JP5103306B2 - ディスクチャック装置 - Google Patents
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Description
前記C形チャックリングには、C形ばねが巻装され、該C形チャックリングをC形ばねに抗して拡開することによりディスク中心孔の内周面に加圧接触せしめてディスク拘束状態にするとともに、また、前記C形チャックリングを前記C形ばねの弾力に従い縮閉することにより前記ディスク中心孔の内周面に対する加圧接触を解除し、前記ディスク拘束解除状態としている。
他方、前記C形チャックリングによるディスク拘束状態と同拘束解除状態を形成する手段として、特許文献1においては、ディスク中心孔内を軸線に沿い上下動し前記C形チャックリングを拡縮せしめる周面カムを備え、該周面カムをエアーにより上昇させて前記C形チャックリングによるディスク拘束解除状態とし、周面カムをばねにより下降してC形チャックリングによるディスク拘束状態とするエアーチャック方式を採用している。
また、ディスクの中心孔の内側に複数のチャック爪を挿入してチャック爪の間隙を拡開し、中心孔の内側からディスクを把持できるように構成したディスクチャック装置が特許文献2に開示されている。
更に、C形チャックリングの拡縮に伴い、C形ばねの切欠端がC形チャックリングの表面を引っ掻いて、あるいは、C形チャックリングの表面を滑動してディスク検査に有害な塵埃を生ずる問題を有している。また、このような塵埃は、ディスクの製造段階におけるチャック操作であるならば、ディスク表面に形成する膜に取り込まれるおそれがあり、膜質そのものを低下させる問題がある。
また、ディスクの中心孔の内側からチャック爪を拡張して把持するタイプのディスクチャック装置では、特にディスクを高速回転するなどの場合にチャック爪による把持力を高めると、ディスクの中心孔の内周面にチャック爪が傷を付けるおそれがあった。
(3)本発明のディスクチャック装置は、前記係止部に係止された状態のボール部材に対し、前記プランジャ部材を前記把持部材に沿って前記ガイド軸の基端部側に向けて押圧することで前記ボール部材を前記係止部と前記突起部の間から外して前記ボール部材をガイド軸の径方向に移動自在に開放することにより、前記把持部材と前記プランジャ部材を前記ガイド軸から引き抜き自在として、前記ディスクが解放自在とされてなることを特徴とする。
(5)本発明のディスクチャック装置は、前記プランジャ部材のボール受部が前記ガイド軸の軸周りに複数形成され、各ボール受部にボール部材を収容させて前記ガイド軸の軸周りに複数のボール部材が配置されてなり、前記複数のボール部材を前記ガイド軸の係止部に当接させた状態において前記把持部材の突起部が複数のボール部材を前記ガイド軸との間に挟持できるように構成されてなることを特徴とする。
(6)本発明のディスクチャック装置は、モータの出力軸の先端側に前記ガイド軸が設けられ、前記受部が前記モータの出力軸側に設けられ、前記把持部材と前記プランジャ部材とが前記ガイド軸の周囲側に設けられ、前記受部と前記把持部材により前記ディスクを把持した状態において前記ディスクがモータにより回転自在に支持されてなることを特徴とする。
また、C形チャックリングを用いることなく、エアーチャック方式を用いていないので、ディスクの中心孔内周面に対する不均一な加圧接触が無く、ディスクの歪みや変形を招来するおそれがないので、本発明のディスクチャック装置を用いてディスクを検査する場合に検査の信頼性を損なうことが無い。
更に、本発明のディスクチャック装置は、C形チャックリングを用いないので、C形チャックリングの表面滑動によりディスク検査に有害な塵埃を生ずる問題を生じることが無い。
また、本発明のディスクチャック装置におけるディスクの開放は、プランジャ部材を把持部材に沿わせて押圧し、ガイド軸とともにボール部材を挟持している突起部からボール部材を外す操作を行えば良いので、ディスクの開放操作を容易、かつ、確実に行うことができる。
更に、プランジャ部材の押圧を行う押圧ロッドと、プランジャ部材を押圧ロッドが押圧したまま把持部材を支持する係止爪を備えてこれらの動作によりディスクの把持を開放できる構成とするならば、ディスク把持の解除を容易、かつ、自動的に行うことができ、ディスクの搬送をロボットの搬送装置などで行うことができる。従って、ディスクの把持操作と開放操作、並びに、搬送を自動化することができる。
また、本発明のディスクチャック装置をモータの出力軸周りに設けてあるならば、ディスクを把持した状態でディスクの高速回転が可能であり、高速回転してもディスクを傷めることなくディスクを確実に把持することができる。
図1は本実施形態のディスクチャック装置Aにより磁気ディスク、光ディスクなどのドーナツ円盤状のディスク1を把持した状態を示す部分断面図、図2はディスクチャック装置Aにおいてディスク1の把持を解除した状態を示す部分断面図、図3〜図5はディスクチャック装置Aにおいてディスク1を取り外す際の動作を説明するための部分断面図、図6〜図8はディスクチャック装置Aの各構成部品を示す図である。
本実施形態のディスクチャック装置Aは、モータ2の出力軸の先端側に一体化される形態で設けられている。モータ2のロータやステータ、コイルなどの内部部品を覆って筒形のケーシング2が設けられ、このケーシング2の一側端面中央に出力軸2Bが突出形成され、この出力軸2Bの先端側に出力軸2Bを延長するようにガイド軸3が形成されている。
なお、各図においてはモータ2の内部構造を略しているが、モータ2の内部にはロータやステータ、コイルなどのモータ用構成部品が設けられていて、出力軸2Bを回転駆動できるように構成されている。
前記装着部材4においてガイド軸3側の端面(装着部材4の外側の端面)にはその外径を若干小さく形成したテーパ部4aが形成されるとともに、装着部材4の外径は把持対称物であるディスク1の中央孔1aを挿通できる大きさとされ、受部5の外径はディスク1の中央孔の一側開口部周辺に当接できる大きさとされている。従ってディスク1の中心孔1aを装着部材4に挿通してディスク1をリング状の受部5の上に載置することができ、この際、ディスク1の中心孔1aにおいて一側の開口部周辺部分(受部5側の開口部周辺部分)が受部5の端面に当接しつつ支持されるようになっている。
前記プランジャ部材8は、筒形の本体部8aと、該本体部8aの上端部側に形成された横断面鍵型の外向き型のフランジ部8bと、本体部8aの下端部側に形成されたボール受部8cとからなる。プランジャ部材8は、そのフランジ部8bを前記把持部材7の周段部7bに挿入するとともに本体部8aを把持部材7の内向きフランジ型の突起部7cの内部側にスライド自在に挿入することにより、把持部材7の内部に沿ってガイド軸3の長さ方向に移動自在に挿入されている。
プランジャ部材8の本体部8aの底部側にはその周回りに120゜間隔で3つの透孔8dが本体部8aの周壁を貫通するように形成され、本体部8aの底部側には先の3つの 透孔8dの底面を構成し、本体部8aの外側まで若干延出形成された支持突部8eと、先の3つの透孔8dの上面を構成する内向きのフランジ部8fが形成されている。そして、各透孔8dの中には、上下を先のフランジ部8fと支持突部8eとの間に挟まれた状態でボール部材9が挿入されている。このボール部材9は金属球などからなり、透孔8dの内部においてフランジ部8fと支持突部8eとの間に挟まれた状態でプランジャ部材8の径方向に自由に移動できるように収容されている。
また、プランジャ部材8を把持部材7に挿入完了した状態において支持突部8eの先端は突起部7cより下方に位置し、各ボール部材9はガイド軸3の大径部3bよりも下側に位置する小径部3aの外側に配置される。
図1に示す状態においては、弾性部材10の弾性反発力が把持部材7とプランジャ部材8をガイド軸3の軸方向に沿って引き離すように作用するので、把持部材7の上部側にプランジャ部材8が引き上げられる結果として、3つのボール部材9がガイド軸3の大径部3b直下の係止面3cに当接すると同時に、把持部材7の突起部7cが各ボール部材9の外周面に当接し、ガイド軸3と突起部7cでもって各ボール部材9を挟持する状態となるので、プランジャ部材8は図1に示す状態の位置よりも上方に移動することができない。この状態では、弾性部材10の弾性反発力が把持部材7の把持片7aをディスク1の中心孔1aの上面側(他側)の開口部周辺に押し付け、対向する側の受部5との間に挟み込む状態となるので、ディスク1を受部5と把持部材7とでその厚さ方向に挟持した状態とすることができる。
プランジャ部材8を図2に示す如く把持部材7に対し引き下げて各ボール部材9を突起部7cよりも下側に移動させた状態において、各ボール部材9は突起部7cよりも下側の把持部材底部側に移動するので、各ボール部材9はガイド軸3の小径部3bの周囲において把持部材底部側の内面との間の隙間部分に移動し、ガイド軸3の小径部3cの径方向に若干移動できる状態となるので、この状態をディスク1の把持を解除した状態(アンクランプ状態)とすることができる。
ここでモータ2とディスクチャック装置Aをディスク1の洗浄装置に設けているならば、ディスク1を高速回転させながら洗浄することができ、モータ2とディスクチャック装置Aをディスク1のリンス装置に設けているならば、ディスク1を高速回転させながらリンス処理することができ、モータ2とディスクチャック装置Aをディスク1のスピンコート装置に設けているならば、ディスク1を高速回転させながらスピンコート処理することができる。
なお、図1ではモータ2を水平に設置しガイド軸3を鉛直向きとした状態として示したので、ディスク1を水平に支持した状態とできるが、モータ2のガイド軸3を横向き、斜め向き等、いずれの向きに設置しても良いのは勿論であり、ガイド軸3の設置方向に合わせてディスク1の把持方向を揃えることができるのは勿論である。
また、従来装置の把持爪などのように、ディスク1の中央孔1aの内部を損傷させることがなく、把持操作中にディスク1の構成材料の塵芥を発生させるおそれもないので、本発明のディスクチャック装置Aであるならば、磁気ディスクや光ディスクなどのようにディスク表面に薄膜を積層したり、エッチングやスピンコートなどの各種処理を行う場合であっても、ディスク1の構成材料の塵埃が発生することに起因する膜質の低下を引き起こすことが無く、処理品質不良を引き起こすおそれも少ない。
その状態を詳述すると、図3に示す如くプランジャ部材8の上方からプランジャ部材8の外径と同等の直径の押圧ロッド12を押し込み、押圧ロッド12の周囲に配置したフック部13aを有する複数本の係止爪13で図4に示す如く把持部材7の上端のフランジ部7dを挟み込み、プランジャ部材8と把持部材7との位置関係を維持したままプランジャ部材8と把持部材7を引き上げることで、図5に示す如くプランジャ部材8と把持部材7をガイド軸3の上方に引き上げることができる。
Claims (6)
- 中心孔を有するディスクに対し、その中心孔の一側開口部周辺と他側開口部周辺を前記ディスクの厚さ方向両側から挟み込むことにより、前記ディスクを把持するチャック装置であって、
前記ディスクの中心孔の前記一側から前記他側に挿通されるガイド軸と、前記ガイド軸の基端部側に設けられて前記ディスクの一側開口部周辺を受ける受部と、この受部に対して前記ガイド軸の軸方向に接近離間自在に配置された中空の把持部材と、該把持部材に沿って前記ガイド軸の軸方向に移動自在に設けられたプランジャ部材と、前記プランジャ部材において前記ガイド軸の基端部側に設けられたボール受部と、このボール受部に収容されて前記プランジャ部材とともにガイド軸の軸方向に移動自在に支持されたボール部材と、前記プランジャ部材と前記把持部材とに係止されて前記把持部材と前記プランジャ部材とを前記ガイド軸の軸方向に沿って離間する方向に付勢し、前記把持部材を前記ディスクの他側開口部周辺側に付勢する弾性部材とを具備して構成されるとともに、
前記ガイド軸の外周部に該ガイド軸の軸方向に沿う前記プランジャ部材の移動を前記ボール部材に当接して阻止する係止部が形成され、前記係止部に対する前記ボール部材の当接時に前記ガイド軸とともに前記ボール部材を挟持する突起部が前記把持部材の内周部に形成されてなることを特徴とするディスクチャック装置。 - 前記ガイド軸に小径部と大径部が形成され、この大径部が係止部とされてなり、前記ボール部材が前記小径部に沿ってガイド軸の軸方向に移動自在にされて前記プランジャ部材が前記把持部材に沿って移動自在とされ、前記ボール部材を前記大径部に当接させることにより前記プランジャ部材の移動が阻止され、前記ボール部材が前記ガイド軸と前記突起部とに挟持された状態で前記弾性部材の弾性力により前記把持部材を前記ディスクに押し付け自在とされてなることを特徴とする請求項1に記載のディスクチャック装置。
- 前記係止部に係止された状態のボール部材に対し、前記プランジャ部材を前記把持部材に沿って前記ガイド軸の基端部側に向けて押圧することで前記ボール部材を前記係止部と前記突起部の間から外して前記ボール部材をガイド軸の径方向に移動自在に開放することにより、前記把持部材と前記プランジャ部材を前記ガイド軸から引き抜き自在として、前記ディスクが解放自在とされてなることを特徴とする請求項1または2に記載のディスクチャック装置。
- 前記プランジャ部材を前記ガイド軸の基端部側に押圧して前記把持部材による前記ディスクの把持を解除する押圧ロッドと、この押圧ロッドが前記ディスクの把持を開放した状態において前記把持部材を把持する係止爪とを備え、前記ディスクの把持を開放したまま前記プランジャ部材と前記把持部材と前記押圧ロッドと前記係止爪とを前記ガイド軸とディスクから離間自在としてなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のディスクチャック装置。
- 前記プランジャ部材のボール受部が前記ガイド軸の軸周りに複数形成され、各ボール受部にボール部材を収容させて前記ガイド軸の軸周りに複数のボール部材が配置されてなり、前記複数のボール部材を前記ガイド軸の係止部に当接させた状態において前記把持部材の突起部が複数のボール部材を前記ガイド軸との間に挟持できるように構成されてなることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のディスクチャック装置。
- モータの出力軸の先端側に前記ガイド軸が設けられ、前記受部が前記モータの出力軸側に設けられ、前記把持部材と前記プランジャ部材とが前記ガイド軸の周囲側に設けられ、前記受部と前記把持部材により前記ディスクを把持した状態において前記ディスクがモータにより回転自在に支持されてなることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のディスクチャック装置。
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