JP5102089B2 - 気体圧制御型微小振動制御装置 - Google Patents
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- 支持対象物に向かい合う対物上面に気体吹出部を有し、対物上面と支持対象物との間の対物隙間に気体を流す対物パッドと、
気体が流れることができる貫通窓を有し、対物パッドの対物上面と反対側のパッド裏面に平行に整列配置される複数の平板可動子と、
複数の平板可動子をその整列配置される整列軸方向に沿って移動可能に収容する筐体部と、
対物パッドの気体吹出部と、各平板可動子の貫通窓と、複数の平板可動子のうちでパッド裏面に向かい合う最先端側平板可動子とパッド裏面との隙間であるパッド側隙間と、隣接する平板可動子の間の隙間である各可動子間隙間と、複数の平板可動子のうちで筐体部の底面に向かい合う最後端側平板可動子と筐体部の底面との隙間である底面側隙間とに隙間制御用気体を供給する隙間制御用気体供給手段と、
を備え、
対物パッドは、気体吹出部から外周側に向かって延びる表面絞りであって、気体圧変化に対する対物隙間の変化量に関する気体軸受剛性特性が対物隙間量を制御可能な予め定めた所定値を有し、
各平板可動子は、気体圧変化に対する各可動子隙間の変化量に関する気体軸受剛性特性が正方向の符号を有し、対物パッドにおける気体軸受剛性特性の所定値に対し1/10以下に設定される気体絞り部をそれぞれ有し、
隙間制御用気体の気体圧を制御し、支持対象物からの押付力と釣り合わせつつ各隙間の間隔を調整しながら、支持対象物を微小振動させることを特徴とする気体圧制御型微小振動制御装置。 - 請求項1に記載の気体圧制御型微小振動制御装置において、
対物パッドは、気体吹出部から吹き出し、支持対象物と対物上面との間の隙間を流れる気体を排出するための気体排出部を有し、
筐体部は、その内部に複数の平板可動子の外周側に軸方向に沿って設けられる外周側空間を有し、
気体排出部は、外周側空間を介して外部の排気装置に接続されることを特徴とする気体圧制御型微小振動制御装置。 - 請求項1に記載の気体圧制御型微小振動制御装置において、
筐体部は、その内部に複数の平板可動子の外周側に軸方向に沿って設けられる外周側空間を有し、
外周側空間に予め定めた所定気体圧の気体を供給し、支持対象物に予め定めたバイアス支持力を与えるバイアス気体供給手段を備えることを特徴とする気体圧制御型微小振動制御装置。 - 請求項3に記載の気体圧制御型微小振動制御装置において、
支持対象物または対物パッドと筐体部とを気密に接続し、ゴムまたはプラスチックゴムで構成されるベロフラムを備えることを特徴とする気体圧制御型微小振動制御装置。 - 請求項1に記載の気体圧制御型微小振動制御装置において、
対物パッドは、表面絞りとして、気体吹出部から外周側に向かって延びる複数の細溝を有し、
各平板可動子は、気体絞り部として、貫通窓から外周側に向かって延びる複数の溝であって、対物パッドの細溝よりも溝幅が広く、溝深さが深いことを特徴とする気体圧制御型微小振動制御装置。 - 請求項1に記載の気体圧制御型微小振動制御装置において、
筐体部の内部に設けられ、各平板可動子の中心部をそれぞれ支持する中心支持軸であって、整列軸方向への変位剛性が径方向への変位剛性よりも小さい支持部材を介して支持する中心支持軸を備えることを特徴とする気体圧制御型微小振動制御装置。 - 請求項1に記載の気体圧制御型微小振動制御装置において、
支持対象物または対物パッドの加速度を取得し、取得された加速度に応じて隙間制御用気体の気体圧を制御する制御部を備えることを特徴とする気体圧制御型微小振動制御装置。 - 請求項1に記載の気体圧制御型微小振動制御装置において、
対物パッドは、直交する3軸の方向で支持対象物を支持するように、支持対象物に対し複数設けられることを特徴とする気体圧制御型微小振動制御装置。
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