JP5101356B2 - 圧力センサおよびこれを備えた圧力測定装置 - Google Patents
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Description
11 圧電基板、
11a ベース基板、
11b 薄膜基板、
11c 凹部、
12 櫛歯電極部、
13 圧力検出用反射器、
14 ダイヤフラム部、
15 温度補償用反射器、
15a 第1の反射器、
15b 第2の反射器、
15c 第3の反射器、
20 読み取り装置(読み取り手段)、
30 コンピュータ(算出手段)。
Claims (5)
- 表面弾性波を伝搬する圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、外部からの無線信号を受信して当該圧電基板上に表面弾性波を励振する一方で、当該圧電基板上を伝搬する表面弾性波を受波して応答信号に変換する櫛歯電極部と、
前記表面弾性波の伝搬経路上に設けられ、前記櫛歯電極部で励振された表面弾性波を当該櫛歯電極部に向かって反射する圧力検出用反射器と、
前記櫛歯電極部と前記圧力検出用反射器との間に設けられ、前記圧電基板内部の空洞部と外部との圧力差に応じて変形することにより前記表面弾性波の伝搬経路の経路長を変化させるダイヤフラム部と、
前記表面弾性波の伝搬経路上に前記ダイヤフラム部を基準として前記櫛歯電極部側に設けられ、前記櫛歯電極部で励振された表面弾性波を当該櫛歯電極部に向かって反射する温度補償用反射器と、を有し、
前記温度補償用反射器は、
前記櫛歯電極部の反ダイヤフラム部側に設けられ、当該櫛歯電極部で励振された表面弾性波を当該櫛歯電極部に向かって反射する第1の反射器と、
前記第1の反射器と前記櫛歯電極部との間に設けられ、当該櫛歯電極部で励振された表面弾性波の一部を当該櫛歯電極部に向かって反射する一方で、残りの表面弾性波を通過させる第2の反射器と、
前記櫛歯電極部と前記ダイヤフラム部との間に設けられ、当該櫛歯電極部で励振された表面弾性波の一部を当該櫛歯電極部に向かって反射する一方で、残りの表面弾性波を通過させる第3の反射器と、を含むことを特徴とする圧力センサ。 - 前記圧電基板は、前記空洞部に対応する凹部が設けられたベース基板に、薄膜基板が接合されてなることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記ベース基板と前記薄膜基板とは、同一の圧電材料からなり、接触面で直接接合されていることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の圧力センサと、
前記圧力センサに無線信号を送信する一方で、当該圧力センサからの応答信号を受信する読み取り手段と、
前記読み取り手段で受信される応答信号の時間変化に基づいて、ガス圧力を算出する算出手段と、を有することを特徴とする圧力測定装置。 - 前記算出手段は、前記応答信号の位相が設定範囲から外れる場合、当該応答信号の位相が進んでいるか遅れているかを判断して、当該応答信号の位相から算出される圧力値が連続的に変化するように位相を更新しつつ、ガス圧力を算出することを特徴とする請求項4に記載の圧力測定装置。
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