JP5116819B2 - Method and system for controlling dew point temperature in local low dew point chamber - Google Patents
Method and system for controlling dew point temperature in local low dew point chamber Download PDFInfo
- Publication number
- JP5116819B2 JP5116819B2 JP2010194634A JP2010194634A JP5116819B2 JP 5116819 B2 JP5116819 B2 JP 5116819B2 JP 2010194634 A JP2010194634 A JP 2010194634A JP 2010194634 A JP2010194634 A JP 2010194634A JP 5116819 B2 JP5116819 B2 JP 5116819B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dew point
- air
- low dew
- temperature
- door
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Air Conditioning Control Device (AREA)
Description
本発明は、リチウムイオン電池などの二次電池製造ライン、有機EL製品製造ライン及び半導体製造ラインなど、室内環境を低露点に保持した低露点室内に設置されるとともに、室内環境を前記低露点室より低露点に保持した局所低露点室の露点温度の制御方法及びその制御システムに関する。 The present invention is installed in a low dew point room in which the indoor environment is maintained at a low dew point, such as a secondary battery production line such as a lithium ion battery, an organic EL product production line, and a semiconductor production line, and the indoor environment is the low dew point chamber. The present invention relates to a method for controlling the dew point temperature of a local low dew point chamber held at a lower dew point, and a control system therefor.
従来より、上記製造ラインなどにおいては、低露点室内に局所的な局所低露点室を形成し、この局所低露点室内において超低露点環境下で電池等の生産が行われている。前記低露点室では露点温度が例えば−20℃〜−40℃の露点温度に管理される一方、前記局所低露点室では露点温度がこれより低く、例えば−50℃〜−60℃の露点温度に管理されている。この低露点環境を作り出すために除湿装置によって例えば露点温度−50℃〜−70℃の低露点空気が製造され、前記低露点室及び局所低露点室に供給されている。 Conventionally, in the production line or the like, a local local low dew point chamber is formed in a low dew point chamber, and batteries and the like are produced in an ultra low dew point environment in the local low dew point chamber. In the low dew point chamber, the dew point temperature is controlled to a dew point temperature of, for example, −20 ° C. to −40 ° C., whereas in the local low dew point chamber, the dew point temperature is lower, for example, to a dew point temperature of −50 ° C. to −60 ° C. It is managed. In order to create this low dew point environment, for example, low dew point air having a dew point temperature of −50 ° C. to −70 ° C. is produced by a dehumidifier and supplied to the low dew point chamber and the local low dew point chamber.
このような局所的な低露点空間を形成する技術として、下記特許文献1では、原材料保管部を開放した原材料の搬入出などを行う際に、原材料の搬入出に対応した原材料保管部に、周囲環境より露点の低いドライエアを供給する有機ELパネルの製造設備における湿度管理方法が開示されている。
As a technique for forming such a local low dew point space, in
また、下記特許文献2では、部屋の内部で作業員が作業する空間を作業空間としたときに、吹出口が作業空間の側方に位置するように設けられ、吸込口が作業空間よりも上方の位置に開口するように設けられ、前記吹出口から低露点空気を供給して所望の露点温度の空気で満たされる作業空間を形成し、前記吸込口から部屋の空気を排出する置換換気による低露点室の空調方法が開示されている。
Further, in
さらに、下記特許文献3では、低露点の空気が供給されるドライブースの側壁に設置され、天板、側板等で囲まれたボックス本体の上面に、ドライブースに供給される低露点空気とは独立して供給されるエア供給口を有する乾燥パスボックスが開示されている。
しかしながら、上記特許文献1記載の発明では、原材料保管部などへ室内空気を侵入させないようにするには、原材料の搬入出時にドライエアの供給量を通常時より増大させて搬入出口において一定の風速で原材料保管部の内部から外部への気流を確保しなければならず、これには大量の低露点空気を供給する必要があった。
However, in the invention described in
また、上記特許文献2に示されるように、低露点室内の人員から発生する水分を低露点室全体での気流分布により制御するには、実質的に人員が居る領域よりも広範囲の置換換気を行わなければならず、大量の低露点空気を供給する必要があった。さらに、人員の動き方によっては、置換換気によって作業空間のみを低露点雰囲気に維持することは困難であった。
Moreover, as shown in the above-mentioned
さらに、上記特許文献3では、パスボックスにおける物品の受け渡し時に、パスボックス内が完全に外部雰囲気に晒されるため、一旦パスボックス内の露点が大幅に上昇し、その後扉を閉めてパスボックス内部を低露点雰囲気にするまでに多くの低露点空気を供給する必要があり、且つ、ドライブース内部と同レベルの露点雰囲気になるまでに相当の時間が必要となる。
Further, in
そこで本発明の主たる課題は、搬出入用扉の開放時においても、少ない低露点空気の供給量で局所低露点室を低露点に保持するとともに、コスト低減を図った局所低露点室の露点温度の制御方法及びその制御システムを提供することにある。 Therefore, the main problem of the present invention is to maintain the local low dew point chamber at a low dew point with a small amount of low dew point air supply even when the loading / unloading door is opened, and to reduce the dew point temperature of the local low dew point chamber for cost reduction. And a control system for the same.
上記課題を解決するために請求項1に係る本発明として、室内環境が所定の露点温度に保持された低露点室内に設置されるとともに、室内環境が前記低露点室より低い露点温度に保持され、前記低露点室との間で物品を搬出入するための搬出入用扉が設けられた局所低露点室について、前記搬出入用扉の開放時に、前記局所低露点室の室内環境を低露点に保持するための前記局所低露点室の露点温度の制御方法であって、
前記搬出入用扉の開口の一辺に、開口面に沿って低露点空気を吹き出すエアカーテンを備えるとともに、前記搬出入用扉に扉の開閉を規制する扉開閉規制装置が設けられることにより通常時は扉が閉状態に規制され、
前記搬出入用扉の開放時に、前記エアカーテンから低露点空気を吹き出すとともに、このエアカーテンから吹き出される低露点空気の空気温度と前記低露点室の室内空気の空気温度との差が最小となるように、前記エアカーテンから吹き出す低露点空気の空気温度を調節する制御を行うとともに、前記エアカーテンから吹き出す低露点空気の空気温度と前記低露点室内の空気の空気温度との温度差が最小となった時点で、前記扉開閉規制装置を解除し、前記搬出入用扉の開操作を可能とする制御を行うことを特徴とする局所低露点室の露点温度の制御方法が提供される。
In order to solve the above-mentioned problem, the present invention according to
One side of the opening of the unloading necessity door, usually by Rutotomoni an air curtain blowing low dew point air along the opening surface, the unloaded needful door door closing regulation device for regulating the opening and closing of the door is provided When the door is closed,
When the door for loading / unloading is opened, low dew point air is blown out from the air curtain, and the difference between the air temperature of the low dew point air blown out from the air curtain and the air temperature of the room air in the low dew point chamber is minimized. The air temperature of the low dew point air blown out from the air curtain is controlled so that the temperature difference between the air temperature of the low dew point air blown out of the air curtain and the air temperature of the air in the low dew point chamber is minimized. At that time, the control method for controlling the dew point temperature of the local low dew point chamber is provided, in which the door opening / closing regulating device is released and the opening / closing door is opened .
