JP5113846B2

JP5113846B2 - Acquisition device, test device, and manufacturing method

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Publication number: JP5113846B2
Application number: JP2009528015A
Authority: JP
Inventors: 悟近藤
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2007-08-16
Filing date: 2007-08-16
Publication date: 2013-01-09
Anticipated expiration: 2027-08-16
Also published as: JPWO2009022427A1; WO2009022427A1

Description

本発明は、取得装置、試験装置および製造方法に関する。特に本発明は、ストローブ信号のタイミングで信号を取得するフリップフロップを備える取得装置、試験装置および製造方法に関する。 The present invention relates to an acquisition apparatus, a test apparatus, and a manufacturing method. In particular, the present invention relates to an acquisition apparatus, a test apparatus, and a manufacturing method including a flip-flop that acquires a signal at the timing of a strobe signal.

半導体等の試験装置は、被試験デバイスから出力された出力信号の論理値をフリップフロップで取り込む。そして、試験装置は、フリップフロップにより取り込んだ値に基づき被試験デバイスの良否を判定する（例えば、特許文献１参照。）。また、試験装置は、出力信号の論理値の取り込みタイミングを示すストローブ信号をタイミング発生部から発生して、フリップフロップに与える。
特開２００２−１１６２４１号公報 A test apparatus such as a semiconductor takes in a logical value of an output signal output from a device under test by a flip-flop. Then, the test apparatus determines pass / fail of the device under test based on the value captured by the flip-flop (see, for example, Patent Document 1). In addition, the test apparatus generates a strobe signal indicating the timing of taking in the logical value of the output signal from the timing generation unit, and provides it to the flip-flop.
JP 2002-116241 A

ところで、フリップフロップは、観測対象の信号の論理値の変化中のタイミングにおいてストローブ信号が与えられた場合、直前に取得した論理値（すなわち、現在格納している論理値）に応じて異なる論理値を取り込んでしまうという現象が発生する。例えば、フリップフロップは、観測対象信号がＬ論理からＨ論理へ変化中の所定タイミングにおいてストローブ信号が与えられた場合、Ｈ論理を格納している状態ではＨ論理を取り込むが、Ｌ論理を格納している状態ではＬ論理を取り込む、という現象が発生する。 By the way, when the strobe signal is given at the timing when the logical value of the signal to be observed is changing, the flip-flop has a different logical value depending on the logical value acquired immediately before (that is, the currently stored logical value). Will occur. For example, when a strobe signal is given at a predetermined timing when the observation target signal is changing from L logic to H logic, the flip-flop captures the H logic when the H logic is stored, but stores the L logic. In such a state, the phenomenon of taking in the L logic occurs.

このような現象が生じる観測対象信号とストローブ信号との相対タイミングの範囲を、デッドバンドと呼ぶ。フリップフロップにおけるデッドバンドは、例えば、製造ばらつき、内部回路の構成、メーカの違い、製造プロセス、製造ロット、内部配線経路、隣接配線の容量等によって異なると考えられる。 The range of the relative timing between the observation target signal and the strobe signal in which such a phenomenon occurs is called a dead band. The dead band in the flip-flop is considered to vary depending on, for example, manufacturing variations, internal circuit configurations, manufacturer differences, manufacturing processes, manufacturing lots, internal wiring paths, adjacent wiring capacities, and the like.

このように、フリップフロップは、デッドバンドが存在するので、観測対象信号の論理値の取得タイミングを微小な時間間隔で制御した場合、精度良く論理値を取り込むことができなかった。また、このようなフリップフロップを用いる試験装置は、被試験デバイスの出力信号の論理値の取得タイミングを微小な時間間隔で制御した場合、被試験デバイスの良否を精度良く判定できなかった。 As described above, since the flip-flop has a dead band, when the acquisition timing of the logical value of the observation target signal is controlled at a minute time interval, the logical value cannot be taken in with high accuracy. Further, a test apparatus using such a flip-flop cannot accurately determine the quality of the device under test when the timing of acquiring the logical value of the output signal of the device under test is controlled at a minute time interval.

そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる取得装置、試験装置および製造方法を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。 Then, an object of this invention is to provide the acquisition apparatus, test apparatus, and manufacturing method which can solve said subject. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims. The dependent claims define further advantageous specific examples of the present invention.

上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、観測対象の信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、観測対象信号をストローブ信号のタイミングで取得するフリップフロップと、フリップフロップの出力状態に基づいて、次の観測対象信号を取り込むための次のストローブ信号のタイミングを変更する変更部と、を備える取得装置を提供する。 In order to solve the above-described problem, in the first embodiment of the present invention, a strobe generator that generates a strobe signal that indicates the timing at which a signal to be observed is to be captured, and a flip-flop that acquires the observation target signal at the timing of the strobe signal And a changing unit that changes the timing of the next strobe signal for taking in the next observation target signal based on the output state of the flip-flop.

本発明の第２の形態においては、観測対象の信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、ストローブ信号を、互いに異なる遅延量だけ遅延させて複数の遅延ストローブ信号として出力する複数の遅延部と、複数の遅延部に対応して設けられ、対応する遅延部から出力された遅延ストローブ信号のタイミングで観測対象信号をそれぞれ取得する複数のフリップフロップと、少なくとも１つのフリップフロップにより取得された直前の観測対象信号の値に応じて、複数のフリップフロップのうち、次の観測対象信号を次のストローブ信号に応じて取得した次の観測値を出力すべきフリップフロップを決定する決定部と、複数のフリップフロップの出力信号のうち、決定部が決定したフリップフロップの出力信号を、次の観測対象信号の観測値として出力する出力部と、を備える取得装置を提供する。 In the second embodiment of the present invention, a strobe generator that generates a strobe signal indicating the timing at which a signal to be observed is to be captured, and the strobe signal are delayed by different delay amounts and output as a plurality of delayed strobe signals. A plurality of delay units, a plurality of flip-flops provided corresponding to the plurality of delay units, each acquiring an observation target signal at the timing of the delayed strobe signal output from the corresponding delay unit, and at least one flip-flop Decision to determine the flip-flop to output the next observed value obtained from the next observed signal according to the next strobe signal, among the multiple flip-flops, according to the value of the last observed signal obtained And the output of the flip-flop determined by the determination unit among the output signals of the plurality of flip-flops. Signal, to provide an acquisition device including an output unit for outputting as the observed value of the next observation target signal.

本発明の第３の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを試験するための試験信号を被試験デバイスに供給する試験信号供給部と、被試験デバイスが試験信号に応じて出力するデバイス出力信号を取得する取得装置と、取得装置が取得したデバイス出力信号に基づいて被試験デバイスの良否を判定する判定部と、を備え、取得装置は、デバイス出力信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、デバイス出力信号をストローブ信号のタイミングで取得するフリップフロップと、フリップフロップの出力状態に基づいて、次のデバイス出力信号を取り込むための次のストローブ信号のタイミングを変更する変更部と、を有する試験装置を提供する。 According to a third aspect of the present invention, there is provided a test apparatus for testing a device under test, a test signal supply unit for supplying a test signal for testing the device under test to the device under test, and the device under test being tested. An acquisition device that acquires a device output signal that is output in response to the signal, and a determination unit that determines pass / fail of the device under test based on the device output signal acquired by the acquisition device. A strobe generator that generates a strobe signal indicating the timing to be fetched, a flip-flop that acquires a device output signal at the timing of the strobe signal, and a next device for fetching the next device output signal based on the output state of the flip-flop There is provided a test apparatus having a change unit that changes the timing of a strobe signal.

本発明の第４の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを試験するための試験信号を被試験デバイスに供給する試験信号供給部と、被試験デバイスが試験信号に応じて出力するデバイス出力信号を取得する取得装置と、取得装置が取得したデバイス出力信号に基づいて被試験デバイスの良否を判定する判定部と、を備え、取得装置は、デバイス出力信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、ストローブ信号を、互いに異なる遅延量だけ遅延させて複数の遅延ストローブ信号として出力する複数の遅延部と、複数の遅延部に対応して設けられ、対応する遅延部から出力された遅延ストローブ信号のタイミングでデバイス出力信号をそれぞれ取得する複数のフリップフロップと、少なくとも１つのフリップフロップにより取得された直前のデバイス出力信号の値に応じて、複数のフリップフロップのうち、次のデバイス出力信号を次のストローブ信号に応じて取得した次の観測値を出力すべきフリップフロップを決定する決定部と、複数のフリップフロップの出力信号のうち、決定部が決定したフリップフロップの出力信号を、次のデバイス出力信号の観測値として出力する出力部と、を有する試験装置を提供する。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a test apparatus for testing a device under test, a test signal supply unit for supplying a test signal for testing the device under test to the device under test, and the device under test being tested. An acquisition device that acquires a device output signal that is output in response to the signal, and a determination unit that determines pass / fail of the device under test based on the device output signal acquired by the acquisition device. Provided in correspondence with a plurality of delay units, a strobe generator that generates a strobe signal indicating the timing to be fetched, a plurality of delay units that delay the strobe signals by different delay amounts and output them as a plurality of delayed strobe signals A plurality of free signals that respectively obtain device output signals at the timing of the delayed strobe signals output from the corresponding delay units. According to the value of the previous device output signal acquired by the flop and at least one flip-flop, the next observed value obtained by acquiring the next device output signal according to the next strobe signal among the plurality of flip-flops. A determination unit that determines a flip-flop to be output; and an output unit that outputs the output signal of the flip-flop determined by the determination unit among the output signals of the plurality of flip-flops as an observation value of the next device output signal. A test apparatus is provided.

本発明の第５の形態においては、デバイスを製造する製造方法であって、デバイスを製造する製造段階と、製造されたデバイスを、第３の形態または第４の形態の試験装置により試験して選別する選別段階と、を備える製造方法を提供する。 According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a manufacturing method for manufacturing a device, the manufacturing stage for manufacturing the device, and the manufactured device tested by the test apparatus of the third mode or the fourth mode. And a sorting step for sorting.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。 The above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention, and sub-combinations of these feature groups can also be the invention.

図１は、本発明の実施形態に係る試験装置１０の構成を被試験デバイス１００と共に示す。FIG. 1 shows a configuration of a test apparatus 10 according to an embodiment of the present invention, together with a device under test 100. 図２は、本発明の実施形態に係る取得装置１４の構成を示す。FIG. 2 shows a configuration of the acquisition device 14 according to the embodiment of the present invention. 図３は、観測対象信号５３０、ストローブ信号５４０およびフリップフロップ２６による取得値の一例を示す。FIG. 3 shows an example of values obtained by the observation target signal 530, the strobe signal 540, and the flip-flop 26. 図４は、直前のストローブ信号５４０のタイミングで取得された観測対象信号５３０の値がＨ論理の場合における、フリップフロップ２６から出力される取得信号５５０の一例を示す。FIG. 4 shows an example of the acquisition signal 550 output from the flip-flop 26 when the value of the observation target signal 530 acquired at the timing of the immediately preceding strobe signal 540 is H logic. 図５は、直前のストローブ信号５４０のタイミングで取得された観測対象信号５３０の値がＬ論理の場合における、フリップフロップ２６から出力される取得信号５５０の一例を示す。FIG. 5 shows an example of the acquisition signal 550 output from the flip-flop 26 when the value of the observation target signal 530 acquired at the timing of the immediately preceding strobe signal 540 is L logic. 図６は、観測対象信号５３０が立上りエッジの場合の変更部２８によるストローブ信号５４０のタイミングの変更例を示す。FIG. 6 shows an example of changing the timing of the strobe signal 540 by the changing unit 28 when the observation target signal 530 is a rising edge. 図７は、観測対象信号５３０が立下りエッジの場合の変更部２８によるストローブ信号５４０のタイミングの変更例を示す。FIG. 7 shows an example of changing the timing of the strobe signal 540 by the changing unit 28 when the observation target signal 530 is a falling edge. 図８は、本発明の実施形態の第１変形例に係る取得装置１４の構成を示す。FIG. 8 shows the configuration of the acquisition device 14 according to a first modification of the embodiment of the present invention. 図９は、図８に示した第１変形例に係る取得装置１４による、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差を調整する調整処理フローを示す。FIG. 9 shows an adjustment processing flow for adjusting the difference in delay amount between the H-side delay unit 32-1 and the L-side delay unit 32-2 by the acquisition apparatus 14 according to the first modification shown in FIG. 図１０は、図９のステップＳ１００１における詳細な処理フローを示す。FIG. 10 shows a detailed processing flow in step S1001 of FIG. 図１１は、ステップＳ１００１の処理中における、第１観測対象信号５６０（第２観測対象信号５７０）、遅延ストローブ信号６００およびフリップフロップ２６の取得値の一例を示す。FIG. 11 illustrates an example of acquired values of the first observation target signal 560 (second observation target signal 570), the delayed strobe signal 600, and the flip-flop 26 during the process of step S1001. 図１２は、図９のステップＳ１００２における詳細な処理フローを示す。FIG. 12 shows a detailed processing flow in step S1002 of FIG. 図１３は、ステップＳ１００２の処理中における、第１観測対象信号５６０（第２観測対象信号５７０）、遅延ストローブ信号６００およびフリップフロップ２６の取得値の一例を示す。FIG. 13 shows an example of acquired values of the first observation target signal 560 (second observation target signal 570), the delayed strobe signal 600, and the flip-flop 26 during the process of step S1002. 図１４は、本発明の実施形態の第２変形例に係る取得装置１４の構成を期待値発生部１８とともに示す。FIG. 14 shows the configuration of the acquisition device 14 according to the second modification of the embodiment of the present invention, together with the expected value generation unit 18. 図１５は、本発明の実施形態の第３変形例に係る取得装置１４の構成を示す。FIG. 15 shows a configuration of the acquisition device 14 according to a third modification of the embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

１０試験装置
１２試験信号供給部
１４取得装置
１６判定部
１８期待値発生部
２２レベル比較部
２４ストローブ発生部
２６フリップフロップ
２８変更部
３２遅延部
３４選択部
４０スイッチ
４２第１取得処理部
４４第２取得処理部
４６調整部
５０エッジ判定部
５２記憶部
５４決定部
５６出力部
１００被試験デバイス
５１０試験信号
５２０デバイス出力信号
５３０観測対象信号
５４０ストローブ信号
５５０取得信号
５６０第１観測対象信号
５７０第２観測対象信号
６００遅延ストローブ信号DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Test apparatus 12 Test signal supply part 14 Acquisition apparatus 16 Determination part 18 Expected value generation part 22 Level comparison part 24 Strobe generation part 26 Flip-flop 28 Change part 32 Delay part 34 Selection part 40 Switch 42 1st acquisition process part 44 2nd Acquisition processing unit 46 Adjustment unit 50 Edge determination unit 52 Storage unit 54 Determination unit 56 Output unit 100 Device under test 510 Test signal 520 Device output signal 530 Observation target signal 540 Strobe signal 550 Acquisition signal 560 First observation target signal 570 Second observation Target signal 600 Delayed strobe signal

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。 Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention. However, the following embodiments do not limit the claimed invention, and all combinations of features described in the embodiments are invented. It is not always essential to the solution.

図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を被試験デバイス１００と共に示す。試験装置１０は、半導体メモリ等の被試験デバイス１００を試験する。 FIG. 1 shows a configuration of a test apparatus 10 according to this embodiment together with a device under test 100. The test apparatus 10 tests a device under test 100 such as a semiconductor memory.

試験装置１０は、試験信号供給部１２と、取得装置１４と、判定部１６とを備える。試験信号供給部１２は、被試験デバイス１００を試験するための試験信号５１０を被試験デバイス１００に供給する。取得装置１４は、被試験デバイス１００が試験信号５１０に応じて出力するデバイス出力信号５２０を取得する。試験装置１０は、デバイス出力信号５２０がＨ論理か否かを判定するためのＨ論理用取得装置と、デバイス出力信号５２０がＬ論理か否かを判定するためのＬ論理用取得装置とを備えてもよい。判定部１６は、取得装置１４が取得したデバイス出力信号５２０に基づいて被試験デバイス１００の良否を判定する。 The test apparatus 10 includes a test signal supply unit 12, an acquisition device 14, and a determination unit 16. The test signal supply unit 12 supplies a test signal 510 for testing the device under test 100 to the device under test 100. The acquisition apparatus 14 acquires a device output signal 520 that the device under test 100 outputs in response to the test signal 510. The test apparatus 10 includes an H logic acquisition device for determining whether or not the device output signal 520 is H logic, and an L logic acquisition device for determining whether or not the device output signal 520 is L logic. May be. The determination unit 16 determines pass / fail of the device under test 100 based on the device output signal 520 acquired by the acquisition device 14.

図２は、本実施形態に係る取得装置１４の構成を示す。取得装置１４は、印加された試験信号５１０に応じて被試験デバイス１００から出力された応答信号（デバイス出力信号５２０）を受けて、指定されたタイミング（ストローブタイミング）において応答信号の論理値を取得する。これにより、取得装置１４によれば、ストローブタイミングでの応答信号の論理値を判定することができる。取得装置１４は、レベル比較部２２と、ストローブ発生部２４と、フリップフロップ２６と、変更部２８とを備える。 FIG. 2 shows a configuration of the acquisition device 14 according to the present embodiment. The acquisition device 14 receives the response signal (device output signal 520) output from the device under test 100 in response to the applied test signal 510, and acquires the logical value of the response signal at a specified timing (strobe timing). To do. Thereby, according to the acquisition device 14, the logical value of the response signal at the strobe timing can be determined. The acquisition device 14 includes a level comparison unit 22, a strobe generation unit 24, a flip-flop 26, and a change unit 28.

レベル比較部２２は、被試験デバイス１００により出力されたアナログ波形のデバイス出力信号５２０を受けて、閾値と比較する。レベル比較部２２は、一例として、Ｈ論理と判断すべきレベルとＨ論理ではない判断すべきレベルとの閾値、または、Ｌ論理と判断すべきレベルとＬ論理ではない判断すべきレベルとの閾値と、デバイス出力信号５２０とを比較する。そして、レベル比較部２２は、デバイス出力信号５２０と閾値との比較結果に応じた論理値を表す論理波形の観測対象信号５３０を出力する。本実施形態において、レベル比較部２２は、デバイス出力信号５２０が閾値以上の場合にはＨ論理（又はＬ論理）となり、観測対象信号５３０が閾値より小さい場合にはＬ論理（又はＨ論理）となる観測対象信号５３０を出力する。 The level comparison unit 22 receives the device output signal 520 having an analog waveform output from the device under test 100 and compares it with a threshold value. As an example, the level comparison unit 22 is a threshold between a level that should be determined as H logic and a level that should be determined that is not H logic, or a threshold between a level that should be determined as L logic and a level that should not be determined as L logic. Is compared with the device output signal 520. Then, the level comparison unit 22 outputs an observation target signal 530 having a logical waveform representing a logical value corresponding to the comparison result between the device output signal 520 and the threshold value. In the present embodiment, the level comparison unit 22 becomes H logic (or L logic) when the device output signal 520 is greater than or equal to the threshold value, and L logic (or H logic) when the observation target signal 530 is smaller than the threshold value. The observation target signal 530 is output.

ストローブ発生部２４は、観測対象信号５３０を取り込むべきタイミング（すなわち、デバイス出力信号５２０を取り込むべきタイミング）を示すストローブ信号５４０を発生する。ストローブ発生部２４により出力されるストローブ信号５４０のタイミングは、一例として、試験プログラムに応じて動作するコントローラ等に応じて可変制御がされる。ストローブ発生部２４は、一例として、観測対象信号５３０を取り込むべきタイミングにおいてパルス波形を含むストローブ信号５４０を発生してよい。 The strobe generator 24 generates a strobe signal 540 that indicates the timing at which the observation target signal 530 is to be captured (that is, the timing at which the device output signal 520 is to be captured). As an example, the timing of the strobe signal 540 output from the strobe generator 24 is variably controlled according to a controller or the like that operates according to the test program. As an example, the strobe generator 24 may generate a strobe signal 540 including a pulse waveform at a timing at which the observation target signal 530 should be taken.

フリップフロップ２６は、論理波形の観測対象信号５３０を受け、観測対象信号５３０により表された論理値をストローブ信号５４０のタイミングでラッチする。そして、フリップフロップ２６は、ラッチした論理値を表す取得信号５５０を出力する。本実施形態において、フリップフロップ２６は、入力端（Ｄ端）から観測対象信号５３０を入力する。本実施形態において、フリップフロップ２６は、クロック端からストローブ信号５４０を入力する。 The flip-flop 26 receives the observation target signal 530 having the logic waveform, and latches the logical value represented by the observation target signal 530 at the timing of the strobe signal 540. Then, the flip-flop 26 outputs an acquisition signal 550 representing the latched logical value. In the present embodiment, the flip-flop 26 inputs the observation target signal 530 from the input end (D end). In the present embodiment, the flip-flop 26 receives the strobe signal 540 from the clock end.

フリップフロップ２６は、クロック端から入力したストローブ信号５４０のタイミングで、入力端から入力した観測対象信号５３０の値（Ｈ論理またはＬ論理）を取得する。フリップフロップ２６は、取得した値（Ｈ論理またはＬ論理）を表す取得信号５５０を出力端（Ｏ端）から出力する。なお、フリップフロップ２６は、同一タイミングのストローブ信号５４０であっても、製造ばらつき要因、その他の要因によって、極小な取得タイミングのずれが生じる場合がある。 The flip-flop 26 acquires the value (H logic or L logic) of the observation target signal 530 input from the input terminal at the timing of the strobe signal 540 input from the clock terminal. The flip-flop 26 outputs an acquisition signal 550 representing the acquired value (H logic or L logic) from the output terminal (O terminal). Note that, even if the strobe signal 540 has the same timing, the flip-flop 26 may cause a minimal shift in acquisition timing due to manufacturing variation factors and other factors.

変更部２８は、フリップフロップ２６の出力状態に基づいてストローブ信号５４０のタイミングを変更する。すなわち、変更部２８は、直前のストローブ信号５４０に応じてフリップフロップ２６により取得された直前の観測対象信号５３０の値に応じて、次の観測対象信号５３０を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングを変更する。本実施形態において、変更部２８は、直前のストローブ信号５４０に応じて取得された観測対象信号５３０の値がＨ論理かＬ論理かに応じて、次の観測対象信号５３０の値を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングを切り換える。 The changing unit 28 changes the timing of the strobe signal 540 based on the output state of the flip-flop 26. That is, the changing unit 28 sets the next strobe signal 540 for capturing the next observation target signal 530 in accordance with the value of the previous observation target signal 530 acquired by the flip-flop 26 according to the previous strobe signal 540. Change the timing. In the present embodiment, the changing unit 28 takes in the value of the next observation target signal 530 according to whether the value of the observation target signal 530 acquired according to the immediately preceding strobe signal 540 is H logic or L logic. The timing of the next strobe signal 540 is switched.

