JP5109149B2 - 光学樹脂材料組成物及び光学部材の製造方法 - Google Patents
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また、本発明は、前記式(I)で示される含フッ素芳香族化合物(A)と、
フェノール性水酸基を2個以上有し、架橋性二重結合及び架橋性三重結合を有していないフェノール系化合物(B)(ただし前記2個以上のフェノール水酸基が互いにオルト位置関係にあるものを除く)とのみを、
脱HF剤存在下に縮合反応させて得られる光学樹脂材料組成物を提供する。
また、前記フェノール系化合物(B)が、それぞれのフェノール性水酸基が同じ芳香環に存在しないフェノール系化合物(B1)であることが好ましい。
真空乾燥した光学樹脂組成物粉末をゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)によりポリスチレン換算の数平均分子量を求めた。キャリア溶媒はテトラヒドロフランを使用した。
真空乾燥した光学樹脂組成物粉末をシクロヘキサノンに溶解させて得た30質量%溶液をポア径0.5μmのPTFE製フィルタでろ過した。得られた溶液を用いてガラス基板上にスピンコート法によって厚さ約3μmの硬化膜を形成した。スピン条件は毎分1000〜3000回転×30秒とし、ホットプレートによる100℃×90秒、200℃×90秒のプリベークの後、縦型炉で250℃×1時間、窒素雰囲気下でのファイナルベークを行った。得られたガラス基板上の薄膜を用いて分光光度計(島津製作所製、UV−3100)により、波長400nmの光線透過率を測定した。
真空乾燥した光学樹脂組成物粉末をシクロヘキサノンに溶解させて得た20重量%溶液をポア径0.5μmのPTFE製フィルタでろ過した。得られた溶液を用いてシリコンウェハ上にスピンコート法によって厚さ約1μmの薄膜を形成した。スピン条件は1000〜3000回転で30秒とし、ホットプレートによる100℃(90秒)、200℃(90秒)のプリベークの後、縦型炉で250℃(1時間)、窒素雰囲気下でのファイナルベークを行った。続いて分光エリプソメータ(J.A.Woollam社製、WVASE32)によって波長630nmにおける屈折率を求めた。
真空乾燥した光学樹脂組成物粉末をシクロヘキサノンに溶解させて得た溶液(樹脂濃度は20質量%)をポア径0.5μmのPTFE製フィルタでろ過した。0.5μmの厚さで酸化シリコンがパターニングされたシリコンウェハ上に、上記溶液を用いてスピンコート法によって厚さ約1μmの薄膜を形成した。ここでパターンについては、ライン/スペースの幅の組み合わせを変えて試験を行った。またスピン条件は1000〜3000回転で30秒とし、ホットプレートによる100℃(90秒)、200℃(90秒)のプリベークの後、縦型炉で250℃(1時間)、窒素雰囲気下でのファイナルベークを行った。硬化膜の表面の凹凸を触針式表面形状測定器(VEECO社製、DEKTAK−3ST)を用いて測定を行った。平坦化率は下式にしたがって計算した。平坦化率=(1−硬化膜の表面凹凸/酸化シリコンの表面凹凸)×100。
ジムロートコンデンサ、熱電対温度計、メカニカルスターラの付いた100mLガラス製4つ口フラスコに、含フッ素芳香族化合物(A)としてペルフルオロ−1,3,5−トリフェニルベンゼン(TPB)(5.0g)、フェノール系化合物(B)としてビスフェノールF(1.8g)、ジメチルアセトアミド(以下、DMAcという)(61.0g)を仕込んだ。撹拌しながらオイルバス上で加温し、液温が60℃となった時点で炭酸ナトリウム(1.7g)を素早く添加した。撹拌を継続しながら60℃で24時間加熱した。その後、反応液を室温に冷却し、激しく撹拌した0.5N塩酸水約200mLに徐々に滴下し、再沈殿を行った。ろ過後、さらに純水で2回洗浄した後に、60℃で12時間真空乾燥を行って白色粉末状の光学樹脂組成物(5.91g)を得た。該ポリマーを用いて前述した方法により形成し測定した光学樹脂の基本特性を表2に示す。
例1と同様にして含フッ素芳香族化合物(A)とフェノール系化合物(B)との組み合わせを変えて光学樹脂組成物を製造した。それぞれの用いた割合(A/Bのモル比)を含めて処方を表1に示す。例1と同様の評価を行い、基本特性評価結果を表2に示す。
ジムロートコンデンサ、スターラーチップの付いた50mL二つ口フラスコに、ペンタフルオロフェニルアセチレン(0.57g)、1,3,5−トリヒドロキシベンゼン(0.75g)、ペルフルオロビフェニル(3.00g)、及び、DMAc(38.97g)を仕込んだ。撹拌しながらオイルバス上で60℃に加温し、炭酸カリウム(3.72g)を素早く添加し、撹拌を継続しながら60℃で22時間加熱した。
例16と例19で得られた光学樹脂組成物を用いて、前述した方法により埋め込み平坦性試験の評価を行った結果を表3に示す。
Claims (14)
- 前記フェノール系化合物(B)が、4,4’−ジヒドロキシビフェニル、4,4”−ジヒドロキシテルフェニル、ジヒドロキシアントラセン、ジヒドロキシフェナントラセン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、4,4’−(9−フルオレニリデン)ジフェノール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、2,5−ジフェニルハイドロキノン、1,3−ジヒドロキシベンゼン、3,3’,5,5’−テトラメチル−4,4’−ビフェニルジオール、2,3,5,6−テトラメチル−1,4−ベンゼンジオール、[1,1’−ビフェニル]−2,2’−ジオール、[1,1’−ビナフタレン]−2,2’−ジオール、ビス(4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ジヒドロキシ−2,2−ジフェニルプロパン、ジヒドロキシ−2,2−ジフェニルヘキサフルオロプロパン、1,3,5−トリヒドロキシベンゼン、2,4,6−トリフェニルレソルシノール、1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,3,5−トリス(4−ヒドロキシフェニル)ベンゼン、1,1,2,2−テトラキス(4−ヒドロキシフェニル)エタン、[1,1’−ビフェニル]−2,3’,4,5’,6−ペントールからなる群より選ばれる少なくとも1種である請求項1に記載の光学樹脂材料組成物。
- 前記フェノール系化合物(B)が、それぞれのフェノール性水酸基が同じ芳香環に存在しないフェノール系化合物(B1)である請求項1又は2に記載の光学樹脂材料組成物。
- 前記含フッ素芳香族化合物(A)であって前記nが0である含フッ素芳香族化合物(A−1)と、前記フェノール系化合物(B)であってフェノール性水酸基を3個有するフェノール系化合物(B−3)との組み合わせ、又は、前記含フッ素芳香族化合物(A)であって前記nが1である含フッ素芳香族化合物(A−2)と、前記フェノール系化合物(B)であってフェノール性水酸基を3個有するフェノール系化合物(B−3)との組み合わせを用いる請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学樹脂材料組成物。
- 前記含フッ素芳香族化合物(A)であって前記nが3である含フッ素芳香族化合物(A−4)と、前記フェノール系化合物(B)であってフェノール性水酸基を2個有するフェノール系化合物(B−2)との組み合わせ、又は、前記含フッ素芳香族化合物(A)であって前記nが3である含フッ素芳香族化合物(A−4)と、前記フェノール系化合物(B)であってフェノール性水酸基を3個有するフェノール系化合物(B−3)との組み合わせを用いる請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学樹脂材料組成物。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の光学樹脂材料組成物を精製し、溶媒に溶解し、不純物を除去し、得られた光学樹脂溶液を光学部材要素に塗工する光学部材の製造方法。
- 前記光学部材要素の塗工対象面が凹凸を有し、塗工して得られた表面が平面である請求項6に記載の光学部材の製造方法。
- 前記フェノール系化合物(B)が、4,4’−ジヒドロキシビフェニル、4,4”−ジヒドロキシテルフェニル、ジヒドロキシアントラセン、ジヒドロキシフェナントラセン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、4,4’−(9−フルオレニリデン)ジフェノール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、2,5−ジフェニルハイドロキノン、1,3−ジヒドロキシベンゼン、3,3’,5,5’−テトラメチル−4,4’−ビフェニルジオール、2,3,5,6−テトラメチル−1,4−ベンゼンジオール、[1,1’−ビフェニル]−2,2’−ジオール、[1,1’−ビナフタレン]−2,2’−ジオール、ビス(4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ジヒドロキシ−2,2−ジフェニルプロパン、ジヒドロキシ−2,2−ジフェニルヘキサフルオロプロパン、1,3,5−トリヒドロキシベンゼン、2,4,6−トリフェニルレソルシノール、1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,3,5−トリス(4−ヒドロキシフェニル)ベンゼン、1,1,2,2−テトラキス(4−ヒドロキシフェニル)エタン、[1,1’−ビフェニル]−2,3’,4,5’,6−ペントールからなる群より選ばれる少なくとも1種である請求項8に記載の光学樹脂材料組成物。
- 前記フェノール系化合物(B)が、それぞれのフェノール性水酸基が同じ芳香環に存在しないフェノール系化合物(B1)である請求項8又は9に記載の光学樹脂材料組成物。
- 前記含フッ素芳香族化合物(A)であって前記nが0である含フッ素芳香族化合物(A−1)と、前記フェノール系化合物(B)であってフェノール性水酸基を3個有するフェノール系化合物(B−3)との組み合わせ、又は、前記含フッ素芳香族化合物(A)であって前記nが1である含フッ素芳香族化合物(A−2)と、前記フェノール系化合物(B)であってフェノール性水酸基を3個有するフェノール系化合物(B−3)との組み合わせを用いる請求項8〜10のいずれか一項に記載の光学樹脂材料組成物。
- 前記含フッ素芳香族化合物(A)であって前記nが3である含フッ素芳香族化合物(A−4)と、前記フェノール系化合物(B)であってフェノール性水酸基を2個有するフェノール系化合物(B−2)との組み合わせ、又は、前記含フッ素芳香族化合物(A)であって前記nが3である含フッ素芳香族化合物(A−4)と、前記フェノール系化合物(B)であってフェノール性水酸基を3個有するフェノール系化合物(B−3)との組み合わせを用いる請求項8〜10のいずれか一項に記載の光学樹脂材料組成物。
- 請求項8〜12のいずれか一項に記載の光学樹脂材料組成物を精製し、溶媒に溶解し、不純物を除去し、得られた光学樹脂溶液を光学部材要素に塗工する光学部材の製造方法。
- 前記光学部材要素の塗工対象面が凹凸を有し、塗工して得られた表面が平面である請求項13に記載の光学部材の製造方法。
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