JP5177539B2 - 気密構造体のシャッタ装置およびその作動方法 - Google Patents
気密構造体のシャッタ装置およびその作動方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5177539B2 JP5177539B2 JP2008258068A JP2008258068A JP5177539B2 JP 5177539 B2 JP5177539 B2 JP 5177539B2 JP 2008258068 A JP2008258068 A JP 2008258068A JP 2008258068 A JP2008258068 A JP 2008258068A JP 5177539 B2 JP5177539 B2 JP 5177539B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shutter
- intermediate member
- shutter member
- main body
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
0.0030m2(空気室の押圧面の有効面積)×(10,000Pa(押圧力)+101,325Pa(大気圧))+0.0016m2(リング体と対向する部分の面積)×101,325Pa=496N(小数点以下四捨五入)
リング体に向けて中間部材に働く力・・・B
0.0046m2(シャッタ部材と中間部材の当接面積)×101,325Pa(大気圧)=466N(小数点以下四捨五入)
上部が大気圧で下部が真空の場合のシャッタ部材に向けて実際に中間部材に働く押圧力・・・C=A−B
496−466=30N
(従って実際には中間部材のリング体との対向面に対して及ぼされる大気圧は相殺される。)
0.0030m2(空気室の押圧面の有効面積)×(10,000Pa+101,325Pa)+0.0016m2(リング体と対向する部分の面積)×3,330Pa(真空圧)=339N(小数点以下四捨五入)
リング体に向けて中間部材に働く力・・・E
0.0046m2(シャッタ部材と中間部材の当接面積)×3,330Pa(真空圧)=15N(小数点以下四捨五入)
上部および下部が真空の場合のシャッタ部材に向けて実際に中間部材に働く押圧力・・・F=D−E
339−15=324N
0.0030m2(空気室の押圧面の有効面積)×(10,000Pa(押圧力)+101,325Pa(大気圧))+0.0046m2(リング体と対向する部分の面積)×101,325Pa=800N(小数点以下四捨五入)
リング体に向けて中間部材に働く力・・・H
0.0046m2(シャッタ部材と中間部材の当接面積)×101,325Pa(大気圧)=466N(小数点以下四捨五入)
上部が大気圧で下部が真空の場合のシャッタ部材に向けて実際に中間部材に働く押圧力・・・I=G−H
800−466=334N
(従って実際には中間部材の上下の面に対してそれぞれ及ぼされる大気圧は相殺される。)
0.0030m2(空気室の押圧面の有効面積)×(10,000Pa+101,325Pa)+0.0046m2(リング体と対向する部分の面積)×3,330Pa(真空圧)=349N(小数点以下四捨五入)
リング体に向けて中間部材に働く力・・・K
0.0046m2(シャッタ部材と中間部材の当接面積)×3,330Pa(真空圧)=15N(小数点以下四捨五入)
上部および下部が真空の場合のシャッタ部材に向けて実際に中間部材に働く押圧力・・・L=J−K
349−15=334N
0.0030m2(空気室の押圧面の有効面積)×(10,000Pa(押圧力)+101,325Pa(大気圧))+0.00368m2(リング体と対向する部分の面積)×101,325Pa=707N(小数点以下四捨五入)
リング体に向けて中間部材に働く力・・・N
0.0046m2(シャッタ部材と中間部材の当接面積)×101,325Pa(大気圧)=466N(小数点以下四捨五入)
上部が大気圧で下部が真空の場合のシャッタ部材に向けて実際に中間部材に働く押圧力・・・O=M−N
707−466=241N
(従って実際には中間部材の上下の面に対して及ぶ大気圧は相殺される。)
0.0030m2(空気室の押圧面の有効面積)×(10,000Pa+101,325Pa)+0.00368m2(リング体と対向する部分の面積)×3,330Pa(真空圧)=346N(小数点以下四捨五入)
リング体に向けて中間部材に働く力・・・Q
0.0046m2(シャッタ部材と中間部材の当接面積)×3,330Pa(真空圧)=15N(小数点以下四捨五入)
上部および下部が真空の場合のシャッタ部材に向けて実際に中間部材に働く押圧力・・・R=P−Q
346−15=331N
13 材料供給装置(気密構造体)
15 加熱筒(気密構造体)
24a,41a,47a,64a,88a,89a 開口部
25,26,61,71,81,111 シャッタ装置
41,62,72,82 本体部材
42,63,73,85 シャッタ部材
42b,63b,73b,85b 面(シャッタ部材の面)
47,64,74,89 中間部材
47b,64b,74b,89b 面(中間部材の面)
50,66 バネ(押圧手段)
51,65,76 Oリング(押圧手段)
75,92,94,112 空気室(押圧手段)
Claims (3)
- 射出成形機の射出装置の材料供給装置に設けられ、開口部を開閉するシャッタ部材が備えられた気密構造体のシャッタ装置であって、
本体部材とシャッタ部材との間に設けられる中間部材と、
前記中間部材に対して摺動自在に当接されるシャッタ部材と、
前記中間部材と本体部材との間に設けられ該中間部材を該シャッタ部材に向けて押圧する押圧手段とが備えられ、
前記中間部材は、中心側に成形材料が通過する開口部が形成されており、外周側には小径部とフランジ部が設けられ、フランジ部の小径部とは反対側の面にはシャッタ部材と当接する当接面が設けられ、該フランジ部の小径部側には前記押圧手段が設けられたことを特徴とする気密構造体のシャッタ装置。 - 本体部材の凹部とフランジ部の小径部側の面との間には、空気室が形成され、前記空気室は空圧源に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の気密構造体のシャッタ装置。
- 請求項1に記載の気密構造体のシャッタ装置の作動方法であって、
本体部材とシャッタ部材との間に設けられる中間部材と、
前記中間部材に対して摺動自在に当接されるシャッタ部材とが設けられ、
前記中間部材を該シャッタ部材に向けてレギュレータにより制御された大気圧以上の低圧エアにより押圧することを特徴とする気密構造体のシャッタ装置の作動方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008258068A JP5177539B2 (ja) | 2008-07-14 | 2008-10-03 | 気密構造体のシャッタ装置およびその作動方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008182480 | 2008-07-14 | ||
JP2008182480 | 2008-07-14 | ||
JP2008258068A JP5177539B2 (ja) | 2008-07-14 | 2008-10-03 | 気密構造体のシャッタ装置およびその作動方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010042651A JP2010042651A (ja) | 2010-02-25 |
JP2010042651A5 JP2010042651A5 (ja) | 2011-01-13 |
JP5177539B2 true JP5177539B2 (ja) | 2013-04-03 |
Family
ID=42014419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008258068A Expired - Fee Related JP5177539B2 (ja) | 2008-07-14 | 2008-10-03 | 気密構造体のシャッタ装置およびその作動方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5177539B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9156123B2 (en) | 2011-11-07 | 2015-10-13 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Double-side polishing method |
CN110193775B (zh) * | 2019-03-12 | 2021-09-17 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 化学机械抛光方法以及化学抛光*** |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS48724U (ja) * | 1971-05-22 | 1973-01-08 | ||
JPS5637171Y2 (ja) * | 1977-06-10 | 1981-09-01 | ||
JPS5589865U (ja) * | 1978-12-13 | 1980-06-21 | ||
JPS59137463U (ja) * | 1983-03-03 | 1984-09-13 | 川崎重工業株式会社 | 弁 |
JPS63132175U (ja) * | 1988-01-18 | 1988-08-30 | ||
JPH0743556Y2 (ja) * | 1988-03-30 | 1995-10-09 | 株式会社クボタ | 仕切弁のシール構造 |
JP2001088943A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-04-03 | Kawata Mfg Co Ltd | スライドゲート |
JP3783205B2 (ja) * | 2001-05-22 | 2006-06-07 | 日精樹脂工業株式会社 | 真空ホッパーによる射出成形機の材料樹脂供給装置 |
JP2003207058A (ja) * | 2002-01-11 | 2003-07-25 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 粉体遮断弁装置 |
JP2003207057A (ja) * | 2002-01-11 | 2003-07-25 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 粉体遮断弁装置 |
JP4814656B2 (ja) * | 2006-03-03 | 2011-11-16 | 高木産業株式会社 | シャッター機構及び樹脂乾燥機 |
-
2008
- 2008-10-03 JP JP2008258068A patent/JP5177539B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9156123B2 (en) | 2011-11-07 | 2015-10-13 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Double-side polishing method |
DE112012004211B4 (de) | 2011-11-07 | 2023-08-31 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Doppelseitiges Polierverfahren |
CN110193775B (zh) * | 2019-03-12 | 2021-09-17 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 化学机械抛光方法以及化学抛光*** |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010042651A (ja) | 2010-02-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI388754B (zh) | 真空閥 | |
JP3810604B2 (ja) | ゲートバルブ | |
JP5271191B2 (ja) | バタフライバルブ | |
US8573560B2 (en) | Vacuum control valve and vacuum control system | |
US10052801B2 (en) | End of stroke actuator bleed | |
US9581150B2 (en) | Variable displacement swash plate type compressor | |
JP5486987B2 (ja) | バランスポペット式電磁弁 | |
JP5177539B2 (ja) | 気密構造体のシャッタ装置およびその作動方法 | |
US10267425B2 (en) | Diaphragm, fluid control apparatus, and method of manufacturing diaphragm | |
JP6873991B2 (ja) | 流体制御弁、及び流体制御弁製造方法 | |
KR101352847B1 (ko) | 조정 밸브 장치 | |
JP6679594B2 (ja) | 真空チャンバのチャンバ壁内のチャンバ開口を閉鎖するドア | |
KR20080008272A (ko) | 두 개의 드라이브를 구비한 셔틀 밸브 | |
KR20130085334A (ko) | 가변용량 압축기의 전자제어밸브 | |
KR20180002622A (ko) | 유체 압력을 조절 또는 제어하기 위한 유닛 | |
US7335003B2 (en) | Precision dispense pump | |
WO2006095578A1 (ja) | 切換弁装置および流体圧シリンダ装置 | |
TW202007886A (zh) | 閥裝置 | |
JPH0989139A (ja) | 真空用開閉弁 | |
JP3542990B2 (ja) | ダイヤフラムポンプ装置 | |
KR101484060B1 (ko) | 완 작동 개폐밸브 | |
WO2017130959A1 (ja) | 流体制御器 | |
JP7105801B2 (ja) | 力センサを備えた真空弁 | |
KR20160130390A (ko) | 밸브 조립체 | |
JP2010137391A (ja) | 材料供給装置および材料供給装置の作動方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101123 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120821 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120903 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121101 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121203 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121226 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5177539 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |