以下、薬液の圧力を制御するパイロットレギュレータに具現化した一実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。
図1に示すように、パイロットレギュレータ20(流体制御弁)は第1カバー35と第2カバー36とを備え、それらカバー35,36の間に中間体30が組付けられている。中間体30には、薬液が流入される流入口21と薬液が流出される流出口22とが形成されている。薬液に接触する中間体30は腐食されにくいように例えばフッ素系合成樹脂により成形され、薬液に接触しないカバー35,36は例えばポリプロピレン樹脂により成形されている。なお、第1カバー35、第2カバー36、及び中間体30によって弁本体が構成される。
中間体30の略中央部には、流入口21と流出口22とを連通する弁室23としての貫通孔が第1カバー35と第2カバー36との組み付け方向に延びるように形成されている。弁室23は、この組み付け方向の中間において孔径が小さくなっている。換言すれば、弁室23の内壁面が中間で内側へ突出しており、この突出した部分により弁座部25が形成されている。そして、弁室23は、薬液の流れ方向において弁座部25よりも上流側(一次側)が上流側弁室23aとなっており、弁座部25よりも下流側(二次側)が下流側弁室23bとなっている。上流側弁室23aは、流入通路21aによって流入口21に接続されている。また、下流側弁室23bよりも下流側には孔径が大きく形成された円形通路23cが形成されている。円形通路23cは、流出通路22aによって流出口22に接続されている。なお、流入通路21a、上流側弁室23a、下流側弁室23b、円形通路23c、及び流出通路22aによって流路が構成される。
弁室23には、第1カバー35と第2カバー36との組み付け方向に往復動可能な円柱状の弁体24が収容されている。弁体24には、2つのダイアフラム27,29が連結されており、弁体24とダイアフラム29とは一体に成形されている。弁体24とダイアフラム27の中央部27aとが締結されており、弁体24はダイアフラム27の中央部27aと一体化されている。ダイアフラム27の固定部27dは第1カバー35と中間体30とで挟持されることにより固定されている。ダイアフラム27において、中央部27aと固定部27dとの間部分が圧力に応じて撓む可撓部分27gとなっている。なお、薬液に接触する弁体24及び各ダイアフラム27,29は、腐食されにくいように例えばフッ素系合成樹脂により成形されている。
弁体24には、その軸線方向の中間に他の部分よりも径の大きい拡径部28が形成されている。弁座部25に対向する拡径部28の端部は、弁座部25の内径よりも大きく形成されており、弁座部25と当接可能になっている。したがって、弁体24がダイアフラム27の方向へ移動すると、拡径部28の端部が弁座部25に当接し、流入口21と流出口22との連通が遮断される。上記円形通路23c内の薬液の圧力(二次圧)が上昇した場合には、ダイアフラム27に印加される圧力が大きくなるため、拡径部28の端部が弁座部25に当接する力が大きくなる。一方、弁体24がダイアフラム29の方向へ移動すると、拡径部28の端部が弁座部25から離間し、流入口21と流出口22とが連通される。
第2カバー36には、ダイアフラム29を挟んで弁室23と反対側にばね収容室31が形成されている。ばね収容室31には圧縮コイルばね32が収容されている。この圧縮コイルばね32の付勢力により、弁体24は常時ダイアフラム27側へ付勢されている。これにより、弁体24に形成された拡径部28の端部が弁座部25に当接する状態が保持されることとなる。
ダイアフラム27を挟んで弁室23と反対側には、パイロットレギュレータ20の外部からのエアが導入される操作室33が形成されている。すなわち、ダイアフラム27は、弁本体内を薬液の流路とエアの導入される操作室33とに区画している。操作室33には、ダイアフラム27が操作室33側へ変位した場合に、ダイアフラム27の膨らみ方向が反対になることを抑制するための整形部33bが形成されている。具体的には、整形部33bはダイアフラム27の膨らみ方向(弁室23側に凸方向)と同じ方向に湾曲する湾曲部33dを有し、湾曲部33dは円環状に形成されている。このため、ダイアフラム27が整形部33bの湾曲部33dに当接したときにダイアフラム27を湾曲部33に沿う形状とすることができ、ダイアフラム27の膨らみ方向が反対(操作室33側に凸方向)になることを抑制することができる。また、操作室33は、第1カバー35に形成された導入ポート34に連通されている。導入ポート34には、エア通路を通じてエアが導入される。そして、操作室33のエアの圧力(操作圧)を制御することにより、弁体24の位置が調節される。
ここで、本実施形態では、以下に説明するように、弁座部25に弁体24の拡径部28の端部が過度に押付けられることを抑制するとともに、弁体24による薬液のシール性を保持するための構成を備えている。
ダイアフラム27の操作室33側の面において、ダイアフラム27の上記可撓部分27gにおける外周縁(可撓部分27gと固定部27dとの境界)と内周縁(可撓部分27gと中央部27aとの境界)との中間部27mに中間規制部27bが設けられている。中間規制部27bは、ダイアフラム27と一体に成形されており、ダイアフラム27の径方向において可撓部分27gの略中央に円環状に形成されている。このため、中間規制部27bは全周にわたって可撓部分27gに接続されており、可撓部分27gが変位する際に可撓部分27gの中間部27m(可撓部分27gにおける中間規制部27bが設けられた部分)と一体になって変位する。
円環状をなす中間規制部27bの径は、弁体24と弁座部25との円環状の当接部の径よりも大きく設定されている。すなわち、弁体24の変位方向に垂直な投影面において、可撓部分27gの中間部27mよりも内周側の面積は、弁座部25と弁体24との当接部よりも内周側の面積よりも大きく設定されている。
また、可撓部分27gにおいて中間規制部27bが設けられた中間部27mは、ダイアフラム27の径方向において所定の幅を有している。この中間部27mの幅は、可撓部分27gと中間規制部27bとに互いに力が作用する場合に、可撓部分27gが中間規制部27bによって損傷されることを抑制することのできる値に設定されている。換言すれば、中間部27mの幅が狭すぎる場合には、可撓部分27gと中間規制部27bとに互いに力が作用する場合に、可撓部分27gが中間規制部27bによって損傷されるおそれがある。
中間規制部27bは円環状をなすとともに、ダイアフラム27の面に略垂直な方向に延びている。中間規制部27bの内周にはリング状のリング部材40(押圧切替部)が配置されている。リング部材40は、その外周面が中間規制部27bの内周面に固定されている。中間規制部27bとリング部材40とは、中間規制部27bの内周面に形成されたねじ山と、リング部材40の外周面に形成されたねじ山とによって締結されている。
そして、中間規制部27bとリング部材40とが締結された状態において、中間規制部27b及びリング部材40のダイアフラム27と反対側の端面が共に同一平面上に位置している。このため、中間規制部27b及びリング部材40が操作室33の壁面33aの方向へ移動した場合に、中間規制部27b及びリング部材40の端面40bが操作室33の壁面33a(当接部)に全面で当接することとなる。したがって、中間規制部27b及びリング部材40を操作室33の壁面33aに安定して当接させることができ、この当接状態において中間規制部27b及びリング部材40が傾いたり変形したりすることを抑制することができる。なお、上記と同様の形状となるように中間規制部27b及びリング部材40を一体で成形してもよい。
リング部材40の中央部には円形断面の貫通孔40aが弁体24の変位方向に延びるように形成されている。ダイアフラム27の中央部27aにおいて操作室33側の端部、すなわち弁体24に一体化された操作室33側の端部には、弁体24の変位方向に延びる円柱状の凸部27cが形成されている。これらの貫通孔40aと凸部27cとは、弁体24の変位方向に相対摺動可能な状態で嵌合している。すなわち、弁体24の変位方向において、弁体24における弁座部25との当接部から弁体24に一体化された操作室33側の端部(ダイアフラム27の中央部27aにおける操作室33側の端部)までの長さとリング部材40の長さ(弁体24の変位方向の厚み)とを合計した長さは、弁体24における弁座部25との当接部から操作室33の壁面33aまでの長さよりも長く設定されている。換言すれば、弁体24が弁座部25に着座した状態において、弁体24の変位方向で貫通孔40aと凸部27cとが嵌合する長さは、弁体24の変位方向でリング部材40がダイアフラム27の中央部から離間する方向へ移動可能な長さよりも長く設定されている。したがって、ダイアフラム27の中央部27aの凸部27cとリング部材40の貫通孔40aとが摺動可能に嵌合した状態が維持されている。そして、弁体24の変位方向における弁体24とリング部材40との相対変位が許容される。
また、ダイアフラム27の中央部27aの凸部27cとリング部材40の貫通孔40aとが嵌合することにより、凸部27cとリング部材40とが弁体24の変位方向に直交する方向へ相対移動することが抑制される。ここで、リング部材40は中間規制部27bに締結されており、ダイアフラム27の中央部27aよりも外周縁寄り(可撓部分27gの中間部27m)に設けられた中間規制部27bは中央部27aよりも変位が小さくなる。このため、凸部27cが弁体24の変位方向に直交する方向にずれることを抑制することができ、弁体24の姿勢を安定させることができる。すなわち、弁体24の中心軸を傾けるような力が作用した場合には、リング部材40によって凸部27cの移動を抑制することができる。
ダイアフラム27の可撓部分27gとリング部材40との間には隙間が形成されている。そして、ダイアフラム27の中央部27a、中間規制部27b、及びリング部材40によって空間33cが区画されている。弁体24の変位方向においてダイアフラム27の中央部27aとリング部材40とが当接している状態では、空間33cへの貫通孔40aを通じたエアの流入出が行われにくくなる。これに対して、空間33cにエアを流入出させる連通孔40cがリング部材40に形成されている。このため、空間33cの容積が変化した場合に連通孔40cを通じてエアを円滑に流入出させることができる。なお、ダイアフラム27の中央部27aの凸部27c及びリング部材40の貫通孔40aによって摺動部が構成される。
弁体24が弁座部25に着座した状態において、弁体24の変位方向でダイアフラム27の中央部27aとリング部材40とが互い押圧する状態では、リング部材40及び中間規制部27bのダイアフラム27とは反対側の端面40bと操作室33の壁面33aとの間に隙間が形成されている。この状態において上記円形通路23c内の薬液の圧力(二次圧)によってダイアフラム27、中間規制部27b及びリング部材40が操作室33側へ変位すると、弁体24の円形通路23c側から操作室33側への変位は弁座部25によって規制されているため、弁体24の変位方向においてリング部材40がダイアフラム27の中央部27aから離間する方向へ移動した状態、すなわち弁体24の変位方向でダイアフラム27の中央部27aとリング部材40とが互いに押圧しない状態となる。このため、操作室33のエアの圧力(操作圧)によりダイアフラム27を円形通路23c側へ変位させる力よりも円形通路23c内の薬液の圧力によりダイアフラム27を円形通路23c側から操作室33側へ変位させる力が大きくなった場合に、ダイアフラム27を円形通路23c側から操作室33側へ変位させる力が弁体24に伝達されることを抑制することができる。
そして、中間規制部27b及びリング部材40が操作室33の壁面33aの方向へ更に変位すると、中間規制部27b及びリング部材40の端面40bが壁面33aに当接してそれ以上の変位が規制される。すなわち、中間規制部27b及びリング部材40の端面40bが壁面33aに当接したときの中間規制部27bの位置が規制位置となる。このため、ダイアフラム27において中間規制部27bよりも外周側の部分に作用する力を中間規制部27b及びリング部材40を介して操作室33の壁面33aによって受け止めることができる。
このように構成されたパイロットレギュレータ20の動作について図1及び図2を参照して説明する。
操作室33に操作圧が作用しておらず且つ流出口22側の薬液の圧力(二次圧)が低い初期状態では、圧縮コイルばね32の付勢力により弁体24の拡径部28の端部が弁座部25に当接し、上流側弁室23aと下流側弁室23bとの連通が遮断されている。これにより、流入口21から流出口22への薬液の流通が阻止される。また、弁体24の変位方向においてダイアフラム27の中央部27aとリング部材40とは互いにわずかに押圧する状態、あるいは互いに押圧する力が略零の状態となっている。
これに対し、操作室33にエアが導入されると、リング部材40によってダイアフラム27の中央部27aが押圧され、中央部27aに連結された弁体24は圧縮コイルばね32の付勢力に抗してダイアフラム29側へ変位する。このため、上流側弁室23aと下流側弁室23bとが連通され、流入口21から流出口22への薬液の流通が許容される。また、操作室33の操作圧に応じて、拡径部28の端部と弁座部25との距離が変化する。これにより、上流側弁室23aから下流側弁室23bへ流れる薬液の流量が増減し、円形通路23c内の薬液の圧力が制御される。
ここで、弁体24の拡径部28の端部が弁座部25から離間した状態では、弁体24の変位方向においてダイアフラム27の中央部27aとリング部材40とが互いに押圧する状態が維持される。すなわち、上記ばね収容室31に収容された圧縮コイルばね32の付勢力により、弁体24は常時ダイアフラム27側へ付勢されているため、ダイアフラム27の中央部27aが可撓部部分27gの中間部27mに接続する中間規制部27b及びリング部材40を押圧することとなる。このため、弁体24、ダイアフラム27の中央部27a、リング部材40、及び中間規制部27bが一体になって変位する。なお、ダイアフラム27の中央部27aの凸部27cとリング部材40の貫通孔40aとが嵌合した状態となっている。このため、上述したように、凸部27cが弁体24の変位方向に直交する方向にずれることを抑制することができ、弁体24の姿勢を安定させることができる。
また、ダイアフラムの可撓部分においては、撓み部分の頂部よりも内周側の面積が弁体を変位させるための力を生じさせる有効受圧面積となる。そして、この有効受圧面積が大きいほど流体制御弁が薬液を制御する精度が高くなる。
本実施形態では、弁体24が弁座部25から離間した状態において、ダイアフラム27の中央部27a、リング部材40、及び中間規制部27bが一体になって変位する。このため、可撓部分27gにおいて中間部27mよりも内周側の内周部27fはダイアフラムとして機能せず、可撓部分27gにおいて中間部27mよりも外周側の外周部27eがダイアフラムとして機能する。したがって、ダイアフラム27の有効受圧面積を中間部27mよりも外周側の外周部27eまで大きくすることができる。具体的には、外周部27eの撓みの頂部よりも内周側の面積が弁体24を変位させる力を生じさせる有効受圧面積となり、図6に示した従来の流体制御弁820と同等の有効受圧面積を確保することができる。
操作室33に操作圧が作用している状態において、操作圧による力と圧縮コイルばね32の付勢力及び二次圧による力との釣り合いにより、弁体24の拡径部28の端部が弁座部25に当接した状態となると、上流側弁室23aと下流側弁室23bとの連通が遮断される。この状態では、操作室33に操作圧が作用しているため、流出口22側の薬液の圧力がある程度高くなるまでは、弁体24の変位方向においてダイアフラム27の中央部27aとリング部材40とが互いに押圧する状態が維持される。
ここで、弁体24が弁座部25に着座した状態において、流出口22側の薬液の圧力が上昇すると、図2に示すようにダイアフラム27を円形通路23c側から操作室33側へ変位させる力が大きくなり、弁体24の変位方向においてリング部材40がダイアフラム27の中央部27aから離間する方向へ移動した状態となる。すなわち、弁体24の変位方向においてダイアフラム27の中央部27aとリング部材40とが互いに押圧しない状態となる。このとき、中央部27aの凸部27cとリング部材40とが嵌合した状態で摺動することにより、リング部材40がダイアフラム27に垂直な方向(弁体24の変位方向)へ案内される。したがって、ダイアフラム27の中央部27aとリング部材40とが連結されている構成では可撓部分27g(内周部27f、中間部27m及び外周部27e)に作用する圧力がリング部材40を介して弁体24に伝達されるのに対して、この圧力がリング部材40を介して弁体24に伝達されることを抑制することができる。
