JP5110159B2 - 圧電マイクロブロア - Google Patents
圧電マイクロブロア Download PDFInfo
- Publication number
- JP5110159B2 JP5110159B2 JP2010515853A JP2010515853A JP5110159B2 JP 5110159 B2 JP5110159 B2 JP 5110159B2 JP 2010515853 A JP2010515853 A JP 2010515853A JP 2010515853 A JP2010515853 A JP 2010515853A JP 5110159 B2 JP5110159 B2 JP 5110159B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- blower
- piezoelectric
- opening
- partition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B45/047—Pumps having electric drive
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B2201/00—Pump parameters
- F04B2201/08—Cylinder or housing parameters
- F04B2201/0806—Resonant frequency
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B2201/00—Pump parameters
- F04B2201/12—Parameters of driving or driven means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Description
図1〜図3は本発明にかかる圧電マイクロブロアの第1実施例を示す。本実施例では、振動板50を共振駆動させた例を説明する。本実施例の圧電マイクロブロアAは、電子機器の空冷用ブロアとして用いた例であり、天板(第2壁部)10、流路形成板20、セパレータ(第1壁部)30、ブロア枠体40、振動板50及び底板60が上方から順に積層固定されている。振動板50のダイヤフラム51の外周部が、ブロア枠体40と底板60との間で接着されている。天板10,流路形成板20,セパレータ30,ブロア枠体40,底板60はブロア本体1を構成しており、金属板や硬質樹脂板のような剛性のある平板材料で形成されている。
図5は本発明にかかる圧電マイクロブロアの第2実施例を示す。本実施例のマイクロブロアBでは、振動板50aとして、ダイヤフラム51の上面にリング状の中間板53aを介してリング状の圧電素子52aを貼り付けた点を除き、他の構造は第1実施例の圧電マイクロブロアAと同一であるため、同一符号を付して重複説明を省略する。
図8は本発明にかかる圧電マイクロブロアの第3実施例を示す。本実施例のマイクロブロアCでは、仕切り部33をダイヤフラム51の表面に接着固定した点を除き、第1実施例の圧電マイクロブロアAと同じである。本実施例の場合、振動板50の共振駆動に伴って仕切り部33も上下に振動するので、仕切り部33とその上に対向するセパレータ30との間に、所定の隙間δを設ける必要がある。仕切り部33の位置を振動板50のノード点付近に設定すれば、仕切り部33の振動を抑制できるので好ましい。
図9は本発明にかかる圧電マイクロブロアの第4実施例を示す。本実施例のマイクロブロアDでは、第3実施例の圧電マイクロブロアCの振動板50に代えて、リング状の圧電素子52a及び中間板53aを有する振動板50aを用いたものである。本実施例の場合、圧電素子52aの内径を仕切り部33の内径以下にすることにより、ダイヤフラム51の最も大きな変位の中心部分を共鳴空間34に対応させることができ、流量を増大させることができる。
図10は本発明にかかる圧電マイクロブロアの第5実施例を示し、第1実施例の圧電マイクロブロアAと同一部分には同一符号を付す。本実施例のマイクロブロアEでは、ブロア枠体40を内径側に拡張し、その拡張部(仕切り部)43の中央部に開口部44を形成してある。開口部44の内側に共鳴空間34が形成される。ブロア枠体40とダイヤフラム51との間には、薄肉なスペーサ45が配置され、このスペーサによって振動板50とブロア枠体40の拡張部43との間に微少な隙間δが設けられている。本実施例の場合、仕切り部43がブロア室の内周縁から内側に向かって延びる段差部として形成される。この場合は、ブロア室がほぼ共鳴空間34とほぼ等しくなる。
図11は本発明にかかる圧電マイクロブロアの第6実施例を示す。本実施例のマイクロブロアFは、第5実施例の圧電マイクロブロアEの振動板50に代えて、リング状の圧電素子52a及び中間板53aを有する振動板50aを用いたものである。本実施例の場合、圧電素子52aの内径を共鳴空間34の内径以下にすることにより、ダイヤフラム51の最も大きな変位の中心部分を共鳴空間34に対応させることができ、流量を増大させることができる。
図12は本発明にかかる圧電マイクロブロアの第7実施例を示す。本実施例のマイクロブロアGでは、リング状の圧電素子52a及び中間板53aをダイヤフラム51の上面、つまりブロア室側の側面に貼り付け、この圧電素子52a及び中間板53aの内側の共鳴空間34を形成したものである。圧電素子52aとセパレータ30との間には、振動板50aが共振駆動しても互いに接触しないように、微少な隙間δが形成される。本実施例では、圧電素子52a及び中間板53aがブロア室4内に配置されるので、さらなる低背化(薄型化)を実現できる。
1 ブロア本体
4 ブロア室
8 流入口
10 天板(第2壁部)
11 吐出穴(第2開口部)
20 流路形成板
21 中央穴(中央空間)
22 流入通路
30 セパレータ(第1壁部)
31 貫通穴(第1開口部)
33 仕切り部
34 共鳴空間
40 ブロア枠体
50 振動板
51 ダイヤフラム
52 圧電素子
53 中間板
60 底板
δ 隙間
Claims (9)
- 圧電素子に所定周波数の電圧を印加することによりベンディングモードで駆動される振動板と、前記振動板の両端部又は周囲を固定し、振動板との間でブロア室を形成するブロア本体とを備え、前記振動板の中央部と対向するブロア本体の部位に開口部を設けた圧電マイクロブロアにおいて、
前記振動板の中央部に対応するブロア室の部位に、前記開口部を中心としてその周囲に仕切り部を設けることによって、当該仕切り部の内側に共鳴空間を形成し、
前記振動板の駆動周波数と共鳴空間のヘルムホルツ共鳴周波数とが対応するように、前記共鳴空間の大きさを設定したことを特徴とする圧電マイクロブロア。 - 前記仕切り部と当該仕切り部に対向する振動板又はブロア本体の部位との間に、振動板が変位した時に互いに接触しない隙間が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の圧電マイクロブロア。
