JP5138968B2 - 良否判定装置 - Google Patents
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Description
2 光パターン照射装置(光パターン照射手段)
3 撮影カメラ
4 変位装置(変位手段)
5 温度制御装置(温度制御手段)
6 演算処理装置
7 テーブル
9 カバー
11 熱源
12 ファン
13 温度センサ
14 赤外線カメラ(温度分布撮影カメラ)
15 ハーフプリズム
18 収容ケース
100 検査対象物
Claims (5)
- 少なくとも検査対象物が設置される部位が透明なテーブルと、
光の強度が周期的に変化する縞状の光パターンを、前記テーブルの透明部分を通して前記検査対象物の下面に照射する光パターン照射手段と、
前記光パターン照射手段により光パターンが照射された前記検査対象物の下面の画像を、前記テーブルの透明部分を通して可視光で撮影する撮影カメラと、
前記テーブルと前記光パターンとの相対位置関係を変化させる変位手段と、
前記検査対象物の雰囲気温度を制御可能な温度制御手段と、
前記温度制御手段により制御される前記検査対象物の雰囲気温度が所定の経時的変化を辿るように、複数の時点における温度を設定可能な温度変化設定手段と、
前記撮影カメラ及び前記温度制御手段からの情報に基づいて、予め決められた温度における前記検査対象物の下面の各部位の高さ情報を算出する計測手段と、
前記計測手段により得られた前記高さ情報に基づいて前記検査対象物の下面の変形が所定の適正範囲内であるか否かを判定する良否判定手段と、を備え、
前記計測手段は、前記温度制御手段により前記検査対象物の雰囲気温度を、前記経時的変化を辿るように変化させ、予め決められた温度となった時点で前記撮影カメラに撮影開始信号を発信させて、前記変位手段により前記相対位置関係を変化させながら前記撮影カメラにより前記検査対象物の画像を少なくとも3つ撮影させ、その少なくとも3つの画像上の光の強度分布に基づいて位相シフト法により前記検査対象物の下面の各部位の高さ情報を算出することを特徴とする良否判定装置。 - 前記温度制御手段は、前記検査対象物が雰囲気温度の異なる複数の製造工程を通過する際に受ける経時的な温度変化を模擬するように、当該検査対象物の雰囲気温度を制御する構成である請求項1に記載の良否判定装置。
- 前記撮影カメラの撮影方向と同じ方向から前記検査対象物の温度分布画像を撮影する温度分布撮影カメラをさらに備え、
前記計測手段は、前記温度制御手段により前記検査対象物の雰囲気温度が予め決められた温度となった状態で、前記温度分布撮影カメラにより前記検査対象物の温度分布画像を撮影させ、その温度分布画像に基づいて前記検査対象物の温度分布を求める構成である請求項1又は2に記載の良否判定装置。 - 前記温度分布撮影カメラにより前記検査対象物の温度分布画像を撮影するタイミングを設定可能な計測タイミング設定手段とをさらに備えている請求項3に記載の良否判定装置。
- 前記温度分布撮影カメラは前記テーブルの透明部分を通して前記検査対象物の表面の温度分布画像を撮影するように構成されている請求項3又は4に記載の良否判定装置。
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