上記請求項1記載の発明は、低露点室内に設置されるとともに室内環境がこれより低い露点温度に保持され、前記低露点室との間で物品を搬出入するための搬出入用扉が設けられた局所低露点室について、前記搬出入用扉の開放時に、前記局所低露点室の室内環境を低露点に保持するための露点温度の制御方法である。
The invention according to
具体的には、前記搬出入用扉の開口の一辺に、開口面に沿って低露点空気を吹き出すエアカーテンを備えるとともに、前記搬出入用扉に扉の開閉を規制する扉開閉規制装置が設けられることにより通常時は扉が閉状態に規制され、前記搬出入用扉の開放時に、前記エアカーテンから低露点空気を吹き出すとともに、このエアカーテンから吹き出される低露点空気の空気温度と前記低露点室の室内空気の空気温度との差が最小となるように、前記エアカーテンから吹き出す低露点空気の空気温度を調節する制御を行うとともに、前記エアカーテンから吹き出す低露点空気の空気温度と前記低露点室内の空気の空気温度との温度差が最小となった時点で、前記扉開閉規制装置を解除し、前記搬出入用扉の開操作を可能とする制御を行うものである。このため、搬出入用扉の開放時に、低露点室の室内空気と局所低露点室の室内空気との間に前記エアカーテンからの吹出空気による一様な空気層が形成され、且つこの空気層の空気温度と低露点室の空気温度とがほぼ同等に制御されているため、低露点室の室内空気と前記空気層との境界面において、これらの空気の温度差が要因で生じる対流による空気混合が防止できる。従って、低露点室の室内空気は局所低露点室の室内空気との間に所定温度に制御された空気層が介在することによって扉開口面を通じた局所低露点室側への侵入が抑制されるので、搬出入用扉の開放時においても、局所低露点室を低露点に保持することが可能となる。 More specifically, the one side of the opening of the unloading necessity door Rutotomoni an air curtain blowing low dew point air along the opening surface, the unloaded needful door door closing regulation device for regulating the opening and closing of the door is By being provided, the door is normally restricted to the closed state, and when the loading / unloading door is opened, low dew point air is blown out from the air curtain, and the air temperature of the low dew point air blown out from the air curtain and the air temperature The air temperature of the low dew point air blown from the air curtain is controlled so as to minimize the difference between the air temperature of the room air in the low dew point chamber and the air temperature of the low dew point air blown from the air curtain when the temperature difference between the air temperature of the air of the low dew point chamber is minimized, and releasing the door closing regulation device, and performs control that enables the opening operation of the unloading necessity door Therefore, when the loading / unloading door is opened, a uniform air layer is formed by the air blown from the air curtain between the room air in the low dew point chamber and the room air in the local low dew point chamber. The air temperature of the low dew point chamber and the air temperature of the low dew point chamber are controlled to be approximately equal, and therefore air at the boundary between the indoor air of the low dew point chamber and the air layer is generated by convection caused by the temperature difference between these airs. Mixing can be prevented. Therefore, the room air in the low dew point chamber is prevented from entering the local low dew point chamber through the door opening surface by interposing an air layer controlled at a predetermined temperature between the room air in the local low dew point chamber and the room air in the local low dew point chamber. Therefore, the local low dew point chamber can be maintained at a low dew point even when the loading / unloading door is opened.
また、前記空気層は、前記エアカーテンから低露点空気を吹き出すことによって形成されるものであるため、従来のような扉開口面の全面に対して室内側から室外側に向かう気流を発生させるため低露点空気の供給量を増加させる方式や人員が居る作業空間を低露点空気によって置換する置換換気方式などと比べて各段に少ない空気供給量で局所低露点室内の低露点状態が保持でき、低露点空気を大量に製造するためのコスト低減を図ることができるようになる。 Further, since the air layer is formed by blowing low dew point air from the air curtain, in order to generate an air flow from the indoor side to the outdoor side over the entire door opening surface as in the prior art. The low dew point state in the local low dew point room can be maintained with a small air supply amount in each stage compared to the method of increasing the supply amount of low dew point air and the replacement ventilation method of replacing the work space where there are personnel with low dew point air, etc. The cost for producing a large amount of low dew point air can be reduced.
また、本発明では、搬出入用扉に扉の開閉を規制する扉開閉規制装置を設けることにより、通常時は扉を閉状態に規制しておき、この閉状態に規制された搬出入用扉の開操作に当たって、予め前記エアカーテンから低露点空気を吹き出すとともに、このエアカーテンから吹き出す低露点空気の空気温度と低露点室内の空気の空気温度との温度差が最小となった時点で、前記扉開閉規制装置を解除し、搬出入用扉の開操作を可能とする制御を行うようにしている。これにより、エアカーテンからの吹出空気が所定の温度になる前に誤って搬出入用扉を開くことがなくなり、局所低露点室内の低露点状態が保持できるとともに、扉開放時においても低露点室側からの空気の侵入が効果的に抑制できため低露点状態がより効果的に保持できるようになる。 In the present invention, the door opening / closing regulating device for regulating the opening / closing of the door is provided on the loading / unloading door, so that the door is normally closed and the loading / unloading door is regulated to the closed state. of when the opening operation, with blows low dew point air in advance from the air curtain, when the temperature difference between the air temperature and low dew point indoor air of the air temperature of the low dew point air is minimized blown from the air curtain, the The door opening / closing regulating device is released, and control is performed so that the opening / closing door can be opened. This prevents accidental opening of the carry-in / out door before the air blown out from the air curtain reaches a predetermined temperature, maintains a low dew point state in the local low dew point chamber, and provides a low dew point chamber even when the door is open. Since the intrusion of air from the side can be effectively suppressed, the low dew point state can be more effectively maintained.
