被加工物、
21 第1の反射ミラー、 23 偏光ビームスプリッタ。
Claims (7)
- レーザ発振器より出射されたレーザ光を2つのレーザ光に分光する分光ユニットにおいて、偏光方向がY方向あるいはZ方向、あるいは円偏光を持ち、-X方向あるいは+X方向に進行しているレーザ光に対して、次の反射光がYZ平面においてY軸から45°方向あるいは-45°方向に進行するように第1の反射ミラーを配置し、この反射光に対してXY平面もしくはXZ平面内に配した偏光分離手段によりS波とP波にレーザ光を分割し、分割されたレーザ光を再びYZ平面においてY軸から±45°の偏光を持たせると共に、第1の反射ミラーに入射する進行方向と同一となる、それぞれ-X方向もしくは+X方向に進行するように第2、第3の反射ミラーを配置したことを特徴とする分光ユニット。
- レーザ発振器より出射されたレーザ光はY方向あるいはZ方向の偏光方向を持つ直線偏光にて発振され、−X方向あるいは+X方向に進行するレーザ光であることを特徴とする請求項1に記載の分光ユニット。
- 第1の反射ミラーはP波成分あるいはS波成分の偏光方向を持つレーザ光をP波成分およびS波成分の両方に対して45°の偏光方向を持つレーザ光に変換するものであることを特徴とする請求項1に記載の分光ユニット。
- 偏光分離手段は第1の反射ミラーの出力光をP波成分およびS波成分のレーザ光に分光する偏光ビームスプリッタであることを特徴とする請求項1に記載の分光ユニット。
- 偏光分離手段は表面に誘電体多層膜コーティングが形成されている偏光ビームスプリッタであることを特徴とする請求項1に記載の分光ユニット。
- 第2、第3の反射ミラーは偏光分離手段により分光されたP波成分およびS波成分のレーザ光を再びP波成分およびS波成分の両方に対して45°の偏光方向を持つレーザ光に変換するものであることを特徴とする請求項1に記載の分光ユニット。
- 請求項1〜6に記載の分光ユニットを配置したことを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009021704A JP5178557B2 (ja) | 2009-02-02 | 2009-02-02 | 分光ユニット及びそれを用いたレーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009021704A JP5178557B2 (ja) | 2009-02-02 | 2009-02-02 | 分光ユニット及びそれを用いたレーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010172961A JP2010172961A (ja) | 2010-08-12 |
JP5178557B2 true JP5178557B2 (ja) | 2013-04-10 |
Family
ID=42704408
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009021704A Active JP5178557B2 (ja) | 2009-02-02 | 2009-02-02 | 分光ユニット及びそれを用いたレーザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5178557B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021187042A1 (ja) * | 2020-03-16 | 2021-09-23 | 住友重機械工業株式会社 | ビーム分岐装置及び分岐比調整方法 |
JP6983369B1 (ja) * | 2021-04-05 | 2021-12-17 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置、学習装置、および推論装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01317696A (ja) * | 1988-06-16 | 1989-12-22 | Toshiba Corp | レーザ加工装置 |
JP4148138B2 (ja) * | 2001-11-15 | 2008-09-10 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置 |
CN1777489B (zh) * | 2004-06-01 | 2010-05-05 | 三菱电机株式会社 | 激光加工装置 |
JP4297952B2 (ja) * | 2007-05-28 | 2009-07-15 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置 |
-
2009
- 2009-02-02 JP JP2009021704A patent/JP5178557B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010172961A (ja) | 2010-08-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4459530B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP4466561B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP3822188B2 (ja) | 多重ビームレーザ穴あけ加工装置 | |
TW200902207A (en) | Laser processing apparatus | |
TW540194B (en) | Laser machining apparatus | |
JP2008238184A (ja) | レーザ加工装置 | |
CN112114434B (zh) | 光学装置 | |
JP3935775B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP5349406B2 (ja) | 偏光方位角調整装置およびレーザ加工装置 | |
JP5178557B2 (ja) | 分光ユニット及びそれを用いたレーザ加工装置 | |
JP2005177788A (ja) | レーザ加工装置 | |
JP4539652B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP7410121B2 (ja) | 2つのオフセットレーザビームを提供するための光学装置及び方法 | |
JP4318525B2 (ja) | 光学装置及びレーザ照射装置 | |
KR20060037568A (ko) | 듀얼 빔 레이저 가공 시스템 | |
JP4662411B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2008137028A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ装置 | |
JPH11267873A (ja) | レーザ光の走査光学系及びレーザ加工装置 | |
US10248032B1 (en) | Dual cone-based polarizer | |
JP2006122988A (ja) | レーザ加工機 | |
JP2005230872A (ja) | レーザ加工機および加工方法 | |
JPH04327391A (ja) | レーザ加工機 | |
WO2021187042A1 (ja) | ビーム分岐装置及び分岐比調整方法 | |
KR20060095956A (ko) | 레이저 가공 장치 | |
JP2003334685A (ja) | レーザ加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100924 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120508 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120705 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121218 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130108 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5178557 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160118 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |