JP5170768B2 - 冷陰極電離真空計 - Google Patents

Description

本発明は冷陰極電離真空計に関し、特に放電を誘発させることにより、放電開始時の遅れをより抑制し、測定を効率的に行える冷陰極電離真空計に関する。

一般に、高真空状態の気体の圧力を計測する真空計として、冷陰極電離真空計（ＣＣＧ）が良く使用されており、この冷陰極電離真空計には、ペニング真空計、マグネトロン真空計、倒置型マグネトロン真空計等、様々な形式のものがある。

この冷陰極電離真空計の構成を、ペニング真空計を例にとって、図８に基づいて説明する。図に示すように、この冷陰極電離真空計４１はチャンバー５０に取り付けられたペニング真空計であって、この真空計４１は、エンクロージャ４２内に、陰極４３と、筒状の陰極４３により囲まれた棒状の陽極４４と、エンクロージャ４２の外側の磁気手段（磁石４５ａ及び４５ｂ）と、前記陽極４４に電圧を印加する電源４６と、陽極４４を流れる電流を測定する電流計４７とを有している。
なお、前記チャンバー５０、エンクロージャ４２、陰極４３は、接地（アース）されている。

この冷陰極電離真空計４１の動作、原理について簡単に説明する。まず、自然放射線等により陰極４３と陽極４４の空間に初期電子が生成され、その電子が磁石４５ａ，４５ｂの磁界の磁力線に巻きつくような螺旋運動し、最後に陽極４４に捕集される。このとき、該電子が気体と衝突し、電離イオンを生成する。そして、この電離イオンを陽極４４に収集し、その電流値を電流計４７によって測定し、該電流値から圧力が測定される。

ところで、この冷陰極電離真空計において、陰極と陽極との間に高電圧を印加しても放電が生じないことがあり、また放電が生じても、冷陰極電離真空計に対して高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間には時間の遅れが生ずることがあった。
この遅れは、気体の圧力によって変わり、標準的な真空計では、１０^-3Ｐａの圧力下で数秒間、１０^-8Ｐａの圧力下で数時間である。このように、低圧力下における放電開始時の遅れは、許容しがたい長さであり、測定の効率化を阻害するものであった。

これを解決する提案が特許文献１においてなされている。この提案された発明について図９、図１０に基づいて説明する。尚、図８に示した部材と同一または相当する部材にあっては、同一符号を付する。
この発明にあっては、陽極４４がリング状に形成されると共に、陽極電圧供給部４８によって支持されている。そして、点火補助部材（放電誘発部材）として、金属ストリップ４９が設けられている。この金属ストリップ４９は、陽極４４の下端部に固定されており、この金属ストリップ４９の自由端部は、この陽極リング４４の開口部から側面に突き出している。この自由端部は、前記陰極４３の近傍にまで延びている。
この箇所における高い電界の強度が、この金属板ストリップ４９の端部から電離イオンを引き離し、この電離イオンがケーシング壁に当たった際に２次電子を生成する。この電子によって、迅速かつ確実なペニング測定セルの点火が低い圧力の場合でも可能になる。
特表平１０−５１０９２１号公報

ところで、前記特許文献１記載の発明においては、陽極側に金属ストリップを固定して、放電を誘発するようになしている。
しかしながら、特許文献１記載の発明にあっては、陽極の所定位置に金属ストリップを固定しなければならず、取付け作業において特別な工具等を必要とし、取付け作業が困難であった。特に、金属ストリップは消耗品であるため、所定時間経過毎に交換作業を行う必要があった。その際、陽極を取り外さなければならず、その交換作業が煩わしいものであった。

しかも、冷陰極電離真空計を所定時間使用すると、陽極表面、陰極表面が油皮膜や炭化層、また測定気体による反応、スパッタ等で汚染され、放電特性が変化するため、洗浄作業を行う必要があり、煩わしいものであった。

本発明者らは、放電誘発部材の取付け、交換作業を容易になすことができ、更に洗浄作業をより容易になすことができる冷陰極電離真空計について鋭意研究を行った。
そして検討の結果、陽極側に金属ストリップ（放電誘発部材）を取付けた場合、金属ストリップ（放電誘発部材）の交換作業の際、陽極も取り外さなければならないという課題の克服は困難であることが明らかになった。