ダイアフラム27の可撓部分27gが整形部33bの湾曲部33dに当接してダイアフラム27が湾曲部33に沿う形状とされているため、ダイアフラム27の膨らみ方向が反対(操作室33側に凸方向)になることを抑制することができる。ダイアフラム27の可撓部分27gが整形部33bの湾曲部33dに当接した状態では、円形通路23c内の薬液により可撓部分27gの中間部27mよりも外周側の外周部27eに印加される圧力が弁体24に伝達されることが整形部33bによっても抑制されている。
また、ダイアフラム27、ダイアフラム27の中央部27a、中間規制部27b、及びリング部材40によって区画される空間33cの容積が拡大する際に連通孔40cを通じてエアが流入するため、リング部材40及び中間規制部27bを円滑に移動させることができる。
そして、リング部材40及び中間規制部27bの端面40bが操作室33の壁面33aに当接すると、リング部材40及び中間規制部27bの変位が規制される。このため、ダイアフラム27の可撓部分27gにおいて外周部27eに作用する圧力は、中間規制部27b及びリング部材40を介して操作室33の壁面33aによって受け止めることとなる。したがって、外周部27eに作用する圧力が弁体24に伝達されることが中間規制部24bによって抑制される。
このとき、ダイアフラム27の可撓部分27gにおいて内周部27fに作用する圧力はダイアフラム27の中央部27aに伝達され、弁体24を操作室33側へ引っ張る力として作用する。すなわち、可撓部分27g全体に作用する圧力のうち、内周部27fに作用する圧力が弁体24を弁座部25に着座させる圧力として作用する。このため、弁体24の拡径部28の端部が弁座部25に適度に押付けられることとなり、弁体24による薬液のシール性を保持することができる。
また、弁体24の変位方向に垂直な投影面において、可撓部分27gの中間部27mよりも内周側の内周部27fの面積は、弁座部25と弁体24との当接部よりも内周側の面積よりも大きく設定されている。このため、弁体24の拡径部28に作用して弁体24を弁座部25から離間させようとする力よりも、可撓部分27gの内周部27fに作用して弁体24を弁座部25に着座させようとする力を大きくすることができる。したがって、弁体とダイアフラムとが分離する従来の構成と比較して、ダイアフラム27が弁体24を着座させる力を残すことができる。
なお、リング部材40及び中間規制部27bが操作室33側から円形通路23c側へ移動して上記空間33cの容積が縮小する際には連通孔40cを通じてエアが流出するため、リング部材40をダイアフラム27の中央部27aに迅速に当接させることができる。その結果、弁体24を移動させる際の応答性を高めることができるため、流出口22側の薬液の圧力を迅速に上昇させることができる。
以上詳述した本実施形態の構成によれば、以下の優れた効果が得られる。
操作室33からダイアフラム27に印加される操作圧に基づいてダイアフラム27及び弁体24を変位させることにより、弁座部25と弁体24との相対位置を調節して二次側の薬液の圧力や流量を制御することができる。また、中間規制部27bは、ダイアフラム27の可撓部分27gにおける外周縁と内周縁との中間部27mと一体になって変位し、この状態では中間部27mの変位が規制されることなく、ダイアフラム27全体に印加される操作圧に基づいて二次側の薬液を制御することができる。
二次側の薬液の圧力が上昇したときにはダイアフラム27の可撓部分27gが円形通路23c側から操作室33側へ変位して弁体24が弁座部25へ着座する方向へ変位するため、弁体24に作用する弁座部25へ着座させる方向の力が増大する。そして、弁体24が弁座部25に着座した状態になると、可撓部分27gの中間部27mが円形通路23c側から操作室33側へ規制位置よりも変位することが中間規制部27bによって規制される。中間部27mの変位が規制された状態では、円形通路23c内の薬液により可撓部分27gの中間部27mよりも外周側の外周部27eに印加される圧力が弁体24に伝達されることは中間規制部27bによって抑制され、可撓部分27gの中間部27mよりも内周側の内周部27fに印加される圧力はその内周部27fによって中央部27aを介して弁体24に伝達される。ここで、可撓部分27gの内周部27fに印加される圧力により弁体24が引っ張られる力は、可撓部分27gの全体(内周部27f、中間部27m及び外周部27e)に印加される圧力により弁体24が引っ張られる力よりも小さくなる。その結果、弁体24が弁座部25に着座した状態において、二次側の薬液の圧力が上昇した場合であっても、弁座部25に弁体24が過度に押付けられることを抑制するとともに、弁体24による薬液のシール性を保持することができる。
