JP5156649B2

JP5156649B2 - Vacuum pump

Info

Publication number: JP5156649B2
Application number: JP2008557063A
Authority: JP
Inventors: るみ子和田; 剛志樺澤
Original assignee: EDWARDSJAPAN LIMITED
Current assignee: EDWARDSJAPAN LIMITED
Priority date: 2007-02-06
Filing date: 2008-01-28
Publication date: 2013-03-06
Anticipated expiration: 2028-01-28
Also published as: WO2008096622A1; JPWO2008096622A1

Description

本発明は、真空ポンプに関し、例えば、真空容器の排気処理を行う真空ポンプに関する。 The present invention relates to a vacuum pump, for example, a vacuum pump that performs exhaust processing of a vacuum vessel.

ターボ分子ポンプやねじ溝式ポンプなどの真空ポンプは、例えば、半導体製造装置の排気や、電子顕微鏡などの高真空を要する真空容器に多用されている。
この高真空の環境を実現する真空ポンプは、吸気口及び排気口を備えた外装体を形成するケーシングを備えている。そして、このケーシングの内部（中空部）には、当該真空ポンプに排気機能を発揮させる構造物が収納されている。この排気機能を発揮させる構造物は、大きく分けて回転自在に軸支された回転部（ロータ部）とケーシングに対して固定された固定部（ステータ部）から構成されている。Vacuum pumps such as turbo molecular pumps and thread groove pumps are widely used, for example, in vacuum vessels that require high vacuum such as exhaust of semiconductor manufacturing equipment and electron microscopes.
A vacuum pump that realizes this high vacuum environment includes a casing that forms an exterior body having an intake port and an exhaust port. And the structure which makes the said vacuum pump exhibit an exhaust function is accommodated in the inside (hollow part) of this casing. A structure that exhibits this exhaust function is roughly composed of a rotating part (rotor part) that is rotatably supported and a fixed part (stator part) fixed to the casing.

回転部は、回転軸及びこの回転軸に固定されている回転体からなり、回転体には、放射状にかつ多段に配設されたロータ翼が設けられている。また、固定部には、ロータ翼に対して互い違いにステータ翼が多段に配設されている。
ターボ分子ポンプには、回転軸を高速回転させるためのモータが設けられており、このモータの働きにより回転軸が高速回転すると、ロータ翼とステータ翼との作用により気体が吸気口から吸引され、排気口から排出されるようになっている。
このように構成されたポンプ本体は、制御装置（コントロールユニット）によって各種動作が制御されている。The rotating part is composed of a rotating shaft and a rotating body fixed to the rotating shaft, and the rotating body is provided with rotor blades arranged radially and in multiple stages. Further, stator blades are arranged in multiple stages in the fixed portion alternately with respect to the rotor blades.
The turbo molecular pump is provided with a motor for rotating the rotating shaft at a high speed, and when the rotating shaft rotates at a high speed by the function of this motor, gas is sucked from the intake port by the action of the rotor blade and the stator blade, It is discharged from the exhaust port.
Various operations of the pump body configured as described above are controlled by a control device (control unit).

上述したようなポンプ本体と制御装置は、専用ケーブルを介して接続されている。この専用ケーブルは、多くの信号配線や電力供給配線を束ねた太いものであるため、ケーブルの引き回しを容易に行うことができなかった。
また、ポンプ本体と制御装置とが互いに遠く離れた場所に配置される環境においては、必然的に専用ケーブルも長くなるため、ケーブルを通過する間に信号が減衰してしまうおそれがあった。
従来、このような専用ケーブルに起因する不具合を解消するために、専用ケーブルを用いずにポンプ本体と制御装置を接続する技術、即ち、ポンプ本体と制御装置を一体化する技術が下記の特許文献１に提案されている。
特開平１１−１７３２９３号公報 The pump body and the control device as described above are connected via a dedicated cable. Since this dedicated cable is thick with many signal wires and power supply wires bundled together, the cable cannot be easily routed.
Further, in an environment where the pump main body and the control device are arranged far away from each other, the dedicated cable inevitably becomes long, so that the signal may be attenuated while passing through the cable.
Conventionally, in order to eliminate the problems caused by such a dedicated cable, the technology for connecting the pump body and the control device without using the dedicated cable, that is, the technology for integrating the pump body and the control device is described in the following patent document. 1 is proposed.
JP-A-11-173293

特許文献１に記載されているポンプ本体と制御装置を一体化したターボ分子ポンプ装置では、ポンプ本体から配線を引き出すためのコネクタが、ベース底面（底部）の中央部に設けられている。
ベース底面の中央部には、モータや磁気軸受などの電気部品を収納する収納部の開口部を塞ぐための裏蓋が設けられている。つまり、特許文献１に記載のターボ分子ポンプ装置では、この裏蓋にコネクタが設けられている。
しかしながら、このようにコネクタが裏蓋に設けられている場合、配線が裏蓋と繋がっているため、修理や点検時にポンプを分解する際の作業性が低下してしまう。In the turbo molecular pump device in which the pump main body and the control device described in Patent Document 1 are integrated, a connector for drawing out wiring from the pump main body is provided at the center of the base bottom (bottom).
A back cover is provided at the center of the bottom surface of the base to close the opening of the storage unit that stores electrical components such as a motor and a magnetic bearing. That is, in the turbo molecular pump device described in Patent Document 1, a connector is provided on the back cover.
However, when the connector is provided on the back cover in this way, since the wiring is connected to the back cover, workability when disassembling the pump at the time of repair or inspection is lowered.

そこで本発明は、ポンプ本体と制御装置を一体化した真空ポンプにおける、ポンプの分解時の作業性をより向上させることを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to further improve the workability at the time of disassembly of the pump in a vacuum pump in which the pump body and the control device are integrated.

請求項１記載の発明では、吸気口から排気口まで気体を移送する気体移送機構を内包するポンプ本体と、前記ポンプ本体に装着される制御装置と、を備えた真空ポンプであって、前記ポンプ本体は、前記制御装置と対向する領域に開口部を有し、電気部品が配設された電気部品収納部と、前記電気部品収納部の開口部を覆うカバーと、前記カバーの配設領域の外側であり、かつ、前記制御装置と対向する部位に設けられた、前記電気部品の配線を前記制御装置に接続するコネクタと、を備えることにより前記目的を達成する。
なお、請求項１では、例えば、モータ、磁気軸受、センサ等が電気部品（電装部品）に相当する。
請求項２記載の発明では、請求項１記載の真空ポンプにおいて、前記電気部品収納部へパージガスを供給する、前記電気部品収納部から前記ポンプ本体の外装体の周壁まで貫通して形成されたガス供給路を備え、前記電気部品の配線は、少なくとも前記ガス供給路の一部に配設されていることを特徴とする。
請求項３記載の発明では、請求項２記載の真空ポンプにおいて、開口端部に前記コネクタが配設された、前記ガス供給路と連通する連通穴を備え、前記電気部品の配線は、前記連通穴、及び、少なくとも前記ガス供給路の一部に渡って配設されていることを特徴とする。According to the first aspect of the present invention, there is provided a vacuum pump comprising a pump main body including a gas transfer mechanism for transferring gas from an intake port to an exhaust port, and a control device attached to the pump main body. The main body has an opening in a region facing the control device, an electric component storage portion in which electric components are disposed, a cover that covers the opening of the electric component storage portion, and an area in which the cover is disposed. The object is achieved by including a connector for connecting the wiring of the electrical component to the control device, which is provided on a portion that is on the outside and faces the control device.
In claim 1, for example, a motor, a magnetic bearing, a sensor, and the like correspond to electrical components (electrical components).
According to a second aspect of the present invention, in the vacuum pump according to the first aspect of the present invention, the purge gas is supplied to the electric component storage portion, and the gas is formed penetrating from the electric component storage portion to the peripheral wall of the exterior body of the pump body. A supply path is provided, and the wiring of the electrical component is disposed at least in a part of the gas supply path.
According to a third aspect of the present invention, in the vacuum pump according to the second aspect, the connector is disposed at an opening end portion, and the communication hole communicates with the gas supply path. It is characterized by being arranged over the hole and at least a part of the gas supply path.

本発明によれば、カバーの配設領域の外側にコネクタを設けることにより、配線がカバーに接続されないため、ポンプの分解時にカバーを外す際の作業性を向上させることができる。 According to the present invention, since the connector is provided outside the area where the cover is provided, the wiring is not connected to the cover, so that the workability when removing the cover when the pump is disassembled can be improved.

本実施形態に係るターボ分子ポンプの概略構成を示した図である。It is the figure which showed schematic structure of the turbo-molecular pump which concerns on this embodiment. 電気部品の配線の配設状態を示した図である。It is the figure which showed the arrangement | positioning state of the wiring of an electrical component.

符号の説明Explanation of symbols

１ターボ分子ポンプ
２ケーシング
３ベース
４ロータ部
５吸気口
６排気口
７シャフト
８ロータ翼
９円筒部材
１０ボルト
１１モータ部
１２〜１４磁気軸受部
１５〜１７変位センサ
１８ステータ翼
１９ねじ溝スペーサ
２０スペーサ
２１ステータコラム
２２裏蓋
２３コネクタ
２４パージポート
２５パージガス流路
２６連通穴
３０制御装置
３１コネクタDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Turbo molecular pump 2 Casing 3 Base 4 Rotor part 5 Intake port 6 Exhaust port 7 Shaft 8 Rotor blade 9 Cylindrical member 10 Bolt 11 Motor part 12-14 Magnetic bearing part 15-17 Displacement sensor 18 Stator blade 19 Screw groove spacer 20 Spacer 21 Stator column 22 Back cover 23 Connector 24 Purge port 25 Purge gas flow path 26 Communication hole 30 Controller 31 Connector

以下、本発明の好適な実施の形態について、図１及び図２を参照して詳細に説明する。本実施の形態では、真空ポンプの一例としてターボ分子ポンプを用いて説明する。
図１は、本実施形態に係るターボ分子ポンプ１の概略構成を示した図である。図１は、ターボ分子ポンプ１の軸線方向の断面図を示している。
本実施形態では、ターボ分子ポンプの一例としてターボ分子ポンプ部Ｔとねじ溝式ポンプ部Ｓを備えた、いわゆる複合翼タイプの分子ポンプを例にとり説明する。
なお、ターボ分子ポンプ１には、高速回転するロータ部と、固定したステータ部との排気作用により、排気機能を発揮する真空ポンプであって、ターボ分子ポンプ、ねじ溝式ポンプ、あるいはこれら両方の構造を合わせ持ったポンプなどがある。Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2. In this embodiment, a turbo molecular pump is used as an example of a vacuum pump.
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a turbo molecular pump 1 according to the present embodiment. FIG. 1 shows a sectional view of the turbo molecular pump 1 in the axial direction.
In the present embodiment, a so-called composite wing type molecular pump including a turbo molecular pump part T and a thread groove type pump part S will be described as an example of a turbo molecular pump.
The turbo molecular pump 1 is a vacuum pump that exerts an exhaust function by an exhaust action of a rotor portion that rotates at high speed and a fixed stator portion, and includes a turbo molecular pump, a thread groove pump, or both of them. There are pumps with the same structure.

ターボ分子ポンプ１を構成する各部について説明する。
ケーシング２は、円筒形状（中空円柱状）であり、開口部を有する円形のベース３と共にターボ分子ポンプ１の外装体を構成する。ケーシング２における一方の開口端は、ターボ分子ポンプ１の吸気口５を構成し、他方の開口端にベース３が設けられている。
このケーシング２（外装体）の内部には、ターボ分子ポンプ１に排気機能を発揮させる構造物つまり気体移送機構が収納されている。
これら排気機能を発揮する構造物は、大きく分けて回転自在に軸支されたロータ部４とケーシング２に対して固定されたステータ部から構成されている。
また、吸気口５側がターボ分子ポンプ部Ｔにより構成され、排気口６側がねじ溝式ポンプ部Ｓから構成されている。Each part which comprises the turbo-molecular pump 1 is demonstrated.
The casing 2 has a cylindrical shape (hollow columnar shape), and constitutes an exterior body of the turbo molecular pump 1 together with a circular base 3 having an opening. One open end of the casing 2 constitutes an intake port 5 of the turbo molecular pump 1, and a base 3 is provided at the other open end.
Inside the casing 2 (exterior body), a structure that allows the turbo molecular pump 1 to perform an exhaust function, that is, a gas transfer mechanism is housed.
These structures that exhibit the exhaust function are roughly composed of a rotor portion 4 that is rotatably supported and a stator portion that is fixed to the casing 2.
Further, the intake port 5 side is constituted by a turbo molecular pump part T, and the exhaust port 6 side is constituted by a thread groove type pump part S.

ロータ部４には、シャフト７の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜してロータ部４から放射状に伸びたブレードからなるロータ翼８が吸気口５側（ターボ分子ポンプ部Ｔ）に設けられている。なお、ロータ部４は、ステンレスやアルミニウム合金などの金属により構成されている。
さらに、ロータ部４には、外周面が円筒形状をした部材からなる円筒部材９が排気口６側（ねじ溝式ポンプ部Ｓ）に設けられている。
また、ターボ分子ポンプ１には、ロータ翼８が軸線方向に複数段形成されている。The rotor section 4 is provided with rotor blades 8 on the intake port 5 side (the turbo molecular pump section T), which are blades that are inclined at a predetermined angle from a plane perpendicular to the axis of the shaft 7 and extend radially from the rotor section 4. It has been. The rotor portion 4 is made of a metal such as stainless steel or aluminum alloy.
Furthermore, the rotor part 4 is provided with a cylindrical member 9 made of a member whose outer peripheral surface is cylindrical on the exhaust port 6 side (screw groove type pump part S).
The turbo molecular pump 1 has a plurality of rotor blades 8 formed in the axial direction.

シャフト７は、円柱部材の回転軸（ロータ軸）である。シャフト７の上端にはロータ部４が複数のボルト１０により取り付けられている。
シャフト７の軸線方向中程には、シャフト７を回転させるモータ部１１が配設されている。
モータ部１１の吸気口５側及び排気口６側には、シャフト７をラジアル方向に軸支するための磁気軸受部１２及び磁気軸受部１３が設けられている。
シャフト７の下端には、シャフト７を軸線方向（スラスト方向）に軸支するための磁気軸受部１４が設けられている。
シャフト７は、磁気軸受部１２、１３、１４から構成される５軸制御型の磁気軸受によって非接触で支持されている。
また、磁気軸受部１２、１３の近傍には、それぞれ変位センサ１５、１６が形成されており、シャフト７のラジアル方向の変位が検出できるようになっている。さらに、シャフト７の下端には変位センサ１７が形成されており、シャフト７の軸線方向の変位が検出できるようになっている。
後述する制御装置３０は、変位センサ１５〜１７によってシャフト７の変位を検出すると、磁気軸受部１２〜１４における各電磁石の磁力を調節して、シャフト７を所定の位置へ戻すように動作する。The shaft 7 is a rotating shaft (rotor shaft) of the cylindrical member. The rotor portion 4 is attached to the upper end of the shaft 7 with a plurality of bolts 10.
A motor unit 11 that rotates the shaft 7 is disposed in the middle of the shaft 7 in the axial direction.
A magnetic bearing portion 12 and a magnetic bearing portion 13 for supporting the shaft 7 in the radial direction are provided on the intake port 5 side and the exhaust port 6 side of the motor unit 11.
A magnetic bearing portion 14 for supporting the shaft 7 in the axial direction (thrust direction) is provided at the lower end of the shaft 7.
The shaft 7 is supported in a non-contact manner by a five-axis control type magnetic bearing composed of the magnetic bearing portions 12, 13, and 14.
Displacement sensors 15 and 16 are formed in the vicinity of the magnetic bearing portions 12 and 13, respectively, so that the displacement of the shaft 7 in the radial direction can be detected. Further, a displacement sensor 17 is formed at the lower end of the shaft 7 so that the displacement of the shaft 7 in the axial direction can be detected.
When a displacement of the shaft 7 is detected by the displacement sensors 15 to 17, the control device 30 described later operates to adjust the magnetic force of each electromagnet in the magnetic bearing portions 12 to 14 and return the shaft 7 to a predetermined position.

ケーシング２の内周側には、ステータ部が形成されている。このステータ部は、吸気口５側（ターボ分子ポンプ部Ｔ）に設けられたステータ翼１８と、排気口６側（ねじ溝式ポンプ部Ｓ）に設けられたねじ溝スペーサ１９などから構成されている。
ステータ翼１８は、シャフト７の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜してケーシング２の内周面からシャフト７に向かって伸びたブレードから構成されている。ターボ分子ポンプ部Ｔでは、これらステータ翼１８が軸線方向に、ロータ翼８と互い違いに複数段形成されている。各段のステータ翼１８は、円筒形状をしたスペーサ２０により互いに隔てられている。A stator portion is formed on the inner peripheral side of the casing 2. This stator portion is composed of a stator blade 18 provided on the intake port 5 side (turbo molecular pump portion T), a thread groove spacer 19 provided on the exhaust port 6 side (screw groove type pump portion S), and the like. Yes.
The stator blade 18 is composed of a blade that is inclined by a predetermined angle from a plane perpendicular to the axis of the shaft 7 and extends from the inner peripheral surface of the casing 2 toward the shaft 7. In the turbo molecular pump portion T, the stator blades 18 are formed in a plurality of stages alternately with the rotor blades 8 in the axial direction. The stator blades 18 of each stage are separated from each other by a cylindrical spacer 20.

ねじ溝スペーサ１９は、内周面にらせん溝が形成された円柱部材である。ねじ溝スペーサ１９の内周面は、所定のクリアランス（間隙）を隔てて円筒部材９の外周面に対面するようになっている。ねじ溝スペーサ１９に形成されたらせん溝の方向は、らせん溝内をロータ部４の回転方向にガスが輸送された場合、排気口６に向かう方向である。らせん溝の深さは排気口６に近づくにつれ浅くなるようになっている。そして、らせん溝を輸送されるガスは排気口６に近づくにつれて圧縮されるようになっている。
これらステータ部はステンレスやアルミニウム合金などの金属を用いて構成されている。
なお、ロータ部４、ロータ翼８、円筒部材９、ステータ翼１８、スペーサ２０、ベース３などの吸気口５から取り込まれる気体の流路が形成される領域には、耐蝕処理が施されている。The thread groove spacer 19 is a cylindrical member having a spiral groove formed on the inner peripheral surface. The inner peripheral surface of the thread groove spacer 19 faces the outer peripheral surface of the cylindrical member 9 with a predetermined clearance (gap) therebetween. The direction of the spiral groove formed in the thread groove spacer 19 is a direction toward the exhaust port 6 when the gas is transported in the spiral groove in the rotational direction of the rotor portion 4. The depth of the spiral groove becomes shallower as it approaches the exhaust port 6. The gas transported through the spiral groove is compressed as it approaches the exhaust port 6.
These stator parts are made of metal such as stainless steel or aluminum alloy.
In addition, the corrosion-resistant process is performed to the area | region in which the flow path of the gas taken in from the inlet ports 5, such as the rotor part 4, the rotor blade | wing 8, the cylindrical member 9, the stator blade | wing 18, the spacer 20, and the base 3, is formed. .

ベース３の中央部、即ち、ベース３の内周縁には、ロータの回転軸線と同心に円筒形状を有するステータコラム（モータハウジング）２１が取り付けられている。
図１に示すように、モータ部１１、磁気軸受部１２〜１４、及び変位センサ１５〜１７などの電気部品（電装部品）は、ステータコラム２１及びベース３の内部（中空部）に格納（収納）されている。
なお、これらの電気部品が配設される領域、即ち、ステータコラム２１及びベース３の内部は、電気部品収納部として機能する。
ベース３の底部（ステータコラム２１の開口部）には、ベース３の開口部、即ち、電気部品収納部の開口部を覆うように裏蓋（カバー）２２が取り付けられている。A stator column (motor housing) 21 having a cylindrical shape concentrically with the rotation axis of the rotor is attached to the central portion of the base 3, that is, the inner peripheral edge of the base 3.
As shown in FIG. 1, electrical components (electrical components) such as the motor unit 11, the magnetic bearing units 12 to 14, and the displacement sensors 15 to 17 are stored (accommodated) inside the stator column 21 and the base 3 (hollow part). )
In addition, the area | region where these electrical components are arrange | positioned, ie, the inside of the stator column 21 and the base 3, functions as an electrical component storage part.
A back cover (cover) 22 is attached to the bottom of the base 3 (the opening of the stator column 21) so as to cover the opening of the base 3, that is, the opening of the electrical component storage unit.

また、ベース３には、ターボ分子ポンプ１の電気部品の接続配線などの内部配線を引き出し、後述する制御装置３０に接続するためのコネクタ２３が設けられている。
このコネクタ２３は、修理や点検時などにターボ分子ポンプ１を分解する際の作業性を考慮して、ベース３の開口部よりも外側の領域、詳しくは、裏蓋２２の配設領域の外側に設けられている。
このように本実施形態では、コネクタ２３が裏蓋２２に設けられないため、即ち、内部配線が裏蓋２２に接続されないため、裏蓋２２を外す作業を容易に行うことができる。In addition, the base 3 is provided with a connector 23 for drawing out internal wiring such as connection wiring of electrical parts of the turbo molecular pump 1 and connecting it to a control device 30 described later.
In consideration of workability when disassembling the turbo molecular pump 1 at the time of repair or inspection, the connector 23 is an area outside the opening of the base 3, more specifically, outside the area where the back cover 22 is disposed. Is provided.
Thus, in this embodiment, since the connector 23 is not provided on the back cover 22, that is, the internal wiring is not connected to the back cover 22, the operation of removing the back cover 22 can be easily performed.

なお、上述したケーシング２、ベース３及び裏蓋２２を外装体とする領域（部分）、即ち、気体移送機構が構成されている部分をポンプ本体とする。
本実施の形態に係るターボ分子ポンプ１には、このポンプ本体を制御するための制御装置３０がポンプ本体に装着されている。つまり、ターボ分子ポンプ１は、ポンプ本体と制御装置３０が一体化されている。
制御装置３０は、ポンプ本体における各種動作を制御する制御回路を備えたコントロールユニットを構成する。
制御装置３０は、ベース３の底部（ステータコラム２１の開口部）、即ち裏蓋２２と対向する領域に配設（装着）されている。In addition, let the area | region (part) which uses the casing 2, the base 3, and the back cover 22 as an exterior body, ie, the part in which the gas transfer mechanism is comprised be a pump main body.
In the turbo molecular pump 1 according to the present embodiment, a control device 30 for controlling the pump body is mounted on the pump body. That is, in the turbo molecular pump 1, the pump body and the control device 30 are integrated.
The control device 30 constitutes a control unit including a control circuit that controls various operations in the pump body.
The control device 30 is disposed (mounted) on the bottom of the base 3 (opening of the stator column 21), that is, in a region facing the back cover 22.

制御装置３０には、ポンプ本体に設けられているコネクタ２３と対になるコネクタ３１が設けられている。制御装置３０に設けられている制御回路は、コネクタ２３とコネクタ３１とを接合（結合）させることによって、ポンプ本体の電気部品と電気的に接続されるように構成されている。
このように本実施形態では、ポンプ本体と制御装置３０との間における電気的接続を、コネクタ２３とコネクタ３１とを結合することにより行うように構成されている。そのため、ポンプ本体と制御装置３０とを接続する専用ケーブルを用いることなく、制御装置３０は、モータ部１１や磁気軸受部１２〜１４、変位センサ１５〜１７の駆動信号や電力をポンプ本体へ供給したり、ポンプ本体から各種信号などを受信したりすることができる。The control device 30 is provided with a connector 31 that is paired with the connector 23 provided on the pump body. The control circuit provided in the control device 30 is configured to be electrically connected to the electrical components of the pump body by joining (connecting) the connector 23 and the connector 31.
As described above, in the present embodiment, the electrical connection between the pump body and the control device 30 is configured by coupling the connector 23 and the connector 31. Therefore, without using a dedicated cable for connecting the pump body and the control device 30, the control device 30 supplies the drive signals and electric power of the motor unit 11, the magnetic bearing units 12 to 14, and the displacement sensors 15 to 17 to the pump body. Or receive various signals from the pump body.

また、ターボ分子ポンプ１におけるポンプ本体には、ベース３の外周面にパージポート２４が設けられている。
パージポート２４は、パージガス流路２５を介してベース３の内部領域、即ち、電気部品収納部と連通している。
パージガス流路２５は、ベース３の外周壁面から内周壁面まで径方向に沿って貫通して形成された貫通横孔であり、パージポート２４から供給（導入）されるパージガスを、電気部品収納部へ送り込むパージガスの供給路として機能する。
なお、図示されていないが、パージポート２４の他端は、パージガスをパージポート２４へ供給するガス供給装置に接続されている。A purge port 24 is provided on the outer peripheral surface of the base 3 in the pump body of the turbo molecular pump 1.
The purge port 24 communicates with the internal region of the base 3, that is, the electrical component storage portion via the purge gas flow path 25.
The purge gas channel 25 is a through hole formed in the radial direction from the outer peripheral wall surface to the inner peripheral wall surface of the base 3, and the purge gas supplied (introduced) from the purge port 24 is supplied to the electric component storage unit. It functions as a supply path for the purge gas fed into the tank.
Although not shown, the other end of the purge port 24 is connected to a gas supply device that supplies purge gas to the purge port 24.

ここで、パージポート２４から導入されるパージガスの機能について説明する。
ターボ分子ポンプ１を用いて、半導体製造装置が設けられた真空容器、例えばエッチング装置や化学気相成長装置（ＣＶＤ）における真空容器の排気を行う際に、真空容器から排気する気体にプロセスガスとして用いられた腐食性ガスが含まれる場合がある。
このような腐食性ガスが吸気口５からターボ分子ポンプ１の内部に取り込まれると、そのガスによって、ターボ分子ポンプ１の内部における、耐蝕処理が施されていない電気部品（電装品）、保護ベアリング、シャフト７などが腐食されてしまう。
そこで、パージポート２４からパージガス、例えば窒素ガスやアルゴンガスなどの不活性ガスを電気部品収納部に供給することにより、電気部品を腐食性ガスから保護するように構成されている。Here, the function of the purge gas introduced from the purge port 24 will be described.
When the turbo molecular pump 1 is used to evacuate a vacuum container provided with a semiconductor manufacturing apparatus, for example, a vacuum container in an etching apparatus or a chemical vapor deposition apparatus (CVD), the gas exhausted from the vacuum container is used as a process gas. The corrosive gas used may be included.
When such corrosive gas is taken into the turbo molecular pump 1 from the intake port 5, the gas causes an electrical component (electrical component) that has not been subjected to anticorrosion treatment inside the turbo molecular pump 1, and a protective bearing. The shaft 7 and the like are corroded.
Therefore, the purge port 24 is configured to protect the electrical component from the corrosive gas by supplying the purge gas, for example, an inert gas such as nitrogen gas or argon gas, to the electrical component storage unit.

パージポート２４から導入されたパージガスは、パージガス流路２５を介して電気部品収納部、即ちステータコラム２１の内部へ供給される。電気部品収納部は、パージガスで満たされることにより、吸気口５から取り込まれた腐食性ガスの浸入を抑制することができる。
なお、電気部品収納部に供給されたパージガスは、変位センサ１５の配設部を通過した後、ステータコラム２１の吸気口５側の開口部からステータコラム２１の外部へ流出する。そして、パージガスは、ステータコラム２１の外周壁とロータ部４との間の空隙を介して排気口６まで送られ、吸気口５から取り込まれた気体と共にターボ分子ポンプ１から排出される。The purge gas introduced from the purge port 24 is supplied through the purge gas flow path 25 to the electrical component storage unit, that is, the interior of the stator column 21. The electrical component housing portion can be prevented from entering the corrosive gas taken in from the intake port 5 by being filled with the purge gas.
The purge gas supplied to the electrical component storage portion passes through the disposition portion of the displacement sensor 15 and then flows out of the stator column 21 from the opening on the intake port 5 side of the stator column 21. Then, the purge gas is sent to the exhaust port 6 through the gap between the outer peripheral wall of the stator column 21 and the rotor portion 4, and is discharged from the turbo molecular pump 1 together with the gas taken in from the intake port 5.

ターボ分子ポンプ１のベース３には、開口端部にコネクタ２３が配設され、パージガス流路２５と連通する連通穴２６が形成されている。
連通穴２６は、ベース３の底面（制御装置３０との対向面）から軸方向に沿って形成された穴であり、その先端近傍において垂直にパージガス流路２５と交わって（連通して）いる。
連通穴２６におけるベース３の底面に形成された開口部は、コネクタ２３によって密閉されている。In the base 3 of the turbo molecular pump 1, a connector 23 is disposed at the opening end, and a communication hole 26 communicating with the purge gas flow path 25 is formed.
The communication hole 26 is a hole formed along the axial direction from the bottom surface of the base 3 (the surface facing the control device 30), and intersects (communicates) with the purge gas flow path 25 in the vicinity of the tip thereof. .
An opening formed in the bottom surface of the base 3 in the communication hole 26 is sealed by a connector 23.

図２は、電気部品の配線の配設状態を示した図である。
図２において、破線（点線）は、ターボ分子ポンプ１における電気部品（モータ部１１、磁気軸受部１２〜１４、及び変位センサ１５〜１７など）と制御装置３０とを電気的に接続するための配線を示し、矢印は、パージポート２４から供給されるパージガスの流れを示す。
なお、図中では、簡略化のため電気部品の配線を４本の破線で示しているが、実際のターボ分子ポンプ１においては、約４０〜５０本の配線が設けられている。
図２に示すように、ターボ分子ポンプ１における電気部品の接続配線は、ベース３の中空部、即ち電気部品収納部から、パージガス流路２５及び連通穴２６を介してコネクタ２３まで引き出されている。
また、図２に示すように、パージポート２４から供給されたパージガスは、パージガス流路２５を介してベース３の中空部、即ち電気部品収納部まで送り込まれる。
つまり、本実施の形態では、パージガス流路２５の一部、詳しくは、パージガス流路２５における連通穴２６との結合部よりパージガスの流れの下流側の領域、即ち、パージガス流路２５における連通穴２６との結合部からベース３の内側（軸中心側）の領域を、電気部品の接続配線の配設部と兼用させている。FIG. 2 is a diagram showing an arrangement state of wiring of electrical components.
In FIG. 2, a broken line (dotted line) indicates an electrical component (such as the motor unit 11, the magnetic bearing units 12 to 14, and the displacement sensors 15 to 17) in the turbo molecular pump 1 and the control device 30. The wiring indicates the flow, and the arrows indicate the flow of the purge gas supplied from the purge port 24.
In the figure, for the sake of simplification, the wiring of the electric parts is indicated by four broken lines, but the actual turbo molecular pump 1 has about 40 to 50 wirings.
As shown in FIG. 2, the electrical component connection wiring in the turbo molecular pump 1 is drawn from the hollow portion of the base 3, that is, the electrical component storage portion, to the connector 23 through the purge gas flow path 25 and the communication hole 26. .
Further, as shown in FIG. 2, the purge gas supplied from the purge port 24 is sent to the hollow portion of the base 3, that is, the electrical component storage portion via the purge gas flow path 25.
That is, in the present embodiment, a part of the purge gas flow path 25, specifically, a region downstream of the purge gas flow from the joint with the communication hole 26 in the purge gas flow path 25, that is, a communication hole in the purge gas flow path 25. 26, the region on the inner side (axial center side) of the base 3 from the connecting portion to the connecting portion 26 is also used as the arrangement portion of the connection wiring of the electrical component.

ここで、例えば、ベース３の底部に設けられたコネクタ２３から電気部品収納部まで電気部品の接続配線を引き回すための独立した連通孔を設ける場合について考える。この場合、ターボ分子ポンプ１の構造上、外装体（ケーシング２やベース３など）の外周面からドリル等の工具を挿入して形成される径方向に沿って延びる横穴と、この横穴と連通するように、ベース３の底面から工具を挿入して形成される縦穴が必要となる。
縦穴の開口端は、コネクタ２３によって密閉することができるものの、一方の横穴の外装体に形成された開口部には、この開口部を密閉する構造が新たに必要となる。Here, for example, consider a case where an independent communication hole is provided for routing connection wiring of electrical components from the connector 23 provided at the bottom of the base 3 to the electrical component storage unit. In this case, due to the structure of the turbo molecular pump 1, a lateral hole extending along the radial direction formed by inserting a tool such as a drill from the outer peripheral surface of the exterior body (the casing 2, the base 3, etc.) communicates with the lateral hole. Thus, a vertical hole formed by inserting a tool from the bottom surface of the base 3 is required.
Although the opening end of the vertical hole can be sealed by the connector 23, a structure for sealing the opening is newly required for the opening formed in the exterior body of one of the horizontal holes.

しかしながら、本実施形態では、上述したように、パージガス流路２５を電気部品の接続配線の配設部と兼用することにより、新たに横穴を設けることなく、電気部品の接続配線をコネクタ２３と繋げることができる。
このように本実施形態によれば、電気部品の接続配線を引き回すための穴の数を低減させることができるため、穴を形成（加工）する工程の作業負荷を軽減することができる。これによりターボ分子ポンプ１の製作（製造）コストの低減を図ることができる。
また、パージガス流路２５に配設された配線の腐食を防止することができる。However, in the present embodiment, as described above, the purge gas flow path 25 is also used as an arrangement part of the connection wiring of the electrical component, so that the connection wiring of the electrical component is connected to the connector 23 without newly providing a lateral hole. be able to.
Thus, according to this embodiment, since the number of holes for routing the connection wiring of the electrical component can be reduced, the work load of the process of forming (processing) the holes can be reduced. Thereby, the production (manufacturing) cost of the turbo molecular pump 1 can be reduced.
Further, the corrosion of the wiring disposed in the purge gas flow path 25 can be prevented.

Claims

吸気口から排気口まで気体を移送する気体移送機構を内包するポンプ本体と、前記ポンプ本体に装着される制御装置と、を備えた真空ポンプであって、
前記ポンプ本体は、
前記制御装置と対向する領域に開口部を有し、電気部品が配設された電気部品収納部と、
前記電気部品収納部の開口部を覆うカバーと、
前記カバーの配設領域の外側であり、かつ、前記制御装置と対向する部位に設けられた、前記電気部品の配線を前記制御装置に接続するコネクタと、を備えたことを特徴とする真空ポンプ。A vacuum pump comprising a pump body containing a gas transfer mechanism for transferring gas from an intake port to an exhaust port, and a control device attached to the pump body,
The pump body is
An electrical component storage unit having an opening in a region facing the control device and in which electrical components are disposed;
A cover that covers the opening of the electrical component storage unit;
A vacuum pump comprising: a connector that is provided outside a region where the cover is disposed and is opposed to the control device, and that connects the wiring of the electrical component to the control device. .

前記電気部品収納部へパージガスを供給する、前記電気部品収納部から前記ポンプ本体の外装体の周壁まで貫通して形成されたガス供給路を備え、
前記電気部品の配線は、少なくとも前記ガス供給路の一部に配設されていることを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。A purge gas is supplied to the electrical component storage unit, and includes a gas supply path formed to penetrate from the electrical component storage unit to the peripheral wall of the exterior body of the pump body,
The vacuum pump according to claim 1, wherein the wiring of the electrical component is disposed at least in a part of the gas supply path.

開口端部に前記コネクタが配設された、前記ガス供給路と連通する連通穴を備え、
前記電気部品の配線は、前記連通穴、及び、少なくとも前記ガス供給路の一部に渡って配設されていることを特徴とする請求項２記載の真空ポンプ。The connector is disposed at the opening end, and includes a communication hole communicating with the gas supply path,
The vacuum pump according to claim 2, wherein the wiring of the electrical component is disposed over the communication hole and at least a part of the gas supply path.