変更部２８は、一例として、複数の遅延部３２と、選択部３４とを有してよい。複数の遅延部３２のそれぞれは、ストローブ信号５４０を、互いに異なる遅延量だけ遅延させる。複数の遅延部３２のうちの１つは、バッファ回路等の固定遅延量であってもよい。選択部３４は、フリップフロップ２６の出力信号である取得信号５５０を受けて、複数の遅延部３２により互いに異なる遅延量だけ遅延された複数のストローブ信号５４０の中から、何れかを選択して、フリップフロップ２６のクロック入力端へ供給する。 For example, the changing unit 28 may include a plurality of delay units 32 and a selection unit 34. Each of the plurality of delay units 32 delays the strobe signal 540 by a different delay amount. One of the plurality of delay units 32 may be a fixed delay amount such as a buffer circuit. The selection unit 34 receives the acquisition signal 550 that is an output signal of the flip-flop 26, selects one of the plurality of strobe signals 540 delayed by different delay amounts by the plurality of delay units 32, and This is supplied to the clock input terminal of the flip-flop 26.

ここで、本実施形態においては、変更部２８は、Ｈ側遅延部３２−１と、Ｌ側遅延部３２−２と、選択部３４とを有する。Ｈ側遅延部３２−１およびＬ側遅延部３２−２は、ストローブ信号５４０を、互いに異なる遅延量だけ遅延させる。Ｈ側遅延部３２−１およびＬ側遅延部３２−２は、一方が固定遅延量であってよい。選択部３４は、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理の場合、Ｈ側遅延部３２−１により遅延されたストローブ信号５４０を次のストローブ信号５４０として選択する。選択部３４は、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理の場合、Ｌ側遅延部３２−２により遅延されたストローブ信号５４０を次のストローブ信号５４０として選択する。これにより、変更部２８は、フリップフロップ２６の出力状態に基づき観測対象信号５３０の取得タイミング（ストローブタイミング）の遅延量を微小に変更することができる。 Here, in the present embodiment, the changing unit 28 includes an H-side delay unit 32-1, an L-side delay unit 32-2, and a selection unit 34. The H-side delay unit 32-1 and the L-side delay unit 32-2 delay the strobe signal 540 by different delay amounts. One of the H-side delay unit 32-1 and the L-side delay unit 32-2 may be a fixed delay amount. When the value of the immediately preceding observation target signal 530 is H logic, the selection unit 34 selects the strobe signal 540 delayed by the H-side delay unit 32-1 as the next strobe signal 540. When the value of the previous observation target signal 530 is L logic, the selection unit 34 selects the strobe signal 540 delayed by the L-side delay unit 32-2 as the next strobe signal 540. Thereby, the changing unit 28 can slightly change the delay amount of the acquisition timing (strobe timing) of the observation target signal 530 based on the output state of the flip-flop 26.

図３は、観測対象信号５３０、ストローブ信号５４０およびフリップフロップ２６による取得値の一例を示す。ストローブ発生部２４は、一例として、当該試験装置１０による試験のための基本となる周期（試験周期）毎に、指定された位相のタイミングでストローブ信号５４０を発生する。フリップフロップ２６は、ストローブ信号５４０が発生されたタイミングで、観測対象信号５３０の値（Ｈ論理またはＬ論理）をラッチする。このようにフリップフロップ２６は、試験周期毎に観測対象信号５３０の値を取得することができる。 FIG. 3 shows an example of values obtained by the observation target signal 530, the strobe signal 540, and the flip-flop 26. For example, the strobe generator 24 generates a strobe signal 540 at a designated phase timing for each basic period (test period) for the test by the test apparatus 10. The flip-flop 26 latches the value (H logic or L logic) of the observation target signal 530 at the timing when the strobe signal 540 is generated. In this manner, the flip-flop 26 can acquire the value of the observation target signal 530 for each test cycle.

図４は、直前のストローブ信号５４０のタイミングで取得された観測対象信号５３０の値がＨ論理の場合における、フリップフロップ２６から出力される取得信号５５０の一例を示す。図５は、直前のストローブ信号５４０のタイミングで取得された観測対象信号５３０の値がＬ論理の場合における、フリップフロップ２６から出力される取得信号５５０の一例を示す。 FIG. 4 shows an example of the acquisition signal 550 output from the flip-flop 26 when the value of the observation target signal 530 acquired at the timing of the immediately preceding strobe signal 540 is H logic. FIG. 5 shows an example of the acquisition signal 550 output from the flip-flop 26 when the value of the observation target signal 530 acquired at the timing of the immediately preceding strobe signal 540 is L logic.

図４の（Ａ）および図５の（Ａ）は、同一波形の観測対象信号５３０を示す。図４の（Ｂ）は、（Ａ）に示された観測対象信号５３０に対して、時刻ｔ０１、時刻ｔ１、時刻ｔ２、時刻ｔ３のタイミングで発生されたストローブ信号５４０を示す。図５の（Ｂ）は、（Ａ）に示された観測対象信号５３０に対して、時刻ｔ０２、時刻ｔ１、時刻ｔ２、時刻ｔ３のタイミングで発生されたストローブ信号５４０を示す。 4A and 5A show the observation target signal 530 having the same waveform. FIG. 4B shows a strobe signal 540 generated at the timing of time t01, time t1, time t2, and time t3 with respect to the observation target signal 530 shown in FIG. (B) of FIG. 5 shows the strobe signal 540 generated at the timing of time t02, time t1, time t2, and time t3 with respect to the observation target signal 530 shown in (A).

図４の（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）は、時刻ｔ０１のタイミングのストローブ信号５４０で観測対象信号５３０の値を取得した後、時刻ｔ１、ｔ２、ｔ３のタイミングのストローブ信号５４０で観測対象信号５３０を取得した場合の取得信号５５０を示す。図５の（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）は、時刻ｔ０２のタイミングのストローブ信号５４０で観測対象信号５３０の値を取得した後、時刻ｔ１、ｔ２、ｔ３のタイミングのストローブ信号５４０で観測対象信号５３０を取得した場合の取得信号５５０を示す。 (C), (D), and (E) in FIG. 4 are obtained by obtaining the value of the observation target signal 530 using the strobe signal 540 at the time t01 and then using the strobe signal 540 at the times t1, t2, and t3. An acquisition signal 550 when the target signal 530 is acquired is shown. (C), (D), and (E) in FIG. 5 are obtained by obtaining the value of the observation target signal 530 using the strobe signal 540 at time t02 and then using the strobe signal 540 at times t1, t2, and t3. An acquisition signal 550 when the target signal 530 is acquired is shown.

なお、時刻ｔ０１は、観測対象信号５３０がＨ論理となっている任意のタイミングを示す。時刻ｔ０２は、観測対象信号５３０がＬ論理となっている任意のタイミングを示す。時刻ｔ１、ｔ２、ｔ３のそれぞれは、時刻ｔ０１および時刻ｔ０２で発生されたストローブ信号５４０の次のストローブ信号５４０の発生範囲であって、観測対象信号５３０がＬ論理からＨ論理への変化中のタイミングを示す。 Note that time t01 indicates an arbitrary timing at which the observation target signal 530 is H logic. Time t02 indicates an arbitrary timing when the observation target signal 530 is L logic. Each of the times t1, t2, and t3 is a generation range of the strobe signal 540 next to the strobe signal 540 generated at the times t01 and t02, and the observation target signal 530 is changing from the L logic to the H logic. Indicates timing.

ここで、理想的なフリップフロップは、観測対象信号５３０とストローブ信号５４０との相対タイミングが同一であれば、フリップフロップ２６の出力状態に関わらず、常に同一の再現性で値を取得する。しかし、現実のフリップフロップ２６は、製造ばらつき、その他の要因でこの再現性がばらつく場合がある。ここで、再現性がばらつく範囲をデッドバンドという。デッドバンドは、使用する回路素子、製造ばらつき等に依存して変わり、ゼロの場合もあるが、数ピコ秒〜数十ピコ秒程度が見込まれる。 Here, an ideal flip-flop always obtains a value with the same reproducibility regardless of the output state of the flip-flop 26 if the relative timings of the observation target signal 530 and the strobe signal 540 are the same. However, the actual flip-flop 26 may vary in reproducibility due to manufacturing variations and other factors. Here, the range where the reproducibility varies is called a dead band. The dead band varies depending on the circuit element to be used, manufacturing variation, and the like, and may be zero, but is expected to be about several picoseconds to several tens of picoseconds.

例えば、図４および図５の時刻ｔ１のタイミングにおいて、共にＬ論理を取得する。また、フリップフロップ２６は、例えば、図４および図５の時刻ｔ３のタイミングにおいて、共にＨ論理を取得する。しかし、フリップフロップ２６は、観測対象信号５３０とストローブ信号５４０との相対タイミングが当該フリップフロップ２６におけるデッドバンドの範囲に含まれる場合、直前に取得した観測対象信号５３０の値がＨ論理かまたはＬ論理かによって、異なる値を取得する。例えば図４に示されるように、直前に取得した値がＨ論理の場合、フリップフロップ２６は、時刻ｔ２のタイミングにおいてＨ論理を取得する。これに対して、例えば図５に示されるように、直前に取得した値がＬ論理の場合、フリップフロップ２６は、時刻ｔ２のタイミングにおいてＬ論理を取得する。 For example, at the timing of time t1 in FIGS. 4 and 5, both L logics are acquired. In addition, the flip-flop 26 acquires the H logic at the time t3 in FIGS. 4 and 5, for example. However, when the relative timing between the observation target signal 530 and the strobe signal 540 is included in the dead band range in the flip-flop 26, the flip-flop 26 indicates that the value of the observation target signal 530 acquired immediately before is H logic or L Different values are obtained depending on the logic. For example, as shown in FIG. 4, when the value acquired immediately before is H logic, the flip-flop 26 acquires H logic at the timing of time t2. On the other hand, for example, as shown in FIG. 5, when the value acquired immediately before is L logic, the flip-flop 26 acquires L logic at the timing of time t2.

図６は、観測対象信号５３０が立上りエッジの場合の変更部２８によるストローブ信号５４０のタイミングの変更例を示す。図７は、観測対象信号５３０が立下りエッジの場合の変更部２８によるストローブ信号５４０のタイミングの変更例を示す。 FIG. 6 shows an example of changing the timing of the strobe signal 540 by the changing unit 28 when the observation target signal 530 is a rising edge. FIG. 7 shows an example of changing the timing of the strobe signal 540 by the changing unit 28 when the observation target signal 530 is a falling edge.

観測対象信号５３０が立上りエッジの場合、フリップフロップ２６のデッドバンドは、図６に示すような範囲となる。すなわちこの場合のデッドバンドは、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理だった場合における取得信号５５０がＬ論理からＨ論理へと切り替わる切替タイミング（ｔ１１）と、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理だった場合における取得信号５５０がＬ論理からＨ論理へと切り替わる切替タイミング（ｔ１２）との間となる。なお、立上りエッジの場合のフリップフロップ２６のデッドバンドは、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理だった場合における切替タイミング（ｔ１１）が、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理だった場合における切替タイミング（ｔ１２）よりも時間的に前の場合、および後の場合のいずれも存在する。 When the observation target signal 530 is a rising edge, the dead band of the flip-flop 26 is in a range as shown in FIG. That is, the dead band in this case includes the switching timing (t11) at which the acquired signal 550 switches from L logic to H logic when the value of the immediately preceding observation target signal 530 is H logic, and the value of the immediately preceding observation target signal 530. When the signal is L logic, the acquisition signal 550 is between the switching timing (t12) at which the L signal is switched to the H logic. The dead band of the flip-flop 26 in the case of the rising edge is the switching timing (t11) when the value of the immediately preceding observation target signal 530 is H logic, and the value of the immediately preceding observation target signal 530 is L logic. Both the case before and after the switching timing (t12) in the case exists.

また、観測対象信号５３０が立下りエッジの場合、フリップフロップ２６のデッドバンドは、図７に示すような範囲となる。すなわちこの場合のデッドバンドは、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理だった場合における取得信号５５０がＨ論理からＬ論理へと切り替わる切替タイミング（ｔ２１）と、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理だった場合における取得信号５５０がＨ論理からＬ論理へと切り替わる切替タイミング（ｔ２２）との間となる。なお、立下りエッジの場合のフリップフロップ２６のデッドバンドは、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理だった場合における切替タイミング（ｔ２１）が、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理だった場合における切替タイミング（ｔ２２）よりも時間的に前の場合、および後の場合のいずれも存在する。 When the observation target signal 530 is a falling edge, the dead band of the flip-flop 26 is in a range as shown in FIG. That is, the dead band in this case includes the switching timing (t21) at which the acquired signal 550 switches from H logic to L logic when the value of the immediately preceding observation target signal 530 is H logic, and the value of the immediately preceding observation target signal 530. When the signal is L logic, the acquisition signal 550 is between the switching timing (t22) at which the H signal is switched from H logic to L logic. The dead band of the flip-flop 26 in the case of the falling edge is the switching timing (t21) when the value of the immediately preceding observation target signal 530 is H logic, and the value of the immediately preceding observation target signal 530 is L logic. There are cases both before and after the switching timing (t22) in the case of the case.

ここで、本実施形態において、変更部２８は、直前のストローブ信号５４０に応じてフリップフロップ２６により取得された直前の観測対象信号５３０の値（Ｈ論理またはＬ論理）に応じて、次の観測対象信号５３０を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングを変更する。この場合において、変更部２８は、直前のストローブ信号５４０に応じてフリップフロップ２６により取得された直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理である場合の次のストローブ信号５４０のタイミングと、直前のストローブ信号５４０に応じてフリップフロップ２６により取得された直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理である場合の次のストローブ信号５４０のタイミングとの間に、デッドバンドに対応する時間差を設ける。 Here, in the present embodiment, the changing unit 28 performs the next observation according to the value (H logic or L logic) of the immediately preceding observation target signal 530 acquired by the flip-flop 26 according to the immediately preceding strobe signal 540. The timing of the next strobe signal 540 for capturing the target signal 530 is changed. In this case, the changing unit 28 determines the timing of the next strobe signal 540 when the value of the immediately preceding observation target signal 530 acquired by the flip-flop 26 according to the immediately preceding strobe signal 540 is H logic, A time difference corresponding to the dead band is provided between the timing of the next strobe signal 540 when the value of the observation target signal 530 immediately before acquired by the flip-flop 26 according to the strobe signal 540 is L logic.

例えば、図６に示すように、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理だった場合の切替タイミング（ｔ１２）が、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理だった場合の切替タイミング（ｔ１１）よりも時間的に後であるとする。このような場合、変更部２８は、一例として、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理であれば、次の観測対象信号５３０を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングをデッドバンドに対応する時間差分遅延する。そして、変更部２８は、一例として、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理であれば、次の観測対象信号５３０を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングを遅延しない。 For example, as shown in FIG. 6, the switching timing (t12) when the value of the immediately preceding observation target signal 530 is L logic is the switching timing (t11) when the value of the immediately preceding observation target signal 530 is H logic. ) Later in time. In such a case, as an example, if the value of the immediately preceding observation target signal 530 is L logic, the changing unit 28 corresponds to the timing of the next strobe signal 540 for taking in the next observation target signal 530 to the dead band. Delay time difference. For example, if the value of the immediately preceding observation target signal 530 is logic H, the changing unit 28 does not delay the timing of the next strobe signal 540 for taking in the next observation target signal 530.

また、例えば、図７に示すように、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理だった場合の切替タイミング（ｔ２１）が、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理だった場合の切替タイミング（ｔ２２）よりも時間的に後であるとする。このような場合、変更部２８は、一例として、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理であれば、次の観測対象信号５３０を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングをデッドバンドに対応する時間差分遅延する。そして、変更部２８は、一例として、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理であれば、次の観測対象信号５３０を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングを遅延しない。 Also, for example, as shown in FIG. 7, the switching timing (t21) when the value of the immediately preceding observation target signal 530 is H logic is the switching timing when the value of the immediately preceding observation target signal 530 is L logic. It is assumed that it is later in time than (t22). In such a case, for example, if the value of the immediately preceding observation target signal 530 is H logic, the changing unit 28 corresponds to the dead band timing of the next strobe signal 540 for capturing the next observation target signal 530. Delay time difference. For example, the change unit 28 does not delay the timing of the next strobe signal 540 for fetching the next observation target signal 530 if the value of the previous observation target signal 530 is L logic.

このように、変更部２８は、直前の観測対象信号５３０の値が取得信号５５０の論理切替タイミングが時間的に後となる論理値の場合、直前の観測対象信号５３０の値が取得信号５５０の論理切替タイミングが時間的に前となる論理値の場合よりも、次の観測対象信号５３０を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングを、デッドバンドに対応する時間差分遅延する。これにより、変更部２８は、観測対象信号５３０とストローブ信号５４０との相対タイミングがデッドバンドの範囲に含まれても、直前に取得した観測対象信号５３０の値に関わらず、フリップフロップ２６に対して同一の値を取得させることができる。従って、取得装置１４によれば、観測対象信号５３０の値を精度良く取り込むことができる。 In this manner, the changing unit 28 determines that the value of the immediately preceding observation target signal 530 is the logical value of the acquisition signal 550 when the logical switching timing of the acquisition signal 550 is later in time. The timing of the next strobe signal 540 for capturing the next observation target signal 530 is delayed by a time difference corresponding to the dead band, compared to the case where the logic switching timing is a logical value that is temporally previous. As a result, the changing unit 28 sets the flip-flop 26 to the flip-flop 26 regardless of the value of the observation target signal 530 acquired immediately before the relative timing between the observation target signal 530 and the strobe signal 540 is included in the dead band range. To obtain the same value. Therefore, according to the acquisition device 14, the value of the observation target signal 530 can be captured with high accuracy.

図８は、本実施形態の第１変形例に係る取得装置１４の構成を示す。本変形例に係る試験装置１０は、本実施形態に係る試験装置１０と略同一の構成および機能を採るので、本実施形態に係る試験装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。 FIG. 8 shows a configuration of the acquisition device 14 according to the first modification of the present embodiment. Since the test apparatus 10 according to the present modification has substantially the same configuration and function as the test apparatus 10 according to the present embodiment, the test apparatus 10 according to the present embodiment has substantially the same configuration and function as the members included in the test apparatus 10 according to the present embodiment. The same reference numerals are assigned, and the description will be omitted except for the following differences.

本変形例に係る取得装置１４は、更に、スイッチ４０と、第１取得処理部４２と、第２取得処理部４４と、調整部４６とを備える。スイッチ４０は、通常動作時において、レベル比較部２２から出力される観測対象信号５３０をフリップフロップ２６の入力端に入力させる。スイッチ４０は、調整時において、レベル比較部２２から出力される観測対象信号５３０に代えて、第１取得処理部４２および第２取得処理部４４から出力される第１観測対象信号５６０および第２観測対象信号５７０を、フリップフロップ２６の入力端に入力させる。 The acquisition apparatus 14 according to the present modification further includes a switch 40, a first acquisition processing unit 42, a second acquisition processing unit 44, and an adjustment unit 46. The switch 40 causes the observation target signal 530 output from the level comparison unit 22 to be input to the input terminal of the flip-flop 26 during normal operation. At the time of adjustment, the switch 40 replaces the observation target signal 530 output from the level comparison unit 22 with the first observation target signal 560 and the second observation target signal 560 output from the first acquisition processing unit 42 and the second acquisition processing unit 44. An observation target signal 570 is input to the input terminal of the flip-flop 26.

第１取得処理部４２は、フリップフロップ２６が第１論理値を取得している第１状態において、調整用の第１観測対象信号５６０をフリップフロップ２６に出力する。そして、第１取得処理部４２は、調整用の第１観測対象信号５６０を第１論理値に応じて選択されたストローブ信号５４０により取得させる。なお、第１論理値は、Ｈ0論理またはＬ論理のいずれかであってよい。また、第２論理値は、第１論理値がＨ論理の場合、Ｌ論理であり、第１論理値がＬ論理の場合、Ｈ論理であってよい。第１取得処理部４２は、一例として、直前のストローブ信号５４０のタイミングにおいて第１論理値（例えばＨ論理）となっている波形と、次のストローブ信号５４０の発生範囲内における予め定められたタイミングにおいて第２論理値（例えばＬ論理）から第１論理値（例えばＨ論理）に変化する波形とを有する第１観測対象信号５６０を、フリップフロップ２６に対して出力してよい。 The first acquisition processing unit 42 outputs the first observation target signal 560 for adjustment to the flip-flop 26 in the first state in which the flip-flop 26 acquires the first logical value. Then, the first acquisition processing unit 42 acquires the first observation target signal 560 for adjustment from the strobe signal 540 selected according to the first logical value. The first logic value may be either H0 logic or L logic. The second logic value may be L logic when the first logic value is H logic, and may be H logic when the first logic value is L logic. For example, the first acquisition processing unit 42 has a waveform that is the first logic value (for example, H logic) at the timing of the previous strobe signal 540 and a predetermined timing within the generation range of the next strobe signal 540. , The first observation target signal 560 having a waveform that changes from the second logic value (for example, L logic) to the first logic value (for example, H logic) may be output to the flip-flop 26.

第２取得処理部４４は、フリップフロップ２６が第２論理値を取得している第２状態において、変更部２８によるタイミング変更前のストローブ信号５４０に対して第１観測対象信号５６０と同一の波形を有する調整用の第２観測対象信号５７０をフリップフロップ２６に出力する。そして、第２取得処理部４４は、調整用の第２観測対象信号５７０を第２論理値に応じて選択されたストローブ信号５４０により取得させる。第１取得処理部４２は、一例として、直前のストローブ信号５４０のタイミングにおいて第２論理値（例えばＬ論理）となっている波形と、次のストローブ信号５４０の発生範囲内における予め定められたタイミングにおいて第２論理値（例えばＬ論理）から第１論理値（例えばＨ論理）に変化する波形とを有する第２観測対象信号５７０を、フリップフロップ２６に対して出力してよい。 The second acquisition processing unit 44 has the same waveform as the first observation target signal 560 with respect to the strobe signal 540 before the timing change by the changing unit 28 in the second state in which the flip-flop 26 acquires the second logical value. Is output to the flip-flop 26. Then, the second acquisition processing unit 44 acquires the second observation target signal 570 for adjustment from the strobe signal 540 selected according to the second logical value. For example, the first acquisition processing unit 42 has a waveform that is the second logic value (for example, L logic) at the timing of the immediately preceding strobe signal 540 and a predetermined timing within the generation range of the next strobe signal 540. , The second observation target signal 570 having a waveform that changes from the second logic value (for example, L logic) to the first logic value (for example, H logic) may be output to the flip-flop 26.