中間規制部27bにリング部材40が締結され、弁体24が弁座部25から離間した状態において弁体24の変位方向でリング部材40と弁体24とが互いに押圧する状態となるため、弁体24の変位方向において可撓部分27gの中間部27mと弁体24との相対変位が制限される。このため、可撓部分27gにおいて中間部27mよりも内周側の内周部27fはダイアフラムとして機能せず、可撓部分27gにおいて中間部27mよりも外周側の外周部27eがダイアフラムとして機能する。したがって、中間部27mよりも内周側に存在する内周部27fが有効受圧面積を小さくすることを抑制して、ダイアフラム27の有効受圧面積を中間部27mよりも外周側の外周部27eまで大きくすることができる。その結果、パイロットレギュレータ20が薬液を制御する精度が低下することを抑制することができる。
また、弁体24が弁座部25に着座した状態において弁体24の変位方向でリング部材40と弁体24とが互いに押圧しない状態となるため、円形通路23c内の薬液により可撓部分27gに印加される圧力がリング部材40を介して弁体に伝達されることはない。そして、弁体24の変位方向でリング部材40と弁体24とが互いに押圧しない状態では、弁体24の変位方向において可撓部分27gの中間部27mと弁体24との相対変位を許容することができる。この相対変位によって可撓部分27gの中間部27mが操作室33側から円形通路23c側へ変位する幅が大きくなると、上述したように、可撓部分27gの中間部27mが円形通路23c側から操作室33側へ規制位置よりも変位することが中間規制部27bによって規制される。
弁体24に一体化された操作室33側の端部(ダイアフラム27の中央部27aにおける操作室33側の端部)とリング部材40とには、弁体24の変位方向に相対摺動可能な状態で嵌合している凸部27c及び貫通孔40aが設けられているため、弁体24の変位方向における弁体24とリング部材40との相対変位を許容しつつ、凸部27cとリング部材40とが弁体24の変位方向に直交する方向へ相対移動することを抑制することができる。ここで、リング部材40は中間規制部27bに締結されており、ダイアフラム27の中央部27aよりも外周縁寄りに設けられた中間規制部27bは中央部27aよりも変位が小さくなる。このため、凸部27cが弁体24の変位方向に直交する方向にずれることを抑制することができ、弁体24の姿勢を安定させることができる。その結果、パイロットレギュレータ20が薬液の圧力を制御する精度が低下することを抑制することができる。
中間規制部27bが可撓部分27gの中間部27mと一体になって変位したときに、操作室33に設けられた壁面33aに中間規制部27bが当接することによって、可撓部分27gの中間部27mの変位が規制位置で規制される。したがって、簡易な構成によって可撓部分27gの中間部27mの変位を規制することができる。
中間規制部27bは、可撓部分27gにおける外周縁と内周縁との中間部27mに円環状に配置されているため、ダイアフラム27の可撓部分27gに印加される圧力を中間規制部27bの全周にわたって受け止めることができる。その結果、中間規制部27bから可撓部分27gに作用する圧力を低下させることができるため、ダイアフラム27の可撓部分27gが損傷することを抑制することができる。
弁体24の変位方向に垂直な投影面において、可撓部分27gの中間部27mよりも内周側の内周部27fの面積は、弁座部25と弁体24との当接部よりも内周側の面積よりも大きく設定されているため、二次側の薬液の圧力が上昇した場合にそれらの面積の差に相当する力が弁体24を弁座部25に着座させる力として作用する。その結果、可撓部分27gの中間部27mが円形通路23c側から操作室33側へ変位することが規制された状態であっても、弁体24による薬液のシール性を適切に保持することができる。
上記実施形態に限定されず、例えば次のように実施することもできる。
上記実施形態では、ダイアフラム27の中央部27aがリング部材40に当接するようにしたが、弁体24をダイアフラム27よりも操作室33側に突出させることにより、弁体24がリング部材40に当接するようにすることもできる。このような構成により、弁体24の変位方向で弁体24とリング部材40とが互いに押圧するようにしてもよい。
上記実施形態では、中間規制部27bは、可撓部分27gの中間部27mにおいて円環状に配置されるようにしたが、この円環状の中間規制部27bの一部を省略することもできる。このような構成であっても、弁体24が弁座部25に着座した状態において、円形通路23c内の薬液の圧力が上昇した場合に、ダイアフラム27が弁体24を円形通路23c側から操作室33側に引っ張る力を減少させることができる。
上記実施形態では、ダイアフラム27の中央部27aにおける操作室33側の端部に凸部27cを形成するとともにリング部材40に貫通孔40aを形成したが、ダイアフラム27の中央部27aにおける操作室33側の端部に凹部を形成するとともにリング部材40の中央部に凸部を形成してこれらを摺動可能に嵌合させてもよい。また、これらの凸部や貫通孔および凹部を省略して、ダイアフラム27の中央部27aにおける操作室33側の端部とリング部材40とが平面同士で当接するようにすることもできる。
上記実施形態では、薬液に接触するダイアフラム27に操作圧が直接印加されるようにしたが、図3及び図4に示すように、操作圧がダイアフラム129に印加されるとともにダイアフラム129及び円板部材140を介して弁体24が押圧されるようにしてもよい。この場合も、中間規制部127bが形成されるとともに、ダイアフラム127の中央部127aと円板部材140とには、弁体24の変位方向に相対摺動可能な状態で嵌合している凸部127c及び凹部140aが設けられている。中間規制部127bと円板部材140とは別体で形成されており、互いに当接した状態となっている。
また、円板部材140の外周にはフランジ140bが形成され、操作室133の内壁面が内側に突出されてフランジ140bに対向する突出部133aが形成されている。弁体24が弁座部25に着座した状態において、弁体24の変位方向においてダイアフラム127の中央部127aと円板部材140とが互いに押圧する状態では、円板部材140のフランジ140bと操作室133の突出部133aとの間に隙間が形成されている。
そして、弁体24が弁座部25に着座した状態において、流出口22側の薬液の圧力が上昇すると、図4に示すようにダイアフラム127を円形通路23c側から操作室133側へ変位させる力が大きくなり、弁体24の変位方向においてダイアフラム127の中央部127aと円板部材140とが互いに押圧しない状態となる。円板部材140のフランジ140bが操作室133の突出部133aに当接すると、円板部材140及び中間規制部127bの変位が規制される。このような構成であっても、上記実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
上記実施形態では、操作室33に導入されるエアの圧力を制御することにより薬液の圧力を制御するようにしたが、図5に示すように、円板部材240に印加される圧力を手動で調節してもよい。この場合は、円板部材240にばね232が当接されており、ハンドル238を回すことによりばね押さえ237及びばね232を介して円板部材240に印加される圧力が調節される。また、円板部材240の外周縁から円板の面に垂直な方向にリブ240bが延びており、円柱状の空間として形成された操作室233には孔径が変化する部分において段部233aがリブ240bに対向して形成されている。弁体24が弁座部25に着座した状態において、弁体24の変位方向においてダイアフラム127の中央部127aと円板部材240とが互いに押圧する状態では、円板部材240のリブ240bと操作室233の段部233aとの間に隙間が形成されている。このような構成であっても、上記実施形態と同様の作用効果を奏することができる。また、円板部材240に印加される圧力を電磁アクチュエータにより制御する構成にすることもできる。