請求項2に係る本発明として、前記エアカーテンまでの流路の途中に流通する低露点空気を加熱及び/又は冷却する加熱冷却装置が備えられるとともに、前記搬出入用扉近傍の低露点室側及び局所低露点室側にそれぞれ空気温度を測定する温度センサが備えられ、
前記搬出入用扉の開操作に当たって、予め前記エアカーテンから低露点空気を吹き出すとともに、この状態で前記温度センサーにより測定された低露点室側及び局所低露点室側の空気温度の差が最小となるように、前記加熱冷却装置によって前記エアカーテンから吹き出す低露点空気の空気温度を調節する制御を行う請求項1記載の局所低露点室の露点温度の制御方法が提供される。
The present invention according to
In opening the loading / unloading door, low dew point air is blown out from the air curtain in advance, and the difference in air temperature between the low dew point chamber side and the local low dew point chamber side measured by the temperature sensor in this state is minimized. so that the control method for the dew point temperature of
上記請求項2記載の発明は、上記請求項1記載の発明のより具体的な制御方法について規定したものであり、搬出入用扉の開操作に当たって、予めエアカーテンから低露点空気を吹き出すとともに、この状態で温度センサーにより測定された低露点室側及び局所低露点室側の空気温度の差が最小となるように、加熱冷却装置によってエアカーテンから吹き出す低露点空気の空気温度を調節する制御を行うようにしたものである。
The invention described in
請求項3に係る本発明として、前記低露点室内には前記搬出入用扉近傍の人を感知する人感センサが備えられるとともに、前記人感センサが人を感知した時点で、前記エアカーテンからの低露点空気の吹き出しを開始する請求項1〜2いずれかに記載の局所低露点室の露点温度の制御方法が提供される。 According to a third aspect of the present invention, a human sensor for detecting a person in the vicinity of the carry-in / out door is provided in the low dew point chamber, and when the human sensor detects the person, The control method of the dew point temperature of the local low dew point chamber in any one of Claims 1-2 which starts the blowing of low dew point air.
上記請求項3記載の発明では、低露点室内に搬出入用扉近傍の人を感知する人感センサを備えるとともに、前記人感センサが人を感知した時点で、前記エアカーテンからの低露点空気の吹出しを開始する制御を行うことにより、搬出入用扉の開操作に当たって、エアカーテンから低露点空気を吹き出すためのボタン操作などが不要となり、搬出入用扉の開操作が可能となるまでの一連の制御が自動で行われるようにすることができる。 According to the third aspect of the present invention, the low dew point air from the air curtain is provided in the low dew point room with a human sensor for detecting a person in the vicinity of the loading / unloading door and when the human sensor detects the person. By performing the control to start the air blowing, there is no need to operate a button for blowing low dew point air from the air curtain when opening the door for loading / unloading, and until the opening / closing door can be opened. A series of controls can be performed automatically.
請求項4に係る本発明として、前記エアカーテンから吹き出す低露点空気の流速は、1m/s以下である請求項1〜3いずれかに記載の局所低露点室の露点温度の制御方法が提供される。
As a fourth aspect of the present invention, there is provided a method for controlling the dew point temperature of a local low dew point chamber according to any one of
上記請求項4記載の発明では、エアカーテンからの吹出空気による空気層を低露点室側の室内空気と局所低露点室側の室内空気との間に一様に形成するため、エアカーテンから吹き出す低露点空気の流速を1m/s以下としている。1m/sを超えると、吹出気流の厚さが吹出口から気流先端部にかけて拡大する扇状となる結果、気流先端部で渦流が発生しやすくなるため周囲の空気との混合が生じやすくなるとともに、空気層と両側の室内空気との境界付近の流速差が大きくなるため両側の室内空気が空気層内に誘引されやすくなり、両室内の空気混合が促進されやすくなる。 In the invention according to the fourth aspect , since the air layer formed by the air blown from the air curtain is uniformly formed between the room air on the low dew point chamber side and the room air on the local low dew point chamber side, the air curtain blows out from the air curtain. The flow rate of the low dew point air is 1 m / s or less. When it exceeds 1 m / s, the thickness of the blown airflow becomes a fan shape that expands from the blowout port to the airflow tip, and as a result, vortex flow is likely to occur at the airflow tip, and mixing with the surrounding air is likely to occur. Since the difference in flow velocity near the boundary between the air layer and the indoor air on both sides becomes large, the indoor air on both sides is likely to be attracted into the air layer, and air mixing in both chambers is facilitated.
請求項5に係る本発明として、室内環境が所定の露点温度に保持された低露点室内に設置されるとともに、室内環境が前記低露点室より低い露点温度に保持され、前記低露点室との間で物品を搬出入するための搬出入用扉が設けられた局所低露点室について、前記搬出入用扉の開放時に、前記局所低露点室の室内環境を低露点に保持するための前記局所低露点室の露点温度の制御システムであって、
前記搬出入用扉の開口の一辺に、開口面に沿って低露点空気を吹き出すエアカーテンが備えられ、このエアカーテンに低露点空気を供給するとともに、前記低露点室及び局所低露点室のそれぞれに設けられた吹出口に低露点空気を供給する低露点空気供給装置と、前記低露点空気供給装置からエアカーテンまでの流路の途中に流通する低露点空気を加熱及び/又は冷却する加熱冷却装置と、前記搬出入用扉近傍の低露点室側及び局所低露点室側のそれぞれの空気温度を測定する温度センサとが備えられ、
前記搬出入用扉の開放時に、前記温度センサにより測定された低露点室側及び局所低露点室側の空気温度の差が最小となるように、前記加熱冷却装置によって前記エアカーテンから吹き出す低露点空気の空気温度を調節し、エアカーテンから吹き出す低露点空気の空気温度と前記低露点室内の空気の空気温度との差が最小となった時点で、前記搬出入用扉の開操作を可能とする制御を行う制御器が備えられていることを特徴とする局所低露点室の露点温度の制御システムが提供される。
As the present invention according to
An air curtain that blows out low dew point air along the opening surface is provided on one side of the opening of the carry-in / out door, and supplies low dew point air to the air curtain, and each of the low dew point chamber and the local low dew point chamber A low dew point air supply device that supplies low dew point air to the air outlet provided in the air outlet, and heating and cooling that heats and / or cools the low dew point air flowing in the middle of the flow path from the low dew point air supply device to the air curtain An apparatus, and a temperature sensor for measuring the air temperature of each of the low dew point chamber side and the local low dew point chamber side near the carry-in / out door,
Low dew point blown out from the air curtain by the heating / cooling device so that the difference in air temperature between the low dew point chamber side and the local low dew point chamber side measured by the temperature sensor is minimized when the door for loading / unloading is opened. The air temperature of the air is adjusted, and when the difference between the air temperature of the low dew point air blown out from the air curtain and the air temperature of the air in the low dew point room is minimized, the opening / closing door can be opened. There is provided a control system for the dew point temperature of a local low dew point chamber, characterized in that a controller for performing such control is provided.