調整部４６は、第１取得処理部４２および第２取得処理部４４がフリップフロップ２６に取得させた第１観測対象信号５６０および第２観測対象信号５７０の値が同一となるように、第１論理値および第２論理値に応じて選択されるＨ側遅延部３２−１およびＬ側遅延部３２−２の遅延量の差を調整する。調整部４６は、一例として、ストローブ発生部２４を制御して、当該ストローブ発生部２４から出力されるストローブ信号５４０のタイミングを順次変化させながら、Ｈ側遅延部３２−１およびＬ側遅延部３２−２の遅延量の差を調整する。 The adjustment unit 46 includes the first observation target signal 560 and the second observation target signal 570 acquired by the flip-flop 26 by the first acquisition processing unit 42 and the second acquisition processing unit 44 so that the values thereof are the same. A difference in delay amount between the H-side delay unit 32-1 and the L-side delay unit 32-2 selected according to the logic value and the second logic value is adjusted. For example, the adjustment unit 46 controls the strobe generation unit 24 to sequentially change the timing of the strobe signal 540 output from the strobe generation unit 24, while controlling the H-side delay unit 32-1 and the L-side delay unit 32. -2 delay amount difference is adjusted.

図９は、図８に示した第１変形例に係る取得装置１４による、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差を調整する調整処理フローを示す。まず、取得装置１４は、デッドバンドの開始位置を検出する（Ｓ１００１）。次に、取得装置１４は、デッドバンドに対応した時間差となるように、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差を調整する（Ｓ１００２）。 FIG. 9 shows an adjustment processing flow for adjusting the difference in delay amount between the H-side delay unit 32-1 and the L-side delay unit 32-2 by the acquisition apparatus 14 according to the first modification shown in FIG. First, the acquisition device 14 detects the start position of the dead band (S1001). Next, the acquisition apparatus 14 adjusts the difference in delay amount between the H-side delay unit 32-1 and the L-side delay unit 32-2 so that the time difference corresponds to the dead band (S1002).

図１０は、図９のステップＳ１００１における詳細な処理フローを示す。図１１は、ステップＳ１００１の処理中における、第１観測対象信号５６０（第２観測対象信号５７０）、遅延ストローブ信号６００およびフリップフロップ２６の取得値の一例を示す。 FIG. 10 shows a detailed processing flow in step S1001 of FIG. FIG. 11 illustrates an example of acquired values of the first observation target signal 560 (second observation target signal 570), the delayed strobe signal 600, and the flip-flop 26 during the process of step S1001.

ステップＳ１００１の処理において、まず、調整部４６は、Ｈ側遅延部３２−１およびＬ側遅延部３２−２の遅延量を一致させる（Ｓ１０１１）。すなわち、調整部４６は、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差を０とする。 In the process of step S1001, the adjustment unit 46 first matches the delay amounts of the H-side delay unit 32-1 and the L-side delay unit 32-2 (S1011). That is, the adjustment unit 46 sets the difference in delay amount between the H-side delay unit 32-1 and the L-side delay unit 32-2 to zero.

次に、調整部４６は、ステップＳ１０１３〜ステップＳ１０１５の処理を、ストローブ信号５４０のタイミングを順次に変更しながら繰返し実行する（Ｓ１０１２、Ｓ１０１６）。調整部４６は、一例として、ストローブ信号５４０のタイミングをデッドバンドの開始位置よりも十分に前の位置から所定時間間隔で順次に後ろにずらしながら、ステップＳ１０１３〜ステップＳ１０１５の処理を繰り返し実行する。 Next, the adjustment unit 46 repeatedly executes the processes of steps S1013 to S1015 while sequentially changing the timing of the strobe signal 540 (S1012 and S1016). For example, the adjustment unit 46 repeatedly executes the processing of steps S1013 to S1015 while sequentially shifting the timing of the strobe signal 540 from the position sufficiently before the start position of the dead band sequentially at a predetermined time interval.

ステップＳ１０１３〜１０１５の処理において、まず、調整部４６は、第１取得処理部４２に処理を実行させる（Ｓ１０１３）。ステップＳ１０１３において、第１取得処理部４２は、一例として、直前のストローブ信号５４０のタイミングにおいてＨ論理となっている波形を有する信号をフリップフロップ２６に出力して、フリップフロップ２６をＨ論理状態にする。ステップＳ１０１３において、続いて、第１取得処理部４２は、予め定められたタイミングにおいてＬ論理からＨ論理に立ち上がる波形を有する第１観測対象信号５６０をフリップフロップ２６に出力する。これにより、第１取得処理部４２は、調整部４６によって設定されたストローブ信号５４０のタイミングで、フリップフロップ２６に第１観測対象信号５６０の論理値を取得させることができる。 In the processing of steps S1013 to 1015, first, the adjustment unit 46 causes the first acquisition processing unit 42 to execute processing (S1013). In step S1013, for example, the first acquisition processing unit 42 outputs, to the flip-flop 26, a signal having a waveform that is H logic at the timing of the immediately preceding strobe signal 540, and sets the flip-flop 26 to the H logic state. To do. In step S <b> 1013, subsequently, the first acquisition processing unit 42 outputs the first observation target signal 560 having a waveform that rises from L logic to H logic at a predetermined timing to the flip-flop 26. Thereby, the first acquisition processing unit 42 can cause the flip-flop 26 to acquire the logical value of the first observation target signal 560 at the timing of the strobe signal 540 set by the adjustment unit 46.

次に、調整部４６は、第２取得処理部４４に処理を実行させる（Ｓ１０１４）。ステップＳ１０１４において、第２取得処理部４４は、一例として、直前のストローブ信号５４０のタイミングにおいてＬ論理となっている波形を有する信号をフリップフロップ２６に出力して、フリップフロップ２６をＬ論理状態にする。ステップＳ１０１４において、続いて、第２取得処理部４４は、予め定められたタイミング（ステップＳ１０１３と同一タイミング）においてＬ論理からＨ論理に立ち上がる波形（ステップＳ１０１３と同一波形）を有する第２観測対象信号５７０をフリップフロップ２６に出力する。これにより、第１取得処理部４２は、調整部４６によって設定されたストローブ信号５４０のタイミングで、フリップフロップ２６に第２観測対象信号５７０の論理値を取得させることができる。 Next, the adjustment unit 46 causes the second acquisition processing unit 44 to execute processing (S1014). In step S1014, for example, the second acquisition processing unit 44 outputs, to the flip-flop 26, a signal having a waveform that is L logic at the timing of the previous strobe signal 540, and sets the flip-flop 26 to the L logic state. To do. In step S1014, subsequently, the second acquisition processing unit 44 has a second observation target signal having a waveform (the same waveform as step S1013) that rises from L logic to H logic at a predetermined timing (same timing as step S1013). 570 is output to the flip-flop 26. Thereby, the first acquisition processing unit 42 can cause the flip-flop 26 to acquire the logical value of the second observation target signal 570 at the timing of the strobe signal 540 set by the adjustment unit 46.

次に、調整部４６は、ステップＳ１０１３でのフリップフロップ２６による第１観測対象信号５６０の取得結果（Ｈ状態取得値）と、ステップＳ１０１４でのフリップフロップ２６による第２観測対象信号５７０の取得結果（Ｌ状態取得値）とを比較する（Ｓ１０１５）。ここで、図１１に示すように、Ｈ状態取得値およびＬ状態取得値は、デッドバンドの範囲以外では同一の値となり、デッドバンドの範囲内では異なる値となる。従って、ストローブ信号のタイミングを、デッドバンドの開始位置よりも十分に前の位置から順次に後ろにずらしていった場合、Ｈ状態取得値およびＬ状態取得値は、最初同一であり、デッドバンドの開始位置に一致すると違いが生じる。 Next, the adjustment unit 46 obtains the first observation target signal 560 (H state acquisition value) by the flip-flop 26 in step S1013, and obtains the second observation target signal 570 by the flip-flop 26 in step S1014. (L state acquisition value) is compared (S1015). Here, as shown in FIG. 11, the H state acquisition value and the L state acquisition value are the same value outside the dead band range, and are different values within the dead band range. Therefore, when the timing of the strobe signal is sequentially shifted backward from a position sufficiently before the start position of the dead band, the H state acquisition value and the L state acquisition value are initially the same, and the dead band A difference occurs when the start position is matched.

次に、調整部４６は、ステップＳ１０１５においてＨ状態取得値とＬ状態取得値とが同一である場合、ステップＳ１０１３〜Ｓ１０１５の処理を繰り返す（Ｓ１０１２、Ｓ１０１６）。そして、調整部４６は、ステップＳ１０１５においてＨ状態取得値とＬ状態取得値とが異なると、ステップＳ１０１２〜Ｓ１０１６の処理を抜ける（Ｓ１０１６）。このようにして、調整部４６は、デッドバンドの開始位置を検出することができる。そして、調整部４６は、ステップＳ１０１２〜Ｓ１０１６の処理を抜けると、処理を図９のステップＳ１００２に移す。 Next, when the H state acquisition value and the L state acquisition value are the same in step S1015, the adjustment unit 46 repeats the processes of steps S1013 to S1015 (S1012 and S1016). If the H state acquisition value is different from the L state acquisition value in step S1015, the adjustment unit 46 exits the processes of steps S1012 to S1016 (S1016). In this way, the adjustment unit 46 can detect the start position of the dead band. And the adjustment part 46 will move a process to step S1002 of FIG. 9, if the process of step S1012-S1016 is exited.

図１２は、図９のステップＳ１００２における詳細な処理フローを示す。図１３は、ステップＳ１００２の処理中における、第１観測対象信号５６０（第２観測対象信号５７０）、遅延ストローブ信号６００およびフリップフロップ２６の取得値の一例を示す。 FIG. 12 shows a detailed processing flow in step S1002 of FIG. FIG. 13 shows an example of acquired values of the first observation target signal 560 (second observation target signal 570), the delayed strobe signal 600, and the flip-flop 26 during the process of step S1002.

ステップＳ１００２の処理において、調整部４６は、ステップＳ１０２２〜ステップＳ１０２４の処理を、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差を順次に変更しながら繰返し実行する（Ｓ１０２１、Ｓ１０２５）。調整部４６は、一例として、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差を、０から所定量ずつ順次大きくしながら、ステップＳ１０２２〜ステップＳ１０２４の処理を繰返し実行する。この場合、調整部４６は、他方の遅延量を固定としてよい。 In the process of step S1002, the adjusting unit 46 repeatedly executes the processes of steps S1022 to S1024 while sequentially changing the difference in delay amount between the H-side delay unit 32-1 and the L-side delay unit 32-2. (S1021, S1025). For example, the adjustment unit 46 repeats the processing from step S1022 to step S1024 while sequentially increasing the difference in delay amount between the H-side delay unit 32-1 and the L-side delay unit 32-2 from 0 by a predetermined amount. Execute. In this case, the adjustment unit 46 may fix the other delay amount.

なお、ここで、調整部４６は、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理だった場合における取得信号５５０の論理値の切替タイミングが、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理だった場合における取得信号５５０の論理値の切替タイミングよりも時間的に後である場合には、Ｌ側遅延部３２−２の遅延量を順次に大きくしてよい。また、調整部４６は、切替タイミングの関係が逆の場合には、Ｈ側遅延部３２−１の遅延量を順次に大きくしてよい。 Here, the adjustment unit 46 switches the logical value of the acquisition signal 550 when the value of the previous observation target signal 530 is L logic when the value of the previous observation target signal 530 is H logic. When the timing is later than the switching timing of the logical value of the acquisition signal 550, the delay amount of the L-side delay unit 32-2 may be sequentially increased. Further, the adjustment unit 46 may sequentially increase the delay amount of the H-side delay unit 32-1, when the relationship between the switching timings is reversed.

ステップＳ１０２２〜１０２４において、まず、調整部４６は、第１取得処理部４２に処理を実行させる（Ｓ１０２２）。ステップＳ１０２２において、第１取得処理部４２は、一例として、直前のストローブ信号５４０のタイミングにおいてＨ論理となっている波形を有する信号をフリップフロップ２６に出力して、フリップフロップ２６をＨ論理状態にする。ステップＳ１０２２において、続いて、第１取得処理部４２は、予め定められたタイミングにおいてＬ論理からＨ論理に立ち上がる波形を有する第１観測対象信号５６０をフリップフロップ２６に出力する。これにより、第１取得処理部４２は、調整部４６によって設定されたストローブ信号５４０のタイミングで、フリップフロップ２６に第１観測対象信号５６０の論理値を取得させることができる。 In steps S1022 to 1024, the adjustment unit 46 first causes the first acquisition processing unit 42 to execute processing (S1022). In step S1022, for example, the first acquisition processing unit 42 outputs to the flip-flop 26 a signal having a waveform that is H logic at the timing of the immediately preceding strobe signal 540, and sets the flip-flop 26 to the H logic state. To do. Next, in step S1022, the first acquisition processing unit 42 outputs the first observation target signal 560 having a waveform that rises from L logic to H logic at a predetermined timing to the flip-flop 26. Thereby, the first acquisition processing unit 42 can cause the flip-flop 26 to acquire the logical value of the first observation target signal 560 at the timing of the strobe signal 540 set by the adjustment unit 46.

次に、調整部４６は、第２取得処理部４４に処理を実行させる（Ｓ１０２３）。ステップＳ１０２３において、第２取得処理部４４は、一例として、直前のストローブ信号５４０のタイミングにおいてＬ論理となっている波形を有する信号をフリップフロップ２６に出力して、フリップフロップ２６をＬ論理状態にする。ステップＳ１０２３において、続いて、第２取得処理部４４は、予め定められたタイミング（ステップＳ１０２２と同一タイミング）においてＬ論理からＨ論理に立ち上がる波形（ステップＳ１０２２と同一波形）を有する第２観測対象信号５７０をフリップフロップ２６に出力する。これにより、第２取得処理部４４は、ステップＳ１０２２のストローブ信号５４０のタイミングから遅延量の差分遅延したタイミングで、フリップフロップ２６に第２観測対象信号５７０の論理値を取得させることができる。 Next, the adjustment unit 46 causes the second acquisition processing unit 44 to execute processing (S1023). In step S1023, for example, the second acquisition processing unit 44 outputs, to the flip-flop 26, a signal having a waveform that is L logic at the timing of the previous strobe signal 540, and sets the flip-flop 26 to the L logic state. To do. Next, in step S1023, the second acquisition processing unit 44, the second observation target signal having a waveform (same waveform as step S1022) rising from L logic to H logic at a predetermined timing (same timing as step S1022). 570 is output to the flip-flop 26. Thereby, the second acquisition processing unit 44 can cause the flip-flop 26 to acquire the logical value of the second observation target signal 570 at the timing delayed by the difference in delay amount from the timing of the strobe signal 540 in step S1022.

次に、調整部４６は、ステップＳ１０２２でのフリップフロップ２６による第１観測対象信号５６０の取得結果（Ｈ状態取得値）と、ステップＳ１０２３でのフリップフロップ２６による第２観測対象信号５７０の取得結果（Ｌ状態取得値）とを比較する（Ｓ１０２４）。ここで、直前の論理値がＬ論理の場合に選択されるストローブ信号のタイミングを、デッドバンドの開始位置から順次に後ろにずらしていった場合、Ｈ状態取得値およびＬ状態取得値は、最初は相違しているが、デッドバンドの終了位置を超えると同一となる。 Next, the adjustment unit 46 acquires the first observation target signal 560 (H state acquisition value) by the flip-flop 26 in step S1022 and the acquisition result of the second observation target signal 570 by the flip-flop 26 in step S1023. (L state acquisition value) is compared (S1024). Here, when the timing of the strobe signal selected when the immediately preceding logic value is L logic is sequentially shifted backward from the start position of the dead band, the H state acquisition value and the L state acquisition value are the first Are different, but are the same when the dead band end position is exceeded.

次に、調整部４６は、ステップＳ１０２４においてＨ状態取得値とＬ状態取得値とが異なる場合、ステップＳ１０２２〜Ｓ１０２４の処理を繰り返す（Ｓ１０２１、Ｓ１０２５）。そして、調整部４６は、ステップＳ１０２４においてＨ状態取得値とＬ状態取得値とが同一となると、ステップＳ１０２１〜Ｓ１０２５の処理を抜ける（Ｓ１０２５）。この結果、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差は、デッドバンドに対応する値となる。そして、調整部４６は、ステップＳ１０２１〜Ｓ１０２５の処理を抜けると、図９のステップＳ１００２の処理を終了する。 Next, when the H state acquisition value is different from the L state acquisition value in step S1024, the adjustment unit 46 repeats the processes of steps S1022 to S1024 (S1021, S1025). Then, when the H state acquisition value becomes the same as the L state acquisition value in step S1024, the adjustment unit 46 exits the processes of steps S1021 to S1025 (S1025). As a result, the difference in delay amount between the H-side delay unit 32-1 and the L-side delay unit 32-2 becomes a value corresponding to the dead band. And the adjustment part 46 will complete | finish the process of step S1002 of FIG. 9, if the process of step S1021-S1025 is exited.

以上の処理の結果、調整部４６は、デッドバンドに対応した遅延量の差を、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との間に設定することができる。以上のように本変形例に係る取得装置１４によれば、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差を、デッドバンドに対応した時間差となるように調整することができる。 As a result of the above processing, the adjustment unit 46 can set the difference in delay amount corresponding to the dead band between the H-side delay unit 32-1 and the L-side delay unit 32-2. As described above, according to the acquisition device 14 according to the present modification, the delay amount difference between the H-side delay unit 32-1 and the L-side delay unit 32-2 is adjusted to be a time difference corresponding to the dead band. can do.

図１４は、本実施形態の第２変形例に係る取得装置１４の構成を期待値発生部１８とともに示す。本変形例に係る試験装置１０は、本実施形態に係る試験装置１０と略同一の構成および機能を採るので、本実施形態に係る試験装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。 FIG. 14 shows the configuration of the acquisition device 14 according to the second modification of the present embodiment, together with the expected value generation unit 18. Since the test apparatus 10 according to the present modification has substantially the same configuration and function as the test apparatus 10 according to the present embodiment, the test apparatus 10 according to the present embodiment has substantially the same configuration and function as the members included in the test apparatus 10 according to the present embodiment. The same reference numerals are assigned, and the description will be omitted except for the following differences.

本変形例に係る試験装置１０は、デバイス出力信号５２０の期待値を発生する期待値発生部１８を、更に備える。また、本変形例に係る取得装置１４は、エッジ判定部５０を更に備える。 The test apparatus 10 according to this modification further includes an expected value generation unit 18 that generates an expected value of the device output signal 520. In addition, the acquisition device 14 according to this modification further includes an edge determination unit 50.

エッジ判定部５０は、観測対象信号５３０が、ストローブ信号５４０に応じたタイミングにおいて立上りエッジまたは立下りエッジを有するか否かを判定する。エッジ判定部５０は、期待値発生部１８により発生される期待値に基づき、立ち上がりエッジまたは立ち下がりエッジを判定してよい。 The edge determination unit 50 determines whether the observation target signal 530 has a rising edge or a falling edge at a timing according to the strobe signal 540. The edge determination unit 50 may determine a rising edge or a falling edge based on the expected value generated by the expected value generation unit 18.

本変形例において、変更部２８は、フリップフロップ２６により取得された直前の観測対象信号５３０の値およびエッジ判定部５０による判定結果に応じて、次のストローブ信号５４０のタイミングを変更する。変更部２８は、一例として、立上りエッジ用Ｈ側遅延部３２−３と、立上りエッジ用Ｌ側遅延部３２−４と、立下りエッジ用Ｈ側遅延部３２−５と、立下りエッジ用Ｌ側遅延部３２−６と、選択部３４とを有してよい。 In the present modification, the changing unit 28 changes the timing of the next strobe signal 540 according to the value of the observation target signal 530 just acquired by the flip-flop 26 and the determination result by the edge determining unit 50. As an example, the changing unit 28 includes a rising edge H-side delay unit 32-3, a rising edge L-side delay unit 32-4, a falling edge H-side delay unit 32-5, and a falling edge L A side delay unit 32-6 and a selection unit 34 may be included.

選択部３４は、観測対象信号５３０が立上りエッジを有する場合であって、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理の場合に、立上りエッジ用Ｈ側遅延部３２−３により遅延されたストローブ信号５４０を選択する。選択部３４は、観測対象信号５３０が立上りエッジを有する場合であって、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理の場合に、立上りエッジ用Ｌ側遅延部３２−４により遅延されたストローブ信号５４０を選択する。選択部３４は、観測対象信号５３０が立下りエッジを有する場合であって、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理の場合に、立下りエッジ用Ｈ側遅延部３２−５により遅延されたストローブ信号５４０を選択する。選択部３４は、観測対象信号５３０が立下りエッジを有する場合であって、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理の場合に、立下りエッジ用Ｌ側遅延部３２−６により遅延されたストローブ信号５４０を選択する。 When the observation target signal 530 has a rising edge and the value of the immediately preceding observation target signal 530 is H logic, the selection unit 34 strobe signal delayed by the rising edge H-side delay unit 32-3. Select 540. The selection unit 34 is a strobe signal delayed by the rising edge L-side delay unit 32-4 when the observation target signal 530 has a rising edge and the value of the immediately preceding observation target signal 530 is L logic. Select 540. When the observation target signal 530 has a falling edge and the value of the previous observation target signal 530 is H logic, the selection unit 34 is delayed by the falling edge H-side delay unit 32-5. The strobe signal 540 is selected. When the observation target signal 530 has a falling edge and the value of the previous observation target signal 530 is L logic, the selection unit 34 is delayed by the falling edge L-side delay unit 32-6. The strobe signal 540 is selected.

このような取得装置１４によれば、立上りエッジと立下りエッジとでデッドバンドの幅が異なる場合にも、直前に取得した観測対象信号５３０の値に関わらず、フリップフロップ２６に対して同一の値を取得させることができる。これにより、取得装置１４によれば、観測対象信号５３０の値を精度良く取り込むことができる。 According to such an acquisition device 14, even when the dead band width differs between the rising edge and the falling edge, the same value for the flip-flop 26 is obtained regardless of the value of the observation target signal 530 acquired immediately before. You can get the value. Thereby, according to acquisition device 14, the value of observation object signal 530 can be taken in with sufficient accuracy.

図１５は、本実施形態の第３変形例に係る取得装置１４の構成を示す。本変形例に係る試験装置１０は、第２変形例に係る試験装置１０と略同一の構成および機能を採るので、第２変形例に係る試験装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。 FIG. 15 shows a configuration of the acquisition device 14 according to a third modification of the present embodiment. Since the test apparatus 10 according to the present modification has substantially the same configuration and function as the test apparatus 10 according to the second modification, the test apparatus 10 according to the second modification has substantially the same configuration and function as the members included in the test apparatus 10 according to the second modification. The same reference numerals are given to the members, and the description will be omitted except for the differences.

本変形例に係る取得装置１４は、レベル比較部２２と、ストローブ発生部２４と、複数の遅延部３２と、複数のフリップフロップ２６と、エッジ判定部５０と、複数の記憶部５２と、決定部５４とを備える。複数の遅延部３２は、ストローブ信号５４０を、互いに異なる遅延量だけ遅延させて複数の遅延ストローブ信号６００として出力する。取得装置１４は、一例として、立上りエッジ用Ｈ側遅延部３２−３と、立上りエッジ用Ｌ側遅延部３２−４と、立下りエッジ用Ｈ側遅延部３２−５と、立下りエッジ用Ｌ側遅延部３２−６と、選択部３４とを有してよい。 The acquisition device 14 according to the present modification includes a level comparison unit 22, a strobe generation unit 24, a plurality of delay units 32, a plurality of flip-flops 26, an edge determination unit 50, a plurality of storage units 52, and a determination. Part 54. The plurality of delay units 32 delay the strobe signals 540 by different delay amounts and output the delayed strobe signals 600 as a plurality of delayed strobe signals 600. For example, the acquisition device 14 includes a rising edge H-side delay unit 32-3, a rising edge L-side delay unit 32-4, a falling edge H-side delay unit 32-5, and a falling edge L. A side delay unit 32-6 and a selection unit 34 may be included.

複数のフリップフロップ２６は、複数の遅延部３２に対応して設けられる。そして、複数のフリップフロップ２６のそれぞれは、対応する遅延部３２から出力された遅延ストローブ信号６００のタイミングで観測対象信号５３０を取得する。取得装置１４は、一例として、立上りエッジ用Ｈ側遅延部３２−３に対応した立上りエッジ用Ｈ側フリップフロップ２６−３と、立上りエッジ用Ｌ側遅延部３２−４に対応した立上りエッジ用Ｌ側フリップフロップ２６−４と、立下りエッジ用Ｈ側遅延部３２−５に対応した立下りエッジ用Ｈ側フリップフロップ２６−５と、立下りエッジ用Ｌ側遅延部３２−６に対応した立下りエッジ用Ｌ側フリップフロップ２６−６とを備えてよい。 The plurality of flip-flops 26 are provided corresponding to the plurality of delay units 32. Each of the plurality of flip-flops 26 acquires the observation target signal 530 at the timing of the delayed strobe signal 600 output from the corresponding delay unit 32. As an example, the acquisition device 14 uses the rising edge H side flip-flop 26-3 corresponding to the rising edge H side delay unit 32-3 and the rising edge L corresponding to the rising edge L side delay unit 32-4. Side flip-flop 26-4, falling edge H side flip-flop 26-5 corresponding to falling edge H side delay unit 32-5, and falling edge corresponding to L side delay unit 32-6 for falling edge And a downstream edge L-side flip-flop 26-6.

エッジ判定部５０は、観測対象信号５３０が、遅延ストローブ信号６００に応じたタイミングにおいて立上りエッジまたは立下りエッジを有するか否かを判定する。エッジ判定部５０は、一例として、次のストローブ信号５４０に応じて少なくとも２つのフリップフロップ２６により取得された少なくとも２つの次の観測対象信号５３０の値から、観測対象信号５３０がストローブ信号５４０に応じたタイミングにおいて立上りエッジまたは立下りエッジを有するか否かを判定してよい。 The edge determination unit 50 determines whether the observation target signal 530 has a rising edge or a falling edge at a timing according to the delayed strobe signal 600. For example, the edge determination unit 50 determines that the observation target signal 530 corresponds to the strobe signal 540 from the values of at least two next observation target signals 530 acquired by the at least two flip-flops 26 according to the next strobe signal 540. It may be determined whether or not there is a rising edge or a falling edge at the same timing.

複数の記憶部５２は、複数のフリップフロップ２６に対応して設けられる。そして、複数の記憶部５２は、対応するフリップフロップ２６により直前の遅延ストローブ信号６００により取得された直前の観測対象信号５３０の値を記憶する。取得装置１４は、一例として、立上りエッジ用Ｈ側フリップフロップ２６−３に対応した立上りエッジ用Ｈ側記憶部５２−３と、立上りエッジ用Ｌ側フリップフロップ２６−４に対応した立上りエッジ用Ｌ側記憶部５２−４と、立下りエッジ用Ｈ側フリップフロップ２６−５に対応した立下りエッジ用Ｈ側記憶部５２−５と、立下りエッジ用Ｌ側フリップフロップ２６−６に対応した立下りエッジ用Ｌ側記憶部５２−６とを備えてよい。 The plurality of storage units 52 are provided corresponding to the plurality of flip-flops 26. The plurality of storage units 52 store the value of the immediately preceding observation target signal 530 acquired from the immediately preceding delayed strobe signal 600 by the corresponding flip-flop 26. As an example, the acquisition device 14 includes a rising-edge H-side storage unit 52-3 corresponding to the rising-edge H-side flip-flop 26-3 and a rising-edge L corresponding to the rising-edge L-side flip-flop 26-4. Side storage section 52-4, falling edge H side storage section 52-5 corresponding to falling edge H side flip-flop 26-5, and falling edge corresponding to L side flip flop 26-6. And a downstream edge L-side storage unit 52-6.

決定部５４は、複数の記憶部５２に記憶された値およびエッジ判定部５０による判定結果とを入力する。そして、決定部５４は、少なくとも１つのフリップフロップ２６により取得された直前の観測対象信号５３０の値と、少なくとも２つのフリップフロップ２６により取得された少なくとも２つの次の観測対象信号５３０の値からエッジ判定部５０が判定した判定結果に応じて、複数のフリップフロップ２６のうち、次の観測値を出力すべきフリップフロップ２６を決定する。 The determination unit 54 inputs the values stored in the plurality of storage units 52 and the determination results by the edge determination unit 50. Then, the determination unit 54 performs an edge from the value of the immediately preceding observation target signal 530 acquired by the at least one flip-flop 26 and the value of at least two next observation target signals 530 acquired by the at least two flip-flops 26. According to the determination result determined by the determination unit 50, the flip-flop 26 to which the next observation value is to be output is determined from among the plurality of flip-flops 26.

出力部５６は、複数のフリップフロップ２６の出力信号のうち、決定部５４が決定したフリップフロップ２６の出力信号を、次の観測対象信号５３０の観測値として出力する。出力部５６は、一例として、エッジ判定部５０が立上りエッジと判定した場合であって直前に取得された論理値がＨ論理である場合、立上りエッジ用Ｈ側フリップフロップ２６−３により取得された値を選択して出力する。また、出力部５６は、一例として、エッジ判定部５０が立上りエッジと判定した場合であって直前に取得された論理値がＬ論理である場合、立上りエッジ用Ｌ側フリップフロップ２６−４により取得された値を選択して出力する。出力部５６は、一例として、エッジ判定部５０が立下りエッジと判定した場合であって直前に取得された論理値がＨ論理である場合、立下りエッジ用Ｈ側フリップフロップ２６−５により取得された値を選択して出力する。また、出力部５６は、一例として、エッジ判定部５０が立下りエッジと判定した場合であって直前に取得された論理値がＬ論理である場合、立下りエッジ用Ｌ側フリップフロップ２６−６により取得された値を選択して出力する。 The output unit 56 outputs the output signal of the flip-flop 26 determined by the determination unit 54 among the output signals of the plurality of flip-flops 26 as the observation value of the next observation target signal 530. For example, the output unit 56 is acquired by the rising edge H-side flip-flop 26-3 when the edge determination unit 50 determines that it is a rising edge and the logic value acquired immediately before is H logic. Select a value and output it. For example, when the edge determination unit 50 determines that the rising edge is detected and the logical value acquired immediately before is the L logic, the output unit 56 acquires the rising edge using the L-side flip-flop 26-4. Select the output value and output it. For example, when the edge determination unit 50 determines the falling edge and the logic value acquired immediately before is the H logic, the output unit 56 is acquired by the falling edge H-side flip-flop 26-5. Select the output value and output it. For example, the output unit 56, when the edge determination unit 50 determines a falling edge and the logical value acquired immediately before is L logic, the falling edge L-side flip-flop 26-6. Select and output the value obtained by.

このような取得装置１４によれば、立上りエッジと立下りエッジとでデッドバンドの幅が異なる場合にも、直前に取得した観測対象信号５３０の値に関わらず、フリップフロップ２６に対して同一の値を取得させることができる。これにより、取得装置１４によれば、観測対象信号５３０の値を精度良く取り込むことができる。なお、決定部５４は、少なくとも１つのフリップフロップ２６により取得された直前の観測対象信号５３０の値と、次の観測対象信号５３０の期待値とに応じて、複数のフリップフロップ２６のうち、次の観測対象信号５３０を次のストローブ信号５４０に応じて取得した次の観測値を出力すべきフリップフロップ２６を決定してもよい。 According to such an acquisition device 14, even when the dead band width differs between the rising edge and the falling edge, the same value for the flip-flop 26 is obtained regardless of the value of the observation target signal 530 acquired immediately before. You can get the value. Thereby, according to acquisition device 14, the value of observation object signal 530 can be taken in with sufficient accuracy. Note that the determination unit 54 selects the next flip-flop 26 from among the plurality of flip-flops 26 according to the value of the immediately preceding observation target signal 530 acquired by the at least one flip-flop 26 and the expected value of the next observation target signal 530. The flip-flop 26 to which the next observation value obtained from the observation target signal 530 according to the next strobe signal 540 is to be output may be determined.

