JP5141191B2 - 縦型位置決めテーブル - Google Patents
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Description
2… Xテーブル
3… Yテーブル
4、5… 駆動装置
6… ベース
7… 第1鉛直面
8… 第2鉛直面
9、10… リニアガイド
12、18… ねじ軸
13、19… ナット
15、26… ナットブラケット
Claims (1)
- 第1鉛直面および第1鉛直面と背中合わせの第2鉛直面を有するベースと、X軸およびY軸の両方向に個別に移動するテーブルを有するXYテーブルとを備え、前記第2鉛直面側に前記XYテーブルを配設した第2ステージを構成し、前記XYテーブルのXテーブルのX軸駆動装置を前記第1鉛直面側に配設した第1ステージを構成し、前記X軸駆動装置の可動部に前記Xテーブルを直接連結している縦型位置決めテーブルであって、
前記XYテーブルのXテーブルが前記第2鉛直面に近接して配置され、
前記XYテーブルのYテーブルが前記Xテーブルに近接して配置され、
前記X軸駆動装置がねじ軸と、前記ねじ軸と螺合する可動部とからなるボールねじ機構を備えるとともに、
前記ベースが前記第1鉛直面から第2鉛直面に前記ベースを貫いて形成される貫通孔を有し、前記Xテーブルと前記ボールねじ機構の可動部とを連結するように、連結部材が前記貫通孔を通して直接結ばれるようにしたこと
を特徴とする縦型位置決めテーブル。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2007283737A JP5141191B2 (ja) | 2007-10-31 | 2007-10-31 | 縦型位置決めテーブル |
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JP5141191B2 true JP5141191B2 (ja) | 2013-02-13 |
Family
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Family Applications (1)
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-
2007
- 2007-10-31 JP JP2007283737A patent/JP5141191B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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