JP5131806B2 - 細孔付き光導波モードセンサー - Google Patents
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Description
この技術は、ガラス上に貴金属(金・銀など)を蒸着し、そのガラスの金属を蒸着した面と反対側の面を、屈折率調節オイルを介して光学プリズムと密着させた構造からなり、レーザー光あるいは白色光を、プリズムを通してガラスに照射し、その反射光の強度を検出するものである。
SPRが発現する入射角や、SPRが発現している入射角付近における反射光強度は、金属の表面上の付着物の厚さ、誘電率によって変化する。このことを利用し、金属の表面上に被検出試料と結合あるいは吸着する物質を修飾し、被検出試料が金属表面付近に結合あるいは吸着した際に生じる入射角や反射率の変化を検出し、被検出試料の結合量(膜厚あるいは質量)を得るのが、従来のSPRセンサーである。
この欠点を補う為に、SPRセンサーと同様の光学系を用いて、SPRセンサーの貴金属面の上に光導波路を形成し、この光導波路中に励起される光導波モードを利用することにより、高感度にセンサー表面での分子吸着を測定できることが報告されている(非特許文献1)。
ガラス側からある角度をもって入射された光はガラスを透過し、反射膜層に照射され、誘電体光導波路側にエバネセント波を生じる。このエバネセント波が前記の誘電体光導波路における光導波モードと結合すると、入射された光は、その一部又は全部が、誘電体光導波路内を伝搬する光となり、その結果、反射されなくなる。よって、誘電体光導波路の光導波モードと入射された光の結合が生じると、反射光強度の減少が起こる。この反射光強度の減少は、ある波長の光に対して、ある特定の入射角付近でのみ生じる。
光導波モードセンサーは、光導波路の表面積を増加させることによって、感度をあげることができる。非特許文献1では、陽極酸化によって形成したアルミナを光導波路として用い、高感度なセンシングを実現している。しかしながら、アルミナは穴の大きさの制御が難しく、酸やアルカリに対して安定ではなく、また、表面に被検出試料と結合あるいは吸着する物質を修飾することが容易とは言い難い。
光導波路層は光導波モードが発現する程度の膜厚を有している。
入射される光は、p偏光又はs偏光の光であり、これらの光の反射光を検出する。基板は板状とすることができる。チップの光導波路層が形成されている面と反対側の基板表面を、屈折率調節オイルを介して光学プリズムに密着させた構造を備えている。また、基板はプリズムとすることができる。
また、本発明の光導波モードセンサーは、光導波モードセンサー用チップを用い、当該チップにおける前記光導波路の光導波モードを利用して検体の検出を行う。
図2は、図1のチップのガラス側、つまり光導波路が形成されていない側にプリズムを配して、光を入射した際の、光の入射角度と反射光強度の関係を示す。図2中には、4カ所、反射光強度における減少、つまりディップが見られる。このような反射光強度の減少の原因は主に2つある。1つは、前述のような表面プラズモン共鳴であり、図2中のθ0の入射角度で生じる反射光強度のディップがこの表面プラズモン共鳴に起因するものである。表面プラズモン共鳴は、負の誘電率を持つ金属、特に貴金属などを反射膜として用いた場合に生じる現象であり、光導波路部分が無くても生じる現象である。また、この表面プラズモン共鳴に起因する反射光の減少は入射光がp偏光の場合には生じるがs偏光の場合は生じない。
屈折率の低い物質(空気や真空状態も含む)に挟まれた板状の材料中を光が伝搬するスラブ型光導波路も良く知られている。
以上に示したものは、反射光強度に減少が生じ、ディップが観測される場合の例であるが、これとは反対に、入射光が光導波モードと結合すると、反射光強度が強められる場合がある。この場合、光導波モードと結合を生じない入射角で入射された光の反射光強度は弱く、導波モードと結合する角度で入射された反射光強度は強くなる。
偏光板は図3に示すように2枚用いられることが多く、2枚の偏光板のうち、プリズムに近い方の偏光板は、反射面に対して振動方向が平行なp偏光あるいは垂直なs偏光の選択を行う為に設置されている。また、レーザー光源に近い方の偏光板は、光導波路に入射される光強度を調節するために設置されている。
最も一般的に知られている挙動としては、特定の入射角度において、反射光強度が著しく低下する現象である。このような現象の例を図4に示す。図4は、入射光として633nmの光のp偏光を用いる場合で、屈折率1.8のガラスを用い、反射膜として厚さ47nmの金を、光導波路として厚さ600nmのシリカガラスを用いた場合の光の入射角と反射光強度の関係である。シリカガラスは、最も安定な酸化シリコンの一種である。ここで、光導波路層の表面は水に浸っているとする。図4に見られるように、特定の入射角53.8°付近で急激な反射光強度の減少(ディップ)が見られる。
このように、光導波路の光導波モードと入射された光の結合が生じると、反射光強度の著しい増減が生じる。
よって、光導波路の厚さを厚くしていくと、まず、1次の光導波モードと入射光との結合による反射光強度の変化が観測され、さらに厚さを増していくと、2次の光導波モードと入射光との結合による反射光強度の変化が観測され、さらに厚さが厚くなると、さらに高次の光導波モードとの結合による反射光強度の変化が見られるようになる。
また、本センサーは、光導波路表面に薄い膜を形成した際、その膜の厚さや屈折率、誘電率を測定することも可能であることから、薄膜の物性評価用センサーとしても使用可能である。
光導波路に酸化シリコンを利用する場合には、反射膜上への堆積が容易、加工が容易、化学的に安定、光学的に平滑な表面を得ることができる、生体関連物質に対して不活性、表面の化学修飾が容易、という特徴があるので、好ましい材料と言える。酸化シリコンの堆積方法としては、ゾルゲル法、熱酸化法、スパッタリング法などを使用することができる。また、酸化シリコン以外にも、酸化チタンのような金属酸化物、ポリメチルメタクリレートのような高分子化合物や有機物薄膜、ガラス材料、透明な伝導体材料などは、同様の理由から好ましい材料である。
現実に技術的に容易に得られる孔としては、半径10nm程度、深さ、つまり膜厚1μm程度で、孔の表面積占有割合は50%程度が限界と考えられる。よって、実際には、光導波路1cm2当たりの面積増加量100cm2程度以下となるような、孔の半径、及び、個数、を選択することが好ましい。
酸化シリコン層の一部を割り、孔の深さを観測したところ、いずれの場合も、孔は酸化シリコン層を貫通していた。
Claims (16)
- 透明な誘電体材料又は透明な伝導体材料の基板とその上に被覆した反射膜と、さらに該反射膜の上に形成された光導波路層とからなるチップを用い、
前記光導波路層に、当該光導波路層を貫通する細孔を複数形成し、
該チップの前記基板側から、前記反射膜に光を入射する光入射機構と、前記反射膜によって反射される前記光の反射光を検出する光検出機構とを備え、
前記光導波路層はシリコン酸化物を主たる材料として構成された膜、酸化チタンを主として構成された膜、有機物を主たる材料として構成された膜、ガラス材料によって構成された膜、高分子化合物によって構成された膜、又は透明な伝導体材料によって構成された膜のいずれかであり、
前記反射膜は、半導体材料の薄膜であり、
入射光の一部又は全部が前記光導波路層内を伝搬する光導波モードと結合することによって反射光強度が変化する光入射角度領域を用いて、前記光導波路層の表面に検出対象となる検体が吸着又は付着した際に生じる入射角度或いは反射光強度の変化を読み取ることにより検体の検出を行うことを特徴する光導波モードセンサー。 - 前記光導波路層の厚さが60nm〜1μmの範囲にある請求項1に記載の光導波モードセンサー。
- 前記細孔は、孔を開けたときに表面積が増える面積増加量に等しい孔側面の面積の総和が光導波路1cm2当たり0.1cm2以上で、280cm2以下の範囲にある請求項1又は2に記載の光導波モードセンサー。
- 前記細孔の直径は用いる光の波長よりも短いことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光導波モードセンサー。
- 前記細孔は、イオン注入後の化学エッチングによって形成されたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光導波モードセンサー。
- 前記化学エッチングはフッ酸溶液又はフッ酸の蒸気によるエッチングであることを特徴とする請求項5に記載の光導波モードセンサー。
- 前記光導波路層は光導波モードが発現する程度の膜厚を有していることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の光導波モードセンサー。
- 前記光導波路層の表面に分子認識基を化学修飾したことを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の光導波モードセンサー。
- 前記分子認識基として、アミノ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、アルデヒド基、イソチオシアネート基、スクシンイミド基、ビオチニル基、メチル基、フルオロメチル基のいずれかを化学修飾したことを特徴とする請求項8に記載の光導波モードセンサー。
- 前記入射される光は、p偏光又はs偏光の光であり、これらの光の反射光を検出することを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の光導波モードセンサー。
- 前記基板は板状であることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の光導波モードセンサー。
- 前記チップの前記光導波路層が形成されている面と反対側の基板表面を、屈折率調節オイルを介して光学プリズムに密着させた構造を備えていることを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載の光導波モードセンサー。
- 前記基板はプリズムであることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の光導波モードセンサー。
- p偏光又はs偏光の光が光学プリズムの中心軸に対してある角度で入射したときに、前記反射光強度の変化が起こる入射角度付近に前記光の入射角度を固定し、反射光の強度を検出することを特徴とする請求項12又は13に記載の光導波モードセンサー。
- 前記光導波路層表面に化学修飾された分子認識基に、気体中又は液体中において、選択的に吸着あるいは化学結合する分子、イオン又は分子集合体の膜厚、質量、サイズ又は誘電率を測定することを特徴とする請求項8〜14のいずれかに記載の光導波モードセンサー。
- 請求項1〜15のいずれかに記載の光導波モードセンサーに用いられる光導波モードセンサー用チップ。
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