また、以上説明した本実施形態に係る試験装置１０は、デバイスを製造する製造方法に用いることができる。この製造方法は、デバイスを製造する製造段階と、製造されたデバイスを試験装置１０により試験して選別する選別段階とを備える。このような製造方法によれば、精度良く選別されたデバイスを製造することができる。 Further, the test apparatus 10 according to the present embodiment described above can be used in a manufacturing method for manufacturing a device. This manufacturing method includes a manufacturing stage for manufacturing a device and a sorting stage for testing and sorting the manufactured device by the test apparatus 10. According to such a manufacturing method, it is possible to manufacture a device selected with high accuracy.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。 As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

Claims

観測対象の信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、
前記観測対象信号を前記ストローブ信号のタイミングで取得するフリップフロップと、
前記フリップフロップの出力状態に基づいて、次の前記観測対象信号を取り込むための次の前記ストローブ信号のタイミングを変更する変更部と、
を備える取得装置。A strobe generator for generating a strobe signal indicating the timing at which the signal to be observed is to be captured;
A flip-flop for acquiring the observation target signal at the timing of the strobe signal;
Based on the output state of the flip-flop, a changing unit that changes the timing of the next strobe signal for capturing the next observation target signal;
An acquisition device comprising:

前記変更部は、
前記ストローブ信号を、互いに異なる遅延量だけ遅延させる複数の遅延部と、
前記複数の遅延部により互いに異なる遅延量だけ遅延された複数の前記ストローブ信号の中から、直前の前記観測対象信号の値に応じて次の前記ストローブ信号を選択する選択部と、
を有し、
前記フリップフロップは、前記選択部により選択された次の前記ストローブ信号を入力する
請求項１に記載の取得装置。The changing unit is
A plurality of delay units for delaying the strobe signal by different delay amounts;
A selection unit that selects the next strobe signal according to the value of the immediately preceding observation target signal from among the plurality of strobe signals delayed by different delay amounts by the plurality of delay units;
Have
The acquisition apparatus according to claim 1, wherein the flip-flop inputs the next strobe signal selected by the selection unit.

前記フリップフロップが第１論理値を取得している第１状態において、調整用の第１の前記観測対象信号を前記フリップフロップに出力して、前記第１論理値に応じて選択された前記ストローブ信号により取得させる第１取得処理部と、
前記フリップフロップが第２論理値を取得している第２状態において、前記変更部によるタイミング変更前の前記ストローブ信号に対して前記第１観測対象信号と同一の波形を有する調整用の第２の前記観測対象信号を前記フリップフロップに出力して、前記第２論理値に応じて選択された前記ストローブ信号により取得させる第２取得処理部と、
前記第１取得処理部および前記第２取得処理部が前記フリップフロップに取得させた前記観測対象信号の値が同一となるように、前記第１論理値および前記第２論理値に応じて選択される前記遅延部の遅延量の差を調整する調整部と、
を更に備える請求項２に記載の取得装置。In the first state in which the flip-flop acquires the first logic value, the first observation target signal for adjustment is output to the flip-flop, and the strobe selected according to the first logic value A first acquisition processing unit to be acquired by a signal;
In the second state in which the flip-flop acquires the second logical value, the second adjustment signal having the same waveform as the first observation target signal with respect to the strobe signal before the timing change by the changing unit. A second acquisition processing unit that outputs the observation target signal to the flip-flop and acquires the observation target signal based on the strobe signal selected according to the second logic value;
The first acquisition processing unit and the second acquisition processing unit are selected according to the first logical value and the second logical value so that the values of the observation target signals acquired by the flip-flops are the same. An adjustment unit for adjusting a difference in delay amount of the delay unit;
The acquisition device according to claim 2, further comprising:

入力信号を閾値と比較した結果に応じた論理値を有する前記観測対象信号を出力するレベル比較部を更に備える請求項３に記載の取得装置。 The acquisition apparatus according to claim 3, further comprising a level comparison unit that outputs the observation target signal having a logical value corresponding to a result of comparing the input signal with a threshold value.

前記観測対象信号が、前記ストローブ信号に応じたタイミングにおいて立上りエッジまたは立下りエッジを有するか否かを判定するエッジ判定部を更に備え、
前記変更部は、前記フリップフロップにより取得された直前の前記観測対象信号の値および前記エッジ判定部による判定結果に応じて、次の前記ストローブ信号のタイミングを変更する
請求項３に記載の取得装置。An edge determination unit for determining whether the observation target signal has a rising edge or a falling edge at a timing according to the strobe signal;
The acquisition device according to claim 3, wherein the changing unit changes a timing of the next strobe signal according to a value of the observation target signal acquired immediately before by the flip-flop and a determination result by the edge determination unit. .

観測対象の信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、
前記ストローブ信号を、互いに異なる遅延量だけ遅延させて複数の遅延ストローブ信号として出力する複数の遅延部と、
前記複数の遅延部に対応して設けられ、対応する前記遅延部から出力された前記遅延ストローブ信号のタイミングで前記観測対象信号をそれぞれ取得する複数のフリップフロップと、
少なくとも１つの前記フリップフロップにより取得された直前の前記観測対象信号の値に応じて、前記複数のフリップフロップのうち、次の前記観測対象信号を次の前記ストローブ信号に応じて取得した次の観測値を出力すべきフリップフロップを決定する決定部と、
前記複数のフリップフロップの出力信号のうち、前記決定部が決定した前記フリップフロップの出力信号を、次の前記観測対象信号の観測値として出力する出力部と、
を備える取得装置。A strobe generator for generating a strobe signal indicating the timing at which the signal to be observed is to be captured;
A plurality of delay units that delay the strobe signals by different delay amounts and output a plurality of delayed strobe signals;
A plurality of flip-flops provided corresponding to the plurality of delay units, each acquiring the observation target signal at the timing of the delayed strobe signal output from the corresponding delay unit;
The next observation obtained by acquiring the next observation target signal in accordance with the next strobe signal among the plurality of flip-flops according to the value of the observation target signal immediately before acquired by at least one of the flip-flops. A determination unit for determining a flip-flop to output a value;
Among the output signals of the plurality of flip-flops, an output unit that outputs the output signal of the flip-flop determined by the determination unit as an observation value of the next observation target signal;
An acquisition device comprising:

次の前記ストローブ信号に応じて少なくとも２つの前記フリップフロップにより取得された少なくとも２つの次の前記観測対象信号の値から、前記観測対象信号が前記ストローブ信号に応じたタイミングにおいて立上りエッジまたは立下りエッジを有するか否かを判定するエッジ判定部を更に備え、
前記決定部は、少なくとも１つの前記フリップフロップにより取得された直前の前記観測対象信号の値と、少なくとも２つの前記フリップフロップにより取得された少なくとも２つの次の前記観測対象信号の値から前記エッジ判定部が判定した判定結果に応じて、前記複数のフリップフロップのうち、次の前記観測値を出力すべきフリップフロップを決定する請求項６に記載の取得装置。From the value of at least two next observation target signals acquired by at least two flip-flops according to the next strobe signal, the rising edge or the falling edge of the observation target signal at a timing according to the strobe signal An edge determination unit that determines whether or not
The determination unit determines the edge from the value of the observation target signal immediately before acquired by at least one of the flip-flops and the value of at least two next observation target signals acquired by at least two of the flip-flops. The acquisition apparatus according to claim 6, wherein a flip-flop to which the next observation value is to be output is determined among the plurality of flip-flops according to a determination result determined by the unit.

被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを試験するための試験信号を前記被試験デバイスに供給する試験信号供給部と、
前記被試験デバイスが前記試験信号に応じて出力するデバイス出力信号を取得する取得装置と、
前記取得装置が取得した前記デバイス出力信号に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
を備え、
前記取得装置は、
前記デバイス出力信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、
前記デバイス出力信号を前記ストローブ信号のタイミングで取得するフリップフロップと、
前記フリップフロップの出力状態に基づいて、次の前記デバイス出力信号を取り込むための次の前記ストローブ信号のタイミングを変更する変更部と、
を有する試験装置。A test apparatus for testing a device under test,
A test signal supply unit for supplying a test signal for testing the device under test to the device under test;
An acquisition device that acquires a device output signal that the device under test outputs according to the test signal;
A determination unit that determines pass / fail of the device under test based on the device output signal acquired by the acquisition device;
With
The acquisition device includes:
A strobe generator for generating a strobe signal indicating the timing at which the device output signal should be captured;
A flip-flop that obtains the device output signal at the timing of the strobe signal;
Based on the output state of the flip-flop, a changing unit that changes the timing of the next strobe signal for capturing the next device output signal;
Test equipment with

被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを試験するための試験信号を前記被試験デバイスに供給する試験信号供給部と、
前記被試験デバイスが前記試験信号に応じて出力するデバイス出力信号を取得する取得装置と、
前記取得装置が取得した前記デバイス出力信号に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
を備え、
前記取得装置は、
前記デバイス出力信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、
前記ストローブ信号を、互いに異なる遅延量だけ遅延させて複数の遅延ストローブ信号として出力する複数の遅延部と、
前記複数の遅延部に対応して設けられ、対応する前記遅延部から出力された前記遅延ストローブ信号のタイミングで前記デバイス出力信号をそれぞれ取得する複数のフリップフロップと、
少なくとも１つの前記フリップフロップにより取得された直前の前記デバイス出力信号の値に応じて、前記複数のフリップフロップのうち、次の前記デバイス出力信号を次の前記ストローブ信号に応じて取得した次の観測値を出力すべきフリップフロップを決定する決定部と、
前記複数のフリップフロップの出力信号のうち、前記決定部が決定した前記フリップフロップの出力信号を、次の前記デバイス出力信号の観測値として出力する出力部と、
を有する試験装置。A test apparatus for testing a device under test,
A test signal supply unit for supplying a test signal for testing the device under test to the device under test;
An acquisition device that acquires a device output signal that the device under test outputs according to the test signal;
A determination unit that determines pass / fail of the device under test based on the device output signal acquired by the acquisition device;
With
The acquisition device includes:
A strobe generator for generating a strobe signal indicating the timing at which the device output signal should be captured;
A plurality of delay units that delay the strobe signals by different delay amounts and output a plurality of delayed strobe signals;
A plurality of flip-flops provided corresponding to the plurality of delay units, each of which obtains the device output signal at the timing of the delayed strobe signal output from the corresponding delay unit;
The next observation that the next device output signal is acquired according to the next strobe signal among the plurality of flip-flops according to the value of the previous device output signal acquired by the at least one flip-flop. A determination unit for determining a flip-flop to output a value;
Among the output signals of the plurality of flip-flops, an output unit that outputs the output signal of the flip-flop determined by the determining unit as an observation value of the next device output signal;
Test equipment with

前記デバイス出力信号の期待値を発生する期待値発生部を更に備え、
前記決定部は、少なくとも１つの前記フリップフロップにより取得された直前の前記デバイス出力信号の値と、次の前記デバイス出力信号の期待値とに応じて、前記複数のフリップフロップのうち、次の前記デバイス出力信号を次の前記ストローブ信号に応じて取得した次の観測値を出力すべきフリップフロップを決定する
請求項９に記載の試験装置。An expected value generator for generating an expected value of the device output signal;
The determining unit is configured to select a next one of the plurality of flip-flops according to a value of the device output signal immediately before acquired by the at least one flip-flop and an expected value of the next device output signal. The test apparatus according to claim 9, wherein a flip-flop to output a next observation value obtained by obtaining a device output signal in accordance with the next strobe signal is determined.

デバイスを製造する製造方法であって、
デバイスを製造する製造段階と、
製造されたデバイスを、請求項８または請求項９に記載の試験装置により試験して選別する選別段階と、
を備える製造方法。A manufacturing method for manufacturing a device, comprising:
A manufacturing stage for manufacturing the device;
A screening step of testing and sorting the manufactured device by the test apparatus according to claim 8 or claim 9;
A manufacturing method comprising: