JP5152744B2 - 環境制御室の構成部材、環境制御室の構成部材の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明材として図6の実施例1〜18に示す組成の試料を用意した。
3 地盤
5 支柱
7 梁
9 グレーチング床パネル
10 プロセスエリア
10a 空気循環エリア
11 側壁パネル
12 建築壁
13 格子天井
15 天井
16 フィルタ
20 床下エリア
21 空気循環装置
30 天井エリア
101 プラズマ処理装置
Claims (18)
- 環境制御室の室内に少なくとも一部が露出する環境制御室の構成部材であって、
マグネシウム合金を構成材料とし、
前記マグネシウム合金は、
5.7重量%以上、6.3重量%以下のAl元素、0.27重量%以上、0.5重量%以下のMn元素、0.2重量%以下(0は含まない)のZn元素を含有し、残部がMg元素であることを特徴とする環境制御室の構成部材。 - 前記マグネシウム合金は、不純物としてのSi、Cu、Ni、Feの含有率が、それぞれ、Siが0.05重量%以下、Cuが0.008重量%以下、Niが0.001重量%以下、Feが0.004重量%以下であることを特徴とする請求項1記載の環境制御室の構成部材。
- 表面に不動態皮膜が形成されていることを特徴とする請求項1記載の環境制御室の構成部材。
- 前記不動態皮膜は酸化マグネシウムを含むことを特徴とする請求項3記載の環境制御室の構成部材。
- 前記不動態皮膜は実質的に酸化マグネシウムから成ることを特徴とする請求項3記載の環境制御室の構成部材。
- 前記不動態皮膜は酸化マグネシウムと酸化アルミニウムとを含むことを特徴とする請求項3記載の環境制御室の構成部材。
- 前記不動態皮膜は非水溶液での陽極酸化によって形成されたボイドのない緻密な酸化マグネシウム被膜を含むことを特徴とする請求項3記載の環境制御室の構成部材。
- 前記不動態皮膜は酸化性雰囲気中の加熱によって形成された酸化マグネシウム被膜を含むことを特徴とする請求項3記載の環境制御室の構成部材。
- 前記不動態皮膜はプラズマ酸化によって形成された酸化マグネシウム被膜を含むことを特徴とする請求項3記載の環境制御室の構成部材。
- 前記構成部材は、環境制御室に用いられるフレーム部材であることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれかに記載の環境制御室の構成部材。
- 前記構成部材は、環境制御室の格子天井に用いられるフレーム部材であることを特徴とする請求項10に記載の環境制御室の構成部材。
- 前記構成部材は、環境制御室に用いられるグレーチング床パネルであることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれかに記載の環境制御室の構成部材。
- 請求項1から請求項12のいずれかに記載の環境制御室の構成部材が用いられていることを特徴とするクリーンルーム。
- 請求項1から請求項12のいずれかに記載の環境制御室の構成部材が用いられていることを特徴とする電磁波シールドルーム。
- 環境制御室の構成部材の製造方法であって、
5.7重量%以上、6.3重量%以下のAl元素、0.27重量%以上、0.5重量%以下のMn元素、0.2重量%以下(0は含まない)のZn元素を含有し、残部がMg元素であるマグネシウム合金をダイカスト成形により所定の形状に成形する工程(a)と、
成形した前記マグネシウム合金の表面に不動態皮膜を形成する工程(b)と、
を有することを特徴とする環境制御室の構成部材の製造方法。 - 前記工程(b)は、マグネシウム合金を酸化性雰囲気中で熱処理することにより前記不動態皮膜を形成する工程を有することを特徴とする請求項15記載の環境制御室の構成部材の製造方法。
- 前記工程(b)は、マグネシウム合金を陽極酸化処理することにより前記不動態皮膜を形成する工程を有することを特徴とする請求項15記載の環境制御室の構成部材の製造方法。
- 前記工程(b)は、マグネシウム合金をプラズマ酸化することにより前記不動態皮膜を形成する工程を有することを特徴とする請求項15記載の環境制御室の構成部材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007188107A JP5152744B2 (ja) | 2007-07-19 | 2007-07-19 | 環境制御室の構成部材、環境制御室の構成部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2007188107A JP5152744B2 (ja) | 2007-07-19 | 2007-07-19 | 環境制御室の構成部材、環境制御室の構成部材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009024928A JP2009024928A (ja) | 2009-02-05 |
JP5152744B2 true JP5152744B2 (ja) | 2013-02-27 |
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ID=40396891
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5152744B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI692284B (zh) | 2015-02-23 | 2020-04-21 | 日商凸版印刷股份有限公司 | 印刷配線板及其製造方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013143510A (ja) * | 2012-01-11 | 2013-07-22 | Tohoku Univ | 放熱部材とその製造法並びに放熱部材を備えた半導体応用電子デバイス及びその製造法 |
JP6000574B2 (ja) * | 2012-03-05 | 2016-09-28 | 株式会社フィルコーポレーション | 防音パネル |
JP6226504B2 (ja) * | 2016-09-05 | 2017-11-08 | 株式会社フィルコーポレーション | 防音パネル用フレーム枠 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09291618A (ja) * | 1996-04-24 | 1997-11-11 | Sky Alum Co Ltd | 通気断熱建屋構造 |
JPH11236971A (ja) * | 1997-12-02 | 1999-08-31 | Tadahiro Omi | 表面処理が施されたベローズ |
JP4676583B2 (ja) * | 1999-05-07 | 2011-04-27 | アキレス株式会社 | クリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート |
JP2003074932A (ja) * | 2001-08-30 | 2003-03-12 | Fujikura Ltd | クリーンルーム |
JP3958591B2 (ja) * | 2002-01-24 | 2007-08-15 | 忠弘 大見 | クリーンルーム |
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JP4438609B2 (ja) * | 2004-11-16 | 2010-03-24 | アイシン精機株式会社 | ピストン |
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2007
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---|---|---|---|---|
TWI692284B (zh) | 2015-02-23 | 2020-04-21 | 日商凸版印刷股份有限公司 | 印刷配線板及其製造方法 |
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---|---|
JP2009024928A (ja) | 2009-02-05 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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