- 前記隙間は、前記開口部の直径より小さいことを特徴とする請求項2に記載の圧電マイクロブロア。
- 前記仕切り部は、前記ブロア本体から振動板に向かって突設され、ブロア室の内周縁から内側に向かって延びる段差部であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の圧電マイクロブロア。
- 前記仕切り部は、前記ブロア本体から振動板に向かって、又は前記振動板からブロア本体に向かって突設され、外周部がブロア室の内周縁より内側に位置する環状の凸部であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の圧電マイクロブロア。
- 前記振動板は3次モードで共振駆動され、前記仕切り部は振動板の振動のノード点に対応した位置に形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の圧電マイクロブロア。
- 前記振動板はダイヤフラムにリング状の圧電素子を貼り付けたものであり、
前記圧電素子の内径が前記仕切り部の内径以下とされていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の圧電マイクロブロア。 - 前記振動板はダイヤフラムのブロア室側側面にリング状の圧電素子を貼り付けたものであり、
前記共鳴空間は前記圧電素子の内周側に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の圧電マイクロブロア。 - 前記ブロア本体は、
前記ブロア室を間にして振動板と対向する第1壁部と、
前記振動板の中心部と対向する前記第1壁部の部位に形成され、ブロア室の内部と外部とを連通させる第1開口部と、
前記第1壁部を間にしてブロア室と反対側に、第1壁部と間隔をあけて設けられた第2壁部と、
前記第1開口部と対向する第2壁部の部位に形成された第2開口部と、
前記第1壁部と第2壁部との間に形成され、外側端部が外部と連通し、第1開口部及び第2開口部と連通する中央空間とを備え、
前記中央空間と対面する第1壁部の部分が振動板の駆動に伴って振動するように構成されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の圧電マイクロブロア。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010515853A JP5110159B2 (ja) | 2008-06-05 | 2009-06-01 | 圧電マイクロブロア |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008147548 | 2008-06-05 | ||
JP2008147548 | 2008-06-05 | ||
JP2010515853A JP5110159B2 (ja) | 2008-06-05 | 2009-06-01 | 圧電マイクロブロア |
PCT/JP2009/059944 WO2009148005A1 (ja) | 2008-06-05 | 2009-06-01 | 圧電マイクロブロア |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009148005A1 JPWO2009148005A1 (ja) | 2011-10-27 |
JP5110159B2 true JP5110159B2 (ja) | 2012-12-26 |
Family
ID=41398083
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010515853A Active JP5110159B2 (ja) | 2008-06-05 | 2009-06-01 | 圧電マイクロブロア |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8684707B2 (ja) |
EP (1) | EP2312158B1 (ja) |
JP (1) | JP5110159B2 (ja) |
CN (1) | CN102057163B (ja) |
WO (1) | WO2009148005A1 (ja) |
Families Citing this family (61)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8418934B2 (en) | 2008-08-26 | 2013-04-16 | General Electric Company | System and method for miniaturization of synthetic jets |
JP5528404B2 (ja) | 2011-09-06 | 2014-06-25 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
JP5533823B2 (ja) * | 2011-09-06 | 2014-06-25 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
EP3346131B1 (en) * | 2011-10-11 | 2022-04-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Fluid control apparatus and method for adjusting fluid control apparatus |
JP5692465B2 (ja) * | 2012-06-11 | 2015-04-01 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
TWI573012B (zh) * | 2013-08-12 | 2017-03-01 | 奇鋐科技股份有限公司 | 散熱裝置 |
US9367103B2 (en) | 2013-08-22 | 2016-06-14 | Asia Vital Components Co., Ltd. | Heat dissipation device |
CN108050051B (zh) * | 2014-02-21 | 2019-12-31 | 株式会社村田制作所 | 流体控制装置以及泵 |
DE112015000889B4 (de) * | 2014-02-21 | 2023-04-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Gebläse |
CN104976159B (zh) | 2014-04-11 | 2019-11-01 | 中强光电股份有限公司 | 鼓风机及涡流噪音降低方法 |
US20150316047A1 (en) * | 2014-04-30 | 2015-11-05 | Texas Instruments Incorporated | Fluid pump having material displaceable responsive to electrical energy |
EP3168287A4 (en) | 2014-07-08 | 2018-01-24 | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology | Nucleic acid amplification device, nucleic acid amplification method, and chip for nucleic acid amplification |
WO2016027817A1 (ja) * | 2014-08-20 | 2016-02-25 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
JP6380075B2 (ja) * | 2014-12-15 | 2018-08-29 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
TWI568933B (zh) * | 2015-03-06 | 2017-02-01 | 科際精密股份有限公司 | 壓電泵及壓電泵組合 |
DE112016001938B4 (de) | 2015-04-27 | 2024-07-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Pumpe |
TWI557321B (zh) * | 2015-06-25 | 2016-11-11 | 科際精密股份有限公司 | 壓電泵及其操作方法 |
CN105526135B (zh) * | 2015-12-08 | 2018-02-06 | 北京有色金属研究总院 | 一种反向低驱动电压双侧泵膜无阀静电微泵及其制备方法 |
EP3203079B1 (en) | 2016-01-29 | 2021-05-19 | Microjet Technology Co., Ltd | Piezoelectric actuator |
EP3203078B1 (en) | 2016-01-29 | 2021-05-26 | Microjet Technology Co., Ltd | Miniature pneumatic device |
EP3203080B1 (en) | 2016-01-29 | 2021-09-22 | Microjet Technology Co., Ltd | Miniature pneumatic device |
US9976673B2 (en) | 2016-01-29 | 2018-05-22 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
US10487820B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-11-26 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10451051B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-10-22 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10584695B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-03-10 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
US10388849B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-08-20 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
US10487821B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-11-26 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
TWI676738B (zh) * | 2016-01-29 | 2019-11-11 | 研能科技股份有限公司 | 微型氣壓動力裝置 |
US10385838B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-08-20 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
US10529911B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-01-07 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
US10615329B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-04-07 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
TWI683959B (zh) * | 2016-09-05 | 2020-02-01 | 研能科技股份有限公司 | 壓電致動器及其所適用之微型流體控制裝置 |
TWI613367B (zh) * | 2016-09-05 | 2018-02-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
TWI606936B (zh) * | 2016-09-05 | 2017-12-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
TWI625468B (zh) | 2016-09-05 | 2018-06-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
TWI602995B (zh) | 2016-09-05 | 2017-10-21 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
US10655620B2 (en) | 2016-11-10 | 2020-05-19 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
US10746169B2 (en) | 2016-11-10 | 2020-08-18 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10683861B2 (en) | 2016-11-10 | 2020-06-16 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
CN109424522B (zh) * | 2017-08-31 | 2021-02-09 | 研能科技股份有限公司 | 气体输送装置 |
WO2019111982A1 (ja) * | 2017-12-08 | 2019-06-13 | 株式会社村田製作所 | ポンプ |
US11043444B2 (en) | 2018-08-10 | 2021-06-22 | Frore Systems Inc. | Two-dimensional addessable array of piezoelectric MEMS-based active cooling devices |
US11464140B2 (en) | 2019-12-06 | 2022-10-04 | Frore Systems Inc. | Centrally anchored MEMS-based active cooling systems |
EP3828414B1 (en) * | 2018-11-27 | 2024-08-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Pump |
CN112789407B (zh) * | 2018-11-27 | 2023-02-03 | 株式会社村田制作所 | 泵 |
CN110043452A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-07-23 | 常州威图流体科技有限公司 | 一种新型压电微泵 |
US11898545B2 (en) | 2019-06-21 | 2024-02-13 | Brane Audio, LLC | Venturi pump systems and methods to use same |
EP4030055A4 (en) * | 2019-09-11 | 2023-10-04 | Kyocera Corporation | PIEZOELECTRIC PUMP AND PUMP UNIT |
KR102677216B1 (ko) | 2019-10-30 | 2024-06-24 | 프로리 시스템스 인코포레이티드 | Mems 기반 기류 시스템 |
US11510341B2 (en) | 2019-12-06 | 2022-11-22 | Frore Systems Inc. | Engineered actuators usable in MEMs active cooling devices |
CN112922817A (zh) * | 2019-12-06 | 2021-06-08 | 研能科技股份有限公司 | 微型鼓风机 |
US11796262B2 (en) | 2019-12-06 | 2023-10-24 | Frore Systems Inc. | Top chamber cavities for center-pinned actuators |
US20210180723A1 (en) * | 2019-12-16 | 2021-06-17 | Frore Systems Inc. | Virtual valve in a mems-based cooling system |
WO2021126791A1 (en) | 2019-12-17 | 2021-06-24 | Frore Systems Inc. | Mems-based cooling systems for closed and open devices |
US12033917B2 (en) | 2019-12-17 | 2024-07-09 | Frore Systems Inc. | Airflow control in active cooling systems |
US12052924B2 (en) | 2019-12-20 | 2024-07-30 | Frore Systems Inc. | Method and system for fabricating a piezoelectric device |
CN111140478A (zh) * | 2020-01-22 | 2020-05-12 | 常州威图流体科技有限公司 | 一种压电微泵及气体控制装置 |
JP2023126990A (ja) * | 2020-07-31 | 2023-09-13 | Tdk株式会社 | ポンプ及び流体制御装置 |
JP2023544160A (ja) | 2020-10-02 | 2023-10-20 | フロー・システムズ・インコーポレーテッド | アクティブヒートシンク |
EP4006367B1 (en) | 2020-11-27 | 2024-05-22 | European Space Agency | Gas bearing system |
WO2022187160A1 (en) * | 2021-03-02 | 2022-09-09 | Frore Systems Inc. | Exhaust blending for piezoelectric cooling systems |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58140491A (ja) * | 1982-02-16 | 1983-08-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流れ発生装置 |
JPH0727056A (ja) * | 1993-07-06 | 1995-01-27 | Hitachi Ltd | ポンプ |
JP2006157863A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-06-15 | Omron Corp | 容量型振動センサ及びその製造方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3963380A (en) * | 1975-01-06 | 1976-06-15 | Thomas Jr Lyell J | Micro pump powered by piezoelectric disk benders |
US4498851A (en) * | 1980-05-02 | 1985-02-12 | Piezo Electric Products, Inc. | Solid state blower |
US4595338A (en) * | 1983-11-17 | 1986-06-17 | Piezo Electric Products, Inc. | Non-vibrational oscillating blade piezoelectric blower |
US4780062A (en) * | 1985-10-09 | 1988-10-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric fan |
US5008582A (en) * | 1988-01-29 | 1991-04-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electronic device having a cooling element |
US4923000A (en) * | 1989-03-03 | 1990-05-08 | Microelectronics And Computer Technology Corporation | Heat exchanger having piezoelectric fan means |
JPH09321360A (ja) * | 1996-05-27 | 1997-12-12 | Honda Motor Co Ltd | 圧電ファン |
US7061161B2 (en) * | 2002-02-15 | 2006-06-13 | Siemens Technology-To-Business Center Llc | Small piezoelectric air pumps with unobstructed airflow |
CN1179127C (zh) * | 2002-09-03 | 2004-12-08 | 吉林大学 | 多腔压电薄膜驱动泵 |
GB0308197D0 (en) | 2003-04-09 | 2003-05-14 | The Technology Partnership Plc | Gas flow generator |
JP2004332705A (ja) | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Honda Motor Co Ltd | マイクロポンプ |
JP2007527618A (ja) | 2003-07-07 | 2007-09-27 | ジョージア テック リサーチ コーポレイション | 分配された合成ジェットアクチュエータを使用する熱管理のためのシステムおよび方法 |
KR100519970B1 (ko) * | 2003-10-07 | 2005-10-13 | 삼성전자주식회사 | 밸브리스 마이크로 공기공급장치 |
GB0508194D0 (en) * | 2005-04-22 | 2005-06-01 | The Technology Partnership Plc | Pump |
US20070090726A1 (en) * | 2005-10-24 | 2007-04-26 | Morris Grant A | Piezoelectric fan |
JP2008014148A (ja) | 2006-07-03 | 2008-01-24 | Sony Corp | 噴流発生装置及び電子機器 |
EP2090781B1 (en) | 2006-12-09 | 2018-08-22 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Piezoelectric micro-blower |
-
2009
- 2009-06-01 JP JP2010515853A patent/JP5110159B2/ja active Active
- 2009-06-01 EP EP09758272.0A patent/EP2312158B1/en active Active
- 2009-06-01 CN CN2009801213498A patent/CN102057163B/zh active Active
- 2009-06-01 WO PCT/JP2009/059944 patent/WO2009148005A1/ja active Application Filing
-
2010
- 2010-12-03 US US12/959,462 patent/US8684707B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58140491A (ja) * | 1982-02-16 | 1983-08-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流れ発生装置 |
JPH0727056A (ja) * | 1993-07-06 | 1995-01-27 | Hitachi Ltd | ポンプ |
JP2006157863A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-06-15 | Omron Corp | 容量型振動センサ及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2312158A4 (en) | 2015-03-04 |
US8684707B2 (en) | 2014-04-01 |
WO2009148005A1 (ja) | 2009-12-10 |
EP2312158A1 (en) | 2011-04-20 |
EP2312158B1 (en) | 2016-04-27 |
US20110070109A1 (en) | 2011-03-24 |
JPWO2009148005A1 (ja) | 2011-10-27 |
CN102057163A (zh) | 2011-05-11 |
CN102057163B (zh) | 2013-10-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5110159B2 (ja) | 圧電マイクロブロア | |
JP6528849B2 (ja) | ブロア | |
JP6278099B2 (ja) | 流体制御装置 | |
JP5177331B1 (ja) | ポンプ装置 | |
JP5012889B2 (ja) | 圧電マイクロブロア | |
JP4873014B2 (ja) | 圧電マイクロブロア | |
JP5115626B2 (ja) | 圧電マイクロブロア | |
JP5333012B2 (ja) | マイクロブロア | |
JP5360229B2 (ja) | 圧電マイクロブロア | |
WO2015125608A1 (ja) | ブロア | |
JP2006522896A (ja) | ガス流発生器 | |
JP6575634B2 (ja) | ブロア | |
JP4957501B2 (ja) | 圧電マイクロブロア | |
TWI625469B (zh) | 低共振音頻之合成噴流結構 | |
JP4957504B2 (ja) | 圧電ポンプおよびその製造方法 | |
JP2012077677A (ja) | 圧電マイクロブロア |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120911 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120924 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151019 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5110159 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |