JP5142926B2 - Split flow meter and flow controller - Google Patents

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Description

本発明は計測技術に関し、特に分流式流量計及び流量制御装置に関する。   The present invention relates to a measurement technique, and more particularly to a shunt flow meter and a flow control device.

工業炉、ボイラ、及び空調熱源機器等においては、適切な流量の流体が供給されることが求められている。そのため、流量を正確に計測するための流量計が種々開発されている（例えば、特許文献1、２参照。）。流量計が測定可能な流量の範囲は限られている。したがって、配管等に流量計を設置する場合、配管に流れる流体の予測される流量に対応しうる測定範囲を有する流量計をあらかじめ選定する必要がある。しかし、配管に流量計を設置した後に、配管を流れる流体の流量が、予測よりも少なくなったり、あるいは多くなったりし、流量計の測定範囲を超えてしまう場合がある。この場合、流量計を交換する工事をする必要があり、コストがかかるという問題がある。予測される流量に対して十分に測定範囲の広い流量計を設置しておけば、この問題は生じないが、その反面、フルスケールに対して小流量の領域で測定が行われる機会が多くなるので、測定精度が悪化しがちになる。
特開2007-3387号公報 特開平11-173896号公報 In industrial furnaces, boilers, air-conditioning heat source devices, and the like, it is required that a fluid having an appropriate flow rate be supplied. Therefore, various flow meters for accurately measuring the flow rate have been developed (see, for example, Patent Documents 1 and 2). The range of flow rate that can be measured by the flow meter is limited. Therefore, when a flow meter is installed in a pipe or the like, it is necessary to select in advance a flow meter having a measurement range that can correspond to the predicted flow rate of the fluid flowing through the pipe. However, after the flow meter is installed in the pipe, the flow rate of the fluid flowing through the pipe may be smaller or larger than expected and may exceed the measurement range of the flow meter. In this case, there is a problem in that it is necessary to perform a work for replacing the flow meter, which is costly. If a flow meter with a sufficiently wide measuring range is installed for the expected flow rate, this problem will not occur. Therefore, the measurement accuracy tends to deteriorate.
Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-3387 Japanese Patent Laid-Open No. 11-173896

本発明は、適切な測定範囲を選択可能な分流式流量計及び流量制御装置を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a shunt flow meter and a flow control device capable of selecting an appropriate measurement range.

本発明の特徴は、（イ）主流路、主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔、及び複数の孔を介して主流路と連通する分流路が設けられた流路保持体と、（ロ）複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての複数の孔を閉塞し、被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、（ハ）分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、（ニ）被選択孔に応じた、分流路と主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、（ホ）分流路を流れる流体の流量、及び被選択孔に応じた分流比に関する情報に基づいて、主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、を備える分流式流量計であることを要旨とする。   The features of the present invention are: (a) a flow path holder provided with a main flow path, at least three or more holes communicating with the main flow path, and a branch flow path communicating with the main flow path through the plurality of holes; A block member that blocks all of the plurality of holes other than the at least two selected holes selected from the plurality of holes and does not block the selected hole; and (c) to detect the flow rate of the fluid flowing through the flow path. (D) a diversion ratio storage device that stores information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole, and (e) the flow rate of the fluid flowing through the diversion channel, and the selected hole. The gist of the present invention is that it is a shunt flow meter including a calculation module that calculates the flow rate of the fluid flowing through the main flow path based on information on the corresponding shunt ratio.

また、本発明の他の特徴は、（イ）主流路、及び主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔が設けられた流路保持体と、（ロ）複数の孔を介して主流路と連通する分流路と、（ハ）複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての複数の孔を閉塞し、被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、（ニ）分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、（ホ）被選択孔に応じた、分流路と主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、（ヘ）分流路を流れる流体の流量、及び検出された被選択孔に応じた分流比に関する情報に基づいて、主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、を備える分流式流量計であることを要旨とする。   In addition, other features of the present invention include: (a) a main channel, a channel holder provided with at least three or more holes communicating with the main channel, and (b) a main channel via the plurality of holes. A diversion channel that communicates, (c) a blocking member that closes all the holes except for at least two selected holes selected from the plurality of holes, and does not block the selected holes; A flow sensor for detecting the flow rate of the flowing fluid, (e) a diversion ratio storage device for storing information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole, and (f) a fluid flowing through the diversion channel And a calculation module that calculates a flow rate of the fluid flowing through the main flow path based on information on the flow rate of the flow rate and the flow rate ratio corresponding to the detected selected hole.

本発明に係る分流式流量計によれば、被選択孔を適宜選択することにより、分流比を容易に変更できる。そのため、分流路を流れる流体の流量を、流れセンサの測定範囲内にすることができる。   According to the flow dividing type flow meter according to the present invention, the flow dividing ratio can be easily changed by appropriately selecting the selected hole. Therefore, the flow rate of the fluid flowing through the branch flow path can be within the measurement range of the flow sensor.

さらに、本発明の他の特徴は、（イ）主流路、主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔、及び複数の孔を介して主流路と連通する分流路が設けられた流路保持体と、（ロ）複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての複数の孔を閉塞し、被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、（ハ）分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、（ニ）被選択孔に応じた、分流路と主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、（ホ）分流路を流れる流体の流量、及び被選択孔に応じた分流比に関する情報に基づいて、主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、（ヘ）主流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、（ト）算出された流量に基づき、制御弁を駆動し、主流路を流れる流体の流量を調節するコントローラと、を備える流量制御装置であることを要旨とする。   Further, another feature of the present invention is: (a) a channel holding body provided with a main channel, at least three or more holes communicating with the main channel, and a branch channel communicating with the main channel via the plurality of holes. (B) a closing member that closes all the holes other than at least two selected holes selected from the plurality of holes, and does not close the selected holes; and (c) the flow rate of the fluid flowing through the distribution channel A flow sensor for detecting the flow rate, (d) a diversion ratio storage device for storing information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole, (e) the flow rate of the fluid flowing through the diversion channel, and (F) a control valve for controlling the flow rate of the fluid flowing through the main flow path, and (g) a control valve for controlling the flow rate of the fluid flowing through the main flow path based on the information on the diversion ratio according to the selected hole. Based on the calculated flow rate, fluid that drives the control valve and flows through the main flow path And summarized in that a flow control apparatus comprising a controller for adjusting the flow rate, the.

さらに、本発明の他の特徴は、（イ）主流路、及び主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔が設けられた流路保持体と、（ロ）複数の孔を介して主流路と連通する分流路と、（ハ）複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての複数の孔を閉塞し、被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、（ニ）分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、（ホ）被選択孔に応じた、分流路と主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、（ヘ）分流路を流れる流体の流量、及び被選択孔に応じた分流比に関する情報に基づいて、主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、（ト）主流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、（チ）算出された流量に基づき、制御弁を駆動し、主流路を流れる流体の流量を調節するコントローラと、を備える流量制御装置であることを要旨とする。   Furthermore, other features of the present invention include: (a) a main channel, a channel holder provided with at least three or more holes communicating with the main channel, and (b) a main channel via the plurality of holes. A diversion channel that communicates, (c) a blocking member that closes all the holes except for at least two selected holes selected from the plurality of holes, and does not block the selected holes; A flow sensor for detecting the flow rate of the flowing fluid, (e) a diversion ratio storage device for storing information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole, and (f) a fluid flowing through the diversion channel And (g) a control valve for controlling the flow rate of the fluid flowing through the main flow path, based on the information on the flow rate of the flow rate and the flow ratio of the fluid to be selected. (H) Based on the calculated flow rate, the control valve is driven to flow through the main flow path. And summarized in that a flow control device comprising a controller and to adjust the flow rate of the fluid that.

本発明に係る流量制御装置によれば、分流路を流れる流体の流量を、容易に流れセンサの測定範囲内にすることができる。そのため、正確な流量の算出が可能となり、算出された流量に基づいて、流体の流量を正確に調節することが可能になる。   According to the flow control device of the present invention, the flow rate of the fluid flowing through the branch flow path can be easily within the measurement range of the flow sensor. Therefore, it is possible to accurately calculate the flow rate, and it is possible to accurately adjust the flow rate of the fluid based on the calculated flow rate.

本発明によれば、分流比の変更が容易であるため、実流量に合わせて適切な測定範囲を選択可能な分流式流量計及び流量制御装置を提供可能である。   According to the present invention, since it is easy to change the diversion ratio, it is possible to provide a diversion flow meter and a flow rate control device capable of selecting an appropriate measurement range in accordance with the actual flow rate.

以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。   Embodiments of the present invention will be described below. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, the drawings are schematic. Therefore, specific dimensions and the like should be determined in light of the following description. Moreover, it is a matter of course that portions having different dimensional relationships and ratios are included between the drawings.

（第1の実施の形態）
第1の実施の形態に係る分流式流量計は、図1に示すように、主流路11、及び主流路11に通じる少なくとも三以上の複数の孔4a, 4b, 6a, 6bが設けられた流路保持体10を備え、流路保持体10には、複数の孔4a, 4b, 6a, 6bから選択された少なくとも二つの被選択孔を接続する分流路25が設けられている。図1においては、孔6a, 6bが被選択孔として選択され、分流路25に接続されている。被選択孔として選択された孔6a, 6bは、閉塞部材21Aによって閉塞されていないが、被選択孔として選択されなかった総ての孔4a, 4bは、閉塞部材21Aによって閉塞されている。これに対し、孔4a, 4bを被選択孔として選択する場合は、図2に示すように、被選択孔として選択されなかった総ての孔6a, 6bを閉塞する閉塞部材21Bが用いられる。さらに分流式流量計は、分流路25を流れる流体の流量を検出する流れセンサ8と、被選択孔を検出する被選択孔検出機構9A, 9Bと、被選択孔に応じた、分流路25と主流路11の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置400と、分流路25を流れる流体の流量、及び検出された被選択孔に応じた分流比に関する情報に基づいて、主流路11を流れる流体の流量を算出する算出モジュール300を備える。なお、図1及び図2において、分流比記憶装置400及び算出モジュール300は模式的に描かれている。 (First embodiment)
As shown in FIG. 1, the shunt flow meter according to the first embodiment has a main channel 11 and a flow provided with at least three or more holes 4a, 4b, 6a, 6b communicating with the main channel 11. A flow path holding body 10 is provided, and the flow path holding body 10 is provided with a branch flow path 25 that connects at least two selected holes selected from the plurality of holes 4a, 4b, 6a, 6b. In FIG. 1, the holes 6 a and 6 b are selected as the selected holes and connected to the branch channel 25. The holes 6a and 6b selected as the selected holes are not closed by the closing member 21A, but all the holes 4a and 4b not selected as the selected holes are closed by the closing member 21A. On the other hand, when the holes 4a and 4b are selected as the selected holes, as shown in FIG. 2, a closing member 21B that closes all the holes 6a and 6b that are not selected as the selected holes is used. Further, the shunt flow meter includes a flow sensor 8 that detects the flow rate of the fluid flowing through the shunt channel 25, selected hole detection mechanisms 9A and 9B that detect a selected hole, and a shunt channel 25 corresponding to the selected hole. Based on the information about the flow rate of the fluid flowing through the flow dividing channel 25 and the flow dividing ratio according to the detected selected hole, the flow dividing ratio storage device 400 that stores information related to the flow dividing ratio of the main flow channel 11 flows. A calculation module 300 for calculating the fluid flow rate is provided. In FIG. 1 and FIG. 2, the diversion ratio storage device 400 and the calculation module 300 are schematically illustrated.

上面図である図3、IV-IV方向から見た断面図である図4、V-V方向から見た断面図である図5、及びVI-VI方向から見た断面図である図6に示すように、六面体の流路保持体10の対向する二面に、注入口13及び排出口14が設けられている。注入口13及び排出口14のそれぞれには、ガスや液体等の流体を通す配管が挿入される。流路保持体10の内部に設けられた主流路11は、注入口13から排出口14に貫通する。主流路11の一部に、主流路11の内径を狭めるオリフィス12が設けられている。オリフィス12によって、主流路11の上流側と下流側の間で、流体の流速に応じた差圧が発生する。なお、差圧発生構造としては、オリフィス以外に、ベンチュリー等を用いてもよい。
以下、主流路11のオリフィス12より注入口13側を上流と呼び、主流路11のオリフィス12より排出口14側を下流と呼ぶ。 As shown in FIG. 3 which is a top view, FIG. 4 which is a sectional view seen from the IV-IV direction, FIG. 5 which is a sectional view seen from the VV direction, and FIG. 6 which is a sectional view seen from the VI-VI direction In addition, the inlet 13 and the outlet 14 are provided on the two opposing faces of the hexahedral flow path holder 10. Each of the inlet 13 and the outlet 14 is inserted with a pipe through which a fluid such as gas or liquid is passed. A main channel 11 provided inside the channel holder 10 penetrates from the inlet 13 to the outlet 14. An orifice 12 that narrows the inner diameter of the main channel 11 is provided in a part of the main channel 11. The orifice 12 generates a differential pressure corresponding to the flow rate of the fluid between the upstream side and the downstream side of the main flow path 11. In addition to the orifice, a venturi or the like may be used as the differential pressure generating structure.
Hereinafter, the inlet 13 side of the orifice 12 of the main channel 11 is referred to as upstream, and the outlet 14 side of the orifice 12 of the main channel 11 is referred to as downstream.

流路保持体10の主流路11と平行な面には、凹部16が設けられている。凹部16から主流路11の上流に孔4a, 6aが貫通し、凹部16から主流路11の下流に孔4b, 6bが貫通している。孔4a, 6aと孔4b, 6bは、凹部16の長手方向において、中心に関して、上流側と下流側に対称的に設けられている。換言すれば、孔4a, 6aと孔4b, 6bは、流路保持体10の長手方向に左右対称的に設けられている。具体的には、複数の孔4a, 4b, 6a, 6bのうち、孔4a, 6aが、主流路11から分流路25に流体を導くための流入孔であり、孔4b, 6bが、分流路25から主流路11に流体を導くための流出孔であって、孔4a, 6aと孔4b, 6bが、点対称に設けられている。ここで、孔4a, 4bの内径は孔6a, 6bの内径よりも大きい。したがって、孔4a, 4bの断面積は孔6a, 6bの断面積よりも大きい。流路保持体10の材料には、金属又は樹脂等が使用可能である。   A recess 16 is provided on a surface of the channel holder 10 parallel to the main channel 11. Holes 4a and 6a penetrate from the recess 16 to the upstream side of the main channel 11, and holes 4b and 6b penetrate from the recess 16 to the downstream side of the main channel 11. The holes 4a, 6a and the holes 4b, 6b are provided symmetrically on the upstream side and the downstream side with respect to the center in the longitudinal direction of the recess 16. In other words, the holes 4a, 6a and the holes 4b, 6b are provided symmetrically in the longitudinal direction of the flow path holding body 10. Specifically, among the plurality of holes 4a, 4b, 6a, 6b, the holes 4a, 6a are inflow holes for guiding fluid from the main channel 11 to the branch channel 25, and the holes 4b, 6b are divided channels. Outflow holes for guiding a fluid from 25 to the main flow path 11, and holes 4a, 6a and holes 4b, 6b are provided point-symmetrically. Here, the inner diameters of the holes 4a and 4b are larger than the inner diameters of the holes 6a and 6b. Therefore, the cross-sectional areas of the holes 4a and 4b are larger than the cross-sectional areas of the holes 6a and 6b. As the material of the flow path holding body 10, metal, resin, or the like can be used.

図4乃至図6に示す凹部16に、図7及びVIII-VIII方向から見た断面図である図8に示す閉塞部材21Aが配置される。図7及び図8に示す閉塞部材21Aの2箇所には、開口126a, 126bが設けられている。閉塞部材21Aが図4乃至図6に示す凹部16に配置されることにより、上面図である図9、X-X方向から見た断面図である図10、XI-XI方向から見た断面図である図11、及びXII-XII方向から見た断面図である図12に示すように、孔4a, 4bが閉塞される。しかし、閉塞部材21Aが凹部16に配置されたとき、閉塞部材21Aの開口126a, 126bが孔6a, 6bの上方に位置する。したがって、開口126a, 126bによって孔6a, 6bは露出し、閉塞しない。また、図4に示す複数の孔4a, 4b, 6a, 6bのうち、孔4a, 4bを被選択孔として選択し、他の孔6a, 6bを閉塞する場合、図13に示すように、孔4a, 4bの上方に位置するよう開口124a, 124bが設けられた閉塞部材21Bが、凹部16に配置される。閉塞部材21A, 21Bのそれぞれの材料には、金属又は樹脂等が使用可能である。   In the recess 16 shown in FIGS. 4 to 6, a closing member 21A shown in FIG. 8 which is a sectional view seen from the direction of FIG. 7 and VIII-VIII is arranged. Openings 126a and 126b are provided at two locations on the closing member 21A shown in FIGS. 9A is a top view, FIG. 10 is a cross-sectional view seen from the XX direction, and FIG. 10 is a cross-sectional view seen from the XI-XI direction by disposing the closing member 21A in the recess 16 shown in FIGS. As shown in FIG. 11 and FIG. 12, which is a cross-sectional view seen from the XII-XII direction, the holes 4a and 4b are closed. However, when the closing member 21A is disposed in the recess 16, the openings 126a and 126b of the closing member 21A are positioned above the holes 6a and 6b. Therefore, the holes 6a and 6b are exposed and not blocked by the openings 126a and 126b. Further, when the holes 4a, 4b are selected as the selected holes among the plurality of holes 4a, 4b, 6a, 6b shown in FIG. 4 and the other holes 6a, 6b are closed, as shown in FIG. A closing member 21B provided with openings 124a, 124b so as to be positioned above 4a, 4b is disposed in the recess 16. A metal, resin, or the like can be used as the material of each of the blocking members 21A and 21B.

図10に示す凹部16を覆うように、図1に示す計測部筐体30が着脱自在に配置される。計測部筐体30で覆われた凹部16が、被選択孔を接続する分流路25になる。主流路11の上流から流れてきた流体は、オリフィス12によって一部が被選択孔6aに流入する。ここで、図1に示すように孔6a, 6bが分流路25に通じる被選択孔として選択された場合、孔6a, 6bの断面積が小さいため、孔6a、分流路25、及び孔6bを流れる流体の流量に対する、主流路11を流れる流体の流量の分流比は大きくなる。これに対し、図2に示すように孔4a, 4bが分流路25に通じる被選択孔として選択された場合、孔4a, 4bの断面積が大きいため、孔4a、分流路25、及び孔4bを流れる流体の流量に対する、主流路11を流れる流体の流量の分流比は小さくなる。したがって、被選択孔の断面積に応じて、分流比が変化する。   A measurement unit housing 30 shown in FIG. 1 is detachably disposed so as to cover the recess 16 shown in FIG. The concave portion 16 covered with the measurement unit housing 30 becomes a branch channel 25 that connects the selected holes. A part of the fluid flowing from the upstream side of the main channel 11 flows into the selected hole 6a through the orifice 12. Here, as shown in FIG. 1, when the holes 6a, 6b are selected as the selected holes that communicate with the branch flow path 25, the holes 6a, 6b have a small cross-sectional area. The diversion ratio of the flow rate of the fluid flowing through the main flow path 11 with respect to the flow rate of the flowing fluid is increased. On the other hand, when the holes 4a and 4b are selected as the selected holes that communicate with the diversion channel 25 as shown in FIG. 2, the holes 4a and 4b have a large cross-sectional area, so the holes 4a, the diversion channel 25, and the hole 4b The diversion ratio of the flow rate of the fluid flowing through the main flow path 11 to the flow rate of the fluid flowing through Therefore, the diversion ratio changes according to the cross-sectional area of the selected hole.

流体の流速又は流量を検出する流れセンサ8は、計測部筐体30の凹部16を覆う面に配置されている。流れセンサ8は、斜視図である図14、及びXV-XV方向から見た断面図である図15に示すように、キャビティ66が設けられた基板60、基板60上にキャビティ66を覆うように配置された絶縁膜65、絶縁膜65に設けられたヒータ61、ヒータ61より上流側に設けられた上流側測温抵抗素子62、ヒータ61より下流側に設けられた下流側測温抵抗素子63、及び上流側測温抵抗素子62より上流側に設けられた周囲温度センサ64を備える。   The flow sensor 8 that detects the flow rate or flow rate of the fluid is disposed on the surface of the measurement unit housing 30 that covers the recess 16. As shown in FIG. 14 which is a perspective view and FIG. 15 which is a cross-sectional view seen from the XV-XV direction, the flow sensor 8 is configured to cover the cavity 66 on the substrate 60 provided with the cavity 66 and the substrate 60. The disposed insulating film 65, the heater 61 provided on the insulating film 65, the upstream temperature measuring resistor element 62 provided on the upstream side of the heater 61, and the downstream temperature measuring resistor element 63 provided on the downstream side of the heater 61 , And an ambient temperature sensor 64 provided on the upstream side of the upstream temperature measuring resistance element 62.

絶縁膜65のキャビティ66を覆う部分は、断熱性のダイアフラムをなしている。周囲温度センサ64は、図1に示す分流路25に流入してきた流体の温度を測定する。図14及び図15に示すヒータ61は、キャビティ66を覆う絶縁膜65の中心に配置されており、分流路25に流れる流体を、周囲温度センサ64が計測した温度よりも一定温度、例えば10℃高くなるよう、加熱する。上流側測温抵抗素子62はヒータ61より上流側の温度を検出するために用いられ、下流側測温抵抗素子63はヒータ61より下流側の温度を検出するために用いられる。   A portion of the insulating film 65 covering the cavity 66 forms a heat insulating diaphragm. The ambient temperature sensor 64 measures the temperature of the fluid flowing into the branch channel 25 shown in FIG. The heater 61 shown in FIGS. 14 and 15 is arranged at the center of the insulating film 65 covering the cavity 66, and the fluid flowing in the branch flow path 25 has a constant temperature, for example, 10 ° C., than the temperature measured by the ambient temperature sensor 64. Heat to increase. The upstream temperature measuring resistance element 62 is used for detecting the temperature upstream of the heater 61, and the downstream temperature measuring resistance element 63 is used for detecting the temperature downstream of the heater 61.

ここで、図1に示す分流路25中の流体が静止している場合、図14及び図15に示すヒータ61で加えられた熱は、上流方向と下流方向へ対称的に拡散する。したがって、上流側測温抵抗素子62及び下流側測温抵抗素子63の温度は等しくなり、上流側測温抵抗素子62及び下流側測温抵抗素子63の電気抵抗は等しくなる。これに対し、図1に示す分流路25中の流体が上流から下流に流れている場合、図14及び図15に示すヒータ61で加えられた熱は、下流方向に運ばれる。したがって、上流側測温抵抗素子62の温度よりも、下流側測温抵抗素子63の温度が高くなる。そのため、上流側測温抵抗素子62の電気抵抗と、下流側測温抵抗素子63の電気抵抗に差が生じる。下流側測温抵抗素子63の電気抵抗と上流側測温抵抗素子62の電気抵抗の差は、図1に示す分流路25中の流体の速度と相関関係がある。そのため、下流側測温抵抗素子63の電気抵抗と上流側測温抵抗素子62の電気抵抗の差から、分流路25を流れる流体の流量が求められる。   Here, when the fluid in the diversion channel 25 shown in FIG. 1 is stationary, the heat applied by the heater 61 shown in FIGS. 14 and 15 diffuses symmetrically in the upstream direction and the downstream direction. Accordingly, the temperatures of the upstream temperature measuring resistance element 62 and the downstream temperature measuring resistance element 63 are equal, and the electrical resistances of the upstream temperature measuring resistance element 62 and the downstream temperature measuring resistance element 63 are equal. On the other hand, when the fluid in the branch channel 25 shown in FIG. 1 flows from upstream to downstream, the heat applied by the heater 61 shown in FIGS. 14 and 15 is conveyed in the downstream direction. Accordingly, the temperature of the downstream temperature measuring resistance element 63 becomes higher than the temperature of the upstream temperature measuring resistance element 62. Therefore, there is a difference between the electrical resistance of the upstream temperature measuring resistance element 62 and the electrical resistance of the downstream temperature measuring resistance element 63. The difference between the electrical resistance of the downstream resistance thermometer element 63 and the electrical resistance of the upstream resistance thermometer element 62 has a correlation with the velocity of the fluid in the branch channel 25 shown in FIG. Therefore, the flow rate of the fluid flowing through the shunt path 25 is obtained from the difference between the electrical resistance of the downstream temperature measuring resistance element 63 and the electrical resistance of the upstream temperature measuring resistance element 62.

図14及び図15に示す基板60の材料としては、シリコン(Si)等が使用可能である。絶縁膜65の材料としては、酸化ケイ素(SiO2)等が使用可能である。キャビティ66は、異方性エッチング等により形成される。またヒータ61、上流側測温抵抗素子62、下流側測温抵抗素子63、及び周囲温度センサ64のそれぞれの材料には白金(Pt)等が使用可能であり、リソグラフィ法等により形成可能である。 As a material of the substrate 60 shown in FIGS. 14 and 15, silicon (Si) or the like can be used. As a material of the insulating film 65, silicon oxide (SiO 2 ) or the like can be used. The cavity 66 is formed by anisotropic etching or the like. Further, platinum (Pt) or the like can be used for the material of the heater 61, the upstream resistance temperature sensor 62, the downstream resistance temperature sensor 63, and the ambient temperature sensor 64, and can be formed by a lithography method or the like. .

図1に示す計測部筐体30の凹部16を覆う面の上流側に被選択孔検出機構9Bが配置され、下流側に被選択孔検出機構9Aが配置される。ここで、孔6a, 6bを被選択孔として選択し、孔4a, 4bを閉塞する閉塞部材21Aには、図1、及び図7乃至図10に示すように、被選択孔識別用構造130Aが設けられている。被選択孔識別用構造130Aは、例えば凹部であり、閉塞部材21Aが流路保持体10に装着されたときに、被選択孔検出機構9Aの直下に位置するよう設けられている。また、孔4a, 4bを被選択孔として選択し、孔6a, 6bを閉塞する図2及び図13に示す閉塞部材21Bには、被選択孔識別用構造130Bが設けられている。被選択孔識別用構造130Bも、例えば凹部であり、閉塞部材21Bが流路保持体10に装着されたときに、被選択孔検出機構9Bの直下に位置するよう設けられている。   The selected hole detecting mechanism 9B is disposed on the upstream side of the surface covering the concave portion 16 of the measurement unit housing 30 shown in FIG. 1, and the selected hole detecting mechanism 9A is disposed on the downstream side. Here, as shown in FIG. 1 and FIGS. 7 to 10, the selected hole identifying structure 130A is provided on the closing member 21A that selects the holes 6a and 6b as the selected holes and closes the holes 4a and 4b. Is provided. The selected hole identifying structure 130A is, for example, a recess, and is provided so as to be positioned immediately below the selected hole detecting mechanism 9A when the blocking member 21A is attached to the flow path holding body 10. In addition, a selected hole identifying structure 130B is provided in the closing member 21B shown in FIGS. 2 and 13 that selects the holes 4a and 4b as the selected holes and closes the holes 6a and 6b. The selected hole identifying structure 130B is also a recess, for example, and is provided so as to be positioned directly below the selected hole detecting mechanism 9B when the closing member 21B is attached to the flow path holding body 10.

図1に示す被選択孔検出機構9Aは、被選択孔識別用構造130Aの有無を光学的又は機械的に検出する。また図2に示す被選択孔検出機構9Bは、被選択孔識別用構造130Bの有無を光学的又は機械的に検出する。被選択孔検出機構9A, 9Bのそれぞれには、例えば反射型光電センサ又はディップスイッチが使用可能である。流れセンサ8、被選択孔検出機構9A、及び被選択孔検出機構9Bは、計測部筐体30の内部に配置されている算出モジュール300に電気的に接続されている。図1に示すように、被選択孔検出機構9Aが被選択孔識別用構造130Aを検出し、被選択孔検出機構9Bが被選択孔識別用構造130Bを検出しなかった場合、算出モジュール300は、孔6a, 6bが分流路25に通じる被選択孔として選択されたと認識する。また図2に示すように、被選択孔検出機構9Aが被選択孔識別用構造130Aを検出せず、被選択孔検出機構9Bが被選択孔識別用構造130Bを検出した場合、算出モジュール300は、孔4a, 4bが分流路25に通じる被選択孔として選択されたと認識する。   The selected hole detecting mechanism 9A shown in FIG. 1 optically or mechanically detects the presence or absence of the selected hole identifying structure 130A. Further, the selected hole detecting mechanism 9B shown in FIG. 2 optically or mechanically detects the presence / absence of the selected hole identifying structure 130B. For each of the selected hole detecting mechanisms 9A and 9B, for example, a reflective photoelectric sensor or a dip switch can be used. The flow sensor 8, the selected hole detection mechanism 9A, and the selected hole detection mechanism 9B are electrically connected to a calculation module 300 disposed inside the measurement unit housing 30. As shown in FIG. 1, when the selected hole detecting mechanism 9A detects the selected hole identifying structure 130A and the selected hole detecting mechanism 9B does not detect the selected hole identifying structure 130B, the calculation module 300 Then, it is recognized that the holes 6a and 6b are selected as the selected holes communicating with the branch channel 25. As shown in FIG. 2, when the selected hole detecting mechanism 9A does not detect the selected hole identifying structure 130A and the selected hole detecting mechanism 9B detects the selected hole identifying structure 130B, the calculation module 300 Then, it is recognized that the holes 4a and 4b are selected as the selected holes communicating with the branch channel 25.

算出モジュール300には、分流比記憶装置400が接続されている。分流比記憶装置400は、孔6a, 6bが被選択孔として選択された場合の分流比に関する情報と、孔4a, 4bが被選択孔として選択された場合の分流比に関する情報を予め保存する。算出モジュール300は、認識した被選択孔に対応する分流比に関する情報を、分流比記憶装置400から読み出す。さらに算出モジュール300は、流れセンサ8で検出した分流路25を流れる流体の流量、及び分流比記憶装置400から読み出した分流比に関する情報に基づいて、主流路11を流れる流体の流量を算出する。算出モジュール300には例えば中央演算処理装置(CPU)が、分流比記憶装置400には不揮発性メモリ等が使用可能である。ここで、「分流比に関する情報」とは、例えば分流比の値そのものである。   A shunt ratio storage device 400 is connected to the calculation module 300. The diversion ratio storage device 400 stores in advance information relating to the diversion ratio when the holes 6a and 6b are selected as the selected holes and information relating to the diversion ratio when the holes 4a and 4b are selected as the selected holes. The calculation module 300 reads information related to the diversion ratio corresponding to the recognized selected hole from the diversion ratio storage device 400. Further, the calculation module 300 calculates the flow rate of the fluid flowing through the main channel 11 based on the flow rate of the fluid flowing through the diversion channel 25 detected by the flow sensor 8 and the information regarding the diversion ratio read from the diversion ratio storage device 400. For example, a central processing unit (CPU) can be used for the calculation module 300, and a non-volatile memory or the like can be used for the diversion ratio storage device 400. Here, the “information about the diversion ratio” is, for example, the value of the diversion ratio itself.

計測部筐体30の上には、表示装置35が配置される。表示装置35は、算出モジュール300が分流比記憶装置400から読み出した分流比に関する情報、及び算出モジュール300が算出した主流路11を流れる流体の流量を表示する。なお、表示装置35は、計測部筐体30から離れた位置に配置されてもよい。   A display device 35 is disposed on the measurement unit housing 30. The display device 35 displays information related to the diversion ratio read by the calculation module 300 from the diversion ratio storage device 400 and the flow rate of the fluid flowing through the main flow path 11 calculated by the calculation module 300. The display device 35 may be disposed at a position away from the measurement unit housing 30.

以上示した第1の実施の形態に係る分流式流量計によれば、図1に示すように孔6a, 6bを選択して配管等に設置した後に、分流比が高すぎて流れセンサ8で流量を適切に測定できないことが判明した場合でも、閉塞部材21Aを図2に示す閉塞部材21Bに交換することにより、容易に分流比を下げることが可能となる。また反対に、分流比が低すぎて流れセンサ8で流量を適切に測定できないことが判明した場合でも、閉塞部材21Bを図1に示す閉塞部材21Aに交換することにより、容易に分流比を上げることが可能となる。よって、流れセンサ8の測定範囲が一定であっても、分流比を変更することにより、分流式流量計の測定範囲を実質的に広げることが可能となる。さらに分流比の変更に際して、流路保持体10を配管から取り外す必要がない。したがって、従来の分流比を変更できない分流式流量計で必要だった配管からの取り外し工事が不要となり、コストを下げることも可能となる。なお、第1の実施の形態においては、分流路25が流路保持体10に設けられている例を示したが、分流路は流路保持体とは別の部材に設けられていてもよい。   According to the flow dividing type flow meter according to the first embodiment shown above, after the holes 6a and 6b are selected and installed in the pipe or the like as shown in FIG. Even when it becomes clear that the flow rate cannot be measured appropriately, the shunt ratio can be easily lowered by replacing the closing member 21A with the closing member 21B shown in FIG. On the other hand, even if it is found that the flow rate is too low to be measured properly by the flow sensor 8, the flow rate can be easily increased by replacing the closing member 21B with the closing member 21A shown in FIG. It becomes possible. Therefore, even if the measurement range of the flow sensor 8 is constant, the measurement range of the shunt flow meter can be substantially expanded by changing the shunt ratio. Further, when changing the flow dividing ratio, there is no need to remove the flow path holding body 10 from the pipe. Therefore, it is not necessary to remove the pipe from the pipe, which is necessary for the conventional diverting flow meter that cannot change the diversion ratio, and the cost can be reduced. In the first embodiment, the example in which the branch channel 25 is provided in the channel holder 10 is shown, but the branch channel may be provided in a member different from the channel holder. .

（第1の実施の形態の第1の変形例）
図4に示す例では、凹部16の中心に関して、孔4a, 6aと孔4b, 6bが対称的に設けられている。そのため、孔4aが孔6aよりも上流側に設けられているのに対し、孔4bは孔6bよりも下流側に設けられている。しかし実施の形態はこれに限定されない。図16、及びXVII-XVII方向から見た断面図である図17に示すように、凹部16の中心に関して、孔4a, 6aと孔4b, 6bが非点対称に設けられていてもよい。換言すれば、流入孔としての孔4a, 6aと流出孔としての孔4b, 6bが、流路保持体10の長手方向に左右非対称的に設けられていてもよい。この場合、孔6a, 6bを選択するための閉塞部材21Aに設けられる開口126a, 126bも、中心に関して非対称的に設けられる。また、図18、及びXIX-XIX方向から見た断面図である図19に示すように、孔4a, 4bを選択するための閉塞部材21Bに設けられる開口124a, 124bも、中心に関して非対称的に設けられる。 (First modification of the first embodiment)
In the example shown in FIG. 4, the holes 4a, 6a and the holes 4b, 6b are provided symmetrically with respect to the center of the recess 16. Therefore, the hole 4a is provided on the upstream side of the hole 6a, whereas the hole 4b is provided on the downstream side of the hole 6b. However, the embodiment is not limited to this. As shown in FIG. 16 and FIG. 17 which is a cross-sectional view seen from the XVII-XVII direction, the holes 4a, 6a and the holes 4b, 6b may be provided asymmetry with respect to the center of the recess 16. In other words, the holes 4 a and 6 a as the inflow holes and the holes 4 b and 6 b as the outflow holes may be provided asymmetrically in the longitudinal direction of the flow path holding body 10. In this case, the openings 126a and 126b provided in the closing member 21A for selecting the holes 6a and 6b are also provided asymmetrically with respect to the center. Further, as shown in FIG. 18 and FIG. 19 which is a cross-sectional view seen from the XIX-XIX direction, the openings 124a, 124b provided in the closing member 21B for selecting the holes 4a, 4b are also asymmetric with respect to the center. Provided.

（第1の実施の形態の第2の変形例）
第1の実施の形態においては、被選択孔検出機構9A及び算出モジュール300が、被選択孔を特定し、算出モジュール300が、特定された被選択孔に対応する分流比の値を分流比記憶装置400から読み出す例を説明した。しかし、実施の形態はこれに限定されない。例えば、被選択孔検出機構9A及び算出モジュール300が、被選択孔に対応する識別信号を検出し、分流比記憶装置400が、識別信号に対応する分流比の値の表を保存しており、算出モジュール300が分流比記憶装置400に保存されている表から、識別信号に対応する分流比の値を読み出してもよい。 (Second modification of the first embodiment)
In the first embodiment, the selected hole detection mechanism 9A and the calculation module 300 specify the selected hole, and the calculation module 300 stores the value of the diversion ratio corresponding to the specified selected hole. An example of reading from the device 400 has been described. However, the embodiment is not limited to this. For example, the selected hole detection mechanism 9A and the calculation module 300 detect an identification signal corresponding to the selected hole, and the diversion ratio storage device 400 stores a table of diversion ratio values corresponding to the identification signal, The calculation module 300 may read the value of the diversion ratio corresponding to the identification signal from the table stored in the diversion ratio storage device 400.

（第2の実施の形態）
図20に示すように、第2の実施の形態に係る分流式流量計の流路保持体100においては、主流路11に平行な2面に凹部116A及び凹部116Bが各々設けられている。凹部116Aから主流路11の上流側に孔104aが貫通し、凹部116Aから主流路11の下流側に孔104bが貫通している。また凹部116Bから主流路11の上流側に孔106aが貫通し、凹部116Bから主流路11の下流側に孔106bが貫通している。孔104a, 104bの断面積は、孔106a, 106bの断面積よりも大きい。 (Second embodiment)
As shown in FIG. 20, in the flow path holding body 100 of the shunt flow meter according to the second embodiment, a recess 116A and a recess 116B are provided on two surfaces parallel to the main flow path 11, respectively. A hole 104a penetrates from the recess 116A to the upstream side of the main channel 11, and a hole 104b penetrates from the recess 116A to the downstream side of the main channel 11. Further, a hole 106a penetrates from the recess 116B to the upstream side of the main channel 11, and a hole 106b penetrates from the recess 116B to the downstream side of the main channel 11. The cross-sectional areas of the holes 104a and 104b are larger than the cross-sectional areas of the holes 106a and 106b.

ここで、孔104a, 104bを選択する場合は、凹部116A上に、図21に示すように計測部筐体30を配置し、分流路125Aを形成する。この場合、被選択孔検出機構9A, 9Bは、孔104a, 104bを直接検出してもよい。また凹部116Bを、開口を有さない遮蔽部材21Cで覆い、孔106a, 106bを遮蔽する。なお、遮蔽部材21Cが金属等からなる場合に、遮蔽部材21Cと凹部116Bの底面の間に、ゴム等からなるパッキン22を配置してもよい。また遮蔽部材21Cは、ネジ23A, 23B等で固定されてもよい。孔106a, 106bを選択する場合は、図20に示す凹部116B上に図21に示す計測部筐体30を配置し、孔104a, 104bを閉塞すればよい。第2の実施の形態に係る分流式流量計のその他の構成要素は、第1の実施の形態と同様であるため、説明は省略する。   Here, when the holes 104a and 104b are selected, the measurement unit housing 30 is disposed on the recess 116A as shown in FIG. 21 to form the branch channel 125A. In this case, the selected hole detection mechanisms 9A and 9B may directly detect the holes 104a and 104b. Further, the recess 116B is covered with a shielding member 21C having no opening to shield the holes 106a and 106b. When the shielding member 21C is made of metal or the like, the packing 22 made of rubber or the like may be disposed between the shielding member 21C and the bottom surface of the recess 116B. Further, the shielding member 21C may be fixed with screws 23A, 23B and the like. When the holes 106a and 106b are selected, the measurement unit housing 30 shown in FIG. 21 may be disposed on the recess 116B shown in FIG. 20 to close the holes 104a and 104b. Since the other components of the shunt flow meter according to the second embodiment are the same as those of the first embodiment, description thereof will be omitted.

以上示した第2の実施の形態に係る分流式流量計においても、流れセンサ8の測定範囲と、主流路11を流れる流体の流量に応じて、適切な分流比を容易に選択することが可能となる。なお、直方体状の流路保持体100の主流路11に平行な3面、あるいは4面に凹部と、主流路11に貫通する複数の孔をさらに設けてもよい。   Even in the shunt flow meter according to the second embodiment shown above, it is possible to easily select an appropriate shunt ratio according to the measurement range of the flow sensor 8 and the flow rate of the fluid flowing through the main flow path 11. It becomes. The rectangular parallelepiped channel holding body 100 may further include a concave portion and a plurality of holes penetrating the main channel 11 on three or four surfaces parallel to the main channel 11.

（第3の実施の形態）
第1の実施の形態においては、図3乃至図6に示すように、直方体状の流路保持体10を説明した。しかし、流路保持体の形状はこれに限定されない。例えば、図22に示すように、側面が五角形状の七面体であってもよい。XXIII- XXIII方向から見た断面図である図23に示すように、流路保持体101の主流路11と平行な五面のうちの一面に凹部107Aが設けられており、凹部107Aから主流路11の上流側に孔103aが貫通し、凹部107Aから主流路11の下流側に孔103bが貫通している。また図22のXXIV-XXIV方向から見た断面図である図24に示すように、流路保持体101の主流路11と平行な五面のうち、凹部107Aが設けられた面と別の一面に凹部107Bが設けられており、凹部107Bから主流路11の上流側に孔105aが貫通し、凹部107Bから主流路11の下流側に孔105bが貫通している。 (Third embodiment)
In the first embodiment, the rectangular parallelepiped flow path holding body 10 has been described as shown in FIGS. However, the shape of the flow path holding body is not limited to this. For example, as shown in FIG. 22, the side surface may be a pentahedron. As shown in FIG. 23, which is a cross-sectional view seen from the direction of XXIII-XXIII, a recess 107A is provided on one of the five surfaces parallel to the main channel 11 of the channel holder 101, and the main channel from the recess 107A A hole 103a penetrates the upstream side of 11 and a hole 103b penetrates from the recess 107A to the downstream side of the main flow path 11. Also, as shown in FIG. 24 which is a cross-sectional view seen from the XXIV-XXIV direction of FIG. 22, of the five surfaces parallel to the main channel 11 of the channel holder 101, one surface different from the surface provided with the recess 107A A recess 107B is provided in the hole 105a. The hole 105a penetrates from the recess 107B to the upstream side of the main channel 11, and the hole 105b penetrates from the recess 107B to the downstream side of the main channel 11.

図23に示す孔103a, 103bの断面積は、図24に示す孔105a, 105bの断面積よりも大きい。孔103a, 103bの組、あるいは孔105a, 105bの組を被選択孔として選択する方法は、第2の実施の形態と同様であるので、説明は省略する。図22乃至図24に示す流路保持体101を用いる第3の実施の形態に係る流量計においても、適切な分流比を容易に選択することが可能となる。   The cross-sectional areas of the holes 103a and 103b shown in FIG. 23 are larger than the cross-sectional areas of the holes 105a and 105b shown in FIG. The method of selecting the set of holes 103a, 103b or the set of holes 105a, 105b as the selected hole is the same as in the second embodiment, and thus the description thereof is omitted. Also in the flowmeter according to the third embodiment using the flow path holding body 101 shown in FIGS. 22 to 24, it is possible to easily select an appropriate diversion ratio.

（第4の実施の形態）
図25に示すように、第4の実施の形態に係る流路保持体102には、主流路11と平行な二面に、凹部116Aと凹部116Bが各々設けられている。凹部116Aから主流路11の上流側に孔94a, 104aが貫通し、凹部116Aから主流路11の下流側に孔94b, 104bが貫通している。また、凹部116Bから主流路11の上流側に孔96a, 106aが貫通し、凹部116Bから主流路11の下流側に孔96b, 106bが貫通している。ここで、孔104a, 104bのそれぞれの断面積が最も大きく、次に孔94a, 94bのそれぞれの断面積が大きい。次に孔96a, 96bのそれぞれの断面積が大きく、孔106a, 106bのそれぞれの断面積が最も小さい。 (Fourth embodiment)
As shown in FIG. 25, the channel holder 102 according to the fourth embodiment is provided with a recess 116A and a recess 116B on two surfaces parallel to the main channel 11, respectively. Holes 94a and 104a penetrate from the recess 116A to the upstream side of the main channel 11, and holes 94b and 104b penetrate from the recess 116A to the downstream side of the main channel 11. Further, holes 96a and 106a pass through from the recess 116B to the upstream side of the main channel 11, and holes 96b and 106b pass through from the recess 116B to the downstream side of the main channel 11. Here, the cross-sectional areas of the holes 104a and 104b are the largest, and then the cross-sectional areas of the holes 94a and 94b are the largest. Next, the cross-sectional areas of the holes 96a and 96b are large, and the cross-sectional areas of the holes 106a and 106b are the smallest.

流路保持体102の凹部116Aが設けられた面の上面図である図26に示すように、凹部116Aの底面の上流側には面識別用構造71Bが設けられており、下流側には面識別用構造71C, 71Dが設けられている。例えば面識別用構造71B, 71C, 71Dのそれぞれは、凹部116Aの底面に設けられた凸部である。また、流路保持体102の凹部116Bが設けられた面の上面図である図27に示すように、凹部116Bの底面の上流側には面識別用構造72A, 72Bが設けられており、下流側には面識別用構造72Cが設けられている。面識別用構造72A, 72B, 72Cのそれぞれは、凹部116Bの底面に設けられた凸部である。   As shown in FIG. 26, which is a top view of the surface of the flow path holding body 102 provided with the recess 116A, a surface identifying structure 71B is provided on the upstream side of the bottom surface of the recess 116A, and the surface on the downstream side. Identification structures 71C and 71D are provided. For example, each of the surface identifying structures 71B, 71C, 71D is a convex portion provided on the bottom surface of the concave portion 116A. Further, as shown in FIG. 27, which is a top view of the surface of the flow path holding body 102 provided with the recess 116B, surface identification structures 72A and 72B are provided on the upstream side of the bottom surface of the recess 116B. On the side, a surface identifying structure 72C is provided. Each of the surface identifying structures 72A, 72B, 72C is a convex portion provided on the bottom surface of the concave portion 116B.

図25に示す孔94a, 94bを選択する場合は、凹部116B全体が遮蔽され、凹部116Aに、図28、及びXXIX-XXIX方向から見た断面図である図29に示す閉塞部材24Aが配置される。閉塞部材24Aには、孔94a, 94bを露出させるための開口126a, 126bが設けられている。さらに閉塞部材24Aには、開口81A, 81B, 81C, 81Dが設けられている。閉塞部材24Aを凹部116Aに配置すると、図26に示す面識別用構造71B, 71C, 71Dが、図28に示す閉塞部材24Aの開口81B, 81C, 81Dにそれぞれはまる。しかし、閉塞部材24Aの開口81Aには何もはまらない。そのため、開口81Aを検出することにより、閉塞部材24Aが図25に示す凹部116Aに配置されたことを識別可能である。   When selecting the holes 94a and 94b shown in FIG. 25, the entire recess 116B is shielded, and the blocking member 24A shown in FIG. 28, which is a cross-sectional view seen from the XXIX-XXIX direction, is disposed in the recess 116A. The The closing member 24A is provided with openings 126a and 126b for exposing the holes 94a and 94b. Furthermore, the closing member 24A is provided with openings 81A, 81B, 81C, 81D. When the closing member 24A is disposed in the recess 116A, the surface identifying structures 71B, 71C, 71D shown in FIG. 26 fit into the openings 81B, 81C, 81D of the closing member 24A shown in FIG. However, nothing fits into the opening 81A of the closing member 24A. Therefore, by detecting the opening 81A, it is possible to identify that the closing member 24A is disposed in the recess 116A shown in FIG.

また孔96a, 96bを選択する場合は、凹部116A全体が遮蔽され、凹部116Bに、図28及び図29に示す閉塞部材24Aが配置される。閉塞部材24Aの開口126a, 126bは、孔96a, 96bも露出させる。また、図27に示す面識別用構造72A, 72B, 72Cが、図28に示す閉塞部材24Aの開口81A, 81B, 81Cにそれぞれはまる。ここで開口81Dには何もはまらないため、開口81Dを検出することにより、閉塞部材24Aが図25に示す凹部116Bに配置されたことを識別可能である。   When the holes 96a and 96b are selected, the entire recess 116A is shielded, and the closing member 24A shown in FIGS. 28 and 29 is disposed in the recess 116B. The openings 126a and 126b of the closing member 24A also expose the holes 96a and 96b. Further, the surface identifying structures 72A, 72B, 72C shown in FIG. 27 fit into the openings 81A, 81B, 81C of the closing member 24A shown in FIG. Here, nothing can fit into the opening 81D, and by detecting the opening 81D, it is possible to identify that the closing member 24A is disposed in the recess 116B shown in FIG.

以上示したように、1枚の閉塞部材24Aで孔94a, 94b又は孔96a, 96bを選択可能である。さらに、閉塞部材24Aの開口81A, 81B, 81C, 81Dに挿入される面識別用構造の組み合わせのパターンから、閉塞部材24Aが凹部116A, 116Bのいずれに配置されたか識別可能である。そのため、孔94a, 94bと孔96a, 96bのどちらが選択されたかも、識別することが可能となる。孔104a, 104b又は孔106a, 106bを選択する場合は、孔104a, 104b又は孔106a, 106bに対応する位置に開口を有する閉塞部材を用意すればよい。また流路保持体102の四面総てに凹部及び複数の孔が設けられていてもよい。   As described above, it is possible to select the holes 94a and 94b or the holes 96a and 96b with one closing member 24A. Furthermore, it is possible to identify in which of the recesses 116A and 116B the blocking member 24A is arranged from the pattern of the combination of the surface identifying structures inserted into the openings 81A, 81B, 81C and 81D of the blocking member 24A. Therefore, it is possible to identify which of the holes 94a and 94b and the holes 96a and 96b is selected. When the holes 104a, 104b or the holes 106a, 106b are selected, a closing member having an opening at a position corresponding to the holes 104a, 104b or the holes 106a, 106b may be prepared. In addition, a recess and a plurality of holes may be provided on all four surfaces of the flow path holding body 102.

（第5の実施の形態）
第5の実施の形態に係る流量制御装置は、図30に示すように、分流式流量計50、分流式流量計50の排出口14に接続された流路99、及び流路99に接続され、流体の流量を制御する制御弁41を備える。制御弁41は、例えばソレノイド弁である。制御弁41は、流路43及び流路44と、流路43及び流路44を連通する弁室45が設けられた弁座42、弁室45に収納され、流路44を開閉する弁体46、弁体46に連結された磁性体のプランジャ47、及び通電されてプランジャ47を上下させるソレノイドコイル48を備える。 (Fifth embodiment)
As shown in FIG. 30, the flow rate control device according to the fifth embodiment is connected to the shunt flow meter 50, the flow path 99 connected to the outlet 14 of the shunt flow meter 50, and the flow path 99. And a control valve 41 for controlling the flow rate of the fluid. The control valve 41 is, for example, a solenoid valve. The control valve 41 is accommodated in the valve seat 42 and the valve chamber 45 provided with a flow path 43 and a flow path 44, and a valve chamber 45 communicating with the flow path 43 and the flow path 44, and a valve body that opens and closes the flow path 44. 46, a magnetic material plunger 47 connected to the valve body 46, and a solenoid coil 48 for raising and lowering the plunger 47 when energized.

分流式流量計50は、第1の実施の形態に係る流量計の構成要素に加えて、算出モジュール300により算出された流量に基づき、制御弁41を駆動し、主流路11及び流路99を流れる流体の流量を調節するコントローラ142をさらに備える。コントローラ142は、算出モジュール300及び制御弁41のソレノイドコイル48に電気的に接続されている。コントローラ142は算出モジュール300から流量の信号を受信し、流量が設定値よりも多い場合は、ソレノイドコイル48に通電して、流量を減少させる。また流量が設定値よりも少ない場合は、ソレノイドコイル48に通電して、流量を増加させる。   In addition to the components of the flow meter according to the first embodiment, the shunt flow meter 50 drives the control valve 41 based on the flow rate calculated by the calculation module 300, and connects the main flow path 11 and the flow path 99. A controller 142 for adjusting the flow rate of the flowing fluid is further provided. The controller 142 is electrically connected to the calculation module 300 and the solenoid coil 48 of the control valve 41. The controller 142 receives the flow rate signal from the calculation module 300, and when the flow rate is higher than the set value, the solenoid coil 48 is energized to reduce the flow rate. If the flow rate is lower than the set value, the solenoid coil 48 is energized to increase the flow rate.

第5の実施の形態に係る流量制御装置は、第1の実施の形態で説明した分流式流量計を採用しているため、高い精度で検出された流量に基づき、流量を制御することが可能となる。また、分流式流量計50と制御弁41を一体化してもよい。なお、第2乃至第4の実施の形態で説明した流量計を採用してもよいことはもちろんである。   Since the flow control device according to the fifth embodiment employs the shunt flow meter described in the first embodiment, it is possible to control the flow based on the flow detected with high accuracy. It becomes. Further, the shunt flow meter 50 and the control valve 41 may be integrated. Of course, the flow meters described in the second to fourth embodiments may be adopted.

（第6の実施の形態）
図31及びXXXII-XXXII方向から見た断面図である図32に示すように、第6の実施の形態に係る分流式流量計の流路保持体610の上面には、楕円状の凹部616が設けられている。図31及びXXXIII-XXXIII方向から見た断面図である図33に示すように、凹部616の底面から主流路11の上流に孔604a, 606aが貫通し、凹部616から主流路11の下流に孔604b, 606bが貫通している。ここで、孔604a, 604bの内径は孔606a, 606bの内径よりも大きい。したがって、孔604a, 604bの断面積は孔606a, 606bの断面積よりも大きい。 (Sixth embodiment)
As shown in FIG. 31 and FIG. 32 which is a cross-sectional view seen from the XXXII-XXXII direction, an elliptical recess 616 is formed on the upper surface of the flow path holder 610 of the flow dividing type flow meter according to the sixth embodiment. Is provided. As shown in FIG. 31 and FIG. 33, which is a cross-sectional view as viewed from the XXXIII-XXXIII direction, holes 604a and 606a penetrate from the bottom surface of the recess 616 to the upstream side of the main channel 11, and from the recess 616 to the downstream side of the main channel 11 604b and 606b penetrate. Here, the inner diameters of the holes 604a and 604b are larger than the inner diameters of the holes 606a and 606b. Therefore, the cross-sectional areas of the holes 604a and 604b are larger than the cross-sectional areas of the holes 606a and 606b.

図31に示す流路保持体610の凹部616には、図34及び図35に示す分流路整流部材620Aがはめ込まれる。図31に示す流路保持体610の凹部616の内周と図34及び図35に示す分流路整流部材620Aの外周は略同一である。図31に示す流路保持体610の凹部616の底面に対向する図34に示す分流路整流部材620Aの面611Aの外周近傍には、囲壁635が配置されている。囲壁635の内部は、略S字状の仕切り壁630で、上流側と下流側に二分されている。   A diversion flow straightening member 620A shown in FIGS. 34 and 35 is fitted into the recess 616 of the flow path holding body 610 shown in FIG. The inner periphery of the recess 616 of the flow path holder 610 shown in FIG. 31 and the outer periphery of the branch flow rectifying member 620A shown in FIGS. 34 and 35 are substantially the same. A surrounding wall 635 is disposed in the vicinity of the outer periphery of the surface 611A of the branch flow rectifying member 620A shown in FIG. 34, which faces the bottom surface of the recess 616 of the flow path holder 610 shown in FIG. The inside of the surrounding wall 635 is divided into an upstream side and a downstream side by a substantially S-shaped partition wall 630.

仕切り壁630で二分された囲壁635の内部の上流側において、楕円状の分流路整流部材620Aの長軸と外周の接点近傍にバッファ用凹部33が設けられている。また、楕円状の分流路整流部材620Aの短軸と平行に、3本の整流片131A, 131B, 131Cが配置されている。整流片131Aが最もバッファ用凹部33の近傍に配置されている。整流片131Aの長さが最も短く、整流片131Aの高さが最も高い。整流片131Aに隣接して配置された整流片131Bは、整流片131Aより長さが長い。整流片131Bに隣接して配置された整流片131Cは、整流片131Bより長さが長い。さらに、仕切り壁630で二分された囲壁635の内部の上流側において、楕円状の分流路整流部材620Aの短軸と外周の接点近傍に、第1の連通孔231が設けられている。   On the upstream side inside the surrounding wall 635 divided into two by the partition wall 630, a buffer recess 33 is provided in the vicinity of the contact point between the long axis and the outer periphery of the elliptical branch flow straightening member 620A. In addition, three rectifying pieces 131A, 131B, and 131C are arranged in parallel with the short axis of the elliptical branch flow rectifying member 620A. The rectifying piece 131A is disposed closest to the buffer recess 33. The length of the rectifying piece 131A is the shortest, and the height of the rectifying piece 131A is the highest. The rectifying piece 131B arranged adjacent to the rectifying piece 131A is longer than the rectifying piece 131A. The rectifying piece 131C disposed adjacent to the rectifying piece 131B is longer in length than the rectifying piece 131B. Further, on the upstream side inside the surrounding wall 635 divided into two by the partition wall 630, a first communication hole 231 is provided in the vicinity of the contact point between the short axis and the outer periphery of the elliptical branch flow straightening member 620A.

仕切り壁630で二分された囲壁635の内部の下流側においても、楕円状の分流路整流部材620Aの長軸と外周の接点近傍にバッファ用凹部34が設けられている。また、楕円状の分流路整流部材620Aの短軸と平行に、3本の整流片132A, 132B, 132Cが配置されている。整流片132Aが最もバッファ用凹部34の近傍に配置されている。整流片132Aの長さが最も短く、整流片132Aの高さが最も高い。整流片132Aに隣接して配置された整流片132Bは、整流片132Aより長さが長い。整流片132Bに隣接して配置された整流片132Cは、整流片132Bより長さが長い。さらに、仕切り壁630で二分された囲壁635の内部の下流側において、楕円状の分流路整流部材620Aの短軸と外周の接点近傍に、第2の連通孔232が設けられている。   Also on the downstream side inside the surrounding wall 635 divided into two by the partition wall 630, a buffer recess 34 is provided in the vicinity of the contact point between the long axis and the outer periphery of the elliptical branch flow straightening member 620A. In addition, three rectifying pieces 132A, 132B, and 132C are arranged in parallel with the short axis of the elliptical shunt flow rectifying member 620A. The rectifying piece 132A is arranged closest to the buffer recess 34. The length of the rectifying piece 132A is the shortest, and the height of the rectifying piece 132A is the highest. The rectifying piece 132B disposed adjacent to the rectifying piece 132A is longer than the rectifying piece 132A. The rectifying piece 132C disposed adjacent to the rectifying piece 132B is longer than the rectifying piece 132B. Further, on the downstream side inside the surrounding wall 635 divided into two by the partition wall 630, a second communication hole 232 is provided in the vicinity of the short axis of the elliptical branch flow straightening member 620A and the outer peripheral contact.

また、分流路整流部材620Aの面611A上には、閉塞部材698Aと閉塞部材699Aが配置されている。分流路整流部材620Aが図31に示す凹部616にはめ込まれたとき、閉塞部材698Aは孔604aを閉塞し、閉塞部材699Aは孔604bを閉塞する。しかし、閉塞部材698Aは孔606aを閉塞せず、閉塞部材699Aは孔606bを閉塞しない。したがって、図34に示す分流路整流部材620Aを図31に示す凹部616にはめ込むことによって、孔606a, 606bが被選択孔として選択される。   Further, a closing member 698A and a closing member 699A are disposed on the surface 611A of the branch flow rectifying member 620A. When the branch flow straightening member 620A is fitted in the recess 616 shown in FIG. 31, the closing member 698A closes the hole 604a, and the closing member 699A closes the hole 604b. However, the closing member 698A does not close the hole 606a, and the closing member 699A does not close the hole 606b. Therefore, the holes 606a and 606b are selected as the selected holes by fitting the branch flow straightening member 620A shown in FIG. 34 into the recess 616 shown in FIG.

図34に示す第1の連通孔231及び第2の連通孔232は、分流路整流部材620Aの流路保持体610の凹部616の底面に対向する面611Aの裏側の図35に示す面611Bに連通している。分流路整流部材620Aの面611Bには、楕円状の分流路整流部材620Aの短軸と平行に、敷居片38A, 38Bが設けられている。敷居片38A, 38Bの間隔は、図1に示す流れセンサ8の幅より長い。図35に示す敷居片38A, 38Bの外側には、壁部37A, 37Bが平行に設けられている。また、図35に示す分流路整流部材620Aの面611Bには、金網固定部36が配置されている。金網固定部36によって、金網が適宜固定される。   The first communication hole 231 and the second communication hole 232 shown in FIG. 34 are formed on the surface 611B shown in FIG. 35 on the back side of the surface 611A facing the bottom surface of the recess 616 of the flow path holding member 610 of the branch flow rectifying member 620A. Communicate. Sill pieces 38A and 38B are provided on the surface 611B of the shunt flow straightening member 620A in parallel with the short axis of the elliptical shunt flow straightening member 620A. The interval between the threshold pieces 38A and 38B is longer than the width of the flow sensor 8 shown in FIG. Wall portions 37A and 37B are provided in parallel to the outside of the sill pieces 38A and 38B shown in FIG. Further, a wire mesh fixing portion 36 is disposed on the surface 611B of the branch flow rectifying member 620A shown in FIG. The wire mesh is appropriately fixed by the wire mesh fixing portion 36.

さらに分流路整流部材620Aの面611Bには、被選択孔識別用構造697Aが設けられている。凹部又は切り欠き等の被選択孔識別用構造697Aが設けられた位置によって、孔606a, 606bが閉塞されておらず被選択孔として選択されており、孔604a, 604bが閉塞されていることを識別可能である。   Further, a selected hole identifying structure 697A is provided on the surface 611B of the branch flow rectifying member 620A. Depending on the position where the selected hole identifying structure 697A such as a recess or notch is provided, the holes 606a and 606b are not closed but are selected as the selected holes, and the holes 604a and 604b are closed. Be identifiable.

図31及び図32に示す流路保持体610の凹部616に図35及び図36に示す分流路整流部材620Aが配置された後、流路保持体610に図1に示した計測部筐体30が配置される。第6の実施の形態において、流れセンサ8は、図36に示す敷居片38A, 38Bの間に配置される。   After the branch flow rectifying member 620A shown in FIGS. 35 and 36 is arranged in the recess 616 of the flow path holding body 610 shown in FIGS. 31 and 32, the measurement unit housing 30 shown in FIG. Is placed. In the sixth embodiment, the flow sensor 8 is disposed between the threshold pieces 38A and 38B shown in FIG.

ここで、第6の実施の形態における分流路中の流体の流れについて説明する。図33に示す主流路11から孔604aに流入した流体は、孔604aが図34に示す閉塞部材698Aで閉塞されているため、進行を妨げられる。これに対し、孔606aは閉塞されていないため、主流路11から孔606aに流入した流体は、孔606aを通り抜け、図36に示すバッファ用凹部33に溜まる。バッファ用凹部33に最も近い整流片131Aの高さが最も高いため、流体がバッファ用凹部33に溜まりやすくなっている。バッファ用凹部33に一度溜められるによって、流体の流速が抑えられる。その後、流体は、一定角度の広がりを持ちながら、仕切り壁630に向かって進行する。この際、バッファ用凹部33に最も近く、最も高さが高い整流片131Aによっても、流体の流速は抑えられる。   Here, the flow of the fluid in the branch channel in the sixth embodiment will be described. The fluid that has flowed into the hole 604a from the main channel 11 shown in FIG. 33 is prevented from advancing because the hole 604a is closed by the closing member 698A shown in FIG. On the other hand, since the hole 606a is not blocked, the fluid flowing into the hole 606a from the main flow path 11 passes through the hole 606a and accumulates in the buffer recess 33 shown in FIG. Since the height of the rectifying piece 131A closest to the buffer recess 33 is the highest, the fluid tends to accumulate in the buffer recess 33. The flow rate of the fluid is suppressed by being once stored in the buffer recess 33. Thereafter, the fluid advances toward the partition wall 630 while having a certain angular spread. At this time, the flow velocity of the fluid is also suppressed by the rectifying piece 131A that is closest to the buffer recess 33 and has the highest height.

流体は仕切り壁630によって進行方向を変えられ、整流片131A, 131B, 131C及び仕切り壁630の間を通過する。ここで、整流片131A、整流片131B、整流片131Cの順に長さが長くなるので、整流片131Aと整流片131Bの間、整流片131Bと整流片131Cの間、並びに整流片131Cと仕切り壁630の間を、ほぼ均等な量の流体が流れ、流体は整流される。整流された流体は、第1の連通孔231を通って、面611Aの裏側の図37に示す面611B側に向かう。   The traveling direction of the fluid is changed by the partition wall 630 and passes between the rectifying pieces 131A, 131B, and 131C and the partition wall 630. Here, since the length of the rectifying piece 131A, the rectifying piece 131B, and the rectifying piece 131C becomes longer in this order, the rectifying piece 131A and the rectifying piece 131B, the rectifying piece 131B and the rectifying piece 131C, and the rectifying piece 131C and the partition wall Between 630, an approximately equal amount of fluid flows and the fluid is rectified. The rectified fluid passes through the first communication hole 231 toward the surface 611B shown in FIG. 37 on the back side of the surface 611A.

第1の連通孔231を通った流体は、金網固定部36に固定された金網636によって整流される。さらに、壁部37A, 37B及び敷居片38A, 38Bによって、流体の流速ベクトルが均一化される。流速ベクトルが均一化された流体は、図1に示した流れセンサ8の下方を通過し、図37に示す第2の連通孔232に向かって進行する。その後、流体は、第2の連通孔232を通って、図36に示す面611A側に戻る。   The fluid that has passed through the first communication hole 231 is rectified by the wire mesh 636 fixed to the wire mesh fixing portion 36. Furthermore, the flow velocity vector of the fluid is made uniform by the walls 37A and 37B and the sill pieces 38A and 38B. The fluid with the uniform flow velocity vector passes below the flow sensor 8 shown in FIG. 1 and travels toward the second communication hole 232 shown in FIG. Thereafter, the fluid returns to the surface 611A side shown in FIG. 36 through the second communication hole 232.

面611A側に戻った流体は、整流片132A, 132B, 132Cによって整流され、仕切り壁630に向かって進行する。さらに流体は、仕切り壁630によって進行方向を変えられ、バッファ用凹部34に溜まる。その後、バッファ用凹部34に溜まった流体は、閉塞部材699Aで閉塞されていない図31に示す孔606bを経て、図32に示す主流路11に流出する。   The fluid that has returned to the surface 611A side is rectified by the rectifying pieces 132A, 132B, and 132C, and proceeds toward the partition wall 630. Further, the fluid changes its traveling direction by the partition wall 630 and accumulates in the buffer recess 34. Thereafter, the fluid accumulated in the buffer recess 34 flows out into the main flow path 11 shown in FIG. 32 through the hole 606b shown in FIG. 31 that is not closed by the closing member 699A.

以上、図31に示す孔606a, 606bを被選択孔として選択し、孔604a, 604bを閉塞する例について説明した。これに対し、孔604a, 604bを被選択孔として選択し、孔606a, 606bを閉塞する場合は、孔606a, 606bを閉塞する図38に示す閉塞部材698B, 699Bを備える流路保持体620Bを用意すればよい。この場合、分流路整流部材620Bの面611Bには、被選択孔識別用構造697Bが設けられている。被選択孔識別用構造697Bが設けられた位置によって、孔604a, 604bが閉塞されておらず被選択孔として選択されており、孔606a, 606bが閉塞されていることを識別可能である。   The example in which the holes 606a and 606b shown in FIG. 31 are selected as the selected holes and the holes 604a and 604b are closed has been described above. On the other hand, when the holes 604a and 604b are selected as the selected holes and the holes 606a and 606b are closed, the flow path holding body 620B including the closing members 698B and 699B shown in FIG. 38 that close the holes 606a and 606b is provided. Just prepare. In this case, a selected hole identifying structure 697B is provided on the surface 611B of the branch flow straightening member 620B. Depending on the position where the selected hole identifying structure 697B is provided, it is possible to identify that the holes 604a and 604b are not closed but are selected as the selected holes, and the holes 606a and 606b are closed.

第6の実施の形態に係る分流式流量計によれば、図34及び図36に示す整流片131A, 131B, 131Cによって、分流路における流体の流速が下げられ、かつ流体が整流される。したがって、流体の流量を安定的に測定することが可能になる。また、第1の連通孔231及び第2の連通孔232を介して、流体が分流路整流部材620Aの両面を通過して整流される。そのため、図31に示す凹部616の底面積が小さくても、充分な整流効果を得ることが可能になる。なお、図34及び図36に示すように、仕切り壁630で二分された囲壁635の内部の下流側においても、整流片132A, 132B, 132Cが配置されているため、下流側から上流側に流体が逆流した場合も、流体が整流される。したがって、逆流した場合も、流量を正確に測定することが可能になる。   According to the shunt flow meter according to the sixth embodiment, the flow velocity of the fluid in the shunt flow path is lowered and the fluid is rectified by the rectifying pieces 131A, 131B, and 131C shown in FIGS. Therefore, it is possible to stably measure the flow rate of the fluid. In addition, the fluid is rectified through the first communication hole 231 and the second communication hole 232 through both surfaces of the branch flow rectifying member 620A. Therefore, even if the bottom area of the recess 616 shown in FIG. 31 is small, a sufficient rectifying effect can be obtained. As shown in FIGS. 34 and 36, since the rectifying pieces 132A, 132B, 132C are also arranged on the downstream side of the surrounding wall 635 divided by the partition wall 630, the fluid flows from the downstream side to the upstream side. The fluid is rectified even when the reverse flow occurs. Therefore, the flow rate can be accurately measured even when the flow is reversed.

（その他の実施の形態）
上記のように本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかになるはずである。例えば分流式流量計は、図1に示す算出モジュール300が分流比記憶装置400から読み出した分流比に関する情報、及び算出モジュール300が算出した主流路11を流れる流体の流量を、外部のCPU等に送信する通信ポートを備えていてもよい。また分流式流量計は、算出モジュール300が分流比記憶装置400から読み出した分流比に関する情報を保存し、着脱可能な設定値記憶装置をさらに備えていてもよい。着脱可能な設定値記憶装置に保存された分流比に関する情報を、外部の機器で読み出すことが可能となる。この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。したがって、本発明はこの開示から妥当な特許請求の範囲の発明特定事項によってのみ限定されるものである。 (Other embodiments)
Although the present invention has been described by the embodiments as described above, it should not be understood that the description and drawings constituting a part of this disclosure limit the present invention. From this disclosure, various alternative embodiments, examples and operational techniques should be apparent to those skilled in the art. For example, the shunt flow meter is configured to send information on the shunt ratio read from the shunt ratio storage device 400 by the calculation module 300 shown in FIG. 1 and the flow rate of the fluid flowing through the main channel 11 calculated by the calculation module 300 to an external CPU or the like. A communication port for transmission may be provided. The shunt flow meter may further include a detachable set value storage device that stores information related to the shunt ratio read from the shunt ratio storage device 400 by the calculation module 300. It is possible to read out information on the flow dividing ratio stored in the detachable set value storage device with an external device. Thus, it should be understood that the present invention includes various embodiments and the like not described herein. Therefore, the present invention is limited only by the invention specifying matters in the scope of claims reasonable from this disclosure.

本発明の第１の実施の形態に係る流分流式量計の第１の断面図である。1 is a first cross-sectional view of a shunt flow meter according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態に係る分流式流量計の第２の断面図である。It is a 2nd sectional view of a shunt type flow meter concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態に係る流路保持体の上面図である。It is a top view of the flow-path holding body which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係る流路保持体の図３のIV-IV方向から見た断面図である。It is sectional drawing seen from the IV-IV direction of FIG. 3 of the flow-path holding body which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係る流路保持体の図３のV-V方向から見た断面図である。It is sectional drawing seen from the VV direction of FIG. 3 of the flow-path holding body which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係る流路保持体の図３のVI-VI方向から見た断面図である。It is sectional drawing seen from the VI-VI direction of FIG. 3 of the flow-path holding body which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係る閉塞部材の上面図である。It is a top view of the closure member concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態に係る閉塞部材の図７のVIII-VIII方向から見た断面図である。It is sectional drawing seen from the VIII-VIII direction of FIG. 7 of the closure member which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係る閉塞部材を装着した流路保持体の上面図である。It is a top view of the flow path holding body equipped with the closing member according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態に係る閉塞部材を装着した流路保持体の図９のX-X方向から見た断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view of the flow path holding body equipped with the closing member according to the first embodiment of the present invention as seen from the XX direction in FIG. 9. 本発明の第１の実施の形態に係る閉塞部材を装着した流路保持体の図９のXI-XI方向から見た断面図である。It is sectional drawing seen from the XI-XI direction of FIG. 9 of the flow-path holding body equipped with the closure member which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係る閉塞部材を装着した流路保持体の図９のXII-XII方向から見た断面図である。It is sectional drawing seen from the XII-XII direction of FIG. 9 of the flow-path holding body equipped with the closure member which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係る閉塞部材を装着した流路保持体の断面図である。It is sectional drawing of the flow-path holding body equipped with the obstruction | occlusion member which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係る流れセンサの斜視図である。It is a perspective view of the flow sensor which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係る流れセンサの図１４のXV-XV方向から見た断面図である。It is sectional drawing seen from the XV-XV direction of FIG. 14 of the flow sensor which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態の変形例に係る閉塞部材を装着した流路保持体の第１の上面図である。It is a 1st top view of a channel maintenance object equipped with a closure member concerning a modification of a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態の変形例に係る閉塞部材を装着した流路保持体の図１６のXVII-XVII方向から見た断面図である。It is sectional drawing seen from the XVII-XVII direction of FIG. 16 of the flow-path holding body which attached the obstruction | occlusion member which concerns on the modification of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態の変形例に係る閉塞部材を装着した流路保持体の第２の上面図である。It is a 2nd top view of a channel maintenance object equipped with a closure member concerning a modification of a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態の変形例に係る閉塞部材を装着した流路保持体の図１８のXIX-XIX方向から見た断面図である。It is sectional drawing seen from the XIX-XIX direction of FIG. 18 of the flow-path holding body which attached the obstruction | occlusion member which concerns on the modification of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施の形態に係る流路保持体の断面図である。It is sectional drawing of the flow-path holding body which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施の形態に係る分流式流量計の断面図である。It is sectional drawing of the shunt type flow meter which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施の形態に係る流路保持体の側面図である。It is a side view of the flow-path holding body which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施の形態に係る流路保持体の図２２のXXIII-XXIII方向から見た断面図である。It is sectional drawing seen from the XXIII-XXIII direction of FIG. 22 of the flow-path holding body which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施の形態に係る流路保持体の図２２のXXIV-XXIV方向から見た断面図である。It is sectional drawing seen from the XXIV-XXIV direction of FIG. 22 of the flow-path holding body which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施の形態に係る流路保持体の断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a flow path holder according to a fourth embodiment of the present invention. 本発明の第4の実施の形態に係る流路保持体の第１の上面図である。FIG. 10 is a first top view of a flow path holder according to a fourth embodiment of the present invention. 本発明の第4の実施の形態に係る流路保持体の第２の上面図である。FIG. 10 is a second top view of the flow path holder according to the fourth embodiment of the present invention. 本発明の第4の実施の形態に係る閉塞部材の上面図である。FIG. 6 is a top view of a closing member according to a fourth embodiment of the present invention. 本発明の第4の実施の形態に係る閉塞部材の図２８のXXIX-XXIX方向から見た断面図である。FIG. 29 is a cross-sectional view of the closing member according to the fourth embodiment of the present invention when viewed from the XXIX-XXIX direction of FIG. 28. 本発明の第5の実施の形態に係る流量制御装置の模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram of a flow rate control device according to a fifth embodiment of the present invention. 本発明の第6の実施の形態に係る流路保持体の上面図である。FIG. 10 is a top view of a flow path holder according to a sixth embodiment of the present invention. 本発明の第6の実施の形態に係る流路保持体の図３１のXXXII-XXXII方向から見た断面図である。FIG. 32 is a cross-sectional view of the flow path holder according to the sixth embodiment of the present invention as viewed from the direction XXXII-XXXII in FIG. 31. 本発明の第6の実施の形態に係る流路保持体の図３１のXXXIII-XXXIII方向から見た断面図である。FIG. 32 is a cross-sectional view of the flow path holder according to the sixth embodiment of the present invention as seen from the XXXIII-XXXIII direction of FIG. 31. 本発明の第6の実施の形態に係る分流路整流部材の第１の斜視図である。It is a 1st perspective view of the shunt flow straightening member concerning the 6th Embodiment of this invention. 本発明の第6の実施の形態に係る分流路整流部材の第2の斜視図である。FIG. 10B is a second perspective view of the branch flow rectifying member according to the sixth embodiment of the present invention. 本発明の第6の実施の形態に係る分流路整流部材の第１の上面図である。It is a 1st top view of a shunt flow straightening member concerning a 6th embodiment of the present invention. 本発明の第6の実施の形態に係る分流路整流部材の第2の上面図である。FIG. 10B is a second top view of the shunt flow straightening member according to the sixth embodiment of the present invention. 本発明の第6の実施の形態に係る分流路整流部材の第3の斜視図である。FIG. 10 is a third perspective view of a branch flow straightening member according to a sixth embodiment of the present invention. 本発明の第6の実施の形態に係る分流路整流部材の第4の斜視図である。FIG. 10A is a fourth perspective view of a shunt flow straightening member according to a sixth embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

4a, 4b, 6a, 6b, 94a, 94b, 96a, 96b, 103a, 103b, 104a, 104b, 105a, 105b, 106a, 106b・・・孔
8・・・流れセンサ
9A, 9B・・・被選択孔検出機構
10, 100, 101, 102・・・流路保持体
11・・・主流路
12・・・オリフィス
13・・・注入口
14・・・排出口
16, 107A, 107B, 116A, 116B・・・ 凹部
21A, 21B, 24A・・・閉塞部材
21C・・・遮蔽部材
22・・・パッキン
23A, 23B・・・ネジ
25, 125A・・・分流路
30・・・計測部筐体
35・・・表示装置
60・・・基板
61・・・ヒータ
62・・・上流側測温抵抗素子
63・・・下流側測温抵抗素子
64・・・周囲温度センサ
65・・・絶縁膜
66・・・キャビティ
71B, 71C, 71D, 72A, 72B, 72C・・・面識別用構造
81A, 81B, 81C, 81D, 124a, 124b, 126a, 126b・・・開口
130A, 130B・・・被選択孔識別用構造
300・・・算出モジュール
400・・・分流比記憶装置 4a, 4b, 6a, 6b, 94a, 94b, 96a, 96b, 103a, 103b, 104a, 104b, 105a, 105b, 106a, 106b ... hole
8 ... Flow sensor
9A, 9B ・ ・ ・ Selected hole detection mechanism
10, 100, 101, 102 ・ ・ ・ Channel holder
11 ... Main flow path
12 ... Orifice
13 ... Inlet
14 ... Discharge port
16, 107A, 107B, 116A, 116B ...
21A, 21B, 24A ・ ・ ・ Blocking member
21C ・ ・ ・ Shielding member
22 ・ ・ ・ Packing
23A, 23B ・ ・ ・ Screw
25, 125A ... Branch
30 ... Measurement unit housing
35 ... Display device
60 ... Board
61 ... Heater
62 ... Upstream resistance thermometer
63 ... downstream resistance temperature sensor
64 ... Ambient temperature sensor
65 ・ ・ ・ Insulating film
66 ・ ・ ・ Cavity
71B, 71C, 71D, 72A, 72B, 72C ・ ・ ・ Structure for surface identification
81A, 81B, 81C, 81D, 124a, 124b, 126a, 126b ・ ・ ・ Opening
130A, 130B ・ ・ ・ Selected hole identification structure
300 ... Calculation module
400 ... Diversion ratio storage device

Claims (25)

主流路、前記主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔、及び前記複数の孔を介して前記主流路と連通する分流路が設けられた流路保持体と、
前記複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての前記複数の孔を閉塞し、前記被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、
前記被選択孔を検出する被選択孔検出機構と、
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、
前記被選択孔に応じた、前記分流路と前記主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、
前記分流路を流れる流体の流量、及び前記被選択孔に応じた前記分流比に関する情報に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、
を備えることを特徴とする分流式流量計。 A flow path holding body provided with a main flow path, at least three or more holes communicating with the main flow path, and a branch flow path communicating with the main flow path through the plurality of holes;
A closing member that closes all the plurality of holes other than at least two selected holes selected from the plurality of holes, and does not close the selected holes;
A selected hole detecting mechanism for detecting the selected hole;
A flow sensor for detecting the flow rate of the fluid flowing through the branch flow path;
A diversion ratio storage device for storing information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole;
A calculation module that calculates the flow rate of the fluid flowing through the main flow path based on the flow rate of the fluid flowing through the split flow path and information related to the split flow ratio according to the selected hole;
A shunt flow meter characterized by comprising: 主流路、及び前記主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔が設けられた流路保持体と、
前記複数の孔を介して前記主流路と連通する分流路と、
前記複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての前記複数の孔を閉塞し、前記被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、
前記被選択孔を検出する被選択孔検出機構と、
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、
前記被選択孔に応じた、前記分流路と前記主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、
前記分流路を流れる流体の流量、及び前記被選択孔に応じた前記分流比に関する情報に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、
を備えることを特徴とする分流式流量計。 A main channel, and a channel holder provided with at least three or more holes communicating with the main channel;
A branch channel communicating with the main channel through the plurality of holes;
A closing member that closes all the plurality of holes other than at least two selected holes selected from the plurality of holes, and does not close the selected holes;
A selected hole detecting mechanism for detecting the selected hole;
A flow sensor for detecting the flow rate of the fluid flowing through the branch flow path;
A diversion ratio storage device for storing information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole;
A calculation module that calculates the flow rate of the fluid flowing through the main flow path based on the flow rate of the fluid flowing through the split flow path and information related to the split flow ratio according to the selected hole;
A shunt flow meter characterized by comprising: 主流路、前記主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔、及び前記複数の孔を介して前記主流路と連通する分流路が設けられた流路保持体と、  A flow path holding body provided with a main flow path, at least three or more holes communicating with the main flow path, and a branch flow path communicating with the main flow path through the plurality of holes;
前記複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての前記複数の孔を閉塞し、前記被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、  A closing member that closes all the plurality of holes other than at least two selected holes selected from the plurality of holes, and does not close the selected holes;
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、  A flow sensor for detecting the flow rate of the fluid flowing through the branch flow path;
前記被選択孔に応じた、前記分流路と前記主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、  A diversion ratio storage device for storing information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole;
前記分流路を流れる流体の流量、及び前記被選択孔に応じた前記分流比に関する情報に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、  A calculation module that calculates the flow rate of the fluid flowing through the main flow path based on the flow rate of the fluid flowing through the split flow path and information related to the split flow ratio according to the selected hole;
を備え、  With
前記複数の孔の半分が、前記主流路から前記分流路に前記流体を導くための複数の流入孔であり、前記複数の孔の他の半分が、前記分流路から前記主流路に前記流体を導くための複数の流出孔であって、前記複数の流入孔と前記複数の流出孔が、点対称に設けられていることを特徴とする分流式流量計。  Half of the plurality of holes are a plurality of inflow holes for guiding the fluid from the main flow path to the branch flow path, and the other half of the plurality of holes passes the fluid from the branch flow path to the main flow path. A shunt flow meter, wherein the plurality of inflow holes and the plurality of outflow holes are point-symmetrically provided. 主流路、及び前記主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔が設けられた流路保持体と、  A main channel, and a channel holder provided with at least three or more holes communicating with the main channel;
前記複数の孔を介して前記主流路と連通する分流路と、  A branch channel communicating with the main channel through the plurality of holes;
前記複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての前記複数の孔を閉塞し、前記被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、  A closing member that closes all the plurality of holes other than at least two selected holes selected from the plurality of holes, and does not close the selected holes;
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、  A flow sensor for detecting the flow rate of the fluid flowing through the branch flow path;
前記被選択孔に応じた、前記分流路と前記主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、  A diversion ratio storage device for storing information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole;
前記分流路を流れる流体の流量、及び前記被選択孔に応じた前記分流比に関する情報に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、  A calculation module that calculates the flow rate of the fluid flowing through the main flow path based on the flow rate of the fluid flowing through the split flow path and information related to the split flow ratio according to the selected hole;
を備え、  With
前記複数の孔の半分が、前記主流路から前記分流路に前記流体を導くための複数の流入孔であり、前記複数の孔の他の半分が、前記分流路から前記主流路に前記流体を導くための複数の流出孔であって、前記複数の流入孔と前記複数の流出孔が、点対称に設けられていることを特徴とする分流式流量計。  Half of the plurality of holes are a plurality of inflow holes for guiding the fluid from the main flow path to the branch flow path, and the other half of the plurality of holes passes the fluid from the branch flow path to the main flow path. A shunt flow meter, wherein the plurality of inflow holes and the plurality of outflow holes are point-symmetrically provided. 主流路、前記主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔、及び前記複数の孔を介して前記主流路と連通する分流路が設けられた流路保持体と、  A flow path holding body provided with a main flow path, at least three or more holes communicating with the main flow path, and a branch flow path communicating with the main flow path through the plurality of holes;
前記複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての前記複数の孔を閉塞し、前記被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、  A closing member that closes all the plurality of holes other than at least two selected holes selected from the plurality of holes, and does not close the selected holes;
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、  A flow sensor for detecting the flow rate of the fluid flowing through the branch flow path;
前記被選択孔に応じた、前記分流路と前記主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、  A diversion ratio storage device for storing information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole;
前記分流路を流れる流体の流量、及び前記被選択孔に応じた前記分流比に関する情報に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、  A calculation module that calculates the flow rate of the fluid flowing through the main flow path based on the flow rate of the fluid flowing through the split flow path and information related to the split flow ratio according to the selected hole;
を備え、  With
前記複数の孔の半分が、前記主流路から前記分流路に前記流体を導くための複数の流入孔であり、前記複数の孔の他の半分が、前記分流路から前記主流路に前記流体を導くための複数の流出孔であって、前記複数の流入孔と前記複数の流出孔が、非点対称に設けられていることを特徴とする分流式流量計。  Half of the plurality of holes are a plurality of inflow holes for guiding the fluid from the main flow path to the branch flow path, and the other half of the plurality of holes passes the fluid from the branch flow path to the main flow path. A shunt flow meter, wherein the plurality of inflow holes and the plurality of outflow holes are provided asymmetrically. 主流路、及び前記主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔が設けられた流路保持体と、  A main channel, and a channel holder provided with at least three or more holes communicating with the main channel;
前記複数の孔を介して前記主流路と連通する分流路と、  A branch channel communicating with the main channel through the plurality of holes;
前記複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての前記複数の孔を閉塞し、前記被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、  A closing member that closes all the plurality of holes other than at least two selected holes selected from the plurality of holes, and does not close the selected holes;
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、  A flow sensor for detecting the flow rate of the fluid flowing through the branch flow path;
前記被選択孔に応じた、前記分流路と前記主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、  A diversion ratio storage device for storing information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole;
前記分流路を流れる流体の流量、及び前記被選択孔に応じた前記分流比に関する情報に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、  A calculation module that calculates the flow rate of the fluid flowing through the main flow path based on the flow rate of the fluid flowing through the split flow path and information related to the split flow ratio according to the selected hole;
を備え、  With
前記複数の孔の半分が、前記主流路から前記分流路に前記流体を導くための複数の流入孔であり、前記複数の孔の他の半分が、前記分流路から前記主流路に前記流体を導くための複数の流出孔であって、前記複数の流入孔と前記複数の流出孔が、非点対称に設けられていることを特徴とする分流式流量計。  Half of the plurality of holes are a plurality of inflow holes for guiding the fluid from the main flow path to the branch flow path, and the other half of the plurality of holes passes the fluid from the branch flow path to the main flow path. A shunt flow meter, wherein the plurality of inflow holes and the plurality of outflow holes are provided asymmetrically. 前記被選択孔の断面積に応じて、前記分流比が変化することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の分流式流量計。 Wherein in response to the cross-sectional area of the selected hole, said split-flow-type flow meter according to any one of to shunt ratio claims 1, wherein the varying 6. 前記被選択孔を検出する被選択孔検出機構を更に備えることを特徴とする請求項３ないし６のいずれか１項に記載の分流式流量計。 The shunt flow meter according to any one of claims 3 to 6 , further comprising a selected hole detecting mechanism for detecting the selected hole. 前記閉塞部材に、前記被選択孔検出機構が前記被選択孔を検出するための被選択孔識別用構造が設けられていることを特徴とする請求項１、２及び８のいずれか１項に記載の分流式流量計。 9. The selected hole identification structure for the selected hole detecting mechanism to detect the selected hole is provided in the closing member, according to any one of claims 1, 2, and 8. The shunt flow meter described. 前記複数の孔の半分が、前記主流路から前記分流路に前記流体を導くための複数の流入孔であり、前記複数の孔の他の半分が、前記分流路から前記主流路に前記流体を導くための複数の流出孔であって、前記複数の流入孔と前記複数の流出孔が、点対称に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の分流式流量計。 Half of the plurality of holes are a plurality of inflow holes for guiding the fluid from the main flow path to the branch flow path, and the other half of the plurality of holes passes the fluid from the branch flow path to the main flow path. 3. The shunt flow meter according to claim 1, wherein the plurality of outflow holes for guiding are provided in a point symmetry with the plurality of inflow holes and the plurality of outflow holes. 4. 前記複数の孔の半分が、前記主流路から前記分流路に前記流体を導くための複数の流入孔であり、前記複数の孔の他の半分が、前記分流路から前記主流路に前記流体を導くための複数の流出孔であって、前記複数の流入孔と前記複数の流出孔が、非点対称に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の分流式流量計。 Half of the plurality of holes are a plurality of inflow holes for guiding the fluid from the main flow path to the branch flow path, and the other half of the plurality of holes passes the fluid from the branch flow path to the main flow path. 3. The shunt flow meter according to claim 1, wherein the plurality of outflow holes for guiding are provided in a point-symmetric manner. 前記流路保持体が六面体であることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の分流式流量計。 The shunt flow meter according to any one of claims 1 to 11 , wherein the flow path holding body is a hexahedron. 前記流路保持体の前記主流路に平行な四面の少なくとも一つに、前記複数の孔が設けられていることを特徴とする請求項１２に記載の分流式流量計。 The shunt flow meter according to claim 12 , wherein the plurality of holes are provided in at least one of four surfaces parallel to the main channel of the channel holder. 前記被選択孔検出機構が、前記被選択孔識別用構造を機械的に検出することを特徴とする請求項９に記載の分流式流量計。 The shunt flow meter according to claim 9 , wherein the selected hole detecting mechanism mechanically detects the selected hole identifying structure. 前記被選択孔検出機構が、前記被選択孔識別用構造を光学的に検出することを特徴とする請求項９に記載の分流式流量計。 The shunt flow meter according to claim 9 , wherein the selected hole detecting mechanism optically detects the selected hole identifying structure. 前記分流比に関する情報を表示する表示装置を更に備えることを特徴とする請求項１ないし１５のいずれか１項に記載の分流式流量計。 The shunt flow meter according to any one of claims 1 to 15, further comprising a display device that displays information on the shunt ratio. 前記複数の孔のうち、前記流れセンサの上流に位置する孔と、前記流れセンサの下流に位置する孔との間に位置するように、前記主流路に差圧発生構造が設けられていることを特徴とする請求項１ないし１６のいずれか１項に記載の分流式流量計。 A differential pressure generating structure is provided in the main flow path so as to be positioned between a hole located upstream of the flow sensor and a hole located downstream of the flow sensor among the plurality of holes. The shunt flow meter according to any one of claims 1 to 16 , wherein: 前記主流路を流れる流体の流量の算出に用いられた前記分流比に関する情報を送信する通信ポートを更に備えることを特徴とする請求項１ないし１７のいずれか１項に記載の分流式流量計。 Split-flow-type flow meter according to any one of claims 1 to 17, characterized in that further comprising a communication port for transmitting information on the flow ratio used in the calculation of the flow rate of the fluid flowing through the main channel. 前記主流路を流れる流体の流量の算出に用いられた前記分流比に関する情報を保存する設定値記憶装置を更に備えることを特徴とする請求項１ないし１８のいずれか１項に記載の分流式流量計。 The shunt flow rate according to any one of claims 1 to 18 , further comprising a set value storage device that stores information relating to the shunt ratio used to calculate the flow rate of the fluid flowing through the main flow path. Total. 主流路、前記主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔、及び前記複数の孔を介して前記主流路と連通する分流路が設けられた流路保持体と、
前記複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての前記複数の孔を閉塞し、前記被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、
前記被選択孔を検出する被選択孔検出機構と、
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、
前記被選択孔に応じた、前記分流路と前記主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、
前記分流路を流れる流体の流量、及び前記被選択孔に応じた前記分流比に関する情報に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、
前記主流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、
前記算出された流量に基づき、前記制御弁を駆動し、前記主流路を流れる流体の流量を調節するコントローラと、
を備えることを特徴とする流量制御装置。 A flow path holding body provided with a main flow path, at least three or more holes communicating with the main flow path, and a branch flow path communicating with the main flow path through the plurality of holes;
A closing member that closes all the plurality of holes other than at least two selected holes selected from the plurality of holes, and does not close the selected holes;
A selected hole detecting mechanism for detecting the selected hole;
A flow sensor for detecting the flow rate of the fluid flowing through the branch flow path;
A diversion ratio storage device for storing information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole;
A calculation module that calculates the flow rate of the fluid flowing through the main flow path based on the flow rate of the fluid flowing through the split flow path and information related to the split flow ratio according to the selected hole;
A control valve for controlling the flow rate of the fluid flowing through the main flow path;
A controller that drives the control valve based on the calculated flow rate and adjusts the flow rate of the fluid flowing through the main flow path;
A flow rate control device comprising: 主流路、及び前記主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔が設けられた流路保持体と、
前記複数の孔を介して前記主流路と連通する分流路と、
前記複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての前記複数の孔を閉塞し、前記被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、
前記被選択孔を検出する被選択孔検出機構と、
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、
前記被選択孔に応じた、前記分流路と前記主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、
前記分流路を流れる流体の流量、及び前記被選択孔に応じた前記分流比に関する情報に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、
前記主流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、
前記算出された流量に基づき、前記制御弁を駆動し、前記主流路を流れる流体の流量を調節するコントローラと、
を備えることを特徴とする流量制御装置。 A main channel, and a channel holder provided with at least three or more holes communicating with the main channel;
A branch channel communicating with the main channel through the plurality of holes;
A closing member that closes all the plurality of holes other than at least two selected holes selected from the plurality of holes, and does not close the selected holes;
A selected hole detecting mechanism for detecting the selected hole;
A flow sensor for detecting the flow rate of the fluid flowing through the branch flow path;
A diversion ratio storage device for storing information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole;
A calculation module that calculates the flow rate of the fluid flowing through the main flow path based on the flow rate of the fluid flowing through the split flow path and information related to the split flow ratio according to the selected hole;
A control valve for controlling the flow rate of the fluid flowing through the main flow path;
A controller that drives the control valve based on the calculated flow rate and adjusts the flow rate of the fluid flowing through the main flow path;
A flow rate control device comprising: 主流路、前記主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔、及び前記複数の孔を介して前記主流路と連通する分流路が設けられた流路保持体と、  A flow path holding body provided with a main flow path, at least three or more holes communicating with the main flow path, and a branch flow path communicating with the main flow path through the plurality of holes;
前記複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての前記複数の孔を閉塞し、前記被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、  A closing member that closes all the plurality of holes other than at least two selected holes selected from the plurality of holes, and does not close the selected holes;
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、  A flow sensor for detecting the flow rate of the fluid flowing through the branch flow path;
前記被選択孔に応じた、前記分流路と前記主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、  A diversion ratio storage device for storing information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole;
前記分流路を流れる流体の流量、及び前記被選択孔に応じた前記分流比に関する情報に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、  A calculation module that calculates the flow rate of the fluid flowing through the main flow path based on the flow rate of the fluid flowing through the split flow path and information related to the split flow ratio according to the selected hole;
前記主流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、  A control valve for controlling the flow rate of the fluid flowing through the main flow path;
前記算出された流量に基づき、前記制御弁を駆動し、前記主流路を流れる流体の流量を調節するコントローラと、  A controller that drives the control valve based on the calculated flow rate and adjusts the flow rate of the fluid flowing through the main flow path;
を備え、  With
前記複数の孔の半分が、前記主流路から前記分流路に前記流体を導くための複数の流入孔であり、前記複数の孔の他の半分が、前記分流路から前記主流路に前記流体を導くための複数の流出孔であって、前記複数の流入孔と前記複数の流出孔が、点対称に設けられていることを特徴とする流量制御装置。  Half of the plurality of holes are a plurality of inflow holes for guiding the fluid from the main flow path to the branch flow path, and the other half of the plurality of holes passes the fluid from the branch flow path to the main flow path. A flow rate control device comprising a plurality of outflow holes for guiding, wherein the plurality of inflow holes and the plurality of outflow holes are provided point-symmetrically. 主流路、及び前記主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔が設けられた流路保持体と、  A main channel, and a channel holder provided with at least three or more holes communicating with the main channel;
前記複数の孔を介して前記主流路と連通する分流路と、  A branch channel communicating with the main channel through the plurality of holes;
前記複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての前記複数の孔を閉塞し、前記被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、  A closing member that closes all the plurality of holes other than at least two selected holes selected from the plurality of holes, and does not close the selected holes;
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、  A flow sensor for detecting the flow rate of the fluid flowing through the branch flow path;
前記被選択孔に応じた、前記分流路と前記主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、  A diversion ratio storage device for storing information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole;
前記分流路を流れる流体の流量、及び前記被選択孔に応じた前記分流比に関する情報に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、  A calculation module that calculates the flow rate of the fluid flowing through the main flow path based on the flow rate of the fluid flowing through the split flow path and information related to the split flow ratio according to the selected hole;
前記主流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、  A control valve for controlling the flow rate of the fluid flowing through the main flow path;
前記算出された流量に基づき、前記制御弁を駆動し、前記主流路を流れる流体の流量を調節するコントローラと、  A controller that drives the control valve based on the calculated flow rate and adjusts the flow rate of the fluid flowing through the main flow path;
を備え、  With
前記複数の孔の半分が、前記主流路から前記分流路に前記流体を導くための複数の流入孔であり、前記複数の孔の他の半分が、前記分流路から前記主流路に前記流体を導くための複数の流出孔であって、前記複数の流入孔と前記複数の流出孔が、点対称に設けられていることを特徴とする流量制御装置。  Half of the plurality of holes are a plurality of inflow holes for guiding the fluid from the main flow path to the branch flow path, and the other half of the plurality of holes passes the fluid from the branch flow path to the main flow path. A flow rate control device comprising a plurality of outflow holes for guiding, wherein the plurality of inflow holes and the plurality of outflow holes are provided point-symmetrically. 主流路、前記主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔、及び前記複数の孔を介して前記主流路と連通する分流路が設けられた流路保持体と、  A flow path holding body provided with a main flow path, at least three or more holes communicating with the main flow path, and a branch flow path communicating with the main flow path through the plurality of holes;
前記複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての前記複数の孔を閉塞し、前記被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、  A closing member that closes all the plurality of holes other than at least two selected holes selected from the plurality of holes, and does not close the selected holes;
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、  A flow sensor for detecting the flow rate of the fluid flowing through the branch flow path;
前記被選択孔に応じた、前記分流路と前記主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、  A diversion ratio storage device for storing information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole;
前記分流路を流れる流体の流量、及び前記被選択孔に応じた前記分流比に関する情報に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、  A calculation module that calculates the flow rate of the fluid flowing through the main flow path based on the flow rate of the fluid flowing through the split flow path and information related to the split flow ratio according to the selected hole;
前記主流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、  A control valve for controlling the flow rate of the fluid flowing through the main flow path;
前記算出された流量に基づき、前記制御弁を駆動し、前記主流路を流れる流体の流量を調節するコントローラと、  A controller that drives the control valve based on the calculated flow rate and adjusts the flow rate of the fluid flowing through the main flow path;
を備え、  With
前記複数の孔の半分が、前記主流路から前記分流路に前記流体を導くための複数の流入孔であり、前記複数の孔の他の半分が、前記分流路から前記主流路に前記流体を導くための複数の流出孔であって、前記複数の流入孔と前記複数の流出孔が、非点対称に設けられていることを特徴とする流量制御装置。  Half of the plurality of holes are a plurality of inflow holes for guiding the fluid from the main flow path to the branch flow path, and the other half of the plurality of holes passes the fluid from the branch flow path to the main flow path. A flow rate control device comprising a plurality of outflow holes for guiding, wherein the plurality of inflow holes and the plurality of outflow holes are provided asymmetrically. 主流路、及び前記主流路に通じる少なくとも三以上の複数の孔が設けられた流路保持体と、  A main channel, and a channel holder provided with at least three or more holes communicating with the main channel;
前記複数の孔を介して前記主流路と連通する分流路と、  A branch channel communicating with the main channel through the plurality of holes;
前記複数の孔から選択された少なくとも二つの被選択孔以外の総ての前記複数の孔を閉塞し、前記被選択孔を閉塞しない閉塞部材と、  A closing member that closes all the plurality of holes other than at least two selected holes selected from the plurality of holes, and does not close the selected holes;
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、  A flow sensor for detecting the flow rate of the fluid flowing through the branch flow path;
前記被選択孔に応じた、前記分流路と前記主流路の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置と、  A diversion ratio storage device for storing information on the diversion ratio between the diversion channel and the main flow channel according to the selected hole;
前記分流路を流れる流体の流量、及び前記被選択孔に応じた前記分流比に関する情報に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出モジュールと、  A calculation module that calculates the flow rate of the fluid flowing through the main flow path based on the flow rate of the fluid flowing through the split flow path and information related to the split flow ratio according to the selected hole;
前記主流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、  A control valve for controlling the flow rate of the fluid flowing through the main flow path;
前記算出された流量に基づき、前記制御弁を駆動し、前記主流路を流れる流体の流量を調節するコントローラと、  A controller that drives the control valve based on the calculated flow rate and adjusts the flow rate of the fluid flowing through the main flow path;
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前記複数の孔の半分が、前記主流路から前記分流路に前記流体を導くための複数の流入孔であり、前記複数の孔の他の半分が、前記分流路から前記主流路に前記流体を導くための複数の流出孔であって、前記複数の流入孔と前記複数の流出孔が、非点対称に設けられていることを特徴とする流量制御装置。  Half of the plurality of holes are a plurality of inflow holes for guiding the fluid from the main flow path to the branch flow path, and the other half of the plurality of holes passes the fluid from the branch flow path to the main flow path. A flow rate control device comprising a plurality of outflow holes for guiding, wherein the plurality of inflow holes and the plurality of outflow holes are provided asymmetrically.
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