そこで更に、本発明者らは、陰極側に放電誘発部材を取付ける場合について検討を行った。即ち、電子は陰極側から放出されるため、陰極側に電子が放出されやすい放電誘発部材を取付ける方が、陽極側に放電誘発部材を取付けるより好ましいと考え、陰極側に放電誘発部材を取付ける場合について検討を行った。
その結果、陰極側に放電誘発部材を取付けた場合に、陽極等を取外すことなく、放電誘発部材のみを交換できる新規、有用な構成を知見し、更に陰極の洗浄作業を放電誘発部材の交換により簡素化した冷陰極電離真空計を想到するに至った。

本発明は、取付けを容易に行うことができる放電誘発部材を備え、前記放電誘発部材によって放電が生じやすく、高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れをより抑制した冷陰極電離真空計を提供することを目的とする。
また、陰極の洗浄作業を放電誘発部材を交換することにより、陰極の洗浄作業を簡素化できる冷陰極電離真空計を提供することを目的とする。

上記目的を達成するためになされた本発明にかかる冷陰極電離真空計は、筒状の陰極と、前記筒状の陰極の内部空間に配置された棒状の陽極と、前記陽極と陰極との間の電界にほぼ直交する磁界を形成し、前記陽極と陰極との間に放電を起こす磁性手段と、前記陰極内に収納される放電誘発部材とを備えた冷陰極電離真空計において、前記放電誘発部材が、前記板状の基体と、前記基体に形成された陽極が挿通する貫通孔と、前記基体の外縁部から斜方向に延設され、前記貫通孔の軸線方向に弾性変形可能な板状の固定部と、前記固定部と対峙する基体の外縁部に設けられた、前記貫通孔の軸線方向に延設された板状のガイド部とを備え、前記貫通孔が複数の長孔が放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔によって突起部が形成されると共に、前記貫通孔の中心部に前記陽極が配置されていることを特徴としている。

このように、放電誘発部材は、板状の基体と、前記基体の外縁部から斜方向に延設され、前記貫通孔の軸線方向に弾性変形可能な板状の固定部と、前記固定部と対峙する基体の外縁部に設けられた、前記貫通孔の軸線方向に延設された板状のガイド部とを備えている。
そのため、放電誘発部材のガイド部が陰極の内壁上を摺動しながら収納され、固定部は貫通孔の軸線方向に弾性変形しながら収納される。その結果、放電誘発部材は陰極内に収納され、放電誘発部材の固定部の圧接力によって、放電誘発部材は陰極に取り付けられる。
このように、放電誘発部材は、陰極に対して容易に取付けができ、またガイド部あるいは固定部をピンセット等の把持手段により把持し、陰極から引き出すことにより、放電誘発部材を容易に取外すことができる。

更に、基体に形成された陽極が挿通する貫通孔とを備え、前記貫通孔が複数の長孔が放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔によって突起部が形成されると共に、前記貫通孔の中心部に前記陽極が配置されているため、前記突起部と陽極との間で放電が生じやすく、また冷陰極電離真空計に対して高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さく、測定を効率的に行なうことができる。

ここで、前記陰極が有底筒状に形成され、前記放電誘発部材は、その基体が前記陰極の底面に接して収容されていることが望ましい。
このように、陰極の底面が放電誘発部材によって覆われているため、陰極表面が油皮膜や炭化層、また測定気体による反応、スパッタ等で汚染される度合が少なく、前記放電誘発部材を交換することで、陰極の底面の洗浄を省略することができ、洗浄作業を簡素化することができる。

上記目的を達成するためになされた本発明にかかる冷陰極電離真空計は、筒状の陰極と、前記筒状の陰極の内部空間に配置された棒状の陽極と、前記陽極と陰極との間の電界にほぼ直交する磁界を形成し、前記陽極と陰極との間に放電を起こす磁性手段と、前記陰極内に収納される放電誘発部材とを備えた冷陰極電離真空計において、前記放電誘発部材は有底筒状に形成されると共に、前記放電誘発部材の底面に、前記陽極が挿通する貫通孔が形成され、前記貫通孔が複数の長孔が放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔によって突起部が形成されると共に、前記貫通孔の中心部に前記陽極が配置され、かつ前記陰極が有底筒状に形成され、前記放電誘発部材の底面が前記陰極の底面に接して収容されていることを特徴としている。

このように、放電誘発部材は有底筒状に形成され陰極内に収納されるため、放電誘発部材は陰極に対して容易に取付けができ、また放電誘発部材を陰極から引き出すことにより、放電誘発部材を容易に取外すことができる。
また、放電誘発部材の底面に前記陽極が挿通する貫通孔が形成され、前記貫通孔が複数の長孔が放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔によって突起部が形成されると共に、前記貫通孔の中心部に前記陽極が配置されているため、前記突起部と陽極との間で放電が生じやすく、また冷陰極電離真空計に対して高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さく、測定を効率的に行なうことができる。

特に、陰極及び放電誘発部材が有底筒状に形成され、前記放電誘発部材の底面が前記陰極の底面に接して収容されているため、陰極の内表面は、放電誘発部材によって覆われる。そのため、陰極表面が油皮膜や炭化層、また測定気体による反応、スパッタ等で汚染される度合が少なく、前記放電誘発部材を交換することで、陰極の内表面の洗浄を省略することができ、洗浄作業を簡素化することができる。

ここで、前記貫通孔は、少なくとも４個の長孔が放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔によって突起部が形成され、少なくとも４個の突起部が前記貫通孔内に形成されていることが望ましい。
このように、４個の長孔が放射状に連結された貫通孔である場合、隣接する長孔によって突起部が４個形成される。この突起部の数が多いほど、突起部と陽極との間で放電が生じやすく、また冷陰極電離真空計に対して高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さく、測定を効率的に行なうことができる。

また、放電誘発部材の上端面に載置されるポールピースを備え、前記ポールピースを陰極に対して固定することによって、前記放電誘発部材を陰極内部に固定することが望ましい。
このようにポールピースを陰極に固定することにより、放電誘発部材を陰極内部に容易に固定することができる。

本発明の冷陰極電離真空計によれば、放電が生じ易く、また冷陰極電離真空計に対して高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れを小さくできるという効果を奏する。
また、本発明の冷陰極電離真空計によれば、放電誘発部材を陰極に対して、容易に取付け、取外すことができるという効果を奏する。
更に、本発明の冷陰極電離真空計によれば、陰極の洗浄作業を放電誘発部材を交換することにより、陰極の洗浄作業を簡素化できるという効果を奏する。

本発明の実施形態を図１乃至図５に基づいて説明する。ここで、図１は、本発明にかかる冷陰極電離真空計を示す概略構成図、図２は、図１に用いられている放電誘発部材の正面図、図３は図２に示した放電誘発部材の側面図、図４は図２に示した放電誘発部材のＡ−Ａ部分の拡大図、図５は図４のＢ−Ｂ断面図である。尚、図８に示した部材と同一、相当部材は同一符号を付し、詳細な説明は省略する。

本発明にかかる冷陰極電離真空計１の概略構成について、図１に基づいて説明する。この陰極電離真空計１の陽極４４の一端は、コネクタ６に取り付けられ、陽極４４はコネクタ６に対して電気的に接続される。
一方、陽極４４の他端は、フィードスルー（電流導入端子）１３を介し、更に放電誘発部材２０の貫通孔２２を挿通し、陰極４３の筒内の空間に配置される。

前記陽極４４及び陰極４３はエンクロージャ４２内に配置されている。この筒状の陰極４３の開口先端部には、放電状態を維持するポールピース１４が嵌合し、図示しない固定手段により固定されている。このポールピース１４は円盤形状を有し、複数の貫通孔１４aを備えている。
また、前記エンクロージャ４２には、フランジ７及び前記フランジ７に取り付けられた補助圧力センサとしてのピラニ真空計８が設けられている。尚、図１中、符号７ａは前記フランジ７を固定するために螺子である。
また、

また、前記コネクタ６は、回路基板３ｃ、３ｂ、３ａを介して、コネクタ９ｂに電気的に接続されている。更に、このコネクタ９ｂは図示しないが従来と同様に前記陽極４４に電圧を印加する電源４６に接続され、更に前記電源４６は陽極４４を流れる電流を測定する電流計４７に接続されている。
更にまた、このエンクロージャ４２は、カソード板４を介して基板３ｃに接続され、接地されている。尚、これら回路基板３ａ，３ｂ，３ｃは基板保持部材１０によって保持され、ケース２内に収容されている。

また、このケース２の背面には、前記したコネクタ９ｂのほか、スイッチ９ａ、電源のオン−オフを表示するＬＥＤ９ｃが設けられている。更に、図中の符号１１は回路基板３ａ，３ｂを接続するコネクタ、符号１２は回路基板３ｂ、３ｃを接続するコネクタである。

更に、放電誘発部材２０について説明する。
図２に示すように、放電誘発部材２０はステンレス製の板状部材で形成されており、陽極４４が挿通する貫通孔２２が形成された基体２１を備えている。前記基体の外縁部２１ｂ、２１ｃは、筒状の陰極４３の円状底面と同一の円弧（同一径）で形成されている。
また、前記基体の外縁部２１ｂ、２１ｃを連結する側縁部２１ｄ、２１ｅは直線状に形成されている。このように側縁部２１ｄ、２１ｅは直線状に形成することによって、放電誘発部材２０が陰極４３の底面に配置された際、陰極４３の底面に形成されたピラニ真空計８のための貫通孔（図示せず）を塞がないようにしている。尚、基体２１を陰極底面と同一の円形状（同一径）になし、基体２１に陽極が挿通する貫通孔及びピラニ真空計８のための貫通孔を形成しても良い。

また、図２、３に示すように、前記基体２１の外縁部２１ｂには、外縁部から斜め方向に延設され、前記貫通孔２２の軸線方向（基体２１に対して垂直な方向）に弾性変形可能な固定部２３が設けられている。
更に、前記固定部２３の形成部と対峙する基体２１の外縁部２１ｃには、外縁部から前記貫通孔２２の軸線方向（基体２１に対して垂直な方向）に延設されたガイド部２４が設けられている。

前記貫通孔２２は、図２、４に示すように正面視上、８個の先端部が円弧上の長孔２２ａが放射状に連結され、いわゆる花びら形状に形成されている。更に、隣接する長孔２２ａが連結されることによって、先端が尖がった突起部２１ａが貫通孔２２内に形成される。そして、８個の長孔２２ａが放射状に連結された貫通孔２２の中心部に、前記陽極４４が配置されるように構成されている。
したがって、この放電誘部材２０にあっては、貫通孔２２の中心部に配置された陽極４４から、前記突起部２１ａまでの距離が最も短く、しかも陽極４４の外周囲には、８個の突起部２１ａが配置されている。

この前記放電誘発部材２０は、基体２１が前記陰極４３の底面に接する（密接する）ように収納しても良いし、あるいは前記陰極４３の底面に接することなく、陰極４３の中間部に位置するように収納しても良い。

この放電誘発部材２０を陰極４３に装着するには、筒状の陰極４３の先端開口部側から陰極４３の底面まで基体２１を挿入する。このとき、基体２１の外縁部２１ｂ、２１ｃは陰極４３の内壁に接しながら、また基体２１に形成されたガイド部２４が陰極４３の内壁上を摺動しながら挿入される。
一方、固定部２３は、前記基体２１の外縁部２１ｃから斜方向に延設されているため、図３に示すように陰極４３の内壁によって、貫通孔２２の軸線方向（基体２１に対して垂直な方向）に弾性変形しながら挿入される。
即ち、基体２１の陰極４３内への挿入に伴い、固定部２３は矢印方向に変形し、陰極４３内に挿入される。その結果、固定部２３は陰極４３の内壁に圧接しながら挿入され、この放電誘発部材２０はこの固定部２３の圧接力によって陰極４３に固定される。
このように、放電誘発部材２０は、陰極４３内に挿入することによって取付けることができるため、取付け作業を容易になすことができる。

また、前記放電誘発部材２０を陰極４３から取り外すには、ガイド部２４あるいは固定部２３をピンセット等の把持手段により把持し、陰極４３から引き出すことにより、放電誘発部材２０を容易に取外すことができ、交換作業を容易になすことができる。

また、前記したように、放電誘発部材２０が陰極４３に取付けられ、貫通孔２２に陽極４４が挿通した状態にあっては、隣接する長孔が連結されたことによって形成された突起部２１ａと陽極４４が最も接近する。
そのため、前記突起部２１ａと陽極４４の間で放電が生じ易く、特に、陽極の外周囲には、８個の突起部２１ａが配置されているため、より放電が生じ易い。
その結果、電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さく、放電開始時の遅れを抑制し、測定の効率化を図ることができる。
尚、陽極の外周囲には数多くの突起部２１ａを配置するのが好ましいが、少なくとも４個配置するのが好ましい。

また、冷陰極電離真空計が所定時間使用されると、陽極表面、陰極表面が油皮膜や炭化層、また測定気体による反応、スパッタ等で汚染され、放電特性が変化するため、洗浄作業が行われる。
このとき、前記陰極が有底筒状に形成され、前記放電誘発部材の基体が前記陰極の底面に接して収容されている場合には、陰極の底面が放電誘発部材によって覆われているため、陰極表面が油皮膜や炭化層、また測定気体による反応、スパッタ等で汚染される度合が少ない。したがって、前記放電誘発部材を交換することで、陰極の底面の洗浄を省略することができ、洗浄作業を簡素化することができる。

次に、第２の実施形態を図６、図７に基づいて説明する。
この実施形態における放電誘発部材３０は、陰極４３と同様に有底円筒状に形成され、陰極４３内壁に接して収納されている。また、この放電誘発部材３０の底面３１には、陽極４４が挿通する貫通孔３２及びピラニ真空計８用の貫通孔３３が設けられている。

前記貫通孔３２は、図７に示すように正面視上、５個の三角形状の長孔３２ａが放射状に連結され、いわゆる星形状に形成されている。更に、隣接する三角形状の長孔３２ａが連結することによって、先端が尖がった突起部３１ａが貫通孔３２内に形成される。そして、いわゆる星形状の貫通孔３２の中心部に、前記陽極４４が配置されるように構成されている。
したがって、この放電誘部材３０にあっては、貫通孔３２の中心部に配置された陽極４４から、隣接する長孔３２aが連結されることによって形成された突起部３１ａまでの距離が最も短く、しかも陽極４４の外周囲には、５個の突起部３１ａが配置されている。

この放電誘発部材３０を陰極４３に装着するには、放電誘発部材３０の底面３１側を陰極４３の開口先端部から陰極４３の底面まで挿入する。このとき、放電誘発部材３０の側壁が陰極の内壁と接しながら挿入される。
そして、放電誘発部材３０を陰極４３内部に収納した後、ポールピース１４を陰極１３の開口先端部の内部に収納する。このとき、前記ポールピース１４は放電誘発部材３０の上端面に載置される。
したがって、前記ポールピース１４を陰極４３に対して螺子等の手段（図示せず）によって固定することによって、前記放電誘発部材３０は陰極４３の内部に収納、取付けられる。即ち、放電誘発部材３０を陰極４３内に挿入し、前記ポールピース１４を陰極４３に固定することによって、前記放電誘発部材３０は陰極４３内部に収納、取付けられるため、取付け作業、交換作業を容易になすことができる。

また、前記したように、放電誘発部材３０が陰極４３に取付けられ、貫通孔３２に陽極４４が挿通した状態にあっては、突起部３１ａと陽極４４と最も接近する。そのため、前記突起部３１ａと陽極４４の間で放電が生じ易い。更に、陽極４４の外周囲には、５個の突起部３１ａが配置されているため、より放電が生じ易いものである。尚、陽極の外周囲には数多くの突起部３１ａを配置するのが好ましいが、少なくとも４個配置するのが好ましい。
その結果、電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さく、放電開始時の遅れを小さくでき、測定の効率化を図ることができる。

この前記放電誘発部材３０においても、第１の実施形態と同様に、底面３０が前記陰極４３の底面に接するように収納しても良いし、あるいは前記陰極４３の底面に接することなく、陰極４３の中間部に位置するように収納しても良い。尚、前記陰極４３の底面に接することなく、陰極４３の中間部に位置するように収納する場合には、ポールピース１４によって放電誘発部材３０を固定することができないため、放電誘発部材３０の固定手段を別に設ける必要がある。

また、陰極及び放電誘発部材が有底筒状に形成され、前記放電誘発部材の底面が前記陰極の底面に接して収容されている場合には、陰極の内表面は放電誘発部材によって覆われる。そのため、陰極表面が油皮膜や炭化層、また測定気体による反応、スパッタ等で汚染される度合が少なく、前記放電誘発部材を交換することで陰極の内表面の洗浄を省略することができ、洗浄作業を簡素化することができる。

尚、上記実施形態にあっては、ピラニ真空計８を設けた場合について説明したが、ピラニ真空計８は補助圧力センサであるため、必ずしも設ける必要はない。

図１は、本発明にかかる第１の実施形態を示す概略構成図である。 図２は、図１に用いられている放電誘発部材の正面図である。 図３は、図２に示した放電誘発部材の側面図である。 図４は、図２に示した放電誘発部材のＡ−Ａ部分の拡大図である。 図５は、図４に示した放電誘発部材のＢ−Ｂ断面図である。 図６は、本発明にかかる第２の実施形態を示す要部断面図である。 図７は、図６に示した放電誘発部材の正面図である。 図８は、従来の冷陰極電離真空計を示す概略構成図である。 図９は、従来の放電誘発部材を示す正面図である。 図１０は、図９に示した放電誘発部材の側面図である。

符号の説明

１ 冷陰極電離真空計
１４ ポールピース
２０ 放電誘発部材
２１ 基体
２１ａ 突起部
２２ 貫通孔
２２ａ 長孔
２３ 固定部
２４ ガイド部
３０ 放電誘発部材
３１ 底面
３１ａ 突起部
３２ 貫通孔
３２ａ 長孔
４３ 陰極
４４ 陽極

Claims (5)

1. 筒状の陰極と、前記筒状の陰極の内部空間に配置された棒状の陽極と、前記陽極と陰極との間の電界にほぼ直交する磁界を形成し、前記陽極と陰極との間に放電を起こす磁性手段と、前記陰極内に収納される放電誘発部材とを備えた冷陰極電離真空計において、
   前記放電誘発部材が、前記板状の基体と、前記基体に形成された陽極が挿通する貫通孔と、前記基体の外縁部から斜方向に延設され、前記貫通孔の軸線方向に弾性変形可能な板状の固定部と、前記固定部と対峙する基体の外縁部に設けられた、前記貫通孔の軸線方向に延設された板状のガイド部とを備え、
   前記貫通孔が複数の長孔が放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔によって突起部が形成されると共に、前記貫通孔の中心部に前記陽極が配置されていることを特徴とする冷陰極電離真空計。
2. 前記陰極が有底筒状に形成され、前記放電誘発部材は、その基体が前記陰極の底面に接して収容されていることを特徴とする請求項１記載の冷陰極電離真空計。
3. 筒状の陰極と、前記筒状の陰極の内部空間に配置された棒状の陽極と、前記陽極と陰極との間の電界にほぼ直交する磁界を形成し、前記陽極と陰極との間に放電を起こす磁性手段と、前記陰極内に収納される放電誘発部材とを備えた冷陰極電離真空計において、
   前記放電誘発部材は有底筒状に形成されると共に、前記放電誘発部材の底面に、前記陽極が挿通する貫通孔が形成され、
   前記貫通孔が複数の長孔が放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔によって突起部が形成されると共に、前記貫通孔の中心部に前記陽極が配置され、かつ前記陰極が有底筒状に形成され、前記放電誘発部材の底面が前記陰極の底面に接して収容されていることを特徴とする冷陰極電離真空計。
4. 前記貫通孔は、少なくとも４個の長孔が放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔によって突起部が形成され、少なくとも４個の突起部が前記貫通孔内に形成されていることを特徴とする請求項１または請求項３記載の冷陰極電離真空計。
5. 放電誘発部材の上端面に載置されるポールピースを備え、前記ポールピースを陰極に対して固定することによって、前記放電誘発部材を陰極内部に固定することを特徴とする請求項３記載の冷陰極電離真空計。

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