以上詳説のとおり本発明によれば、搬出入用扉の開放時においても、少ない低露点空気の供給量で局所低露点室を低露点に保持するとともに、コスト低減を図った局所低露点室の露点温度の制御方法及びその制御システムが提供できるようになる。 As described above in detail, according to the present invention, even when the loading / unloading door is opened, the local low dew point chamber is maintained at a low dew point with a small amount of low dew point air supplied, and the local low dew point chamber is designed to reduce costs. A control method and control system for dew point temperature can be provided.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳述する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
〔第1形態例〕
(制御システム1の構成)
本発明に係る制御システム1は、図1に示されるように、室内環境が所定の露点温度(例えば−20℃〜−40℃)に保持された低露点室2内に設置されるとともに、室内環境が前記低露点室2より低い露点温度(例えば−60℃以下)に保持され、前記低露点室2との間で製品や材料等の搬出入を行うための搬出入用扉4が設けられた局所低露点室3に対して、前記搬出入用扉4の開放時に、前記局所低露点室3の室内環境を低露点に保持することを目的として備えられるものである。前記局所低露点室3とは、気密性が確保された閉空間、ブース、ゾーン、エリアなどのことであり、例えば、内部で物品の製造等を行う製造装置や生産装置又は内部で物品の搬送を行う搬送装置などのことを言う。
[First embodiment]
(Configuration of control system 1)
As shown in FIG. 1, the
具体的には、前記制御システム1では、搬出入用扉4の開口の一辺に、開口面に沿って低露点空気を吹き出すエアカーテン5を備え、少なくとも搬出入用扉4の開放時に、前記エアカーテン5から低露点空気を吹き出すとともに、このエアカーテン5から吹き出される低露点空気の空気温度と前記低露点室2の室内空気の空気温度との差が最小となるように、エアカーテン5から吹き出す低露点空気の空気温度を制御している。
Specifically, the
搬出入用扉4の開放時には、図2に示されるように、局所低露点室3の内圧が低露点室2の内圧より若干高圧とされることにより、局所低露点室3の室内空気Bとエアカーテン5からの吹出空気Cとが搬出入用扉4を通じて低露点室2側に流出することになる。ところが、同図に示されるように、低露点室2の室内空気Aと局所低露点室3の室内空気Bとの間に、エアカーテン5からの吹出空気による一様な空気層Cが形成され、且つこの空気層Cの空気温度と低露点室2の室内空気Aの空気温度とがほぼ同等に制御されているため、低露点室2の室内空気Aと空気層Cとの境界面において、これらの空気の温度差が要因で生じる対流による空気混合が防止できる。従って、低露点室2の室内空気Aは局所低露点室3の室内空気Bとの間に所定温度に制御された空気層Cが介在することによって扉開口面を通じた局所低露点室3側への侵入が抑制されるので、搬出入用扉4の開放時においても、局所低露点室3を低露点に保持することが可能となる。
When the carry-in / out
また、前記空気層Cはエアカーテン5から低露点空気を吹き出すことによって形成されるものであるため、従来のような扉開口面の全面に対して室内側から室外側に向かう気流を発生させるため低露点空気の供給量を増加させる方式や人員が居る作業空間を低露点空気によって置換する置換換気方式などと比べて各段に少ない空気供給量で局所低露点室3内の低露点状態を保持でき、低露点空気を大量に製造するためのコスト低減を図ることができるようになる。
Further, since the air layer C is formed by blowing low dew point air from the
一方、低露点室2の室内空気Aと局所低露点室3の室内空気Bとの境界面に前記空気層Cが介在しない場合、これら室内空気A、Bの間に空気温度差がなくても、露点温度差(湿度差)があれば水分の拡散現象により低露点室2側の水分が局所低露点室3側に侵入する。このため、本発明に係る制御システム1では、前記空気層Cを設けることにより、このような拡散による水分の侵入も防止でき、局所低露点室3内の低露点状態をより高度に保持できるようになる。
On the other hand, when the air layer C is not interposed at the interface between the indoor air A in the low
前記エアカーテン5からの吹出空気と低露点室2の室内空気との温度差が最小となる時点とは、両者の空気温度が漸近してほぼ同等となった時点のことであり、温度差が±1.0℃以下、好ましくは±0.5℃以下の範囲内となったときのことである。この範囲内の温度差であれば、搬出入用扉4を開放したときに低露点室2の室内空気Aと空気層Cとの境界面において、温度差による空気の対流がほとんど生じなくなる。
The time point at which the temperature difference between the air blown out from the
本制御システム1のより詳細なシステム構成について説明すると、図1に示されるように、前記エアカーテン5に低露点空気を供給するとともに、低露点室2に備えられる吹出口6及び局所低露点室3に備えられる吹出口7にそれぞれ低露点空気を供給する低露点空気供給装置8と、前記低露点空気供給装置8からエアカーテン5までの低露点空気の流路の途中に流通する低露点空気を加熱する加熱装置9及び低露点空気を冷却する冷却装置10と、前記搬出入用扉4近傍の低露点室2側及び局所低露点室3側のそれぞれの空気温度を測定する温度センサ11、12と、前記エアカーテン5に供給する低露点空気の供給量を調整するモーターダンパ13と、搬出入用扉4の近傍に取り付けられ、エアカーテン5からの空気吹出しの開始及び停止を操作する操作盤14と、前記搬出入用扉4に設けられ、該搬出入用扉4の開閉を規制する扉開閉規制装置15と、前記搬出入用扉4の開放時にエアカーテン5から吹き出す低露点空気を所定の空気温度に制御する制御器16とを備えている。
A more detailed system configuration of the
以下、各構成要素の詳細について説明すると、
前記低露点室2及び局所低露点室3はそれぞれ、外部より低露点に保たれ、外部からの空気侵入が生じないよう気密性が確保されるとともに、室内圧力が外部より高圧となるように管理されている。前記局所低露点室3は、前述の通り気密性が確保されているため、室内にて有意な水分発生が無いとすれば、室内雰囲気は低露点空気供給装置8から供給される低露点空気の露点温度に漸近する。従って、搬出入用扉4の閉鎖時には、室内を低露点に維持するのに要する低露点空気の供給量は少なくて済む。局所低露点室3には、排気用の逆流防止ダンパー3aが備えられ、人員が搬出入用扉4を開けたときに、この逆流防止ダンパー3aが閉状態となって、局所低露点室3内の空気が扉開口部を通じて外部(低露点室2)に流出するようになる。
The details of each component will be described below.
Each of the low
前記搬出入用扉4は、電動又は手動により開閉可能な扉であり、局所低露点室3の外側(低露点室2内)での作業員の開操作により開放可能とされ、この扉を開放した状態で製品や部品等の搬出入が可能となっている。また、搬出入用扉4を閉鎖した状態での気密性が確保されるように、扉の周面には気密シールが施されている。
The loading /
前記エアカーテン5は、搬出入用扉4の開口の一辺に沿って局所低露点室3の内部に備えられ、前記開口の一辺に沿う細長状の吹出口を有し、扉開口面に沿って低露点空気を吹き出すためのものである。前記エアカーテン5は、扉開口面の一辺にのみ備えられるようにし、対向する2辺や4辺など複数の開口辺には設けないことが望ましい。これにより、扉開口面には開口の一辺から一様な空気層Cが形成されるようになり、この空気層Cが低露点室2の室内空気Aと局所低露点室3の室内空気Bとの間にきっちりと形成されるようになる。これに対して、複数の開口辺にエアカーテンを設けた場合には、開口面内で対向する空気層同士が衝突して空気層の気流が乱れ、低露点室2の室内空気と局所低露点室3の室内空気との混合が生じ、局所低露点室3内を低露点に保持できなくなる。前記エアカーテン5は、扉開口の上部に設けることが好ましく、これによって開口面に沿って上方から下方に向けた一様なダウンフローの空気層が形成されるようになる。なお、図2に示されるように、実際に搬出入用扉4を開けた状態では、局所低露点室3の内圧が低露点室2の内圧より高く設定されるとともに、局所低露点室3内の吹出口7からも低露点空気が供給され続けているため、エアカーテン5からの吹出空気による空気層Cは開口の一辺から扉開口面を斜め外側に向けたダウンフロー形状で流出するようになる。
The
前記エアカーテン5の空気吹出口の幅は、扉開口面の一辺と同等又はそれよりも幅広に形成することが望ましい。前記エアカーテン5としては、公知のエアカーテンに加え、ブリーズライン等の汎用の制気口類を用いることもできる。ブリーズライン等の汎用制気口を用いる場合には、吹出空気の風速を0.5m/s以下とすることが望ましい。さらに、前記エアカーテン5の吹出口からの気流は、渦流の発生を抑制し層流或いは一様流であることが望ましく、そのために、吹出口先端にパンチング孔などをもつ整流板や、厚みの薄い不織布フィルタ等を取り付けることにより整流及び一様流化を図ることが望ましい。
It is desirable that the width of the air outlet of the
前記エアカーテン5から吹き出す低露点空気の流速は、1m/s以下であることが好ましい。流速が1m/sを超えると、吹出気流の厚さ(空気層Cの室内外方向厚さ)が吹出口から気流先端部にかけて拡大する扇状となる結果、気流先端部で渦流が発生しやすくなり周囲の空気との混合が生じやすくなるとともに、空気層Cと両側の室内空気A、Bとの境界付近の流速差が大きくなるため両側の室内空気A、Bが空気層C内に誘引されやすくなり、両室内の空気混合が促進されやすくなる。このため、局所低露点室3内の露点温度を上昇させてしまうおそれがある。
The flow rate of the low dew point air blown out from the
前記低露点空気供給装置8は、露点温度−50℃〜−70℃程度の低露点空気を製造する装置であり、例えば、給気路と排気路とに跨って吸着材(デシカント剤)を内蔵する乾式の回転式除湿ロータが設けられ、前記給気路において吸着材に水分が吸着され、前記排気路において吸着材の再生が行われることにより低露点空気を製造する装置である。効率のよい低露点空気の製造を行うため、例えば、前記給気路において圧縮した空気を前記除湿ロータに供給したり、前記排気路において加熱装置により加熱した空気や圧力スイングを与えた圧縮空気を除湿ロータに供給したりする手段などを適宜用いることができる。なお、図示例では、1台の低露点空気供給装置8によって低露点室2の吹出口6並びに局所低露点室3の吹出口7及びエアカーテン5に対して低露点空気を供給する構成とされているが、各吹出口6、7及びエアカーテン5毎に低露点空気供給装置を設けても良いし、低露点室2と局所低露点室3とで別の低露点空気供給装置を設けても良いし、エアカーテン5に対してだけ別の低露点空気供給装置を設けても良い。
The low dew point air supply device 8 is a device for producing low dew point air having a dew point temperature of about −50 ° C. to −70 ° C., for example, an adsorbent (desiccant agent) is built in between the air supply passage and the exhaust passage. The dry rotary dehumidification rotor is provided, moisture is adsorbed by the adsorbent in the air supply path, and the adsorbent is regenerated in the exhaust path to produce low dew point air. In order to produce efficient low dew point air, for example, air compressed in the air supply passage is supplied to the dehumidification rotor, air heated by a heating device in the exhaust passage, or compressed air given a pressure swing is supplied. Means for supplying to the dehumidifying rotor can be appropriately used. In the illustrated example, low dew point air is supplied to the
前記加熱装置9は、一般的な、電気ヒータなどの加熱器や温水コイル、蒸気コイル、冷媒コイル又は電熱コイルなどの空気加熱コイルなどを使用することができる。前記冷却装置10は、一般的な空調用熱源装置によって冷却された一般的な空気冷却コイルである。前記熱源装置として、圧縮式、吸収式などの冷凍機、ターボ冷凍機、吸収冷凍機又はスクリュー冷凍機や、あるいはヒートポンプ、熱交換器又は蓄熱槽などの冷熱源を利用した冷却装置を使用することができる。上記加熱装置9及び冷却装置10は、各装置の加熱コイル及び冷却コイルへ供給する温水量及び冷水量を調節する二方弁などの制御バルブの開度を調節する駆動部と制御器16とが接続され、前記温度センサ11、12の測定温度に基づいて前記制御器16による制御バルブの開度調節が行われ、低露点空気の温度調節が可能となっている。前記加熱装置9及び冷却装置10は、必ずしも両方設ける必要が無く、局所低露点室3内部の機器類等による発熱のみが発生し、局所低露点室3の室内空気が低露点室2の室内空気に比べ高くなることが予め判っている場合には、加熱装置9を省略し、冷却装置10のみを設けることができる。
The heating device 9 may be a general heater such as an electric heater, a hot water coil, a steam coil, a refrigerant coil, an air heating coil such as an electric heating coil, or the like. The
前記温度センサ11、12は、公知の温度計、例えば熱電対式温度センサ、電気抵抗式温度センサまたはバイメタル式などの機械式温度センサなど各種の温度計を使用することができる。この温度センサ11、12は、制御器16に対し測定結果が伝送可能に接続されている。
As the
前記操作盤14には、エアカーテン5からの空気吹出しを開始又は停止するためのエアカーテンスイッチ「ON」「OFF」ボタンと、搬出入用扉4の開操作が可能か否かを表示する「扉開OK」「扉開NG」表示部とが備えられている。前記「扉開OK」「扉開NG」表示部は、通常は「扉開NG」が点灯し、所定の操作により搬出入用扉4の開操作が可能な状態となったときに「扉開NG」が消灯し「扉開OK」が点灯するようになっている。この操作盤14は、制御器16に対し、各制御信号が送受信可能に接続されている。
The
また、前記モーターダンパ13及び扉開閉規制装置15は、それぞれ制御器16と制御信号が送受信可能に接続されている。
上述の通り、本制御システム1では、従来の各方式に比べ、搬出入用扉の開放時に低露点空気の供給量を大幅に低減することができるため、低露点空気供給装置8の容量が小さいものを使用できる。さらに同様の理由から、エアカーテン5からの吹出空気の温度調節に使用される加熱装置9や冷却装置10の容量が小さいものを使用することができるとともに、これらの温水量又は冷水量を制御する制御バルブも小型化でき、更にエアカーテン5の流量を調節するモーターダンパ13も小型のものを使用できる。従って、本システム全体をコンパクトに構成することができるようになる。
The
As described above, in the
(操作手順)
低露点室2の人員が局所低露点室3に対し製品や材料を搬出入する手順は次のとおりである。
(Operating procedure)
Procedures for personnel in the low
初期状態において、搬出入用扉4は、低露点室2にいる人員が誤って開けることがないように扉開閉規制装置15によって開閉が規制されるとともに、モーターダンパ13が全閉状態とされエアカーテン5からの吹出しが停止している。
In the initial state, the opening /
人員が搬出入用扉4を開けるには、先ず、操作盤14に備えられるエアカーテンスイッチの「ON」ボタンを押す。すると、この操作盤14からの信号を受信した制御器16が前記モーターダンパ13を開状態とし、エアカーテン5からの低露点空気の吹出しが開始される。
In order to open the
次に、制御器16では、温度センサ11によって測定された低露点室2側の空気温度と、温度センサ12によって測定された局所低露点室3側の空気温度とを受けて、これらの空気温度の差が最小となるように、加熱装置9又は冷却装置10を操作して、エアカーテン5から吹き出す低露点空気の空気温度の自動制御を行う。
Next, the
制御器16による温度制御の結果、エアカーテン5から吹き出す低露点空気の空気温度と、低露点室2内の搬出入用扉4近傍の空気温度とがほぼ同等となった時点で、制御器16は、扉開閉規制装置15のロックを解除する信号を送信する。
As a result of temperature control by the
扉開閉規制装置15のロックが解除されると、制御器16は、操作盤14に対して、「扉開OK」のランプを点灯させる信号を発し、人員が搬出入用扉4を開けることができる状態になったことが確認できる。このランプの点灯の他に、音声など聴覚的に知らせる手段を採用することもできる。
When the lock of the door opening /
搬出入用扉4を開放し、局所低露点室3に製品等の搬出入が完了したら、人員は搬出入用扉4を閉め、操作盤14に備えられたエアカーテンスイッチのOFFボタンを押す。これにより、モーターダンパ13が全閉状態となってエアカーテン5からの吹出しが停止するとともに、扉開閉規制装置15によって搬出入用扉4の閉状態がロックされる。
When the loading /
本制御システム1では、搬出入用扉4の閉鎖後においては、搬出入用扉4の開放時に局所低露点室3内の露点温度が低い状態に保持されているので、扉を閉鎖した直後に局所低露点室3の内部を所定の低露点温度に復旧するため急速に低露点空気の供給運転をするなど過剰な低露点空気の供給を行う必要がなく、低露点空気の供給量を低減することができる。
In this
〔第2形態例〕
第2形態例に係る制御システム1Aは、図3に示されるように、低露点室2に搬出入用扉4近傍の人を感知する人感センサ20が備えられている点で上記第1形態例と相違する。前記人感センサ20は、低露点室2内の搬出入用扉4近傍の人員を検知できる位置に設置され、図2に示される例では、搬出入用扉4近傍の直上である低露点室2の天井面に設置されている。前記人感センサ20は、制御器16と感知信号が伝送可能に接続されている。前記人感センサ20は、例えば赤外線センサ、超音波センサ、光電スイッチ、光センサ、カメラなどで構成されている。
[Second embodiment]
As shown in FIG. 3, the
また、本制御システム1Aでは、操作盤14に代えて、表示盤21が備えられている。前記表示盤21には、「扉開OK」「扉閉NG」などの表示部が備えられている。
Further, in the
次に、本制御システム1Aにおいて局所低露点室3に製品や材料の搬出入をする手順について説明する。人員が製品や材料の搬出入のため局所低露点室3の搬出入用扉4に近づくと、前記人感センサ20が人員を感知し、その時点でエアカーテン5への低露点空気の供給が自動的に開始される。そして、制御器16では、温度センサ11、12の検知信号に応じて加熱装置9又は冷却装置10を作動させ、エアカーテン5から吹き出す低露点空気の空気温度と低露点室2内の空気温度との差が最小となった時点で、扉開閉規制装置15のロックを解除するとともに、表示盤21の点灯表示を「扉開NG」から「扉開OK」に切り替える制御が行われる。これにより、搬出入用扉4を開放して製品や材料の搬出入が可能となる。
Next, a procedure for carrying in / out products and materials to / from the local low
その後、搬出入用扉4を閉め、人感センサ20による人員の感知信号が停止すると、制御器16では、扉開閉規制装置15をロック状態にするとともに、表示盤21の点灯表示を「扉開NG」に切り替え、エアカーテン5からの吹出しを停止する。
After that, when the loading /
このように、本第2形態に係る制御システム1Aでは、搬出入用扉4の開操作が可能な状態になるまでの一連の流れが制御器16によって自動的に行われるため、扉開操作までに要する時間を短縮することができる。また、製品等の搬出入作業の終了後は、搬出入用扉4を閉めてその場を離れるだけなので、エアカーテンスイッチのOFFなどのスイッチ操作をし忘れることにより局所低露点室3内の露点温度が上昇するなどの問題の発生が回避できる。
Thus, in the
〔他の形態例〕
(1)上記制御システム1、1Aは、低露点室2内に複数の局所低露点室3を設置する場合や、局所低露点室3に複数の搬出入用扉4を設ける場合においても、各搬出入用扉4に対して個別的にエアカーテン5及びそれに付随する制御装置を設置することにより、同様にして適用することができる。この場合、各搬出入用扉4に対して独立した制御が行われるため、例えば一つの局所低露点室3に設けられる複数の搬出入用扉4を同時に開放した場合でも、扉開口部における低露点室2側の高露点の空気が内部に侵入するのを安定して抑制することができるようになる。また、複数のエアカーテン5に同時に低露点空気を供給する場合でも、従来の方式と比較して1つのエアカーテンに供給する低露点空気の量が大幅に低減できるため、低露点空気供給装置を小型化できるとともに、低露点空気供給装置の運転エネルギーを大幅に削減することができる。
[Other examples]
(1) The
1・1A…制御システム、2…低露点室、3…局所低露点室、4…搬出入用扉、5…エアカーテン、6・7…吹出口、8…低露点空気供給装置、9…加熱装置、10…冷却装置、11・12…温度センサ、13…モーターダンパ、14…操作盤、15…扉開閉規制装置、16…制御器、20…人感センサ、21…表示盤 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1.1A ... Control system, 2 ... Low dew point chamber, 3 ... Local low dew point chamber, 4 ... Carry-in / out door, 5 ... Air curtain, 6.7 ... Air outlet, 8 ... Low dew point air supply apparatus, 9 ... Heating Device: 10 ... Cooling device, 11.12 ... Temperature sensor, 13 ... Motor damper, 14 ... Control panel, 15 ... Door opening / closing regulating device, 16 ... Controller, 20 ... Human sensor, 21 ... Display panel
Claims (5)
前記搬出入用扉の開口の一辺に、開口面に沿って低露点空気を吹き出すエアカーテンを備えるとともに、前記搬出入用扉に扉の開閉を規制する扉開閉規制装置が設けられることにより通常時は扉が閉状態に規制され、
前記搬出入用扉の開放時に、前記エアカーテンから低露点空気を吹き出すとともに、このエアカーテンから吹き出される低露点空気の空気温度と前記低露点室の室内空気の空気温度との差が最小となるように、前記エアカーテンから吹き出す低露点空気の空気温度を調節する制御を行うとともに、前記エアカーテンから吹き出す低露点空気の空気温度と前記低露点室内の空気の空気温度との温度差が最小となった時点で、前記扉開閉規制装置を解除し、前記搬出入用扉の開操作を可能とする制御を行うことを特徴とする局所低露点室の露点温度の制御方法。 The indoor environment is installed in a low dew point room maintained at a predetermined dew point temperature, the indoor environment is maintained at a dew point temperature lower than the low dew point room, and goods are transferred to and from the low dew point room. A control method of the dew point temperature of the local low dew point chamber for keeping the indoor environment of the local low dew point chamber at a low dew point when the carry out door is opened, with respect to the local low dew point chamber provided with a door for loading and unloading Because
One side of the opening of the unloading necessity door, usually by Rutotomoni an air curtain blowing low dew point air along the opening surface, the unloaded needful door door closing regulation device for regulating the opening and closing of the door is provided When the door is closed,
When the door for loading / unloading is opened, low dew point air is blown out from the air curtain, and the difference between the air temperature of the low dew point air blown out from the air curtain and the air temperature of the room air in the low dew point chamber is minimized. The air temperature of the low dew point air blown out from the air curtain is controlled so that the temperature difference between the air temperature of the low dew point air blown out of the air curtain and the air temperature of the air in the low dew point chamber is minimized. At that time, the door opening / closing regulating device is released, and the control for enabling the opening / closing operation of the loading / unloading door is performed . A method for controlling the dew point temperature of the local low dew point chamber.
前記搬出入用扉の開操作に当たって、予め前記エアカーテンから低露点空気を吹き出すとともに、この状態で前記温度センサーにより測定された低露点室側及び局所低露点室側の空気温度の差が最小となるように、前記加熱冷却装置によって前記エアカーテンから吹き出す低露点空気の空気温度を調節する制御を行う請求項1記載の局所低露点室の露点温度の制御方法。 A heating / cooling device for heating and / or cooling low dew point air flowing in the middle of the flow path to the air curtain is provided, and air is supplied to the low dew point chamber side and the local low dew point chamber side near the carry-in / out door, respectively. Equipped with a temperature sensor to measure the temperature,
In opening the loading / unloading door, low dew point air is blown out from the air curtain in advance, and the difference in air temperature between the low dew point chamber side and the local low dew point chamber side measured by the temperature sensor in this state is minimized. so as to control how the dew point temperature of claim 1, wherein the local low dew point chamber for the heating and cooling apparatus by the that Sessu air temperature adjustment of the low dew point air blown from the air curtain control.
前記搬出入用扉の開口の一辺に、開口面に沿って低露点空気を吹き出すエアカーテンが備えられ、このエアカーテンに低露点空気を供給するとともに、前記低露点室及び局所低露点室のそれぞれに設けられた吹出口に低露点空気を供給する低露点空気供給装置と、前記低露点空気供給装置からエアカーテンまでの流路の途中に流通する低露点空気を加熱及び/又は冷却する加熱冷却装置と、前記搬出入用扉近傍の低露点室側及び局所低露点室側のそれぞれの空気温度を測定する温度センサとが備えられ、
前記搬出入用扉の開放時に、前記温度センサにより測定された低露点室側及び局所低露点室側の空気温度の差が最小となるように、前記加熱冷却装置によって前記エアカーテンから吹き出す低露点空気の空気温度を調節し、エアカーテンから吹き出す低露点空気の空気温度と前記低露点室内の空気の空気温度との差が最小となった時点で、前記搬出入用扉の開操作を可能とする制御を行う制御器が備えられていることを特徴とする局所低露点室の露点温度の制御システム。 The indoor environment is installed in a low dew point room maintained at a predetermined dew point temperature, the indoor environment is maintained at a dew point temperature lower than the low dew point room, and goods are transferred to and from the low dew point room. A system for controlling the dew point temperature of the local low dew point chamber for maintaining the indoor environment of the local low dew point room at a low dew point when the door for opening and closing is opened with respect to the local low dew point chamber provided with a door for carrying in and out Because
An air curtain that blows out low dew point air along the opening surface is provided on one side of the opening of the carry-in / out door, and supplies low dew point air to the air curtain, and each of the low dew point chamber and the local low dew point chamber A low dew point air supply device that supplies low dew point air to the air outlet provided in the air outlet, and heating and cooling that heats and / or cools the low dew point air flowing in the middle of the flow path from the low dew point air supply device to the air curtain An apparatus, and a temperature sensor for measuring the air temperature of each of the low dew point chamber side and the local low dew point chamber side near the carry-in / out door,
Low dew point blown out from the air curtain by the heating / cooling device so that the difference in air temperature between the low dew point chamber side and the local low dew point chamber side measured by the temperature sensor is minimized when the door for loading / unloading is opened. The air temperature of the air is adjusted, and when the difference between the air temperature of the low dew point air blown out from the air curtain and the air temperature of the air in the low dew point room is minimized, the opening / closing door can be opened. A dew point temperature control system for a local low dew point chamber, characterized in that a controller for performing the control is provided.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010194634A JP5116819B2 (en) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | Method and system for controlling dew point temperature in local low dew point chamber |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010194634A JP5116819B2 (en) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | Method and system for controlling dew point temperature in local low dew point chamber |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012052718A JP2012052718A (en) | 2012-03-15 |
JP5116819B2 true JP5116819B2 (en) | 2013-01-09 |
Family
ID=45906237
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010194634A Active JP5116819B2 (en) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | Method and system for controlling dew point temperature in local low dew point chamber |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5116819B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7080478B2 (en) * | 2017-09-14 | 2022-06-06 | 株式会社西部技研 | Dry room for gas replacement |
KR102156840B1 (en) * | 2018-12-27 | 2020-09-16 | 주식회사 원방테크 | System of local dry room |
KR102438815B1 (en) * | 2021-11-23 | 2022-09-01 | 주식회사 휴마스터 | Small dehumidifier and control method of the same |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5287284U (en) * | 1975-12-25 | 1977-06-29 | ||
JPS6198533U (en) * | 1984-12-04 | 1986-06-24 | ||
JPS625035A (en) * | 1985-06-28 | 1987-01-12 | Matsushita Seiko Co Ltd | Air curtain with heater |
JPS6233236A (en) * | 1985-08-07 | 1987-02-13 | Ebara Corp | Multi-layer type air curtain device for doorway of building |
JPS6269781U (en) * | 1985-10-22 | 1987-05-01 | ||
JPH0821610B2 (en) * | 1990-11-20 | 1996-03-04 | 株式会社荏原製作所 | Method and device for storing and taking out contents of carrier box |
JPH11268642A (en) * | 1998-03-20 | 1999-10-05 | Calsonic Corp | Air conditioner for rolling stock |
JP2003314876A (en) * | 2002-02-25 | 2003-11-06 | Yamasa Shoyu Co Ltd | Air curtain device and its operation method |
JP2008076032A (en) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Hitachi Plant Technologies Ltd | Low dew-point chamber equipment |
JP2008149290A (en) * | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | Safety cabinet |
JP2009222377A (en) * | 2008-02-22 | 2009-10-01 | Toyota Motor Corp | Dry chamber |
-
2010
- 2010-08-31 JP JP2010194634A patent/JP5116819B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012052718A (en) | 2012-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105071243B (en) | Automatically into air draft dehumidifying switchgear | |
JP5591329B2 (en) | Ventilation air conditioner and control method thereof | |
US10344994B2 (en) | Energy recovery ventilation smoke evacuation | |
EP2690371B1 (en) | Air-conditioning apparatus | |
JP5107379B2 (en) | Control method and dehumidification system of dew point temperature in low dew point chamber | |
JP6253459B2 (en) | Ventilator for air conditioning | |
CN106786052A (en) | A kind of easy heat radiation damp-proof transformation cabinet | |
JP5116819B2 (en) | Method and system for controlling dew point temperature in local low dew point chamber | |
WO2017206114A1 (en) | Power box for electrical engineering | |
KR101542430B1 (en) | Under floor air distribution system | |
KR101575135B1 (en) | Fume hood system for laboratory using sliding door | |
JP2012241350A (en) | Building | |
JP2014173826A (en) | Total heat exchange type ventilation device | |
KR102152266B1 (en) | Dew point temperature management apparatus of dry room | |
JP4852635B2 (en) | Air temperature controller fan control method and air temperature controller | |
US20170130983A1 (en) | Outside air distribution system | |
JP5217701B2 (en) | Air conditioning system | |
JP2016056988A (en) | Control system for controlling air conditioning system and air conditioning system | |
US20110263192A1 (en) | Attic Ventilation System | |
JP2013081900A (en) | Dry room device | |
JP6961161B2 (en) | Cabinet for solid material containers | |
JP2010276274A (en) | Bathroom drying and heating device | |
KR102575089B1 (en) | Air conditioning system | |
WO2020202907A1 (en) | Dry room and method for controlling same | |
CA2809856C (en) | Energy recovery ventilation smoke evacuation |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120629 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120629 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120822 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120925 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121016 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5116819 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151026 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |