JP5096975B2 - Gas detector - Google Patents
Gas detector Download PDFInfo
- Publication number
- JP5096975B2 JP5096975B2 JP2008078629A JP2008078629A JP5096975B2 JP 5096975 B2 JP5096975 B2 JP 5096975B2 JP 2008078629 A JP2008078629 A JP 2008078629A JP 2008078629 A JP2008078629 A JP 2008078629A JP 5096975 B2 JP5096975 B2 JP 5096975B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- detection target
- intensity
- gas
- target gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
本発明は、検知対象ガスに光を照射し、当該検知対象ガスによって一部が吸収された透過光の強度を測定することにより、前記検知対象ガスの濃度を検知するガス検知器に関する。 The present invention relates to a gas detector that detects the concentration of the detection target gas by irradiating the detection target gas with light and measuring the intensity of transmitted light partially absorbed by the detection target gas.
空気中に存在する特定のガス種の濃度を測定するためのガス検知器として、例えば、赤外吸収式ガス検知器が知られている。赤外吸収式ガス検知器は、検知対象となる特定のガスの分子が特定の波長の光（赤外光）を吸収する性質を利用することにより、ガスの検知を行うものである。このような赤外吸収式ガス検知器において、ガスの種類については、ガスが吸収する赤外光の吸収波長によって判別することができる。また、ガスの濃度については、赤外光吸収の大小によって測定することができる。 As a gas detector for measuring the concentration of a specific gas species present in the air, for example, an infrared absorption gas detector is known. Infrared absorption gas detectors detect gas by utilizing the property that specific gas molecules to be detected absorb light of a specific wavelength (infrared light). In such an infrared absorption gas detector, the type of gas can be determined by the absorption wavelength of infrared light absorbed by the gas. Further, the gas concentration can be measured by the magnitude of infrared light absorption.
この種の赤外吸収式ガス検知器の一つとして、気体中の一酸化炭素（ＣＯ）濃度を測定する赤外吸収式のＣＯセンサがあった（例えば、特許文献１を参照）。
特許文献１のＣＯセンサは、導波管内に、赤外光を検知対象ガスに向けて照射する光源としてのランプと、検知対象ガスを透過した赤外光を検出する検出手段としての検出器と、ＣＯによる赤外吸収波長帯域を透過させるフィルタとを備えて構成されている。
As one of this type of infrared absorption gas detector, there has been an infrared absorption CO sensor that measures the concentration of carbon monoxide (CO) in a gas (see, for example, Patent Document 1).
The CO sensor of Patent Document 1 includes a lamp as a light source for irradiating infrared light toward a detection target gas in a waveguide, and a detector as detection means for detecting infrared light transmitted through the detection target gas. And a filter that transmits the infrared absorption wavelength band of CO.
また、光源から検知対象ガスに対して出力されるパルス光の吸収率を測定することにより、ガスの検知を行う吸光分析装置もあった（例えば、特許文献２を参照）。
特許文献２の吸光分析装置は、光源としてパルスレーザ光を使用し、光導波路及び光方向性結合器を用いた光封止手段によってパルスレーザ光を閉じ込めている。そして、閉じ込めたパルスレーザ光を光導波路内で往復させ、測定対象ガスに繰り返し吸収させる所謂キャビティリングダウン分光法を実行することにより、検知対象ガスによるパルスレーザ光の吸収率を求めている。
In addition, there has been an absorption spectrometer that detects gas by measuring the absorption rate of pulsed light output from a light source to a detection target gas (see, for example, Patent Document 2).
The absorption analyzer of Patent Document 2 uses pulsed laser light as a light source, and confines the pulsed laser light by light sealing means using an optical waveguide and an optical directional coupler. Then, the absorption rate of the pulsed laser light by the detection target gas is obtained by performing so-called cavity ring-down spectroscopy in which the trapped pulsed laser light is reciprocated in the optical waveguide and repeatedly absorbed by the measurement target gas.
ところで、近年、赤外吸収式ガス検知器の小型化・軽量化が求められている。この点に関し、特許文献１の赤外吸収式ガス検知器は、光源として一般的なランプが使用されている。なお、同文献の明細書にはタングステン等をフィラメントに用いたランプが開示されており、このタイプのランプとしては、ハロゲンランプが代表的である。
ところが、ハロゲンランプは、光源ユニットとは別に電源ユニットや冷却ユニット等を備える必要がある。また、ハロゲンランプからの波長選択用にフィルタの稼動部を設ける必要もある。このため、赤外吸収式ガス検知器の大型化・重量化を招くという問題がある。
また、ハロゲンランプのようなフィラメントを使用するランプは、寿命が比較的短いため不経済であり、球切れを起こした場合には交換の手間がかかる。
さらに、ハロゲンランプは、電源を投入してから十分な発光強度に達するまで時間がかかり、その発光強度も不安定になり易い。
In recent years, there has been a demand for downsizing and weight reduction of infrared absorption gas detectors. In this regard, the infrared absorption gas detector of Patent Document 1 uses a general lamp as a light source. The specification of this document discloses a lamp using tungsten or the like as a filament, and a halogen lamp is typical as this type of lamp.
However, the halogen lamp needs to include a power supply unit, a cooling unit and the like separately from the light source unit. In addition, it is necessary to provide an operating part of the filter for selecting a wavelength from the halogen lamp. For this reason, there exists a problem of causing the enlargement and weight increase of an infrared absorption type gas detector.
In addition, a lamp using a filament such as a halogen lamp is uneconomical because it has a relatively short life, and it takes time to replace it when a ball breaks.
Furthermore, the halogen lamp takes time to reach a sufficient light emission intensity after the power is turned on, and the light emission intensity tends to become unstable.
一方、特許文献２の吸光分析装置は、光源としてパルスレーザ光を出力する半導体レーザダイオードを使用しているため、ハロゲンランプのように大型化・重量化することは少ないと言える。しかし、半導体レーザダイオードから出力されるパルスレーザ光は波長帯域が非常に狭い略単一光（例えば、半値幅として約１ｎｍ以下）であるため、当該パルスレーザ光が検知対象ガスの吸収波長を含んでいない場合は、検知対象ガスを検知することは困難である。言い換えると、検知対象ガスが複数種ある場合、それらのガスを全て検知するためには、検知対象ガスの数だけ夫々の検知対象ガスの吸収波長に対応した半導体レーザダイオードが必要となる。
また、半導体レーザダイオードの出力波長は温度によってシフトするが、そのシフト幅は、例えば、約０．１ｎｍ／℃となる。このため、光源として半導体レーザダイオードを使用すると、その出力波長を検知対象ガスの吸収波長に安定させるために、温度調整が必須となる。
On the other hand, since the absorption spectrometer of Patent Document 2 uses a semiconductor laser diode that outputs a pulse laser beam as a light source, it can be said that there is little increase in size and weight as in a halogen lamp. However, since the pulsed laser light output from the semiconductor laser diode is a substantially single light having a very narrow wavelength band (for example, about 1 nm or less as a half-value width), the pulsed laser light includes the absorption wavelength of the detection target gas. Otherwise, it is difficult to detect the detection target gas. In other words, when there are a plurality of types of detection target gases, semiconductor laser diodes corresponding to the absorption wavelengths of the respective detection target gases are required in order to detect all of these gases.
The output wavelength of the semiconductor laser diode shifts with temperature, and the shift width is, for example, about 0.1 nm / ° C. For this reason, when a semiconductor laser diode is used as the light source, temperature adjustment is essential in order to stabilize the output wavelength at the absorption wavelength of the detection target gas.
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、検知対象ガスを確実且つ高精度に検知できるとともに、取り扱いが容易で、小型化・軽量化された長寿命のガス検知器を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and provides a long-life gas detector that can detect a detection target gas reliably and with high accuracy, is easy to handle, and is reduced in size and weight. The purpose is to do.
本発明にかかるガス検知器の特徴構成は、検知対象ガスに光を照射し、当該検知対象ガスによって一部が吸収された透過光の強度を測定することにより、前記検知対象ガスの濃度を検知するガス検知器であって、前記光として、前記検知対象ガスの吸収波長を含み、所定以上の帯域幅を有する光を検査光として照射する固体発光素子と、第１素子及び第２素子を備えるとともに、前記検知対象ガスが導入されるガス導入部を前記第１素子と前記第２素子との間に備えてなり、前記固体発光素子から照射された前記検査光を前記第１素子から入射させて、前記検知対象ガスの吸収波長に対応する成分の光を前記第２素子との間で選択的に連続反射させるとともに、その入射光又は反射光の一部を前記第２素子から透過して出射させる選択反射部とを備え、前記検知対象ガスが複数種ある場合において、前記複数種の検知対象ガスに夫々対応する前記選択反射部を備え、前記固体発光素子から照射される前記検査光を前記検知対象ガスの数に応じて分割する分割器と、前記分割器によって分割された検査光が夫々選択的に入射される前記選択反射部とを備えた点にある。 The characteristic configuration of the gas detector according to the present invention is to detect the concentration of the detection target gas by irradiating the detection target gas with light and measuring the intensity of transmitted light partially absorbed by the detection target gas. The light detector includes a solid state light emitting element that emits, as the inspection light, light that includes an absorption wavelength of the detection target gas and has a predetermined bandwidth or more as the light, and a first element and a second element. In addition, a gas introduction part into which the detection target gas is introduced is provided between the first element and the second element, and the inspection light irradiated from the solid state light emitting element is incident from the first element. In addition, the light of the component corresponding to the absorption wavelength of the detection target gas is selectively continuously reflected between the second element and the incident light or a part of the reflected light is transmitted from the second element. Selective reflection part to emit Comprising a number of the in the case where the detection target gas is more, with the selective reflection portion respectively corresponding to the plurality of types of detection target gas, the detection target gas the inspection light irradiated from the solid state light emitting devices And the selective reflection unit to which the inspection light divided by the divider is selectively incident , respectively.
従来技術の欄でも説明したように、検知対象ガスに検査光を照射してガス検知を行うガス検知器は、特定のガス分子が特定の波長の光を吸収する特性を利用している。
この点に関し、本構成のガス検知器は、光源として、検知対象ガスの吸収波長を含み、所定以上の帯域幅を有する光を検査光として照射する固体発光素子を用いているので、検知対象ガスに対して、半導体レーザダイオードでは必須であった温度調整をしなくても、確実に吸収波長を有する光を照射することができる。
また、本構成のガス検知器は、検知対象ガスが導入されるガス導入部を間に備える第１素子及び第２素子を備えるものであるが、固体発光素子から照射された検査光を第１素子から入射させて、検知対象ガスの吸収波長に対応する成分の光を第２素子との間で選択的に連続反射させる。そして、第２素子はこの工程の最中に、入射光又は反射光の一部を透過して出射させる。これにより、検査光の光路長を大きく確保することができるとともに、第２素子から入射光又は反射光が出射される回数が多くなるので、高精度の強度減衰曲線を得ることができる。そして、このような高精度の強度減衰曲線を用いれば、検知対象ガスの濃度を高精度に検知することができる。
このように、本構成のガス検知器は、波長選択用フィルタ等の稼動部を不要としながら、検知対象ガスを確実に検知できるとともに、取り扱いが容易であり、小型化・軽量化された長寿命のものとして実現することができる。
さらに、ガス検知器においては、単一の装置で複数種のガス検知を行うことが求められることも多い。この点に関し、本構成のガス検知器では、複数種の検知対象ガスに対応する選択反射部を備えており、さらに、固体発光素子から照射される検査光を検知対象ガスの数に応じて分割する分割器と、分割器によって分割された検査光が夫々選択的に入射される選択反射部とを備えている。このため、単一の固体発光素子（光源）を有する装置でありながら、複数種の検知対象ガスに対して同時に濃度検知を行うことが可能となる。
また、本発明にかかるガス検知器の別の特徴構成は、検知対象ガスに光を照射し、当該検知対象ガスによって一部が吸収された透過光の強度を測定することにより、前記検知対象ガスの濃度を検知するガス検知器であって、前記光として、前記検知対象ガスの吸収波長を含み、所定以上の帯域幅を有する光を検査光として照射する固体発光素子と、第１素子及び第２素子を備えるとともに、前記検知対象ガスが導入されるガス導入部を前記第１素子と前記第２素子との間に備えてなり、前記固体発光素子から照射された前記検査光を前記第１素子から入射させて、前記検知対象ガスの吸収波長に対応する成分の光を前記第２素子との間で選択的に連続反射させるとともに、その入射光又は反射光の一部を前記第２素子から透過して出射させる選択反射部とを備え、前記検知対象ガスが複数種ある場合において、前記複数種の検知対象ガスに夫々対応する前記選択反射部を備え、前記固体発光素子から照射される前記検査光の前記選択反射部への光路を前記検知対象ガスに応じて切り替える切替器と、前記切替器によって切り替えられた検査光が夫々選択的に入射される前記選択反射部とを備えた点にある。
ガス検知器においては、単一の装置で複数種のガス検知を行うことが求められることも多い。この点に関し、本構成のガス検知器では、複数種の検知対象ガスに対応する選択反射部を備えており、さらに、固体発光素子から照射される検査光の選択反射部への光路を検知対象ガスに応じて切り替える切替器と、切替器によって切り替えられた検査光が夫々選択的に入射される選択反射部とを備えている。このため、単一の固体発光素子（光源）を有する装置でありながら、複数種の検知対象ガスに対して濃度検知を択一的に行うことが可能となる。
As described in the section of the prior art, a gas detector that performs gas detection by irradiating a detection target gas with inspection light uses a characteristic that specific gas molecules absorb light of a specific wavelength.
In this regard, the gas detector of the present configuration uses a solid-state light-emitting element that irradiates light having a predetermined bandwidth or more as the inspection light, as the light source, with the absorption wavelength of the detection target gas. On the other hand, it is possible to reliably irradiate light having an absorption wavelength without adjusting the temperature, which is essential for semiconductor laser diodes.
In addition, the gas detector of this configuration includes a first element and a second element that are provided with a gas introduction part into which a detection target gas is introduced, and the inspection light irradiated from the solid state light emitting element is the first. Incident light from the element is used to selectively continuously reflect light having a component corresponding to the absorption wavelength of the detection target gas between the second element and the second element. The second element transmits and transmits a part of the incident light or reflected light during this step. As a result, a large optical path length of the inspection light can be secured, and the number of times incident light or reflected light is emitted from the second element increases, so that a highly accurate intensity attenuation curve can be obtained. If such a high-precision intensity attenuation curve is used, the concentration of the detection target gas can be detected with high accuracy.
As described above, the gas detector of this configuration can detect the gas to be detected reliably while eliminating the need for an operating part such as a wavelength selection filter, and is easy to handle, miniaturized and lightened, and has a long service life. Can be realized.
Furthermore, in a gas detector, it is often required to detect a plurality of types of gas with a single device. In this regard, the gas detector of this configuration includes a selective reflection unit corresponding to a plurality of types of detection target gases, and further divides the inspection light emitted from the solid state light emitting elements according to the number of detection target gases. And a selective reflection unit to which the inspection light divided by the divider is selectively incident. For this reason, although it is an apparatus which has a single solid light emitting element (light source), it becomes possible to perform density | concentration detection simultaneously with respect to multiple types of detection object gas.
Another characteristic configuration of the gas detector according to the present invention is that the detection target gas is irradiated with light, and the intensity of transmitted light partially absorbed by the detection target gas is measured. A gas detector for detecting the concentration of the solid-state light emitting element that irradiates, as the inspection light, light having an absorption wavelength of the detection target gas and having a predetermined bandwidth or more as the light, a first element, and a first element 2 elements, and a gas introduction part into which the detection target gas is introduced is provided between the first element and the second element, and the inspection light emitted from the solid state light emitting element is the first element. Incident light from an element, and selectively and continuously reflects light of a component corresponding to the absorption wavelength of the detection target gas between the second element and a part of the incident light or reflected light. To be transmitted through The selective reflection unit, and when there are a plurality of types of the detection target gas, the selection reflection unit corresponding to each of the plurality of types of the detection target gas, and the selection of the inspection light emitted from the solid state light emitting device It is the point provided with the switch which switches the optical path to a reflection part according to the said detection object gas, and the said selection reflection part into which the inspection light switched by the said switch each selectively enters.
In a gas detector, it is often required to detect a plurality of types of gas with a single device. In this regard, the gas detector of this configuration includes a selective reflection unit corresponding to a plurality of types of detection target gas, and further detects an optical path to the selective reflection unit of inspection light emitted from the solid state light emitting element. A switching device that switches according to the gas and a selective reflection unit to which the inspection light switched by the switching device is selectively incident are provided. For this reason, although it is an apparatus which has a single solid light emitting element (light source), it becomes possible to alternatively perform concentration detection for a plurality of types of detection target gases.
本発明のガス検知器において、前記選択反射部から経時的に出射する出射光の強度に関し、当該出射光の強度、時間領域における当該出射光の強度微分値、時間領域における当該出射光の強度積分値の何れか一種以上から、前記検知対象ガスの濃度もしくは濃度に関係する情報を得る処理部を備えることが好ましい。 In the gas detector of the present invention, with respect to the intensity of the outgoing light emitted from the selective reflection portion over time, the intensity of the outgoing light, the intensity differential value of the outgoing light in the time domain, and the intensity integral of the outgoing light in the time domain It is preferable to provide a processing unit that obtains the concentration of the detection target gas or information related to the concentration from one or more of the values.
検知対象ガスの濃度もしくは濃度に関係する情報は、選択反射部からの出射光（検知対象ガスを通過した検査光）の経時変化をモニタリングすることによって得られる強度減衰曲線に基づいて求められるが、本構成のガス検知器では、選択反射部から経時的に出射する出射光の強度（生データ）、時間領域における当該出射光の強度微分値（微分データ）、時間領域における当該出射光の強度積分値（積分データ）の何れか一種以上から求めている。
このように、本構成のガス検知器においては、多角的に検知対象ガスの濃度もしくは濃度に関係する情報を求めているので、精度の高い結果が得られる。
The concentration of the detection target gas or information related to the concentration can be obtained based on an intensity attenuation curve obtained by monitoring the temporal change of the light emitted from the selective reflection unit (inspection light that has passed through the detection target gas). In the gas detector of this configuration, the intensity (raw data) of the outgoing light emitted from the selective reflection portion with time, the intensity differential value (differential data) of the outgoing light in the time domain, and the intensity integral of the outgoing light in the time domain It is obtained from one or more of the values (integrated data).
As described above, in the gas detector of this configuration, since the information related to the concentration of the detection target gas or the concentration is obtained from various angles, a highly accurate result can be obtained.
本発明のガス検知器において、前記固体発光素子は、前記検査光としてパルス光を照射することが好ましい。 In the gas detector according to the aspect of the invention, it is preferable that the solid state light emitting device emits pulsed light as the inspection light.
本構成のように、固体発光素子が照射する検査光としてパルス光を採用すると、キャビティリングダウン分光法によって検知対象ガスの濃度検知を行う場合に、解析に好適な減衰曲線（ガス導入部にガスが存在しない場合の減衰曲線を含む）を得ることができる。 When pulsed light is used as the inspection light emitted by the solid state light emitting device as in this configuration, an attenuation curve suitable for analysis (gas is introduced into the gas introduction section) when the concentration of the detection target gas is detected by cavity ring-down spectroscopy. Including the decay curve in the absence of.
本発明のガス検知器において、前記出射光の強度に基づいて、前記検知対象ガスの濃度もしくは濃度に関係する情報を得るに、前記選択反射部から経時的に出射する出射光の強度減衰挙動に関し、前記ガス導入部に前記検知対象ガスが存在する場合の強度減衰挙動と、存在しない場合の強度減衰挙動との関係で、強度差が明確である時間ｔ又は時間帯Ｔの出射光の強度から、前記処理部が、前記検知対象ガスの濃度もしくは濃度に関係する情報を得ることが好ましい。 In the gas detector according to the present invention, the intensity attenuation behavior of the emitted light emitted from the selective reflection portion with time to obtain the concentration of the detection target gas or information related to the concentration based on the intensity of the emitted light. Based on the relationship between the intensity attenuation behavior when the detection target gas is present in the gas introduction part and the intensity attenuation behavior when it is not present, the intensity of the emitted light at time t or time zone T where the intensity difference is clear It is preferable that the processing unit obtains the concentration of the detection target gas or information related to the concentration.
ガス導入部に検知対象ガスが存在する場合、選択反射部からの出射光（検知対象ガスを通過した検査光）は、ランベルト・ベール則に基づいて徐々に強度が減衰する挙動を示すが、この強度減衰挙動とガス導入部に検知対象ガスが存在しない場合の強度減衰挙動との関係から、検知対象ガスの濃度もしくは濃度に関係する情報を得ることができる。
すなわち、本構成のガス検知器では、両者の強度差が明確である時間ｔ又は時間帯Ｔの出射光の強度を見ることにより、検知対象ガスの濃度がどの程度変化したかを知ることができる。なお、検知対象ガスの濃度に関係する情報とは、そこから検知対象ガスの濃度を直接的又は間接的に求めることができる情報を意味する。
When the gas to be detected is present in the gas introduction part, the light emitted from the selective reflection part (inspection light that has passed through the gas to be detected) shows a behavior in which the intensity gradually attenuates based on the Lambert-Beer law. From the relationship between the intensity attenuation behavior and the intensity attenuation behavior when no detection target gas is present in the gas introduction part, the concentration of the detection target gas or information related to the concentration can be obtained.
That is, in the gas detector of this configuration, it is possible to know how much the concentration of the detection target gas has changed by looking at the intensity of the emitted light at time t or time period T where the difference in intensity between the two is clear. . The information related to the concentration of the detection target gas means information from which the concentration of the detection target gas can be directly or indirectly obtained.
本発明のガス検知器において、前記処理部に、前記出射光の強度、強度微分値、又は強度積分値が、前記検知対象ガスが前記ガス導入部に存在しない場合の対応する出射光の強度、強度微分値、又は強度積分値に対して所定の比率以下又は所定以上の差となった場合に、前記検知対象ガスが所定の濃度以上であると判定する判定手段を備えることが好ましい。 In the gas detector of the present invention, the intensity of the emitted light, the intensity differential value, or the intensity integrated value in the processing unit, the intensity of the corresponding emitted light when the detection target gas does not exist in the gas introduction unit, It is preferable to include a determination unit that determines that the detection target gas has a predetermined concentration or more when a difference between the intensity differential value or the intensity integral value is a predetermined ratio or less or a predetermined difference or more.
検知対象ガスの濃度もしくは濃度に関係する情報は、ガス導入部に検知対象ガスが存在する場合の出射光の強度、強度微分値、又は強度積分値と、存在しない場合の対応する出射光の強度、強度微分値、又は強度積分値とを比較することによって得ることができる。すなわち、上記の比較を行う判定手段を設け、前者の強度が後者の強度に対して比較演算を実行すればよく、例えば、本構成のガス検知器では、所定の比率以下又は所定以上の差となった場合に、検知対象ガスが所定の濃度以上であると判定している。
このように、本構成のガス検知器では、判定手段が出射光強度の比較及び判定を行うことにより、検知対象ガスの濃度を簡便に求めることができる。
The concentration of the detection target gas or information related to the concentration includes the intensity, intensity differential value, or integrated intensity value of the emitted light when the detection target gas is present in the gas introduction part, and the intensity of the corresponding emitted light when it does not exist. , An intensity differential value, or an intensity integral value. That is, it is only necessary to provide a determination means for performing the above comparison, and the former intensity may be compared with the latter intensity. For example, in the gas detector of this configuration, a difference of a predetermined ratio or less When it becomes, it determines with detection object gas being more than predetermined concentration.
Thus, in the gas detector of this configuration, the determination means can easily determine the concentration of the detection target gas by comparing and determining the emission light intensity.
本発明のガス検知器に関する実施形態を図面に基づいて説明する。本発明のガス検知器は、以下に説明する実施形態や図面に記載される構成に限定されることを意図せず、それらと均等な構成も含む。
なお、本実施形態では、複数種のガス種として、メタン（ＣＨ4）及び一酸化炭素（ＣＯ）を検知する複合ガス検知器を例に挙げて説明するが、他の複数種のガスを検知するものであっても構わない。また、複数のガス種ではなく、単一のガス種を検知するガス検知器であっても構わない。
An embodiment relating to a gas detector of the present invention will be described with reference to the drawings. The gas detector of the present invention is not intended to be limited to the configurations described in the embodiments and drawings described below, and includes configurations equivalent thereto.
In this embodiment, a composite gas detector that detects methane (CH 4 ) and carbon monoxide (CO) as an example of a plurality of types of gas will be described as an example. However, other types of gases are detected. It doesn't matter if you do it. In addition, a gas detector that detects a single gas type instead of a plurality of gas types may be used.
図１は、本実施形態によるガス検知器１０の概略構成図である。
ガス検知器１０は、主たる構成として、固体発光素子１、及び選択反射部２，３を備える。また、その他の構成として、分割器４、検出器５、及び処理部６を備える。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a
The
固体発光素子１は、広帯域の光を出力可能な光源である。本実施形態では、固体発光素子１として、スーパールミネッセント発光ダイオード（ＳＬＥＤ）１を採用している。ＳＬＥＤ１から検査光として出力される光は、検知対象ガスであるメタンの吸収波長（１６５３ｎｍ）、及び一酸化炭素の吸収波長（１５６８ｎｍ）を含み、所定以上の帯域幅を有するパルス光である。この検査光は、例えば、図１の左下に示すスペクトルを有する。 The solid state light emitting device 1 is a light source capable of outputting broadband light. In the present embodiment, a super luminescent light emitting diode (SLED) 1 is employed as the solid light emitting element 1. The light output as inspection light from the SLED 1 is pulsed light including an absorption wavelength (1653 nm) of methane, which is a detection target gas, and an absorption wavelength (1568 nm) of carbon monoxide, and having a predetermined bandwidth or more. This inspection light has, for example, a spectrum shown in the lower left of FIG.
ＳＬＥＤ１から出力された広帯域且つ高出力の検査光は、分割器４に入射し、ここでメタンの吸収波長（１６５３ｎｍ）を含む長波長成分と、一酸化炭素の吸収波長（１５６８ｎｍ）を含む短波長成分とに分割される。例えば、１６００ｎｍを境界として、二つの成分の光に分割される。 The broadband and high-power inspection light output from the SLED 1 enters the splitter 4 where a long wavelength component including the absorption wavelength of methane (1653 nm) and a short wavelength including the absorption wavelength of carbon monoxide (1568 nm). Divided into components. For example, the light is divided into two components with 1600 nm as a boundary.
分割器４で分割された長波長成分の検査光は、選択反射部２に入射する。選択反射部２は、一対のメタン検知用のファイバーブラッグ格子（ＦＧＢ）２（以下、単にＦＧＢ２と称する）から構成される。ＦＢＧ２は、選択波長が１６５３ｎｍ（半値幅：０．５〜１．０ｎｍ）に設定された第１素子２ａ及び第２素子２ｂから構成され、両素子２ａ，２ｂの間にガス導入部（メタン導入部）２ｃが備えられる。第１素子２ａは、ＳＬＥＤ１から照射された検査光を入射させて、メタンの吸収波長（１６５３ｎｍ）に対応する成分の光を第２素子２ｂとの間で選択的に連続反射させる。そして、この過程において、例えば、第１素子２ａ及び第２素子２ｂにおける反射率が９９．９％に設定されていると、入射光又は反射光の一部（０．１％）が第２素子２ｂから透過して出射する。
分割器４で分割された短波長成分の検査光は、選択反射部３に入射する。選択反射部３は、一対の一酸化炭素検知用のファイバーブラッグ格子（ＦＢＧ）３（以下、単にＦＧＢ３と称する）から構成される。ＦＢＧ３は、選択波長が１５６８ｎｍ（半値幅：０．５〜１．０ｎｍ）に設定された第１素子３ａ及び第２素子３ｂから構成され、両素子３ａ，３ｂの間にガス導入部（一酸化炭素導入部）３ｃが備えられる。第１素子３ａは、ＳＬＥＤ１から照射された検査光を入射させて、一酸化炭素の吸収波長（１５６８ｎｍ）に対応する成分の光を第２素子３ｂとの間で選択的に連続反射させる。そして、この過程において、例えば、第１素子３ａ及び第２素子３ｂにおける反射率が９９．９％に設定されていると、入射光又は反射光の一部（０．１％）が第２素子３ｂから透過して出射する。
The inspection light of the long wavelength component divided by the divider 4 enters the selective reflection unit 2. The selective reflection unit 2 is composed of a pair of fiber Bragg gratings (FGB) 2 (hereinafter simply referred to as FGB2) for detecting methane. The FBG 2 includes a
The inspection light of the short wavelength component divided by the divider 4 enters the selective reflection unit 3. The selective reflection unit 3 includes a pair of fiber Bragg gratings (FBG) 3 (hereinafter simply referred to as FGB3) for detecting carbon monoxide. The FBG 3 is composed of a
ＦＢＧ２の第２素子２ｂ及びＦＢＧ３の第２素子３ｂから夫々出射した光は、キャビティリングダウン分光法を用いて、対応する検知器５ａ、５ｂで夫々検知される。検知器５ａ、５ｂとしては、光電子増倍管（ＰＭＴ）、電荷結合素子（ＣＣＤ）、フォトダイオード等を採用することができる。
The light emitted from the
次に、夫々のＦＢＧ２，３から出射された光の挙動について説明する。なお、以後の説明では、例として、ＦＢＧ２の第２素子２ｂから出射された長波長成分の検査光の挙動について説明するが、ＦＢＧ３の第２素子３ｂから出射される短波長成分の光の挙動についてもＦＢＧ２の場合と同様であるため、説明を省略する。
Next, the behavior of light emitted from each of the FBGs 2 and 3 will be described. In the following description, the behavior of the inspection light of the long wavelength component emitted from the
図２は、ＦＢＧ２の第２素子２ｂから出射された光の強度の経時変化を示すグラフである。なお、このグラフでは、時間に対して光強度を連続的な曲線で描画しているが、ＦＢＧ２の第２素子２ｂから出射される光は、第１素子２ａと第２素子２ｂとの間を連続的且つ選択的に反射しつつ、その反射過程において反射光の一部が第２素子２ｂから経時的に出射されたものである。従って、第２素子２ｂからの出射光は、実際には不連続な光であり、よって、検知器５ａで検知される光強度も不連続となる。ただし、この不連続な出射光における不連続区間の間隔は極めて短いため、図２のグラフでは便宜上連続的な曲線で示してある。
FIG. 2 is a graph showing a change with time of the intensity of the light emitted from the
図２において、（ａ）はガス導入部２ｃにメタンが存在しない（すなわち、空気が存在する）場合の挙動を示したものであり、（ｂ）はガス導入部２ｃにメタンが存在する場合の挙動を示したものである。
（ａ）に示されるように、空気中を進行する光は、徐々に強度が減衰する。このときの減衰曲線は、以下の式（１）によって表される。
Ｉ（ｔ）＝Ｉ0ｅｘｐ（−（１／τ0）ｔ） ・・・ （１）
In FIG. 2, (a) shows the behavior when methane does not exist in the
As shown in (a), the intensity of light traveling in the air gradually attenuates. The attenuation curve at this time is represented by the following formula (1).
I (t) = I 0 exp (− (1 / τ 0 ) t) (1)
上記式（１）において、Ｉ0は、ＦＢＧ２の第１素子２ａに入射し、反射することなく最初に第２素子２ｂから出射した光の強度（初期の光強度）である。Ｉ（ｔ）は、第１素子２ａと第２素子２ｂとの間で連続的且つ選択的に反射を繰り返し、第２素子２ｂから出射した時刻ｔにおける光の強度である。τ0は寿命時間（緩和時間）であり、光が伝播する媒体によって決まる値である。
上記式（１）で示されるように、空気中を進行する光の強度は、時間の経過（すなわち、光路長の増加）とともに指数関数的に減少する。
In the above formula (1), I 0 is the intensity (initial light intensity) of light that is incident on the
As shown in the above formula (1), the intensity of light traveling in the air decreases exponentially with the passage of time (that is, increase of the optical path length).
一方、（ｂ）に示されるように、メタン中を進行する光についても、時間とともに徐々に強度が指数関数的に減衰する。このときの減衰曲線は、以下の式（２）によって表される。
Ｉ（ｔ）＝Ｉ0ｅｘｐ[−（１／τ0＋ρｎｃ）ｔ] ・・・ （２）
On the other hand, as shown in (b), the intensity of the light traveling in methane gradually decreases exponentially with time. The attenuation curve at this time is expressed by the following equation (2).
I (t) = I 0 exp [− (1 / τ 0 + ρnc) t] (2)
上記式（２）において、ρはメタンの吸収断面積であり、ｎはメタンの密度であり、ｃは光路長である。ここで、括弧内の第一項（すなわち、１／τ0）は第２素子２ｂから出射した光の減衰に関連するファクターであり、第二項（すなわち、ρｎｃ）はメタンによる吸収に関連するファクターである。
このように、メタン中を進行する光は、メタンの吸収波長においてその一部が吸収されるため、減衰の度合いは空気中を進行する光よりも大きいものとなる。そして、上記式（２）のメタン吸収に関連する第二項において、ランベルト・ベール則（Ｌａｍｂｅｒｔ−Ｂｅｅｒ ｌａｗ）を適用することができ、（ａ）の減衰曲線と（ｂ）の減衰曲線との関係で、両者の強度差が明確である時間ｔ又は時間帯Ｔの出射光の強度からメタンの濃度を得ることができる。
In the above formula (2), ρ is the absorption cross section of methane, n is the density of methane, and c is the optical path length. Here, the first term in parentheses (ie, 1 / τ 0 ) is a factor related to attenuation of light emitted from the
Thus, since a part of the light traveling in methane is absorbed at the absorption wavelength of methane, the degree of attenuation is greater than that of light traveling in the air. In the second term related to methane absorption in the above formula (2), Lambert-Beer law can be applied, and the attenuation curve of (a) and the attenuation curve of (b) In relation, the concentration of methane can be obtained from the intensity of the emitted light at time t or time zone T where the difference in intensity between the two is clear.
図３に示すように、式（１）で示される（ａ）の減衰曲線と、式（２）で示される（ｂ）の減衰曲線との差分を求め、この差分を経過時間に対してプロットする。
図３の差分曲線において、時間軸において極大値をとる時間ｔmaxは、空気中を通過する光の強度減衰曲線（ブランク）とメタン中を通過する光の強度減衰曲線との差が最大となる時間である。従って、この時間ｔmaxにおいて、あるいは時間ｔmaxを中心とする所定幅の時間帯ｔ2−ｔ1＝Ｔmaxにおいて、以下に説明する所定の演算を処理部６で行うことにより、メタンの濃度がどの程度変化したかを知ることができる。
As shown in FIG. 3, the difference between the attenuation curve of (a) shown by equation (1) and the attenuation curve of (b) shown by equation (2) is obtained, and this difference is plotted against the elapsed time. To do.
In the difference curve of FIG. 3, the time t max that takes the maximum value on the time axis has the maximum difference between the intensity attenuation curve (blank) of light passing through air and the intensity attenuation curve of light passing through methane. It's time. Accordingly, the processing unit 6 performs a predetermined calculation described below at this time t max or in a time zone t 2 -t 1 = T max having a predetermined width centered on the time t max , thereby increasing the concentration of methane. You can see how much has changed.
処理部６は、メタンの濃度もしくは濃度に関係する情報を演算する。また、処理部６は、出射光の強度が、メタンがガス導入部２ｃに存在しない場合の出射光の強度（ブランク）に対して所定の比率以下となった場合に、メタンが所定の濃度以上であると判定する判定手段７を備える。
処理部６は、例えば、コンピュータで構成される。判定手段７は、例えば、コンピュータに組み込まれたプログラムで構成される。処理部６が行う演算手法として、例えば、以下に説明する３つのパターンが挙げられる。
The processing unit 6 calculates the concentration of methane or information related to the concentration. Further, the processing unit 6 is configured such that when the intensity of the emitted light is equal to or less than a predetermined ratio with respect to the intensity of the emitted light (blank) when methane is not present in the
The processing unit 6 is configured by a computer, for example. The determination means 7 is comprised by the program integrated in the computer, for example. As a calculation method performed by the processing unit 6, for example, there are three patterns described below.
第１の演算手法として、時間ｔにおける出射光の強度（生データ）から直接メタン濃度を求める。この場合、処理部６は、例えば、図４に示すように、時間ｔmaxを含む時間帯ｔ1〜ｔ2における光強度とメタン濃度との関係を示すマップを有している。検出器５ａから処理部６に出射光に関する情報が入力されると、処理部６は光強度を求めるとともに、判定手段７は前記マップからメタンが所定の濃度以上であるか否かを判定する。あるいは、処理部６は、図４中の矢印Ｐに示すように、前記マップを参照して、求めた光強度からメタン濃度を直接導出する。
また、処理部６は、マップに加えて所定の閾値Ｓを有することもできる。この閾値Ｓは、光強度がブランクにおける光強度に対して所定の比率となるように設定される。図４に示す例では、閾値Ｓはブランクにおける光強度に対して０．７に設定されている。検出器５ａから処理部６に光強度に関する情報が入力されると、判定手段７は、処理部６が求めた光強度を閾値Ｓと比較する。そして、当該光強度が閾値Ｓを下回った場合、メタンが所定濃度以上であると判定する。
閾値Ｓを用いて所定濃度以上のガスの有無を判定する場合は、光強度とメタン濃度との関係を示すデータは少なくとも閾値Ｓの前後だけあればよい。従って、マップ上に適切に閾値Ｓを設定すれば、マップのデータ量を少なくすることができる。また、閾値Ｓを時間ｔmaxに対して設けるようにすれば、閾値Ｓの設定幅が最大となるため好ましい。
As a first calculation method, the methane concentration is obtained directly from the intensity (raw data) of the emitted light at time t. In this case, for example, as illustrated in FIG. 4, the processing unit 6 has a map indicating the relationship between the light intensity and the methane concentration in the time period t 1 to t 2 including the time t max . When information about the emitted light is input from the
Further, the processing unit 6 can have a predetermined threshold S in addition to the map. This threshold value S is set so that the light intensity is a predetermined ratio with respect to the light intensity in the blank. In the example shown in FIG. 4, the threshold value S is set to 0.7 with respect to the light intensity in the blank. When information on the light intensity is input from the
When the presence or absence of a gas having a predetermined concentration or more is determined using the threshold value S, data indicating the relationship between the light intensity and the methane concentration may be at least before and after the threshold value S. Therefore, if the threshold value S is appropriately set on the map, the data amount of the map can be reduced. Further, it is preferable to provide the threshold value S with respect to the time t max because the setting range of the threshold value S is maximized.
第２の演算手法として、時間帯ｔ1〜ｔ2における出射光の強度微分値（微分データ）からメタン濃度を求める。この場合、処理部６は、出射光の強度微分値とメタン濃度との関係を示すマップ（図示省略）を有している。判定手段７が行う判定ロジックは、第１の演算手法で述べた説明と同様であるため省略する。 As a second calculation method, the methane concentration is obtained from the intensity differential value (differential data) of the emitted light in the time period t 1 to t 2 . In this case, the processing unit 6 has a map (not shown) indicating the relationship between the intensity differential value of the emitted light and the methane concentration. Since the determination logic performed by the determination unit 7 is the same as that described in the first calculation method, a description thereof will be omitted.
第３の演算手法として、時間帯ｔ1〜ｔ2における出射光の強度積分値（積分データ）からメタン濃度を求める。この場合、処理部６は、出射光の強度積分値とメタン濃度との関係を示すマップ（図示省略）を有している。判定手段７が行う判定ロジックは、第１の演算手法で述べた説明と同様であるため省略する。 As a third calculation method, the methane concentration is obtained from the intensity integrated value (integrated data) of the emitted light in the time period t 1 to t 2 . In this case, the processing unit 6 has a map (not shown) indicating the relationship between the intensity integrated value of the emitted light and the methane concentration. Since the determination logic performed by the determination unit 7 is the same as that described in the first calculation method, a description thereof will be omitted.
上記第１の演算手法ないし第３の演算手法は、夫々単独で実行してもよいし、任意に組み合わせて総合的に濃度判定を行ってもよい。
また、上記第１の演算手法ないし第３の演算手法では、出射光の強度、強度微分値、又は強度積分値が、メタンがガス導入部２ｃに存在しない場合の対応する出射光の強度、強度微分値、又は強度積分値に対して所定の比率以下となった場合に、メタンが所定の濃度以上であると判定しているが、所定以上の差となった場合にメタンが所定の濃度以上であると判定することも可能である。すなわち、比較演算であれば、任意の演算手法を採用することができる。
このように、本実施形態のガス検知器１０においては、ガス導入部２ｃに存在するメタンの濃度を、ＦＢＧ２の第２素子２ｂから経時的に出射する出射光の強度（生データ）、時間領域における当該出射光の強度微分値（微分データ）、時間領域における当該出射光の強度積分値（積分データ）の何れか一種以上から多角的に求めることができる。従って、精度の高いメタン濃度判定結果を得ることができる。
The first to third calculation methods may be executed independently, or may be arbitrarily combined to perform density determination comprehensively.
Further, in the first calculation method to the third calculation method, the intensity, intensity differential value, or intensity integral value of the emitted light corresponds to the intensity and intensity of the corresponding emitted light when methane is not present in the
As described above, in the
以上より、本実施形態のガス検知器１０によれば、検知対象ガスを確実且つ高精度に検知できるとともに、取り扱いが容易で、小型化・軽量化された長寿命のガス検知器として実現することができる。
As described above, according to the
〔別実施形態〕
（１）単一の装置で複数種のガス検知を行う場合において、上記実施形態では、ＳＬＥＤ１から出力された広帯域且つ高出力の検査光は、分割器４により、メタンの吸収波長（１６５０ｎｍ）を含む長波長成分と、一酸化炭素の吸収波長（１５６０ｎｍ）を含む短波長成分とに分割していた。ここで、上記分割器４に代えて、ＳＬＥＤ１から照射される検査光のＦＢＧ２，３への光路を検知対象ガスに応じて切り替える切替器（図示せず）を採用することも可能である。この場合も、上記実施形態と同様に、単一のＳＬＥＤ（光源）を有する装置でありながら、複数種の検知対象ガスに対して濃度検知を行うことが可能となる。また、切替器を採用する場合、検出器５ａ、５ｂを共通化することも可能である。
[Another embodiment]
(1) In the case where multiple types of gas detection are performed by a single device, in the above embodiment, the broadband and high-power inspection light output from the SLED 1 is subjected to the methane absorption wavelength (1650 nm) by the splitter 4. It was divided into a long wavelength component containing and a short wavelength component containing the absorption wavelength (1560 nm) of carbon monoxide. Here, instead of the splitter 4, it is also possible to employ a switcher (not shown) that switches the optical path to the FBGs 2 and 3 of the inspection light emitted from the SLED 1 according to the detection target gas. Also in this case, similarly to the above-described embodiment, it is possible to perform concentration detection on a plurality of types of detection target gases even though the apparatus has a single SLED (light source). Moreover, when employ | adopting a switch, it is also possible to make the
（２）上記実施形態で説明したガス検知器１０において、火災によって発生する煙を検知する煙検知器を組み合わせることも可能である。この場合、ガス検知器１０の光学系を暗室内に配置し、当該暗室の周囲に煙粒子の流入を可能とするラビリンス構造を設ける。火災発生による煙の粒子が暗室内に侵入すると、ＳＬＥＤ１から出力された光は煙粒子によって一部が散乱する。従って、この散乱光を暗室内に別に設けた受光素子で受光することにより、煙火災の検知が可能となる。このように、ガス検知器と煙検知器とを組み合わせることにより、多角的に火災を検知することができるため、種々の火災に対応した火災警報装置を実現することができる。
(2) In the
１ ＳＬＥＤ（固体発光素子）
２ ＦＢＧ（選択反射部）
２ａ 第１素子
２ｂ 第２素子
２ｃ ガス導入部
３ ＦＢＧ（選択反射部）
３ａ 第１素子
３ｂ 第２素子
３ｃ ガス導入部
４ 分割器
５ 検出器
６ 処理部
７ 判定手段
１０ ガス検知器
1 SLED (solid state light emitting device)
2 FBG (selective reflector)
Claims (6)
前記光として、前記検知対象ガスの吸収波長を含み、所定以上の帯域幅を有する光を検査光として照射する固体発光素子と、
第１素子及び第２素子を備えるとともに、前記検知対象ガスが導入されるガス導入部を前記第１素子と前記第２素子との間に備えてなり、前記固体発光素子から照射された前記検査光を前記第１素子から入射させて、前記検知対象ガスの吸収波長に対応する成分の光を前記第２素子との間で選択的に連続反射させるとともに、その入射光又は反射光の一部を前記第２素子から透過して出射させる選択反射部と
を備え、
前記検知対象ガスが複数種ある場合において、前記複数種の検知対象ガスに夫々対応する前記選択反射部を備え、
前記固体発光素子から照射される前記検査光を前記検知対象ガスの数に応じて分割する分割器と、前記分割器によって分割された検査光が夫々選択的に入射される前記選択反射部とを備えたガス検知器。 A gas detector that detects the concentration of the detection target gas by irradiating the detection target gas with light and measuring the intensity of transmitted light partially absorbed by the detection target gas,
A solid-state light-emitting element that irradiates, as inspection light, light having a predetermined bandwidth or more, including the absorption wavelength of the detection target gas, as the light;
The inspection that includes the first element and the second element, and that includes a gas introduction part into which the detection target gas is introduced between the first element and the second element, and is irradiated from the solid state light emitting element. Light is incident from the first element, and light having a component corresponding to the absorption wavelength of the detection target gas is selectively continuously reflected between the second element and a part of the incident light or reflected light. And a selective reflection portion that transmits and emits light from the second element ,
In the case where there are a plurality of types of the detection target gas, the selective reflection unit corresponding to each of the plurality of types of detection target gases,
A splitter that divides the inspection light emitted from the solid-state light emitting element in accordance with the number of detection target gases; and the selective reflection unit to which the inspection light divided by the splitter is selectively incident. Gas detector equipped .
前記光として、前記検知対象ガスの吸収波長を含み、所定以上の帯域幅を有する光を検査光として照射する固体発光素子と、
第１素子及び第２素子を備えるとともに、前記検知対象ガスが導入されるガス導入部を前記第１素子と前記第２素子との間に備えてなり、前記固体発光素子から照射された前記検査光を前記第１素子から入射させて、前記検知対象ガスの吸収波長に対応する成分の光を前記第２素子との間で選択的に連続反射させるとともに、その入射光又は反射光の一部を前記第２素子から透過して出射させる選択反射部と
を備え、
前記検知対象ガスが複数種ある場合において、前記複数種の検知対象ガスに夫々対応する前記選択反射部を備え、
前記固体発光素子から照射される前記検査光の前記選択反射部への光路を前記検知対象ガスに応じて切り替える切替器と、前記切替器によって切り替えられた検査光が夫々選択的に入射される前記選択反射部とを備えたガス検知器。 A gas detector that detects the concentration of the detection target gas by irradiating the detection target gas with light and measuring the intensity of transmitted light partially absorbed by the detection target gas,
A solid-state light-emitting element that irradiates, as inspection light, light having a predetermined bandwidth or more, including the absorption wavelength of the detection target gas, as the light;
The inspection that includes the first element and the second element, and that includes a gas introduction part into which the detection target gas is introduced between the first element and the second element, and is irradiated from the solid state light emitting element. Light is incident from the first element, and light having a component corresponding to the absorption wavelength of the detection target gas is selectively continuously reflected between the second element and a part of the incident light or reflected light. And a selective reflection portion that transmits and emits light from the second element ,
In the case where there are a plurality of types of the detection target gas, the selective reflection unit corresponding to each of the plurality of types of detection target gases,
A switch that switches an optical path of the inspection light emitted from the solid-state light emitting element to the selective reflection unit according to the detection target gas, and the inspection light that is switched by the switch is selectively incident. A gas detector including a selective reflection unit .
前記ガス導入部に前記検知対象ガスが存在する場合の強度減衰挙動と、存在しない場合の強度減衰挙動との関係で、強度差が明確である時間ｔ又は時間帯Ｔの出射光の強度から、前記処理部が、前記検知対象ガスの濃度もしくは濃度に関係する情報を得る請求項４に記載のガス検知器。 Based on the intensity of the emitted light, in order to obtain information related to the concentration or concentration of the detection target gas, the intensity attenuation behavior of the emitted light emitted from the selective reflection unit over time,
Based on the relationship between the intensity attenuation behavior when the detection target gas is present in the gas introduction section and the intensity attenuation behavior when it is not present, the intensity of the emitted light at time t or time zone T where the intensity difference is clear, The gas detector according to claim 4 , wherein the processing unit obtains the concentration of the detection target gas or information related to the concentration.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008078629A JP5096975B2 (en) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | Gas detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008078629A JP5096975B2 (en) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | Gas detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009229415A JP2009229415A (en) | 2009-10-08 |
| JP5096975B2 true JP5096975B2 (en) | 2012-12-12 |
Family
ID=41244969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008078629A Active JP5096975B2 (en) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | Gas detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5096975B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107490560A (en) * | 2017-04-19 | 2017-12-19 | 安徽华脉科技发展有限公司 | A kind of Near-infrared Spectral Absorption formula gas detecting system |
| CN109073548A (en) * | 2016-04-12 | 2018-12-21 | 约翰·尊科股份有限公司 | Method and apparatus for verifying TDLAS system operatio |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5904083B2 (en) * | 2012-10-12 | 2016-04-13 | 株式会社島津製作所 | Gas concentration measuring device |
| JP2014142299A (en) * | 2013-01-25 | 2014-08-07 | Shimadzu Corp | Gas concentration measurement device |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0610636B2 (en) * | 1985-02-04 | 1994-02-09 | 東京瓦斯株式会社 | Gas spectroscope |
| US7855788B2 (en) * | 2005-09-07 | 2010-12-21 | Nu Eco Engineering Co., Ltd. | Spectroscopy method and spectroscope |
| JP5444711B2 (en) * | 2006-03-17 | 2014-03-19 | 株式会社デンソー | Analytical element and analyzer using the same |
| US7679059B2 (en) * | 2006-04-19 | 2010-03-16 | Spectrasensors, Inc. | Measuring water vapor in hydrocarbons |
-
2008
- 2008-03-25 JP JP2008078629A patent/JP5096975B2/en active Active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109073548A (en) * | 2016-04-12 | 2018-12-21 | 约翰·尊科股份有限公司 | Method and apparatus for verifying TDLAS system operatio |
| CN109073548B (en) * | 2016-04-12 | 2021-04-02 | 正点技术有限公司 | Method and apparatus for verifying operation of TDLAS system |
| CN107490560A (en) * | 2017-04-19 | 2017-12-19 | 安徽华脉科技发展有限公司 | A kind of Near-infrared Spectral Absorption formula gas detecting system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2009229415A (en) | 2009-10-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5180088B2 (en) | Method and apparatus for spectroscopic measurements in a combustor of a gas turbine engine | |
| JP6413759B2 (en) | Optical analyzer | |
| KR20180036779A (en) | Online process monitoring | |
| JP5096975B2 (en) | Gas detector | |
| JP2016053583A (en) | Colorimetric unit | |
| JP2020510223A (en) | Sensors and devices | |
| JP2010164480A (en) | Laser gas analyzer | |
| JP2011107094A (en) | Gas component measuring device in pipe, and flue for exhaust gas component measurement | |
| RU2015132842A (en) | METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING CONCENTRATION | |
| JP2022543147A (en) | METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING GAS SPEED QUANTITY USING OPTICAL SENSOR | |
| JP4662831B2 (en) | Sample analyzer | |
| JP5721684B2 (en) | Data acquisition method | |
| JP2012242311A (en) | Gas analyzer | |
| CN107907527B (en) | Raman spectrum detection equipment and method based on reflected light power and image recognition | |
| JP6364305B2 (en) | Hydrogen gas concentration measuring apparatus and method | |
| US20090316138A1 (en) | Method and instrumentation for determining a physical property of a particle | |
| JP5336982B2 (en) | Gas detection device and fire detection device | |
| JP2006220625A (en) | Infrared gas detector | |
| JP5285553B2 (en) | Gas detection device and fire detection device | |
| JP2018084523A5 (en) | ||
| JP6750410B2 (en) | Laser gas analyzer | |
| JP4647447B2 (en) | Sample analyzer | |
| JP2010528309A (en) | Optical remote detection method for compounds in media | |
| JP7194883B2 (en) | FAILURE DETECTION DEVICE, LASER PROCESSING SYSTEM AND FAILURE DETECTION METHOD | |
| US20120212736A1 (en) | Crystal fiber, raman spectrometer using the same and detection method thereof |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101207 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120608 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120614 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120806 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120823 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120921 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5096975 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150928 Year of fee payment: 3 |