JP5115030B2

JP5115030B2 - Metal plate cleaning method and apparatus, and metal plate cleaning nozzle

Info

Publication number: JP5115030B2
Application number: JP2007141400A
Authority: JP
Inventors: 純二深川
Original assignee: Nakamura Choukou Co Ltd
Current assignee: Nakamura Choukou Co Ltd
Priority date: 2007-05-29
Filing date: 2007-05-29
Publication date: 2013-01-09
Anticipated expiration: 2027-05-29
Also published as: JP2008297566A

Description

本発明は、印刷配線基板に対してクリーム半田を印刷するために用いたメタル版の洗浄方法及び洗浄装置並びにメタル版洗浄用の噴射ノズルに関する。 The present invention relates to a metal plate cleaning method and apparatus used for printing cream solder on a printed wiring board, and a metal plate cleaning spray nozzle.

従来、印刷配線基板の半田付け部位にクリーム半田を塗着させる方法として、ステンレスやニッケル等からなるメタル版を用いたスクリーン印刷法により、クリーム半田を印刷して塗着させる方法が広く採用されている。ところが、このスクリーン印刷法によりクリーム半田を印刷する場合には、経時変化によりクリーム半田の溶剤が揮散して、クリーム半田が徐々に固化することから、印刷作業を行っているうちに、クリーム半田がメタル版の印刷パターンの穴内面、特に穴の端部内面に固化して堆積し、メタル版が目詰まりを起こして、所望の印刷品質が得られなくなるという問題が発生する。このため、印刷に用いたメタル版は、設定時間毎に洗浄して、穴内面に堆積したクリーム半田の固化物を除去している。このようなメタル版の洗浄装置としては、洗浄ノズルから洗浄液を高圧で噴き付けてメタル版を洗浄する洗浄装置（例えば、特許文献１参照。）や、超音波振動子で洗浄液を振動させながらメタル版を洗浄する洗浄装置（例えば、特許文献１参照。）などが提案されている。 Conventionally, as a method of applying cream solder to a soldered portion of a printed wiring board, a method of printing and applying cream solder by a screen printing method using a metal plate made of stainless steel or nickel has been widely adopted. Yes. However, when cream solder is printed by this screen printing method, the solvent of the cream solder is volatilized over time and the cream solder is gradually solidified. There is a problem in that the metal plate is solidified and deposited on the inner surface of the hole of the printing pattern of the metal plate, particularly the inner surface of the end of the hole, and the metal plate is clogged, and a desired print quality cannot be obtained. For this reason, the metal plate used for printing is washed every set time to remove the solidified product of cream solder deposited on the inner surface of the hole. As such a metal plate cleaning device, a cleaning device that sprays a cleaning liquid from a cleaning nozzle at a high pressure to clean the metal plate (for example, see Patent Document 1), or a metal that vibrates the cleaning liquid with an ultrasonic vibrator. A cleaning device for cleaning a plate (see, for example, Patent Document 1) has been proposed.

前記特許文献１記載の洗浄装置では、ホルダに対してメタル版を縦向きに固定し、１対の洗浄ノズルでメタル版の表裏両面に対して洗浄液を噴き付けながら、ホルダを上下方向にスライド移動させて、メタル版を洗浄するように構成している。また、メタル版、及びこれを支持するホルダ、及び洗浄ノズルはケーシングにより全体が覆われており、更に、このケーシングの下方には、ロート状の仕切り板が形成されており、洗浄ノズルより噴射された洗浄液は、メタル版を洗浄した後、仕切り板を介して、タンクに回収できるように構成されている。 In the cleaning device described in Patent Document 1, the metal plate is fixed vertically with respect to the holder, and the holder is slid up and down while spraying cleaning liquid onto both the front and back surfaces of the metal plate with a pair of cleaning nozzles. And the metal plate is cleaned. The metal plate, the holder that supports the metal plate, and the washing nozzle are entirely covered with a casing. Further, a funnel-shaped partition plate is formed below the casing, and is ejected from the washing nozzle. After the metal plate is cleaned, the cleaning liquid can be collected in the tank through the partition plate.

前記特許文献２記載の洗浄装置では、超音波振動子を取り付けた縦向きの振動板に対して、メタル版を略平行に且つ僅かな隙間をあけて配置させ、超音波振動子により振動板を振動させながら、振動板とメタル版間に洗浄液を流下させ、メタル版を超音波洗浄するように構成されている。 In the cleaning apparatus described in Patent Document 2, a metal plate is disposed substantially in parallel with a slight gap with respect to a longitudinal vibration plate to which an ultrasonic vibrator is attached, and the vibration plate is placed by the ultrasonic vibrator. While vibrating, the cleaning liquid is caused to flow between the diaphragm and the metal plate, and the metal plate is ultrasonically cleaned.

一方、水または電解質水溶液を電気分解して、水素イオン指数がｐＨ９以上、１２以下の電解アルカリ水を生成し、これを加圧して、機械部品、電気部品、自動車、建築物外壁、土木構造物表面などの洗浄対象物に対して、ノズルで噴き付けて、洗浄対象物を洗浄する洗浄装置が提案されている（例えば、特許文献３参照。）。 On the other hand, water or electrolyte aqueous solution is electrolyzed to produce electrolytic alkaline water having a hydrogen ion index of pH 9 or more and 12 or less, and this is pressurized to mechanical parts, electrical parts, automobiles, building outer walls, civil engineering structures. There has been proposed a cleaning device that cleans an object to be cleaned, such as a surface, by spraying the object with a nozzle (see, for example, Patent Document 3).

また、基板の表面上に付着している汚染物を除去する洗浄装置として、液滴を基板に向けて噴出する噴射ノズルと、噴射ノズルに接続され、該噴射ノズル内に液体を供給する液体供給手段と、噴射ノズルに接続され、該噴射ノズル内に気体を供給するガス供給手段と、噴射ノズル内に設けられ、該噴射ノズル内に供給された液体と気体とを混合し、液体を液滴に変える混合手段と、を備えたものが提案されている（例えば、特許文献４参照。）。 Also, as a cleaning device for removing contaminants adhering to the surface of the substrate, an ejection nozzle that ejects droplets toward the substrate, and a liquid supply that is connected to the ejection nozzle and supplies liquid into the ejection nozzle Means, gas supply means connected to the injection nozzle and supplying gas into the injection nozzle, liquid provided in the injection nozzle and mixed with the liquid and gas, and the liquid droplets And a mixing means that changes to (2) have been proposed (see, for example, Patent Document 4).

特開平１０−７１７０５号公報JP-A-10-71705 特開２０００−１０７７１１号公報JP 2000-107711 A 特開２００１−３２７９３４号公報JP 2001-327934 A 特開平８−３１８１８１号公報JP-A-8-318181

ところで、前記特許文献１記載の洗浄装置では、グリコール系もしくはアルコール系の有機溶剤を洗浄ノズルから大量に噴射するためランニングコストが高くなるだけでなく、排液を産業廃棄物として取り扱わねばならず環境負荷が非常に大きいという問題点があった。また、有機溶剤は強い臭気をともなうため、作業者の身体にかかる負荷も少なくはなく作業環境の改善が望まれている。一方、特許文献２では、使用する洗浄液を大幅に少なくできるが、洗浄液として、特許文献１と同様にグリコール系もしくはアルコール系の有機溶剤を用いる必要があり、やはり排液を産業廃棄物として取り扱わねばならず環境負荷が大きくなってしまうという問題があった。 By the way, in the cleaning apparatus described in Patent Document 1, not only the running cost is increased because a large amount of glycol-based or alcohol-based organic solvent is injected from the cleaning nozzle, but the drainage must be handled as industrial waste. There was a problem that the load was very large. In addition, since organic solvents have a strong odor, the load on the worker's body is not small and improvement of the working environment is desired. On the other hand, in Patent Document 2, the cleaning liquid to be used can be significantly reduced. However, it is necessary to use a glycol-based or alcohol-based organic solvent as the cleaning liquid as in Patent Document 1, and the waste liquid must be handled as industrial waste. There was a problem that the environmental load became large.

また、メタル版の洗浄方法として、特許文献１、２に記載されている方法以外にも、溶剤に浸した布紙等による清拭や、エアーガンを用いて吹き飛ばす方式や、吸引ノズルで吸い取る方式なども用いられているが、近年では印刷配線基板のピッチが非常に狭くなっており、これに伴いメタル版の印刷パターンの穴も０．２２ｍｍ幅や０．１４ｍｍ幅といったように非常に狭くなっているため、これらの洗浄方法では、印刷パターンの穴内に残った半田を完全に除去することが困難になっている。 In addition to the methods described in Patent Documents 1 and 2, the metal plate cleaning method includes wiping with a cloth dipped in a solvent, a method of blowing off using an air gun, a method of sucking with a suction nozzle, etc. In recent years, however, the pitch of printed wiring boards has become very narrow, and along with this, the holes in the printed pattern of metal plates have become very narrow, such as 0.22 mm width and 0.14 mm width. Therefore, in these cleaning methods, it is difficult to completely remove the solder remaining in the printed pattern hole.

一方、特許文献３記載のように、電解アルカリ水を用いた洗浄方法や、特許文献４記載のように、ノズル内で空気と洗浄液とを混合し、ノズルから高速の液滴を噴射して洗浄する洗浄方法は、メタル版の洗浄方法としては未だ採用されておらず、０．２２ｍｍ幅や０．１４ｍｍ幅の印刷パターンの穴を有するメタル版を効果的且つ効率的に洗浄可能な洗浄方法は未だ確立されていないのが実状である。 On the other hand, as described in Patent Document 3, a cleaning method using electrolytic alkaline water, or as described in Patent Document 4, air and cleaning liquid are mixed in a nozzle, and high-speed droplets are ejected from the nozzle for cleaning. This cleaning method has not yet been adopted as a cleaning method for metal plates, and a cleaning method capable of effectively and efficiently cleaning metal plates having printed pattern holes of 0.22 mm width or 0.14 mm width is not available. The reality is that it has not been established yet.

本発明の目的は、グリコール系やアルコール系の有機溶剤を使用せず、環境負荷の少ない安価な洗浄方法であり、かつ０．２２ｍｍ幅や０．１４ｍｍ幅といった非常に狭い幅の印刷パターンの穴をも綺麗に洗浄可能なメタル版の洗浄方法及び洗浄装置並びメタル版洗浄用の噴射ノズルを提供することである。 An object of the present invention is an inexpensive cleaning method that does not use a glycol-based or alcohol-based organic solvent, has a low environmental load, and has a very narrow width of printed pattern such as 0.22 mm width or 0.14 mm width. The present invention also provides a metal plate cleaning method, a cleaning apparatus, and a jet nozzle for cleaning a metal plate that can be cleaned cleanly.

本発明者は、アルカリ性水が油分を鹸化・分散する能力を有するとともに、イオン交換水や有機溶剤に比べると微細粒化し易い性質を有し、しかも廃液が環境負荷にならないことに着目して、アルカリ性水をメタル版の印刷パターンの穴よりも小径にまで微細粒化して高速でメタル版に噴き付けることで、印刷パターンの穴内に付着した半田に対してアルカリ性水の微粒子を直接的に衝突させて、メタル版を効果的且つ効率的に洗浄できるとの発想を得て、本発明を完成するに至った。 The inventor of the present invention pays attention to the fact that alkaline water has the ability to saponify and disperse oil, has the property of being easily finely granulated compared to ion-exchanged water and organic solvents, and the waste liquid does not become an environmental burden. Alkaline water is atomized to a diameter smaller than the hole in the printing pattern of the metal plate and sprayed onto the metal plate at high speed, so that the alkaline water particles directly collide with the solder adhering to the hole in the printing pattern. Thus, the idea that the metal plate can be effectively and efficiently cleaned was obtained, and the present invention was completed.

本発明に係るメタル版の洗浄方法は、印刷配線基板に対してクリーム半田を印刷するために用いたメタル版の洗浄方法であって、圧縮空気とアルカリ性水とを、その体積比率が５００：１〜７００：１になるように、噴射ノズル内において混合して、前記アルカリ性水を微細粒化しながら、この微細粒化したアルカリ性水を噴射ノズルからメタル版に向けて高速で噴き付けてメタル版を洗浄するものである。尚、本発明において、アルカリ性水とは、アルカリ電解水やアルカリイオン水からなるｐＨが７．５以上の水を意味する。 The metal plate cleaning method according to the present invention is a metal plate cleaning method used for printing cream solder on a printed wiring board , and the volume ratio of compressed air and alkaline water is 500: 1. The mixture is mixed in the injection nozzle so as to be ˜700: 1, and the alkaline water is atomized from the injection nozzle toward the metal plate at high speed while finely pulverizing the alkaline water. It is to be washed. In the present invention, the alkaline water, or Ranaru pH A alkaline electrolyzed water and alkaline ionized water means 7.5 or more water.

この洗浄方法では、噴射ノズル内においてアルカリ性水が圧縮空気と混合されて、印刷パターンの穴を通過可能な大きさにまで微細粒化された状態で、噴射ノズルから噴き出されるので、微細粒化したアルカリ性水をエネルギーロスなく印刷パターン内部の半田ボールやフラックスに衝突させて、半田ボールやフラックスを効果的且つ効率的に除去することが可能となる。また、アルカリ性水には油分を鹸化・分散する能力があるため、フラックスを鹸化、分散し洗浄しやすくする効果があり、これによりメタル版に付着したフラックスや印刷パターンの穴内のフラックスが、一層効率的且つ綺麗に除去されることになる。しかも、有機溶剤を使用しないでアルカリ性水のみで洗浄するので、洗浄後の廃液は、産業廃棄物として取り扱う必要がなく、環境負荷を著しく低減することができ、また有機溶剤に比べ臭気がないので作業環境も改善することができる。また、アルカリ性水は有機溶剤のように揮発性がないために常時補充する必要がなく、洗浄後も水洗いし乾燥させるだけでよいのでランニングコストも安価である。更に、アルカリ性水は前述したようにイオン交換水や有機溶剤に比べると微細化されやすいという性質を有しており、０．２２ｍｍ幅や０．１４ｍｍ幅といった非常に狭い印刷パターンの穴よりも小径に微細粒化できるので、穴内の半田およびフラックスを効率的に除去できる。また、前記圧縮空気と前記アルカリ性水の体積比率を５００：１〜７００：１に設定しているので、十分な洗浄効果が得られる。つまり、圧縮空気の体積比率が大きい場合には、半田に衝突するアルカリ性水の量が少なくなってしまうため十分な洗浄力が得られず、半田とフラックスを印刷パターンから完全に除去するためには、長時間の洗浄が必要となってしまう。また圧縮空気の体積比率が少なすぎる場合には、アルカリ性水を十分に微細粒化することができないため、０．２２ｍｍ幅や０．１４ｍｍ幅といった非常に狭い幅ではアルカリ性水の粒が印刷パターンの穴を通り抜けることができず、十分な洗浄効果を得ることができない。また、同じく、圧縮空気の体積比率が少なすぎる場合には、噴射したアルカリ性水が、メタル版表面で水膜を形成し、新たな粒子の衝突を妨げてしまうという現象が発生し、洗浄効果が低減してしまう。 In this cleaning method, alkaline water is mixed with compressed air in the spray nozzle and sprayed from the spray nozzle in a state of being atomized to a size that can pass through the holes in the print pattern. It is possible to effectively and efficiently remove the solder balls and flux by causing the alkaline water thus made to collide with the solder balls and flux inside the printed pattern without energy loss. In addition, alkaline water has the ability to saponify and disperse oil, so it has the effect of saponifying and dispersing the flux to make it easier to clean. This makes flux attached to the metal plate and flux in the holes of the printed pattern more efficient. It will be removed properly and neatly. Moreover, since it is washed only with alkaline water without using an organic solvent, the waste liquid after washing does not need to be handled as industrial waste, can significantly reduce the environmental burden, and has no odor compared to organic solvents. The working environment can also be improved. In addition, since alkaline water is not volatile like organic solvents, it does not need to be replenished at all times, and since it only needs to be washed and dried after washing, the running cost is low. Furthermore, as described above, alkaline water has the property that it is more easily miniaturized than ion-exchanged water and organic solvents, and has a smaller diameter than holes of very narrow print patterns such as 0.22 mm width and 0.14 mm width. Therefore, solder and flux in the hole can be efficiently removed. Moreover, since the volume ratio of the compressed air and the alkaline water is set to 500: 1 to 700: 1, a sufficient cleaning effect can be obtained. In other words, when the volume ratio of compressed air is large, the amount of alkaline water that collides with the solder is reduced, so that sufficient cleaning power cannot be obtained, and in order to completely remove the solder and flux from the printed pattern Long-term cleaning is required. In addition, when the volume ratio of compressed air is too small, alkaline water cannot be sufficiently finely granulated. Therefore, in a very narrow width such as 0.22 mm width or 0.14 mm width, alkaline water particles are not printed. It cannot pass through the hole and a sufficient cleaning effect cannot be obtained. Similarly, when the volume ratio of the compressed air is too small, the sprayed alkaline water forms a water film on the surface of the metal plate, which causes a phenomenon in which collision of new particles occurs, resulting in a cleaning effect. It will be reduced.

ここで、前記洗浄方法において、前記アルカリ性水の水素イオン指数をｐＨ＝１０．５〜１２．０に設定することが好ましい実施の形態である。即ち、ｐＨが高すぎると、半田やメタル版の金属部分が腐食されてしまい、ｐＨが低すぎると長時間の洗浄が必要となってしまい、排液処理やランニングコストを考えると好ましくないので、ｐＨは１０．５以上１２．０以下に設定することが好ましい。 Here, in the said washing | cleaning method, it is preferable embodiment to set the hydrogen ion index | exponent of the said alkaline water to pH = 10.5-12.0. That is, if the pH is too high, the metal part of the solder and the metal plate will be corroded, and if the pH is too low, cleaning for a long time is required, which is not preferable in view of drainage treatment and running costs. The pH is preferably set to 10.5 or more and 12.0 or less.

前記噴射ノズルの先端部とメタル版間の距離を３〜８ｍｍに設定することも好ましい実施の形態である。噴射ノズルの先端部とメタル版間の距離が長すぎると、アルカリ性水の衝突エネルギーをメタル版に付着したクリーム半田に十分に作用させることができず、また短すぎると、メタル版で跳ね返ったアルカリ性水との衝突により、洗浄効率が低下するので、噴射ノズルの先端部とメタル版間の距離は３〜８ｍｍに設定することが好ましい。 It is also a preferred embodiment that the distance between the tip of the spray nozzle and the metal plate is set to 3 to 8 mm. If the distance between the tip of the spray nozzle and the metal plate is too long, the impact energy of alkaline water cannot be applied sufficiently to the cream solder adhering to the metal plate, and if it is too short, the alkali will bounce off the metal plate. Since the cleaning efficiency decreases due to collision with water, the distance between the tip of the spray nozzle and the metal plate is preferably set to 3 to 8 mm.

本発明に係るメタル版の洗浄装置は、印刷配線基板に対してクリーム半田を印刷するために用いたメタル版の洗浄装置であって、アルカリ性水を加圧供給するアルカリ性水供給手段と、圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段と、前記両供給手段から供給されるアルカリ性水と圧縮空気とを混合して、前記アルカリ性水を微細粒化した状態で噴射可能な噴射ノズルと、この噴射ノズルをメタル版に沿って相対移動させる移動手段を有し、微細粒化したアルカリ性水を噴射ノズルからメタル版に向けて高速で噴き付けながら、移動手段により噴射ノズルをメタル版に沿って相対移動させ、メタル版を順次洗浄する洗浄装置本体とを備えたものである。 A metal plate cleaning device according to the present invention is a metal plate cleaning device used for printing cream solder on a printed wiring board, and includes alkaline water supply means for supplying alkaline water under pressure, and compressed air. Compressed air supply means for supplying water, alkaline water supplied from both supply means and compressed air, and a jet nozzle capable of jetting the alkaline water in a state of being atomized. It has a moving means for relatively moving along the plate, and the fine nozzle alkaline water is sprayed from the spray nozzle toward the metal plate at a high speed while the spray nozzle is relatively moved along the metal plate by the moving means. And a cleaning device main body for sequentially cleaning the plates.

この洗浄装置では、アルカリ性水供給手段から供給されるアルカリ性水と、圧縮空気供給手段から供給される圧縮空気とを、噴射ノズル内において混合して、噴射ノズルから微細粒化したアルカリ性水をメタル版に向けて高速で噴き付けてメタル版を洗浄するので、前記洗浄方法と同様の作用効果が得られる。 In this cleaning apparatus, alkaline water supplied from the alkaline water supply means and compressed air supplied from the compressed air supply means are mixed in the injection nozzle, and the alkaline water micronized from the injection nozzle is mixed with the metal plate. Since the metal plate is washed by spraying at a high speed toward the surface, the same effect as the washing method can be obtained.

ここで、前記アルカリ性水供給手段として、水道水から軟水を生成する軟水生成手段と、軟水生成手段によって生成された軟水からアルカリ性水を生成するアルカリ性水生成手段と、アルカリ性水生成手段によって生成されたアルカリ性水を加圧するアルカリ性水加圧手段とを備えたものを用いることが好ましい実施の形態である。市販されているアルカリ性水を加圧供給することも可能であるが、多量のアルカリ性水を備蓄する必要があるので、本発明のように水道水からアルカリ性水を生成するように構成することが好ましい。 Here, the alkaline water supply means is generated by soft water generation means for generating soft water from tap water, alkaline water generation means for generating alkaline water from soft water generated by the soft water generation means, and alkaline water generation means. It is a preferred embodiment to use one provided with alkaline water pressurizing means for pressurizing alkaline water. Although it is possible to pressurize and supply commercially available alkaline water, it is necessary to store a large amount of alkaline water. Therefore, it is preferable that the alkaline water is generated from tap water as in the present invention. .

前記洗浄装置本体に、メタル版に対して中性水を噴射する中性水噴射手段を設けることができる。メタル版にアルカリ性水が残留すると、腐食等の原因になるので、本発明のように、中性水噴射手段を設けて、アルカリ性水で洗浄処理した後のメタル版を中性水で洗浄することが好ましい。 The washing apparatus main body can be provided with neutral water jetting means for jetting neutral water onto the metal plate. If alkaline water remains in the metal plate, it may cause corrosion, etc., so as in the present invention, a neutral water jet means is provided and the metal plate after being washed with alkaline water is washed with neutral water. Is preferred.

前記洗浄装置本体に、メタル版に対して中性水を噴射する中性水噴射手段を設け、前記中性水として、前記軟水生成手段から生成された軟水、または前記アルカリ性水生成手段から排出される中性水を用いることもできる。この場合には、水道水からアルカリ性水を生成するための、軟水生成手段からの軟水やアルカリ性水生成手段から排出される中性水を有効利用して、アルカリ性水で洗浄処理した後のメタル版を中性水で洗浄することができる。 The cleaning apparatus main body is provided with neutral water injection means for injecting neutral water onto the metal plate, and the neutral water is discharged from the soft water generated from the soft water generation means or from the alkaline water generation means. Neutral water can also be used. In this case, to produce alkaline water from tap water, effectively use the soft water from the soft water producing means and the neutral water discharged from the alkaline water producing means, and the metal plate after washing with alkaline water Can be washed with neutral water.

前記メタル版を挟んでその両側に１対の噴射ノズルを設けることも好ましい実施の形態である。メタル版を片面ずつ洗浄することも可能であるが、メタル版を挟んでその両側に１対の噴射ノズルを設けて、メタル版の表裏面に向けてアルカリ性水を同時に噴き付けて洗浄すると、メタル版の洗浄効率を高めることができるので好ましい。また、この場合には、前記１対の噴射ノズルによるアルカリ性水の噴き付け位置をずらして、両噴射ノズルから噴射したアルカリ性水同士が衝突することによる洗浄効率の低下を防止することが好ましい。噴き付け位置をずらす方法としては、１対の噴射ノズルにおけるアルカリ性水の噴射角度を異なる角度に設定して噴き付け位置をずらすこともできるし、噴射角度を同じに設定しつつ、噴射ノズルの位置をＸ軸方向或いはＹ軸方向へシフトさせて噴き付け位置をずらすこともできるし、両者を組み合わせて噴き付け位置をずらすこともできる。最も好ましい方法としては、１対の噴射ノズルの噴き付け方向をメタル版と直交方向に設定しつつ、噴射ノズルの位置をＸ軸方向或いはＹ軸方向へシフトさせて噴き付け位置をずらすことが好ましい。 It is also a preferred embodiment to provide a pair of spray nozzles on both sides of the metal plate. It is possible to wash the metal plate one side at a time, but if a pair of spray nozzles are provided on both sides of the metal plate and alkaline water is simultaneously sprayed toward the front and back surfaces of the metal plate, This is preferable because the cleaning efficiency of the plate can be increased. Further, in this case, it is preferable that the spraying position of the alkaline water by the pair of spray nozzles is shifted to prevent the cleaning efficiency from being lowered due to the collision of the alkaline water sprayed from both spray nozzles. As a method of shifting the spraying position, the spraying position can be shifted by setting the spraying angle of the alkaline water in the pair of spraying nozzles to different angles. Can be shifted in the X-axis direction or the Y-axis direction to shift the spraying position, or the spraying position can be shifted by combining both. As the most preferable method, it is preferable to shift the spray position by shifting the position of the spray nozzle in the X-axis direction or the Y-axis direction while setting the spray direction of the pair of spray nozzles in a direction orthogonal to the metal plate. .

前記噴射ノズルの噴射口をアスペクト比４０以上の長穴形状に形成することも好ましい実施の形態である。噴射口は円形に形成することも可能であるが、大面積のメタル版を短時間で洗浄処理できるように、噴射口をアスペクト比４０以上の長穴形状に形成することが好ましい。 It is also a preferred embodiment that the injection port of the injection nozzle is formed into a long hole shape with an aspect ratio of 40 or more. The injection port can be formed in a circular shape, but it is preferable to form the injection port in a long hole shape with an aspect ratio of 40 or more so that a large area metal plate can be cleaned in a short time.

前記アルカリ性水の水素イオン指数をｐＨ＝１０．５〜１２．０に設定することも好ましい実施の形態である。即ち、ｐＨが高すぎると、半田やメタル版の金属部分が腐食されてしまい、ｐＨが低すぎると長時間の洗浄が必要となってしまい、排液処理やランニングコストを考えると好ましくないので、ｐＨは１０．５以上１２．０以下に設定することが好ましい。 It is also a preferred embodiment to set the hydrogen ion index of the alkaline water to pH = 10.5 to 12.0. That is, if the pH is too high, the metal part of the solder and the metal plate will be corroded, and if the pH is too low, cleaning for a long time is required, which is not preferable in view of drainage treatment and running costs. The pH is preferably set to 10.5 or more and 12.0 or less.

前記圧縮空気と前記アルカリ性水の体積比率を５００：１〜７００：１に設定することも好ましい実施の形態である。つまり、圧縮空気の体積比率が大きい場合には、半田に衝突するアルカリ性水の量が少なくなってしまうため十分な洗浄力が得られず、半田とフラックスを印刷パターンから完全に除去するためには、長時間の洗浄が必要となってしまう。また圧縮空気の体積比率が少なすぎる場合には、アルカリ性水を十分に微細粒化することができないため、０．２２ｍｍ幅や０．１４ｍｍ幅といった非常に狭い幅ではアルカリ性水の粒が印刷パターンの穴を通り抜けることができず、十分な洗浄効果を得ることができない。また、同じく、圧縮空気の体積比率が少なすぎる場合には、噴射したアルカリ性水が、メタル版表面で水膜を形成し、新たな粒子の衝突を妨げてしまうという現象が発生し、洗浄効果が低減してしまうという問題もある。 It is also a preferred embodiment to set the volume ratio of the compressed air and the alkaline water to 500: 1 to 700: 1. In other words, when the volume ratio of compressed air is large, the amount of alkaline water that collides with the solder is reduced, so that sufficient cleaning power cannot be obtained, and in order to completely remove the solder and flux from the printed pattern Long-term cleaning is required. In addition, when the volume ratio of compressed air is too small, alkaline water cannot be sufficiently finely granulated. Therefore, in a very narrow width such as 0.22 mm width or 0.14 mm width, alkaline water particles are not printed. It cannot pass through the hole and a sufficient cleaning effect cannot be obtained. Similarly, when the volume ratio of the compressed air is too small, the sprayed alkaline water forms a water film on the surface of the metal plate, which causes a phenomenon in which collision of new particles occurs, resulting in a cleaning effect. There is also a problem of reduction.

本発明に係るメタル版洗浄用の噴射ノズルは、圧縮空気の流通路とアルカリ性水の流通路とを形成したノズルボディと、ノズルボディの先端部に着脱自在に取り付けたノズルキャップとを有し、ノズルキャップの先端部に噴射口を形成し、ノズルボディの先端部に噴射口へ向けて突出する隔壁を形成し、この隔壁によりノズルボディとノズルキャップ間の空間を、隔壁両側の第１空間と、隔壁よりも先端側の第２空間の３つの空間に区画し、１対の第１空間と第２空間とを隔壁の先端部とノズルキャップ間に形成した絞り隙間を介して連通させ、圧縮空気の流通路を１対の第１空間にそれぞれ開口させるとともに、アルカリ性水の流通路を隔壁の先端部から第２空間に開口させ、第２空間内においてアルカリ性水と圧縮空気とを混合して、アルカリ性水を微細粒化するものである。 The jet nozzle for cleaning a metal plate according to the present invention has a nozzle body in which a compressed air flow path and an alkaline water flow path are formed, and a nozzle cap that is detachably attached to the tip of the nozzle body, An injection port is formed at the tip portion of the nozzle cap, and a partition wall protruding toward the injection port is formed at the tip portion of the nozzle body. With this partition wall, the space between the nozzle body and the nozzle cap is separated from the first space on both sides of the partition wall. The first space and the second space are partitioned into three spaces, the second space on the tip side of the partition wall, and the pair of the first space and the second space are communicated via a narrowing gap formed between the tip portion of the partition wall and the nozzle cap. An air flow passage is opened in each of the pair of first spaces, an alkaline water flow passage is opened from the tip of the partition wall to the second space, and the alkaline water and the compressed air are mixed in the second space. A Cali of water containing fine grained.

この噴射ノズルでは、圧縮空気は、ノズルボディ内部の流通路を通って隔壁両側の第１空間へ供給され、第１空間から絞り隙間を通って音速に近い速度まで加速されながら第２空間へ供給される。一方、アルカリ性水は、隔壁に形成した流通路を通って隔壁よりも先端側の第２空間へ供給され、第２空間内において高速の圧縮空気と混合されて、微細粒化され、噴射口から圧縮空気とともに噴出される。そして、この噴射口から噴出する微細粒化された高速のアルカリ性水をメタル版へ向けて噴き付けて、メタル版を洗浄することになる。このため、この噴射ノズルでは、前記洗浄方法と同様の作用効果が得られる。 In this jet nozzle, the compressed air is supplied to the first space on both sides of the partition wall through the flow passage inside the nozzle body, and supplied to the second space while being accelerated from the first space through the throttle gap to a speed close to the speed of sound. Is done. On the other hand, the alkaline water is supplied to the second space on the tip side of the partition through the flow passage formed in the partition, is mixed with high-speed compressed air in the second space, is finely granulated, and is discharged from the injection port. It is ejected with compressed air. Then, the finely granulated high-speed alkaline water ejected from the injection port is sprayed toward the metal plate to wash the metal plate. For this reason, in this injection nozzle, the same effect as the said washing | cleaning method is acquired.

ここで、前記噴射ノズルにおいて、前記噴射口をアスペクト比４０以上の長穴形状に形成することもできる。噴射口は円形に形成することも可能であるが、大面積のメタル版を短時間で洗浄処理できるように、噴射口をアスペクト比４０以上の長穴形状に形成することが好ましい。 Here, in the spray nozzle, the spray port may be formed in an elongated hole shape having an aspect ratio of 40 or more. The injection port can be formed in a circular shape, but it is preferable to form the injection port in a long hole shape with an aspect ratio of 40 or more so that a large area metal plate can be cleaned in a short time.

本発明に係るメタル版の洗浄方法及び洗浄装置並びにメタル版洗浄用の噴射ノズルによれば、噴射ノズル内においてアルカリ性水が圧縮空気と混合されて、印刷パターンの穴を通過可能な大きさにまで微細粒化された状態で、噴射ノズルから噴き出されるので、微細粒化したアルカリ性水をエネルギーロスなく印刷パターン内部の半田ボールやフラックスに衝突させて、半田やフラックスを効果的且つ効率的に除去することが可能となる。また、アルカリ性水には油分を鹸化・分散する能力があるため、フラックスを鹸化、分散し洗浄しやすくする効果があり、これによりメタル版に付着したフラックスや印刷パターンの穴内のフラックスが、一層効率的に且つ綺麗に除去されることになる。しかも、有機溶剤を使用しないでアルカリ性水のみで洗浄するので、洗浄後の廃液は、産業廃棄物として取り扱う必要がなく、環境負荷を著しく低減することができ、また有機溶剤に比べ臭気がないので作業環境も改善することができる。また、アルカリ性水は有機溶剤のように揮発性がないために常時補充する必要がなく、洗浄後も水洗いし乾燥させるだけでよいのでランニングコストも安価である。更に、アルカリ性水は前述したようにイオン交換水や有機溶剤に比べると微細化されやすいという性質を有しており、０．２２ｍｍ幅や０．１４ｍｍ幅といった非常に狭い印刷パターンの穴よりも小径に微細粒化できるので、穴内の半田およびフラックスを効率的に除去できる。 According to the metal plate cleaning method and apparatus and the metal plate cleaning spray nozzle according to the present invention, the alkaline water is mixed with the compressed air in the spray nozzle so that it can pass through the holes of the printing pattern. Since it is ejected from the spray nozzle in a finely divided state, the finely divided alkaline water collides with the solder balls and flux inside the printed pattern without energy loss, and the solder and flux are effectively and efficiently removed. It becomes possible to do. In addition, alkaline water has the ability to saponify and disperse oil, so it has the effect of saponifying and dispersing the flux to make it easier to clean. And will be removed neatly. Moreover, since it is washed only with alkaline water without using an organic solvent, the waste liquid after washing does not need to be handled as industrial waste, can significantly reduce the environmental burden, and has no odor compared to organic solvents. The working environment can also be improved. In addition, since alkaline water is not volatile like organic solvents, it does not need to be replenished at all times, and since it only needs to be washed and dried after washing, the running cost is low. Furthermore, as described above, alkaline water has the property that it is more easily miniaturized than ion-exchanged water and organic solvents, and has a smaller diameter than holes of very narrow print patterns such as 0.22 mm width and 0.14 mm width. Therefore, solder and flux in the hole can be efficiently removed.

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
図１、図２に示すように、メタル版洗浄装置１０は、微細粒化したアルカリ性水をメタル版１に対して噴き付けて、メタル版１を洗浄する洗浄装置本体１１と、アルカリ性水を供給するアルカリ性水供給装置３０とを備えている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIGS. 1 and 2, the metal plate cleaning device 10 sprays finely divided alkaline water onto the metal plate 1 to supply the cleaning device body 11 for cleaning the metal plate 1 and alkaline water. The alkaline water supply device 30 is provided.

洗浄装置本体１１のハウジング１２内には枠状の固定フレーム１３が鉛直方向に対して上端側を後方へ約２５°傾斜させて設けられ、メタル版１はこの固定フレーム１３に着脱自在に取り付けられる。固定フレーム１３に取り付けられたメタル版１を挟んでその前後両側には、メタル版１に対してアルカリ性水を噴射するための１対のアルカリ性水噴射ノズル１４が対向状に設けられ、両アルカリ性水噴射ノズル１４は、図示外の移動手段により、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにそれぞれ連動して移動可能に支持されている。移動手段としては、任意の構成のものを採用することができ、例えばＸ軸方向及びＹ軸方向へのガイドロッドと、Ｘ軸方向及びＹ軸方向への移動用のモーターとを備えたものを採用できる。 A frame-like fixed frame 13 is provided in the housing 12 of the cleaning apparatus main body 11 with the upper end side inclined backward by about 25 ° with respect to the vertical direction, and the metal plate 1 is detachably attached to the fixed frame 13. . A pair of alkaline water injection nozzles 14 for injecting alkaline water to the metal plate 1 are provided on both sides of the metal plate 1 attached to the fixed frame 13 so as to face each other. The injection nozzle 14 is supported by a moving means (not shown) so as to be movable in conjunction with the X-axis direction and the Y-axis direction. As the moving means, it is possible to adopt any configuration, for example, one having a guide rod in the X-axis direction and the Y-axis direction and a motor for moving in the X-axis direction and the Y-axis direction. Can be adopted.

前後のアルカリ性水噴射ノズル１４は、図２に示すように、アルカリ性水の噴出し方向をメタル版１にそれぞれ直交させ、アルカリ性水の噴き付け位置をＸ軸方向に一定距離Ｓだけずらして対向して設けられている。これにより、前後のアルカリ性水噴射ノズル１４から噴出したアルカリ性水同士が衝突したり干渉したりすることを防止して、洗浄効果の低下を防止できるとともに、片方のノズル１４から噴射したアルカリ性水で除去できなかった半田５やフラックス４（図７、図８参照）を、他方のノズル１４から噴射したアルカリ性水によって除去できるように構成されている。アルカリ性水噴射ノズル１４の先端部とメタル版１間の距離Ｇは、３〜８ｍｍに設定されている。アルカリ性水噴射ノズル１４の先端部とメタル版１間の距離Ｇが長すぎると、アルカリ性水の衝突エネルギーをメタル版１に付着した半田５やフラックス４に十分に作用させることができず、また短すぎると、メタル版１で跳ね返ったアルカリ性水との衝突により、洗浄効率が低下するので、アルカリ性水噴射ノズル１４の先端部とメタル版１間の距離Ｇは３〜８ｍｍに設定することが好ましい。 As shown in FIG. 2, the front and rear alkaline water injection nozzles 14 are opposed to each other with the alkaline water ejection direction orthogonal to the metal plate 1 and the alkaline water ejection position shifted by a certain distance S in the X-axis direction. Is provided. Thereby, it is possible to prevent the alkaline water jetted from the front and rear alkaline water jet nozzles 14 from colliding with each other and to interfere with each other, to prevent the cleaning effect from being lowered, and to remove with the alkaline water jetted from the one nozzle 14. The solder 5 and the flux 4 (see FIGS. 7 and 8) that could not be formed can be removed by alkaline water sprayed from the other nozzle 14. The distance G between the tip of the alkaline water spray nozzle 14 and the metal plate 1 is set to 3 to 8 mm. If the distance G between the tip of the alkaline water injection nozzle 14 and the metal plate 1 is too long, the collision energy of alkaline water cannot be sufficiently applied to the solder 5 and the flux 4 attached to the metal plate 1 and is short. If too much, the cleaning efficiency is lowered due to the collision with the alkaline water bounced off by the metal plate 1, and therefore the distance G between the tip of the alkaline water injection nozzle 14 and the metal plate 1 is preferably set to 3 to 8 mm.

アルカリ性水噴射ノズル１４は、図３〜図６に示すように、圧縮空気の流通路１５とアルカリ性水の流通路１６とを形成したノズルボディ１７と、ノズルボディ１７の先端部に着脱自在に取り付けたノズルキャップ１８と、ノズルキャップ１８をノズルボディ１７に固定するためのリテーナ１９と、圧縮空気の供給管２０をノズルボディ１７に接続するためのプラグ２１とを備えている。 As shown in FIGS. 3 to 6, the alkaline water injection nozzle 14 is detachably attached to a nozzle body 17 in which a compressed air flow passage 15 and an alkaline water flow passage 16 are formed, and a tip end portion of the nozzle body 17. A nozzle cap 18, a retainer 19 for fixing the nozzle cap 18 to the nozzle body 17, and a plug 21 for connecting a compressed air supply pipe 20 to the nozzle body 17.

ノズルキャップ１８の先端部には上下方向に細長い長穴状の噴射口２２が形成され、ノズルボディ１７の先端部には噴射口２２へ向けて突出する隔壁２３が形成され、この隔壁２３によりノズルボディ１７とノズルキャップ１８間の空間は、隔壁２３両側の第１空間２４と、隔壁２３よりも先端側の第２空間２５の３つの空間に区画されている。隔壁２３の先端部とノズルキャップ１８間には絞り隙間２６が形成され、第１空間２４と第２空間２５とは絞り隙間２６を介して連通されている。ノズルボディ１７内には１対の圧縮空気の流通路１５が形成され、両流通路１５の下流部は６つの分岐通路１５ａにそれぞれ分岐されて２つの第１空間２４にそれぞれ開口され、アルカリ性水の流通路１６は隔壁２３の先端部において第２空間２５に開口されている。 A nozzle hole 18 is formed in the tip of the nozzle cap 18 in the form of an elongated hole that is elongated in the vertical direction, and a partition wall 23 is formed at the tip of the nozzle body 17 so as to project toward the spray port 22. The space between the body 17 and the nozzle cap 18 is partitioned into three spaces: a first space 24 on both sides of the partition wall 23 and a second space 25 on the tip side of the partition wall 23. A diaphragm gap 26 is formed between the tip of the partition wall 23 and the nozzle cap 18, and the first space 24 and the second space 25 are communicated with each other via the diaphragm gap 26. A pair of compressed air flow passages 15 are formed in the nozzle body 17, and the downstream portions of the two flow passages 15 are branched into six branch passages 15 a and opened into two first spaces 24, respectively. The flow path 16 is open to the second space 25 at the tip of the partition wall 23.

このアルカリ性水噴射ノズル１４では、圧縮空気が、１対の流通路１５を通って２つの第１空間２４へそれぞれ供給され、更に絞り隙間２６を通って第２空間２５へ左右対称に供給される。流通路１５は分岐通路１５ａにおいて通路断面が小さくなり、しかも第１空間２４においては絞り隙間２６側へ行くに従って通路断面が小さくなっているので、圧縮空気はベルヌーイの法則に従い、絞り隙間２６側へ行くにしたがって加速され、高速で第２空間２５内に流入することになる。一方、アルカリ性水は、流通路１６を通って第２空間２５に供給されることになるが、流通路１６の断面積が隔壁２３内において小さくなることから、隔壁２３内において加速され、この状態で第２空間２５に供給されることになる。そして、第２空間２５では、圧縮空気とアルカリ性水とが高速で混合され、それによってアルカリ性水は第２空間２５内において微細粒化され、この状態で噴射口２２から外部へ噴射されることになる。ところで、アルカリ性水はイオン交換水や有機溶剤にくらべ微細化されやすい性質を備えており、微細化されたアルカリ性水の粒は図９に示すような印刷パターン２の穴３を容易に通過可能な直径となるため、印刷パターン２内部の半田ボール５に衝突しその圧力エネルギーをもって半田５を除去することができる。さらに、アルカリ性水には油分を鹸化・分散する能力があるため、フラックス４を鹸化、分散し洗浄しやすくする効果がある。これによりメタル版１に付着したフラックス４や印刷パターン２内のフラックス４、半田５が除去され、洗浄が実現される。 In the alkaline water injection nozzle 14, the compressed air is supplied to the two first spaces 24 through the pair of flow passages 15, and further supplied symmetrically to the second space 25 through the throttle gap 26. . The flow passage 15 has a smaller passage cross section in the branch passage 15a, and in the first space 24, the passage cross section becomes smaller toward the throttle gap 26 side. Therefore, the compressed air is directed to the throttle gap 26 side in accordance with Bernoulli's law. As it goes, it is accelerated and flows into the second space 25 at a high speed. On the other hand, the alkaline water is supplied to the second space 25 through the flow passage 16. However, since the cross-sectional area of the flow passage 16 is reduced in the partition wall 23, the alkaline water is accelerated in the partition wall 23. Thus, the second space 25 is supplied. In the second space 25, the compressed air and the alkaline water are mixed at a high speed, whereby the alkaline water is atomized in the second space 25, and is jetted to the outside from the jet port 22 in this state. Become. By the way, alkaline water has the property of being easily refined compared to ion-exchanged water and organic solvents, and the particles of refined alkaline water can easily pass through the holes 3 of the printed pattern 2 as shown in FIG. Since it has a diameter, it can collide with the solder ball 5 inside the printed pattern 2 and remove the solder 5 with its pressure energy. Furthermore, since alkaline water has the ability to saponify and disperse the oil, it has the effect of saponifying and dispersing the flux 4 to facilitate cleaning. As a result, the flux 4 attached to the metal plate 1, the flux 4 in the printed pattern 2, and the solder 5 are removed, and cleaning is realized.

噴射口２２の開口幅Ｗは０．３ｍｍ以上０．７ｍｍ以下に設定することが好ましく、開口長さＬは２０ｍｍ以上３０ｍｍ以下に設定することが好ましい。また、噴射口２２のアスペクト比（Ｌ／Ｗ）は４０以上に設定することが好ましい。噴射口２２は円形に形成することも可能であるが、大面積のメタル版１を短時間で洗浄処理できるように、アスペクト比（Ｌ／Ｗ）が４０以上の長穴形状に形成することが好ましい。 The opening width W of the injection port 22 is preferably set to 0.3 mm to 0.7 mm, and the opening length L is preferably set to 20 mm to 30 mm. The aspect ratio (L / W) of the injection port 22 is preferably set to 40 or more. The injection port 22 may be formed in a circular shape, but may be formed in a long hole shape with an aspect ratio (L / W) of 40 or more so that the large-area metal plate 1 can be cleaned in a short time. preferable.

移動手段によるアルカリ性水噴射ノズル１４の移動速度は、５ｍｍ／ｓｅｃ以上、２０ｍｍ／ｓｅｃ以下に設定することが好ましい。移動速度が５ｍｍ／ｓｅｃ未満の場合には、洗浄処理速度が遅くなり、２０ｍｍ／ｓｅｃを超える場合には、洗浄不良が発生する。また、噴射ノズル１４からのアルカリ性水の噴射量は、５００ｃｃ／ｍｉｎ以上で７００ｃｃ／ｍｉｎ以下に設定することが好ましい。噴射量が、５００ｃｃ／ｍｉｎ未満の場合には、洗浄不良が発生し、７００ｃｃ／ｍｉｎを越える場合には、アルカリ性水の消費量が増えて、アルカリ性水供給装置３０として大型なものを採用する必要があること、アルカリ性水の水膜がメタル版１の表面に形成されて、反対に洗浄能力が低下するなどの問題が発生する。 The moving speed of the alkaline water spray nozzle 14 by the moving means is preferably set to 5 mm / sec or more and 20 mm / sec or less. When the moving speed is less than 5 mm / sec, the cleaning processing speed is slow, and when it exceeds 20 mm / sec, a cleaning failure occurs. Moreover, it is preferable to set the injection amount of the alkaline water from the injection nozzle 14 to 500 cc / min or more and 700 cc / min or less. When the injection amount is less than 500 cc / min, defective cleaning occurs, and when it exceeds 700 cc / min, the consumption of alkaline water increases and it is necessary to employ a large-sized alkaline water supply device 30. And a water film of alkaline water is formed on the surface of the metal plate 1, and the problem arises that the cleaning ability is reduced.

圧縮空気とアルカリ性水の体積比率は、５００：１〜７００：１に設定されている。つまり、圧縮空気の体積比率が大きい場合には、半田５に衝突するアルカリ性水の量が少なくなってしまうため十分な洗浄力が得られず、半田５とフラックス４を印刷パターンから完全に除去するためには、長時間の洗浄が必要となってしまう。また圧縮空気の体積比率が少なすぎる場合には、アルカリ性水を十分に微細粒化することができないため、０．２２ｍｍ幅や０．１４ｍｍ幅といった非常に狭い幅ではアルカリ性水の粒が印刷パターンの穴３を通り抜けることができず、十分な洗浄効果を得ることができない。また、同じく、圧縮空気の体積比率が少なすぎる場合には、噴射したアルカリ性水が、メタル版１の表面で水膜を形成し、新たな粒子の衝突を妨げてしまうという現象が発生し、洗浄効果が低減してしまう。 The volume ratio of compressed air and alkaline water is set to 500: 1 to 700: 1. That is, when the volume ratio of compressed air is large, the amount of alkaline water that collides with the solder 5 is reduced, so that sufficient cleaning power cannot be obtained, and the solder 5 and the flux 4 are completely removed from the printed pattern. For this purpose, long-time cleaning is required. In addition, when the volume ratio of compressed air is too small, alkaline water cannot be sufficiently finely granulated. Therefore, in a very narrow width such as 0.22 mm width or 0.14 mm width, alkaline water particles are not printed. It cannot pass through the hole 3 and a sufficient cleaning effect cannot be obtained. Similarly, when the volume ratio of the compressed air is too small, the sprayed alkaline water forms a water film on the surface of the metal plate 1 and a phenomenon that the collision of new particles is prevented occurs. The effect will be reduced.

圧縮空気にはコンプレッサ２７によって圧縮された、いわゆる工場エアを用いるが、フィルターやドライヤを通って油分や余計な水分を十分に除去されていることが好ましい。圧縮空気の圧力は絞り隙間２６と圧縮空気の流通路１５の断面積の比によってもことなるが、低くなると十分な流量と流速をえることができないため０．５ＭＰａ以上であることが望ましく、本実施例では０．５ＭＰａに設定している。 As the compressed air, so-called factory air compressed by the compressor 27 is used, but it is preferable that oil and excess water are sufficiently removed through a filter and a dryer. The pressure of the compressed air varies depending on the ratio of the cross-sectional area of the throttle gap 26 and the flow path 15 of the compressed air. However, if the pressure is low, a sufficient flow rate and flow velocity cannot be obtained. In the embodiment, it is set to 0.5 MPa.

次に、アルカリ性水を供給するアルカリ性水供給装置３０について説明する。
アルカリ性水供給装置３０は、図２に示すように、軟水生成手段３１と、アルカリ性水生成手段３２と、アルカリ性水加圧タンク３３と、中性水加圧タンク３４とを備えている。尚、本実施の形態では、水道水からアルカリ性水を生成し、これを洗浄装置本体１１へ供給するように構成したが、市販のアルカリ性水をそのまま洗浄液として利用することも可能である。 Next, the alkaline water supply device 30 that supplies alkaline water will be described.
As shown in FIG. 2, the alkaline water supply device 30 includes soft water generating means 31, alkaline water generating means 32, alkaline water pressure tank 33, and neutral water pressure tank 34. In this embodiment, alkaline water is generated from tap water and supplied to the cleaning apparatus main body 11. However, commercially available alkaline water can be used as it is as a cleaning liquid.

軟水生成手段３１は、イオン交換樹脂により軟水を生成する周知の構成のもので、例えばサムソン社製ＳＳ−０４Ｅを好適に使用できる。 The soft water generating means 31 has a well-known configuration for generating soft water with an ion exchange resin, and for example, SS-04E manufactured by Samsung can be suitably used.

アルカリ性水生成手段３２は、水を電気分解することにより、陰極側には水酸イオン（ＯＨ）を増加させてアルカリ性水を生成する周知の構成のもので、例えば（株）アマノ製δ１５００Ｋを好適に使用できる。アルカリ性水はそのｐＨによって洗浄力が異なる。ｐＨが高いと洗浄力向上する方向にあるが、ｐＨ１２を超えるとメタル版１や半田５が腐食してしまう恐れがある。一方、ｐＨ１０．５より低い場合、完全に半田５とフラックス４を除去するためには長時間の洗浄が必要となるため、多量のアルカリ性水が必要となり好ましくない。このため、アルカリ性水のｐＨは、１０．５〜１２．０の範囲にあることが望ましく、特には１１．２〜１１．５の範囲にあることが望ましい。 The alkaline water generating means 32 has a known configuration in which alkaline water is generated by electrolyzing water to increase hydroxide ions (OH) on the cathode side. For example, δ1500K manufactured by Amano Corporation is suitable. Can be used for Alkaline water has different detergency depending on its pH. If the pH is high, the cleaning power tends to be improved. However, if the pH exceeds 12, the metal plate 1 and the solder 5 may be corroded. On the other hand, when the pH is lower than 10.5, a long time of washing is required to completely remove the solder 5 and the flux 4, which is not preferable because a large amount of alkaline water is required. For this reason, the pH of the alkaline water is preferably in the range of 10.5 to 12.0, and particularly preferably in the range of 11.2 to 11.5.

アルカリ性水に用いる塩基は苛性ソーダ、炭酸カリウムなど多種があるが、ｐＨが前述の範囲内にあれば塩基の種類は特に問わない。しかしながら、メタル版１の耐腐食性を考慮すれば塩素を含まない構成であることが望ましい。 There are various bases used for alkaline water, such as caustic soda and potassium carbonate, but the type of base is not particularly limited as long as the pH is within the above-mentioned range. However, considering the corrosion resistance of the metal plate 1, it is desirable that the structure does not contain chlorine.

次に、洗浄装置１０を用いた洗浄方法について説明する。
先ず、アルカリ性水供給装置３０により、アルカリ性水の生成するため、軟水生成手段３１へ水道水を供給して、軟水生成手段３１にて軟水を生成する。具体的には、毎分１．９リットルの軟水を生成する。この軟水生成手段３１で生成した軟水の一部は、アルカリ性水生成の生成用の軟水として用い、残りは中性水加圧タンク３４に供給して、後述するように、アルカリ性水によるメタル版１の洗浄後のすすぎ水として使用することになる。 Next, a cleaning method using the cleaning apparatus 10 will be described.
First, in order to generate alkaline water by the alkaline water supply device 30, tap water is supplied to the soft water generating means 31, and the soft water generating means 31 generates soft water. Specifically, it produces 1.9 liters of soft water per minute. A portion of the soft water generated by the soft water generating means 31 is used as soft water for generating alkaline water, and the rest is supplied to a neutral water pressurizing tank 34. As will be described later, the metal plate 1 using alkaline water 1 It will be used as rinse water after washing.

次に、軟水生成手段３１にて生成した軟水をアルカリ性水生成手段３２に供給し、アルカリ性水生成手段３２によりアルカリ性水を生成する。具体的には、１．９リットルの軟水から、１．５リットルのアルカリ性水と、０．４リットルの中性水を生成する。アルカリ性水の生成には炭酸カリウムを使用する。生成されたアルカリ性水は、一旦貯水タンク３５に供給されて貯水される。尚、アルカリ性水の生成時、中性水も同時に生成されるので、この中性水を軟水とともに中性水加圧タンク３４へ供給することもできる。 Next, the soft water generated by the soft water generating means 31 is supplied to the alkaline water generating means 32, and the alkaline water is generated by the alkaline water generating means 32. Specifically, 1.5 liters of alkaline water and 0.4 liters of neutral water are generated from 1.9 liters of soft water. Potassium carbonate is used for the production of alkaline water. The generated alkaline water is once supplied to the water storage tank 35 and stored therein. In addition, since neutral water is also produced | generated simultaneously with the production | generation of alkaline water, this neutral water can also be supplied to the neutral water pressurization tank 34 with soft water.

次に、洗浄装置本体１１にてメタル版１を洗浄するため、移動手段により、アルカリ性水噴射ノズル１４をＸ軸方向及びＹ軸方向の初期位置へ移動させるとともに、メタル版１の洗浄を行う毎に、１回の洗浄に必要な分量のアルカリ性水を、貯水タンク３５からアルカリ性水加圧タンク３３へ供給し、コンプレッサ２７からの圧縮空気により、アルカリ性水加圧タンク３３内においてアルカリ性水を設定圧力まで加圧する。尚、アルカリ性水の加圧は、ポンプなどを用いて行うことも可能である。 Next, in order to clean the metal plate 1 with the cleaning apparatus main body 11, the alkaline water spray nozzle 14 is moved to the initial positions in the X-axis direction and the Y-axis direction by the moving means, and each time the metal plate 1 is cleaned. In addition, an amount of alkaline water required for one washing is supplied from the storage tank 35 to the alkaline water pressure tank 33, and the alkaline water is set in the alkaline water pressure tank 33 by the compressed air from the compressor 27. Pressurize until. In addition, pressurization of alkaline water can also be performed using a pump or the like.

次に、移動手段により、アルカリ性水噴射ノズル１４をメタル版１に沿ってＸ軸方向及びＹ軸方向へ順次移動させながら、アルカリ性水加圧タンク３３からアルカリ性水噴射ノズル１４へアルカリ性水を供給するとともに、コンプレッサ２７からの圧縮空気をアルカリ性水噴射ノズル１４へ供給し、アルカリ性水噴射ノズル１４内において、アルカリ性水と圧縮空気とを混合してアルカリ性水を微細粒化し、微細粒化したアルカリ性水を噴射口２２からメタル版１に向けて噴射させる。こうして、アルカリ性水噴射ノズル１４を順次移動させながら、アルカリ性水噴射ノズル１４からアルカリ性水の微細化粒子を噴射させて、メタル版１に付着した半田５やフラックス４を除去することになる。 Next, alkaline water is supplied from the alkaline water pressure tank 33 to the alkaline water spray nozzle 14 while the alkaline water spray nozzle 14 is sequentially moved along the metal plate 1 in the X-axis direction and the Y-axis direction by the moving means. At the same time, the compressed air from the compressor 27 is supplied to the alkaline water injection nozzle 14, and the alkaline water and the compressed air are mixed in the alkaline water injection nozzle 14 to finely granulate the alkaline water. It sprays toward the metal plate 1 from the injection port 22. In this way, the alkaline water spray nozzle 14 is sequentially moved while spraying alkaline water fine particles from the alkaline water spray nozzle 14 to remove the solder 5 and the flux 4 attached to the metal plate 1.

より具体的には、次のような粗洗浄工程と、仕上げ洗浄工程を行って、メタル版１を洗浄することになる。
粗洗浄工程では、アルカリ性水噴射ノズル１４からアルカリ性水を噴射させながら、アルカリ性水噴射ノズル１４を移動手段により、＋Ｘ軸方向に一定距離移動させた後、−Ｙ軸方向へ所定距離移動させ、その後−Ｘ軸方向に一定距離移動させた後、−Ｙ軸方向へ所定距離移動させ、その後＋Ｘ軸方向に再度移動させるという動作を繰り返して、メタル版１全体を洗浄することになる。 More specifically, the metal plate 1 is cleaned by performing the following rough cleaning process and finish cleaning process.
In the rough cleaning process, while the alkaline water jet nozzle 14 is jetted with alkaline water, the alkaline water jet nozzle 14 is moved a certain distance in the + X-axis direction by the moving means, then moved a predetermined distance in the −Y-axis direction, and then The entire metal plate 1 is cleaned by repeating the operation of moving a certain distance in the −X axis direction, moving it a predetermined distance in the −Y axis direction, and then moving it again in the + X axis direction.

仕上げ洗浄工程では、印刷パターン２部分を集中的に洗浄するために、メタル版１の印刷パターン２部分にアルカリ性水噴射ノズル１４を移動させた後、印刷パターン２部分において、粗洗浄と同様に、アルカリ性水噴射ノズル１４からアルカリ性水を噴射させながら、アルカリ性水噴射ノズル１４を移動手段により移動させて、印刷パターン２部分全体を洗浄することになる。 In the finish cleaning step, after the alkaline water spray nozzle 14 is moved to the printing pattern 2 portion of the metal plate 1 in order to intensively wash the printing pattern 2 portion, While the alkaline water is jetted from the alkaline water jet nozzle 14, the alkaline water jet nozzle 14 is moved by the moving means to wash the entire printed pattern 2 portion.

上記のように、洗浄は粗洗浄と仕上げ洗浄の２工程からなり、粗洗浄でメタル版１全体を洗浄し、印刷パターン２面だけでなく、メタル版１表面についた半田５およびフラックス４を除去する。アルカリ性水には油分を鹸化・分散する効果があるため、メタル版１表面のフラックス４が除去される。仕上げ洗浄ではパターン部分のみの洗浄を行なう。アルカリ性水はイオン交換水と比較して微細化されやすい性質を備えており、微細化されたアルカリ性水の粒は印刷パターン２内を容易に通過することができるため、パターン内部の半田ボール５に衝突しその圧力エネルギーをもって半田５を除去する。これによりメタル版１に付着したフラックス４や印刷パターン２内のフラックス４、半田５が除去され、洗浄が実現される。 As described above, the cleaning includes two steps of rough cleaning and finish cleaning. The entire metal plate 1 is cleaned by rough cleaning, and the solder 5 and the flux 4 attached to the surface of the metal plate 1 as well as the printed pattern 2 surface are removed. To do. Alkaline water has the effect of saponifying and dispersing the oil, so that the flux 4 on the surface of the metal plate 1 is removed. In the finish cleaning, only the pattern portion is cleaned. Alkaline water has the property of being easily miniaturized as compared to ion-exchanged water, and the particles of the refined alkaline water can easily pass through the printed pattern 2. Colliding and removing the solder 5 with the pressure energy. As a result, the flux 4 attached to the metal plate 1, the flux 4 in the printed pattern 2, and the solder 5 are removed, and cleaning is realized.

こうしてメタル版１を洗浄した後、中性水加圧タンク３４に貯留した中性水を中性水噴射ノズル２８からメタル版１の表裏面に向けて噴射して、メタル版１に付着したアルカリ性水を中性水で洗い流し、メタル版１を乾燥させて、メタル版１の洗浄を完了することになる。また、洗浄後の排液は、ハウジング１２の底部に設置した図示外の排水タンクに集められて、フィルターを通して半田５を除去した後、排水することになる。 After the metal plate 1 is washed in this way, the neutral water stored in the neutral water pressurizing tank 34 is sprayed from the neutral water injection nozzle 28 toward the front and back surfaces of the metal plate 1, and the alkali attached to the metal plate 1. Water is washed away with neutral water, the metal plate 1 is dried, and the cleaning of the metal plate 1 is completed. The drained liquid after washing is collected in a drain tank (not shown) installed at the bottom of the housing 12 and drained after removing the solder 5 through a filter.

次に、本発明の洗浄方法の効果を検証すべく行った、メタル版１の洗浄試験について説明する。
使用したメタル版１は３３０ｍｍ×２５０ｍｍのいわゆるＭサイズ基板のものでパターンは０．１４ｍｍ幅のＱＦＰ（Quad Flat Package）用のものである。試験はメタル版１にクリーム半田を塗布し、印刷パターン２の穴３全体にクリーム半田が充填されているかを確認した後、イオン交換水（ｐＨ６〜ｐＨ７）とアルカリ性水（ｐＨ１１．２）の２種類の洗浄液を用いて洗浄し、結果を比較した。 Next, a cleaning test of the metal plate 1 performed to verify the effect of the cleaning method of the present invention will be described.
The used metal plate 1 is a so-called M size substrate of 330 mm × 250 mm, and the pattern is for a QFP (Quad Flat Package) having a width of 0.14 mm. In the test, cream solder was applied to the metal plate 1 and it was confirmed whether or not the cream pattern solder was filled in the entire hole 3 of the printed pattern 2, and then 2 of ion exchange water (pH 6 to pH 7) and alkaline water (pH 11.2). Washing was performed using various types of cleaning solutions, and the results were compared.

図７は洗浄前のパターンの様子で、穴３にはフラックス４と半田５とが付着されている。図８はイオン交換水を用いて洗浄した結果であり、図９はアルカリ性水を用いて洗浄した結果である。図８、図９を比較すると明らかなように、イオン交換水を用いた洗浄では印刷パターン２内だけでなく、パターン周辺のメタル版１表面にも半田５およびフラックス４が除去されずに残っているのに対し、アルカリ性水を用いた洗浄では印刷パターン２内およびメタル版１表面の半田５およびフラックス４が完全に除去されており、なおかつメタル版１には何等の損傷は見られなかった。洗浄にかかった時間はイオン交換水が４６分であったのに対し、アルカリ性水は２６分であり、約６０％の洗浄時間でイオン交換水を用いたときよりも高い洗浄能力があることが確認できた。 FIG. 7 shows a pattern before cleaning, in which flux 4 and solder 5 are attached to the hole 3. FIG. 8 shows the result of washing with ion-exchanged water, and FIG. 9 shows the result of washing with alkaline water. As is clear from comparison between FIGS. 8 and 9, in the cleaning using ion exchange water, the solder 5 and the flux 4 remain not only on the printed pattern 2 but also on the surface of the metal plate 1 around the pattern without being removed. On the other hand, in the cleaning using alkaline water, the solder 5 and the flux 4 in the printed pattern 2 and the surface of the metal plate 1 were completely removed, and the metal plate 1 was not damaged at all. The time required for washing was 46 minutes for ion-exchanged water, but 26 minutes for alkaline water, which has a higher washing ability than when ion-exchanged water is used with a washing time of about 60%. It could be confirmed.

洗浄装置本体の要部の斜視図Perspective view of the main part of the cleaning device body 洗浄装置の概略説明図Schematic illustration of cleaning equipment 噴射ノズルの斜視図Perspective view of spray nozzle 噴射ノズルの分解斜視図Exploded perspective view of spray nozzle 図３のV-V線断面図V-V cross-sectional view of FIG. 図３のVI-VI線断面図Sectional view taken along line VI-VI in Fig. 3 メタル版の印刷パターンの洗浄前の拡大図Enlarged view of metal plate printing pattern before cleaning メタル版の印刷パターンのイオン交換水による洗浄後の拡大図Enlarged view of metal plate printing pattern after cleaning with ion exchange water メタル版の印刷パターンのアルカリ性水による洗浄後の拡大図Enlarged view of metal plate printing pattern after washing with alkaline water

１メタル版２印刷パターン
３穴４フラックス
５半田
１０メタル版洗浄装置１１洗浄装置本体
１２ハウジング１３固定フレーム
１４アルカリ性水噴射ノズル１５流通路
１５ａ分岐通路１６流通路
１７ノズルボディ１８ノズルキャップ
１９リテーナ２０供給管
２１プラグ２２噴射口
２３隔壁２４第１空間
２５第２空間２６絞り隙間
２７コンプレッサ２８中性水噴射ノズル
３０アルカリ性水供給装置３１軟水生成手段
３２アルカリ性水生成手段３３アルカリ性水加圧タンク
３４中性水加圧タンク３５貯水タンク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Metal plate 2 Print pattern 3 Hole 4 Flux 5 Solder 10 Metal plate washing | cleaning apparatus 11 Cleaning apparatus main body 12 Housing 13 Fixed frame 14 Alkaline water injection nozzle 15 Flow path 15a Branch path 16 Flow path 17 Nozzle body 18 Nozzle cap 19 Retainer 20 Supply Pipe 21 Plug 22 Injection port 23 Bulkhead 24 First space 25 Second space 26 Throttle gap 27 Compressor 28 Neutral water injection nozzle 30 Alkaline water supply device 31 Soft water generation means 32 Alkaline water generation means 33 Alkaline water pressurization tank 34 Neutral Water pressurization tank 35 Water storage tank

Claims

印刷配線基板に対してクリーム半田を印刷するために用いたメタル版の洗浄方法であって、
圧縮空気とアルカリ性水とを、その体積比率が５００：１〜７００：１になるように、噴射ノズル内において混合して、前記アルカリ性水を微細粒化しながら、この微細粒化したアルカリ性水を噴射ノズルからメタル版に向けて高速で噴き付けてメタル版を洗浄する、
ことを特徴とするメタル版の洗浄方法。 A method for cleaning a metal plate used for printing cream solder on a printed wiring board,
Compressed air and alkaline water are mixed in an injection nozzle so that the volume ratio is 500: 1 to 700: 1, and the alkaline water is atomized while the alkaline water is atomized. The metal plate is washed by spraying at high speed from the nozzle toward the metal plate.
A metal plate cleaning method characterized by that.

前記アルカリ性水の水素イオン指数をｐＨ＝１０．５〜１２．０に設定した請求項１のメタル版の洗浄方法。 The method for cleaning a metal plate according to claim 1, wherein the hydrogen ion index of the alkaline water is set to pH = 10.5 to 12.0.

前記噴射ノズルの先端部とメタル版間の距離を３〜８ｍｍに設定した請求項１又は２記載のメタル版の洗浄方法。 The metal plate washing | cleaning method of Claim 1 or 2 which set the distance between the front-end | tip part of the said injection nozzle and a metal plate to 3-8 mm.

印刷配線基板に対してクリーム半田を印刷するために用いたメタル版の洗浄装置であって、
アルカリ性水を加圧供給するアルカリ性水供給手段と、
圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段と、
前記両供給手段から供給されるアルカリ性水と圧縮空気とを混合して、前記アルカリ性水を微細粒化した状態で噴射可能な噴射ノズルと、この噴射ノズルをメタル版に沿って相対移動させる移動手段を有し、微細粒化したアルカリ性水を噴射ノズルからメタル版に向けて高速で噴き付けながら、移動手段により噴射ノズルをメタル版に沿って相対移動させ、メタル版を順次洗浄する洗浄装置本体と、
を備えたことを特徴とするメタル版の洗浄装置。 A metal plate cleaning device used for printing cream solder on a printed wiring board,
Alkaline water supply means for supplying alkaline water under pressure;
Compressed air supply means for supplying compressed air;
An injection nozzle capable of mixing alkaline water supplied from both supply means and compressed air and injecting the alkaline water in a state of fine particles, and a moving means for relatively moving the injection nozzle along the metal plate A main body of the cleaning device for sequentially cleaning the metal plate by relatively moving the spray nozzle along the metal plate by a moving means while spraying the atomized alkaline water from the spray nozzle toward the metal plate at high speed ,
A metal plate cleaning device characterized by comprising:

前記アルカリ性水供給手段として、水道水から軟水を生成する軟水生成手段と、軟水生成手段によって生成された軟水からアルカリ性水を生成するアルカリ性水生成手段と、アルカリ性水生成手段によって生成されたアルカリ性水を加圧するアルカリ性水加圧手段とを備えたものを用いた請求項４記載のメタル版の洗浄装置。 As the alkaline water supply means, soft water generating means for generating soft water from tap water, alkaline water generating means for generating alkaline water from soft water generated by the soft water generating means, and alkaline water generated by the alkaline water generating means 5. A metal plate cleaning apparatus according to claim 4 , wherein said apparatus is equipped with an alkaline water pressurizing means for pressurization.

前記洗浄装置本体に、メタル版に対して中性水を噴射する中性水噴射手段を設けた請求項４又は５記載のメタル版の洗浄装置。 The metal plate cleaning device according to claim 4 or 5 , wherein the cleaning device main body is provided with neutral water jetting means for jetting neutral water onto the metal plate.

前記洗浄装置本体に、メタル版に対して中性水を噴射する中性水噴射手段を設け、前記中性水として、前記軟水生成手段から生成された軟水、または前記アルカリ性水生成手段から排出される中性水を用いた請求項５記載のメタル版の洗浄装置。 The cleaning apparatus main body is provided with neutral water injection means for injecting neutral water onto the metal plate, and the neutral water is discharged from the soft water generated from the soft water generation means or from the alkaline water generation means. The metal plate cleaning apparatus according to claim 5, wherein neutral water is used.

前記メタル版を挟んでその両側に１対の噴射ノズルを設けた請求項４〜７のいずれか１項記載のメタル版の洗浄装置。 The metal plate cleaning apparatus according to any one of claims 4 to 7 , wherein a pair of spray nozzles are provided on both sides of the metal plate.

前記１対の噴射ノズルによるアルカリ性水の噴き付け位置をずらした請求項８に記載のメタル版の洗浄装置。 The metal plate cleaning apparatus according to claim 8 , wherein the spray position of the alkaline water by the pair of spray nozzles is shifted.

前記噴射ノズルの噴射口をアスペクト比４０以上の長穴形状に形成した請求項４〜９のいずれか１項記載のメタル版の洗浄装置。 The metal plate cleaning apparatus according to any one of claims 4 to 9 , wherein an injection port of the injection nozzle is formed in an elongated hole shape having an aspect ratio of 40 or more.

前記アルカリ性水の水素イオン指数をｐＨ＝１０．５〜１２．０に設定した請求項４〜１０のいずれか１項記載のメタル版の洗浄装置。 The metal plate cleaning apparatus according to any one of claims 4 to 10 , wherein a hydrogen ion index of the alkaline water is set to pH = 10.5 to 12.0.

前記圧縮空気と前記アルカリ性水の体積比率を５００：１〜７００：１に設定した請求項４〜１１のいずれか１項記載のメタル版の洗浄装置。 The metal plate cleaning apparatus according to any one of claims 4 to 11 , wherein a volume ratio of the compressed air to the alkaline water is set to 500: 1 to 700: 1.

前記噴射ノズルの先端部とメタル版間の距離を３〜８ｍｍに設定した請求項４〜１２のいずれか１項記載のメタル版の洗浄装置。 The metal plate cleaning apparatus according to any one of claims 4 to 12 , wherein a distance between a tip portion of the spray nozzle and the metal plate is set to 3 to 8 mm.

圧縮空気の流通路とアルカリ性水の流通路とを形成したノズルボディと、ノズルボディの先端部に着脱自在に取り付けたノズルキャップとを有し、ノズルキャップの先端部に噴射口を形成し、ノズルボディの先端部に噴射口へ向けて突出する隔壁を形成し、この隔壁によりノズルボディとノズルキャップ間の空間を、隔壁両側の第１空間と、隔壁よりも先端側の第２空間の３つの空間に区画し、１対の第１空間と第２空間とを隔壁の先端部とノズルキャップ間に形成した絞り隙間を介して連通させ、圧縮空気の流通路を１対の第１空間にそれぞれ開口させるとともに、アルカリ性水の流通路を隔壁の先端部から第２空間に開口させ、第２空間内においてアルカリ性水と圧縮空気とを混合して、アルカリ性水を微細粒化することを特徴とするメタル版洗浄用の噴射ノズル。 The nozzle body has a compressed air flow path and an alkaline water flow path, and a nozzle cap that is detachably attached to the tip of the nozzle body. An nozzle is formed at the tip of the nozzle cap. A partition wall projecting toward the injection port is formed at the tip of the body, and the partition wall divides the space between the nozzle body and the nozzle cap into a first space on both sides of the partition wall and a second space on the tip side of the partition wall. The space is partitioned, and the pair of first spaces and the second space are communicated with each other via a narrowing gap formed between the tip of the partition wall and the nozzle cap, and the compressed air flow passages are respectively connected to the pair of first spaces. While opening, the flow path of alkaline water is opened from the front-end | tip part of a partition to 2nd space, and alkaline water and compressed air are mixed in the 2nd space, and alkaline water is atomized, It is characterized by the above-mentioned. Me Injection nozzle Le version for cleaning.

前記噴射口をアスペクト比４０以上の長穴形状に形成した請求項１４記載のメタル版洗浄用の噴射ノズル。 The metal nozzle cleaning spray nozzle according to claim 14, wherein the spray port is formed in a long hole shape having an aspect ratio of 40 or more.