JP5163677B2 - 光走査装置及び光走査装置の製造方法 - Google Patents
光走査装置及び光走査装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5163677B2 JP5163677B2 JP2010069073A JP2010069073A JP5163677B2 JP 5163677 B2 JP5163677 B2 JP 5163677B2 JP 2010069073 A JP2010069073 A JP 2010069073A JP 2010069073 A JP2010069073 A JP 2010069073A JP 5163677 B2 JP5163677 B2 JP 5163677B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed
- welding
- mirror
- scanning device
- optical scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Description
また、従来の固定方法では、モデルチェンジの度にメカクランプを行うための治具を新規に製作する必要があり、製造コストが増大してしまうという問題があった。更に、メカクランプ部によって、光走査装置50が大型化してしまうという問題もあった。
本発明は、上記問題を解決し、伝達部と固定台の接合強度を向上させて、駆動部で生成された振動の減衰を抑制し、不良品の発生を低減させることができる光走査装置及び光走査装置の製造法を提供することを目的とする。
光を反射するミラーと、
前記ミラーの両側を支持し、前記ミラーから離れる方向に延出する梁部と、
前記梁部が接続される伝達部と、
前記伝達部に振動を加え、前記ミラーを揺動させる駆動部と、
前記伝達部が固定される固定台とを有し、
前記伝達部の一端には、前記固定台に対して固定される被固定部が形成され、
前記伝達部は、前記被固定部と前記固定台とが溶接される複数の溶接点によって、前記固定台に固定されていることを特徴とする。
被固定部と固定台との複数の溶接点は前記被固定部の長手方向に沿って直線状に配置され、前記溶接点の数は3以上の奇数であり、
前記複数の溶接点のうち、前記長手方向において中心に位置する中心溶接点は、ミラーの重心を通過し且つ前記長手方向に直交する直線上に位置し、
前記ミラーの重心を通過し且つ前記長手方向に直交する直線に対して、ミラー、梁部、伝達部、駆動部、及び被固定部が対称に形成されることを特徴とする。
これにより、被固定部の長手方向の中心を最初に溶接することが可能となり、このため、水平方向に関して、伝達部が固定台に対して傾いて接合されることを防止することが可能となる。また、前記ミラーの重心を通過し且つ前記長手方向に直交する直線を挟んで右側と左側で、ミラーの回動特性の異なりを防止することが可能となる。
複数の溶接点は、等間隔に設けられることを特徴とする。
これにより、溶接点の近接による熱応力の集中を防止し、水平方向に関して、伝達部が固定台に対して微少に傾いて接合されることを防止することが可能となる。
溶接点の直径をd、隣接する溶接点の中心間距離をλとした場合に、前記d及びλを下式1を満たすように設定したことを特徴とする。
0.21≦d/λ≦0.62…(式1)
これにより、被固定部と固定台とのせん断破壊応力の低下を防止するとともに、ジッタ特性の劣化を防止することが可能となる。
前記ミラーの両側を支持し、前記ミラーから離れる方向に延出する梁部と、
前記梁部が接続される伝達部と、
前記伝達部に振動を加え、前記ミラーを揺動させる駆動部と、
前記伝達部が固定される固定台とを有し、
前記伝達部の一端には、前記固定台に対して固定される被固定部が形成された光走査装置の製造方法であって、
前記被固定部と前記固定台を、前記被固定部の中心、前記被固定部の一端、前記被固定部の他端の順に、溶接することを特徴とする。
これにより、水平方向に関して、伝達部が固定台に対して傾いて接合されることを防止することが可能となる。
被固定部の中心及び一端の溶接点の間、及び被固定部の中心及び他端の溶接点の間を溶接することを特徴とする。
これにより、溶接点の近接による熱の集中による熱応力の集中を防止し、微少に、基板が固定台に対して傾いてしまうことを防止することが可能となる。
被固定部の中心及び一端の溶接点の間、及び被固定部の中心及び他端の溶接点の間を複数の溶接点において溶接する場合には、被固定部の中心から遠い位置から溶接することを特徴とする。
これにより、レーザー溶接による被固定部の固定台に対する回転ズレを抑制することが可能となる。
また、モデルチェンジの度に、メカクランプを行う治具を新規に製作する必要が無く、製造コストが増大することがない。更に、メカクランプにより光走査装置が大型化してしまうことを防止することができる。
以下に図面を参照しつつ、本発明の好ましい実施の形態を示す。本発明の光走査装置40は、図1に示されるように、ミラー12、梁部13、伝達部14、被固定部15が形成された基板10を、その被固定部15上の複数の溶接点15aをレーザー溶接により、固定台20に接合させた構造である。以下、光走査装置40を構成する各部について説明する。
固定台20は、ステンレスやチタン等の金属材料で構成されている。
本発明では、固定台20上に、基板10を載置した後に、まず、被固定部15の長手方向中心位置(図1に示される(1))をレーザー溶接する。もし、図2に示されるように、被固定部15の長手方向中心位置で無く、偏心した位置をレーザー溶接した場合には、レーザー溶接による金属の溶融・冷却に伴う熱応力が、被固定部15の長手方向に不均一に作用し、基板10が固定台20に対して溶接点15aが偏心した方向に傾いてしまう。この場合には、ミラー12が設計した位置からずれてしまうので、光走査装置40が不良品となってしまう。
(1)被固定部15と固定台20との複数の溶接点15aは、被固定部15の長手方向に沿って直線状に配置され、溶接点15aの数を3以上の奇数とする。
これは、溶接点15aの数を偶数にすると、最初にレーザー溶接する位置が、被固定部15の長手方向の中心とならず、基板10が固定台20に対して傾いてしまうからである。
これは、図1に示される一点鎖線に対して、ミラー12、梁部13、伝達部14、駆動部30、及び被固定部15が対称で無い場合には、前記一点鎖線を挟んで右側と左側で、ミラー12の回動特性が異なってしまい、光走査装置40を作動させてミラー12で光を走査させる場合に、所望の位置に光を走査できなくなってしまうからである。
これは、溶接点15aを等間隔にしなかった場合には、近接した溶接点15aの周囲でレーザー溶接による熱が集中してしまい、当該箇所に熱応力が集中し、微少に、基板10が固定台20に対して傾いてしまう恐れがあるからである。
0.21≦d/λ≦0.62…(式1)
なお、本実施形態では、図3に示される被固定部15の長手寸法は5mmであり、幅寸法は1mmである。
また、本実施形態では、レーザー溶接の条件を下記のように設定した。
レーザーの照射パワー:1kW
レーザーの照射時間:1msec(Slope時間を含む)
Slope時間:0.3msec
本実施形態と異なる長手寸法の被固定部15であっても、式(1)を満たす溶接直径d、中心間距離λを決定し、更に、溶接点数aを決定すれば、被固定部15と固定台20とのせん断破壊応力の低下を防止するとともに、ジッタ特性の劣化を防止することが可能となる。
12 ミラー
13 梁部
14 伝達部
14a 接続部
15 被固定部
15a 溶接点
20 固定台
30 駆動部
40 本発明の光走査装置
50 従来の光走査装置
Claims (7)
- 光を反射するミラーと、
前記ミラーの両側を支持し、前記ミラーから離れる方向に延出する梁部と、
前記梁部が接続される伝達部と、
前記伝達部に振動を加え、前記ミラーを揺動させる駆動部と、
前記伝達部が固定される固定台とを有し、
前記伝達部の一端には、前記固定台に対して固定される被固定部が形成され、
前記伝達部は、前記被固定部と前記固定台とが溶接される複数の溶接点によって、前記固定台に固定されていることを特徴とする光走査装置。 - 被固定部と固定台との複数の溶接点は前記被固定部の長手方向に沿って直線状に配置され、前記溶接点の数は3以上の奇数であり、
前記複数の溶接点のうち、前記長手方向において中心に位置する中心溶接点は、ミラーの重心を通過し且つ前記長手方向に直交する直線上に位置し、
前記ミラーの重心を通過し且つ前記長手方向に直交する直線に対して、ミラー、梁部、伝達部、駆動部、及び被固定部が対称に形成されることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。 - 複数の溶接点は、等間隔に設けられることを特徴とする請求項2に記載の光走査装置。
- 溶接点の直径をd、隣接する溶接点の中心間距離をλとした場合に、前記d及びλを下式1を満たすように設定したことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の光走査装置。
0.21≦d/λ≦0.62…(式1) - 前記ミラーの両側を支持し、前記ミラーから離れる方向に延出する梁部と、
前記梁部が接続される伝達部と、
前記伝達部に振動を加え、前記ミラーを揺動させる駆動部と、
前記伝達部が固定される固定台とを有し、
前記伝達部の一端には、前記固定台に対して固定される被固定部が形成された光走査装置の製造方法であって、
前記被固定部と前記固定台を、前記被固定部の中心、前記被固定部の一端、前記被固定部の他端の順に、溶接することを特徴とする光走査装置の製造方法。 - 被固定部の中心及び一端の溶接点の間、及び被固定部の中心及び他端の溶接点の間を溶接することを特徴とする請求項5に記載の光走査装置の製造方法。
- 被固定部の中心及び一端の溶接点の間、及び被固定部の中心及び他端の溶接点の間を複数の溶接点において溶接する場合には、被固定部の中心から遠い位置から溶接することを特徴とする請求項6に記載の光走査装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010069073A JP5163677B2 (ja) | 2010-03-25 | 2010-03-25 | 光走査装置及び光走査装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010069073A JP5163677B2 (ja) | 2010-03-25 | 2010-03-25 | 光走査装置及び光走査装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011203394A JP2011203394A (ja) | 2011-10-13 |
JP5163677B2 true JP5163677B2 (ja) | 2013-03-13 |
Family
ID=44880112
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010069073A Active JP5163677B2 (ja) | 2010-03-25 | 2010-03-25 | 光走査装置及び光走査装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5163677B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5672221B2 (ja) * | 2011-11-29 | 2015-02-18 | ブラザー工業株式会社 | 光スキャナの製造方法および光スキャナ |
CN114289872B (zh) * | 2022-03-07 | 2022-08-23 | 西安中科华芯测控有限公司 | 一种微型激光陀螺用超快激光反射镜的装配方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002311369A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-23 | Fuji Xerox Co Ltd | 光走査装置 |
JP2005326691A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Konica Minolta Business Technologies Inc | レーザ走査光学装置の製造方法 |
WO2006004644A1 (en) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Nicolas Loebel | Optical scanner |
JP4691704B2 (ja) * | 2005-04-13 | 2011-06-01 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光走査装置 |
JP5157499B2 (ja) * | 2008-02-05 | 2013-03-06 | ブラザー工業株式会社 | 光スキャナ |
-
2010
- 2010-03-25 JP JP2010069073A patent/JP5163677B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011203394A (ja) | 2011-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5334843B2 (ja) | 電子部品装着装置および電子部品装着方法 | |
JP5583179B2 (ja) | ボンディング装置 | |
TWI629732B (zh) | 接合半導體元件的系統及方法 | |
US8434659B2 (en) | Bonding device, ultrasonic transducer, and bonding method | |
KR20040104424A (ko) | 초음파 트랜스듀서 조립체 | |
JP5239366B2 (ja) | レーザ溶接方法、レーザ溶接装置、および溶接部材 | |
JP5163677B2 (ja) | 光走査装置及び光走査装置の製造方法 | |
JP5266395B2 (ja) | ガラス状部品を金属に圧力嵌めにより結合する方法及び装置 | |
JP2008218506A (ja) | ホーン取付用アーム | |
JP6693564B2 (ja) | 振動装置及びその製造方法 | |
JP5672221B2 (ja) | 光スキャナの製造方法および光スキャナ | |
JP6673634B2 (ja) | 超音波接合方法 | |
JP5299393B2 (ja) | 光スキャナ | |
JP2011106874A (ja) | 半導体チップの強度測定方法および半導体チップの強度測定装置 | |
JP4401795B2 (ja) | 光軸ずれの調整方法、及び光軸調整装置 | |
JP2011082030A (ja) | 超音波接続装置、薄膜太陽電池の配線接続装置、及び薄膜太陽電池の配線接続方法 | |
JP5229242B2 (ja) | 光スキャナ | |
JP2007242842A (ja) | 半導体レーザ装置及び半導体レーザ装置の製造方法 | |
JP2013064843A (ja) | 光スキャナ | |
JP5765044B2 (ja) | 光スキャナ | |
JP2008124152A (ja) | 半田シート、半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP4781925B2 (ja) | 気密容器 | |
JPWO2011132670A1 (ja) | パワー半導体装置におけるワイヤボンディング方法 | |
JP2012078389A (ja) | 光スキャナ、及びその光スキャナを備えた画像投影装置 | |
JP5119948B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120313 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121116 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121120 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121203 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151228 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5163677 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |