JP5172198B2 - エレクトレット素子および静電動作装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態によるエレクトレット素子の斜視図である。また、図2は、図1の200−200線に沿った断面図である。まず、図1および図2を参照して、本発明の第1実施形態によるエレクトレット素子100の構造について説明する。
図15は、本発明の第2実施形態によるエレクトレット素子の斜視図である。また、図6は、図15の210−210線に沿った断面図である。図15および図16を参照して、この第2実施形態では、上記第1実施形態と異なり、保護膜23が基板1の端部から間隔D2を隔てて形成されているエレクトレット素子101の構造について説明する。
図17は、本発明の第3実施形態によるエレクトレット素子の斜視図である。また、図18は、図17の220−220線に沿った断面図である。図17および図18を参照して、この第3実施形態では、上記第2実施形態と異なり、保護膜23と基板1の端部との間に電荷流出抑制膜36が形成されているエレクトレット素子102の構造について説明する。
図19は、本発明の第4実施形態によるエレクトレット素子の斜視図である。また、図20は、図19の230−230線に沿った断面図である。図19および図20を参照して、この第4実施形態では、上記第2実施形態と異なり、エレクトレット膜2と保護膜23との間に電荷流出抑制膜46が形成されているエレクトレット素子103の構造について説明する。
図21は、本発明の第5実施形態によるエレクトレット素子の斜視図である。また、図22は、図21の240−240線に沿った断面図である。図21および図22を参照して、この第5実施形態では、上記第1実施形態と異なり、エレクトレット膜52の側端面の周囲を取り囲むように電荷流出抑制膜54が形成されているエレクトレット素子104の構造について説明する。
図23は、本発明の第6実施形態によるエレクトレット素子の斜視図である。また、図24は、図23の250−250線に沿った断面図である。図23および図24を参照して、この第6実施形態では、上記第5実施形態と異なり、エレクトレット膜62の表面上を取り囲むように電荷流出抑制膜63が形成されているエレクトレット素子105の構造について説明する。
図25は、本発明の第7実施形態による静電誘導型発電装置の概略図である。図26は、本発明の第7実施形態によるエレクトレット素子の斜視図である。図25および図26を参照して、第7実施形態による静電誘導型発電装置110の構造について説明する。なお、この第7実施形態では、静電動作装置の一例である静電誘導型発電装置110に本発明を適用した場合について説明する。
図27は、本発明の第8実施形態による静電誘導型発電装置の概略図である。図28は、図27の260−260線に沿った断面図である。図27および図28を参照して、この第8実施形態では、上記第7実施形態と異なり、スペーサ部126が形成されたエレクトレット素子107の全体を取り囲むように可動電極132が形成されている静電誘導型発電装置111の構造について説明する。
2、22、32、42、52、62、122 エレクトレット膜
3、23、33、43、123 保護膜
36 電荷流出抑制膜(第1電荷流出抑制膜)
46 電荷流出抑制膜(第2電荷流出抑制膜)
100、101、102、103、104、105、106 エレクトレット素子
110、111 静電誘導型発電装置(静電動作装置)
120 固定基板(固定電極)
131、133 可動電極
Claims (5)
- 電荷を蓄積することが可能なエレクトレット膜と、
前記エレクトレット膜の側端面の周囲を取り囲むように形成された保護膜とを備え、
前記保護膜は、前記エレクトレット膜の側端面の周囲を所定の間隔を隔てて取り囲むように形成されたエレクトレット材料からなる膜を含む、エレクトレット素子。 - 前記保護膜は、基板上に形成されるとともに、前記基板の端部から所定の間隔を隔てて形成されている、請求項1に記載のエレクトレット素子。
- 前記保護膜と前記基板の端部との間には、前記保護膜に蓄積された電荷が流出するのを抑制することが可能な有機材料からなる第1電荷流出抑制膜が形成されている、請求項2に記載のエレクトレット素子。
- 前記エレクトレット膜と前記保護膜との間には、前記エレクトレット膜に蓄積された電荷が流出するのを抑制することが可能な有機材料からなる第2電荷流出抑制膜が形成されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載のエレクトレット素子。
- 固定電極と、
前記固定電極と所定の距離を隔てて対向するように設けられ、前記固定電極に対して移動可能な可動電極と、
前記固定電極および前記可動電極のいずれか一方の上面上に形成され、電荷を蓄積することが可能なエレクトレット膜と、前記エレクトレット膜の側端面の周囲を取り囲むように形成された保護膜とを備え、
前記保護膜は、前記エレクトレット膜の側端面の周囲を所定の間隔を隔てて取り囲むように形成されたエレクトレット材料からなる膜を含むエレクトレット素子とを備える、静電動作装置。
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