JP5089628B2 - 洗浄装置、洗浄方法および被洗浄体 - Google Patents
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Description
このものの場合、昇降機構によって被洗浄体が洗浄液に浸漬され、気泡噴射手段から噴射される気泡によって、被洗浄体に付着した異物が被洗浄体から分離し、分離した浮上物は、気泡とともに洗浄液の液面に向かって浮上する。
実施の形態1.
図1は、この実施の形態に係る洗浄装置を示す構成図である。
この実施の形態に係る洗浄装置は、洗浄液である洗浄水1を貯留する洗浄槽2と、この洗浄槽2に取り付けられた気泡噴射手段であるマイクロバブル噴射器3と、異物が付着した被洗浄体4を把持するロボットアーム5とを備えている。
マイクロバブル噴射器3は、ベンチュリータイプの管から構成されており、洗浄槽2の内側に向かって洗浄水1および微細な気泡であるマイクロバブル6を噴射する。
ここで、マイクロバブル6とは、球状となる微細な気泡のことである。マイクロバブル6と異なる通常の大きさの気泡は、水中を浮上するときに受ける水からの抗力によって球状ではなくなり、歪んだ形となる。
これに対して、マイクロバブル6は、気泡内部の圧力が高いため、水の抗力による歪みがなく、球状となることが広く知られている。
具体的には、気泡径が1mm以下となる場合に、気泡は球状となる。
被洗浄体4は、孔または溝等、複雑な形状の凹凸部を有している。
また、マイクロバブル噴射器3は、洗浄槽2の側面および底面のそれぞれに取り付けられており、水平方向および上方向にマイクロバブル6を噴射する。
洗浄槽2の外側には、洗浄槽2からオーバーフローした洗浄水1を貯留する分離槽7が取り付けられている。
洗浄水1を洗浄槽2からオーバーフローさせることで、洗浄槽2に貯留された洗浄水1から異物を低減させることができ、その結果、異物の被洗浄体4への再付着を抑制することができる。
この洗浄水管8は、他端部が分離槽7に接続され、中間部に水ポンプ9が取り付けられている。
水ポンプ9が駆動することで、分離槽7からマイクロバブル噴射器3に洗浄水1が供給される。
マイクロバブル噴射器3と水ポンプ9との間の洗浄水管8には、洗浄水管8を流れる洗浄水1の量を計測する水流量計10が取り付けられている。
マイクロバブル噴射器3と水流量計10との間の洗浄水管8には、洗浄水三方弁11が取り付けられており、この洗浄水三方弁11は、2個のマイクロバブル噴射器3の内、何れか一方に洗浄水1が流れるように、洗浄水1の流路を切り換える。
ガス管12は、他端部がガスポンプ13に接続され、中間部に、ガス管12を流れる空気の量を計測するガス流量計14が取り付けられている。
ガスポンプ13が駆動することで、マイクロバブル噴射器3に空気が供給される。
マイクロバブル噴射器3とガス流量計14との間のガス管12には、ガス三方弁15が取り付けられており、このガス三方弁15は、2個のマイクロバブル噴射器3の内、何れか一方に空気が流れるように、空気の流路を切り換える。
水流量計10によって洗浄水1の量を計測し、ガス流量計14によって空気の量を計測し、計測される洗浄水1の量および空気の量が所定の量となるように、水ポンプ9およびガスポンプ13を駆動することで、マイクロバブル6の径およびマイクロバブル6の密度を調整することができる。
ハンド部5cが被洗浄体4を保持した状態で、アーム部5bが変形することで、被洗浄体4を移動させることができる。
ハンド部5cは、接触位置変更手段である2本の回動可能な指部を含んでおり、被洗浄体4を把持したり、放したりすることができる。
これにより、ハンド部5cは、被洗浄体4を洗浄水1に浸漬したまま、被洗浄体4におけるハンド部5cとの接触位置を変更することができる。
この仕切板16の下部は、分離槽7の底面と離間しており、分離槽7の底面側は、洗浄水1が通過可能となっている。
この仕切板16は、洗浄水1とともに洗浄槽2からオーバーフローして洗浄水1の水面に浮遊した異物が、分離槽7に貯留された洗浄水1の上面を覆ってしまうことを防いでいる。
反洗浄槽2側の分離槽7の下部には、洗浄水管8の吸込み口8aが臨んでいる。
この添加剤は、分子内にカルボキシル基とアミノ基とを有した、分子量をカルボキシル基の数で割った値が94以上280以下の物質、分子内に複数の水酸基を有した、分子量を水酸基の数で割った値が38以上73以下の物質、分子内にエステル基を有した、分子量をエステル基の数で割った値47以上140以下の物質、または、分子内にスルホン酸基を有した、分子量をスルホン酸基の数で割った値が47以上140以下の物質等である。
この添加剤を、洗浄水1中に0.001[mol/L]以上1[mol/L]以下の微量を添加することで、マイクロバブル6を安定して維持することができる。
ロボットアーム5が、被洗浄体4を把持して、被洗浄体4を洗浄槽2の内側に入れて、被洗浄体4を洗浄水1に浸漬する。
次に、ロボットアーム5が被洗浄体4とマイクロバブル噴射器3との相対位置を変化させながら、マイクロバブル噴射器3から噴射されるマイクロバブル6を被洗浄体4の全面に衝突させる。
これにより、マイクロバブル6が異物を吸着し、マイクロバブル6の衝突によって異物は被洗浄体から分離し、マイクロバブル6が洗浄水1の水面に向かって浮上するのに伴って異物が浮上する。
被洗浄体4が、孔または溝等、複雑な形状の凹凸部を有しているので、凹凸部の面と、マイクロバブル噴射器3からのマイクロバブル6の噴射方向とが直交するように、ロボットアーム5は被洗浄体4を移動させる。
なお、凹凸部の面とマイクロバブル6の噴射方向とが直交することに限らず、凹凸部の面とマイクロバブル6の噴射方向とが交差していればよく、マイクロバブル6の噴射方向と凹凸部の面との間の角度が45度以上であることが望ましい。
図2は、被洗浄体4の表面とマイクロバブル噴射器3の先端部との間の距離と、被洗浄体4の洗浄度との関係を示した図、図3は、被洗浄体4の表面における洗浄水1のレイノルズ数と、被洗浄体4に残留した異物である油の密度との関係を示した図である。
図2において、被洗浄体4の表面とマイクロバブル噴射器3の先端部との間の距離を10[cm]としたときの、被洗浄体4の表面における洗浄水1の流れは、図3において、レイノルズ数が2000のときに相当し、また、図2において、被洗浄体4の表面とマイクロバブル噴射器3の先端部との間の距離を50[mm]としたときの、被洗浄体4の表面における洗浄水1の流れは、図3において、レイノルズ数が4000のときに相当する。
図3に示すように、レイノルズ数が2000から4000の間である、層流から乱流へ遷移領域では、洗浄度が向上し、レイノルズ数が4000以上である乱流域では、高い洗浄度が得られる。
図4は、レイノルズ数が2000以下である層流域における被洗浄体4とマイクロバブル6との衝突を示す図、図5は、レイノルズ数が4000以上である乱流域における被洗浄体4とマイクロバブル6との衝突を示す図である。
レイノルズ数が2000以下である層流域では、マイクロバブル6が被洗浄体4に衝突しても、マイクロバブル6は消滅しない。
一方、レイノルズ数が2000以上である遷移領域または乱流域では、マイクロバブル6が被洗浄体4に衝突した際に、マイクロバブル6が壊れる圧壊という現象が生じる。
この圧壊の際に生じる衝撃力を利用することで、被洗浄体4の凹凸部に付着した異物を被洗浄体4から分離させることができる。
したがって、被洗浄体4の洗浄中に、少なくとも一回は、被洗浄体4の凹凸部の表面とマイクロバブル噴射器3の先端部との間の距離を10[cm]以下、望ましくは5[cm]以下にすることで、被洗浄体4の凹凸部に付着した異物を効果的に被洗浄体4から分離させることができる。
図6は、マイクロバブル噴射器3に供給される、洗浄水1に対する空気の流量比と、被洗浄体4に付着した異物の除去率との関係を示す図である。
図に示すように、洗浄水1に対する空気の流量比が1〜4の場合に、異物の除去率が高く、洗浄水1に対する空気の流量比が2〜3の場合に、異物の除去率が特に高くなる。
したがって、洗浄水1に対する空気の流量比を1〜4、望ましくは2〜3とすることで、被洗浄体4に付着した異物を効果的に除去することができる。
図7は、マイクロバブル噴射器3の先端部の中心と被洗浄体4に付着した異物との径方向のずれと、被洗浄体4に残留した異物の量との関係を示す図である。
図に示すように、マイクロバブル噴射器3の先端部の中心から径方向に±4[cm]の範囲内であれば、被洗浄体4に付着した異物を均一に除去することができる。
したがって、マイクロバブル噴射器3の先端部の中心から径方向に±4[cm]の範囲内に、被洗浄体4が配置されるように、ロボットアーム5の動作を決定することで、被洗浄体4に付着した異物を効果的に除去することができる。
これにより、被洗浄体4におけるハンド部5cとの接触部にマイクロバブル6を衝突させることができるので、ロボットアーム5が被洗浄体4を把持することによる洗浄むらを低減させることができる。
なお、被洗浄体4におけるハンド部5cとの接触位置を変更する接触位置変更手段は、ハンド部5cの2本の回動可能な指部に限らず、例えば、ハンド部5cの4本以上の回動可能な指部であってもよい。
この場合、被洗浄体4を洗浄水1に浸漬したまま、被洗浄体4の洗浄の途中で、被洗浄体4を把持する指部を入れ替えることで、被洗浄体4を台に置くことなく、被洗浄体4におけるハンド部5cとの接触位置を変更することができる。
また、洗剤を含んだ洗浄液を空中で噴射させる洗浄装置と比較して、洗剤の揮発による大気汚染、作業環境の悪化、洗浄装置内部の汚染などを抑制することができる。
この場合、ロボットアーム5がマイクロバブル噴射器3を移動させて、マイクロバブル噴射器3と被洗浄体4との相対位置を変化させる。
マイクロバブル6が衝突することによって被洗浄体4が移動してしまうときには、被洗浄体4を洗浄槽2に固定してもよい。
また、2台のロボットアームを備え、一方のロボットアームがマイクロバブル噴射器3を把持し、他方のロボットアームが被洗浄体4を把持する洗浄装置であってもよい。
この場合、2台のロボットアームの内、少なくとも一方を変化させて、マイクロバブル噴射器3と被洗浄体4との相対位置を変化させる。
洗浄後に被洗浄体4を水中ベルトコンベアに置いて、洗浄水1の洗浄部から離間した領域に仕切板を取り付け、この仕切板より反洗浄部側で、被洗浄体4を洗浄槽2から取り出してもよい。
これにより、洗浄された被洗浄体4を洗浄槽2から取り出す際に、洗浄水1の水面付近に浮遊する異物が被洗浄体4に再付着することを抑制することができる。
さらに、吸盤部および磁石部を接触位置変更手段として、ハンド部5cが被洗浄体4を吸引したり、放したりするようにしてもよい。
これにより、ハンド部5cは、被洗浄体4を洗浄水1に浸漬したまま、被洗浄体4におけるハンド部5cとの接触位置を変更することができる。
図8はこの実施の形態に係る洗浄装置を示す構成図である。
この実施の形態に係る洗浄装置は、ロボットアーム5の動作を制御する制御部17と、被洗浄体4を撮影して、被洗浄体4の形状のデータを制御部17に入力するデータ入力手段であるCCDカメラ18とを備えている。
CCDカメラ18から送られてきた被洗浄体4の形状のデータを基に、制御部17がロボットアーム5の動作を制御するので、高い洗浄度を維持したまま、短時間で被洗浄体4の洗浄を行うことができる。
なお、データ入力手段として、CCDカメラ18に限らず、例えば、デジタルカメラ等であってもよく、さらには、被洗浄体4の図面情報を被洗浄体4に入力する図面上方入力手段であってもよい。
その他の構成は、実施の形態1と同様である。
図9はこの実施の形態に係る洗浄装置を示す構成図である。
この実施の形態に係る洗浄装置は、洗浄槽2の上部に取り付けられた、異物排出手段である気体吹き付け機構19を備えている。
気体吹き付け機構19は、洗浄槽2に貯留された洗浄水1の水面が分離槽7に向かって移動するように、洗浄水1の水面に向かってドライエアを吹き付ける。
被洗浄体4から分離した異物は、マイクロバブル6とともに洗浄水1の水面に向かって浮上して、気液界面に集まる。
異物が気液界面に集まった状態で、洗浄水1が洗浄槽2からオーバーフローしても、洗浄水1の水面の流れを均一にすることが難しく、気液界面に集まった異物を分離槽7へオーバーフローさせることが困難となる。
しかしながら、気体吹き付け機構19が、洗浄槽2に貯留された洗浄水1の水面が分離槽7に向かって移動するように、洗浄水1の水面に向かってドライエアを吹き付けるので、洗浄水1の水面付近に浮上した異物は、洗浄槽2の外側に向かって押し出され、洗浄槽2からオーバーフローして、洗浄槽2の洗浄水1の水面から異物を除去することができる。
その結果、新たな被洗浄体4を洗浄槽2へ挿入するとき、被洗浄体4を洗浄している間、または、洗浄済みの被洗浄体4を洗浄槽2から取り出すときに、被洗浄体4またはロボットアーム5に異物が再付着することを抑制することができる。
なお、洗浄槽2の側壁の上部を分離槽7側に傾斜することで、洗浄槽2から異物を有効にオーバーフローさせることができる。
気体吹き付け機構19の駆動が停止しているときには、洗浄水1の表面に浮遊している異物が波打つことがなく、均一に分布しているので、この状態で、気体吹き付け機構19を駆動させることで、洗浄水1の表面に浮遊した異物を有効に洗浄槽2の外側へ排出することができる。
その他の構成は、実施の形態1と同様である。
なお、この洗浄装置は、実施の形態2に記載の制御部17およびCCDカメラ18を備えてもよい。
吸引手段を駆動させる際には、マイクロバブル噴射器3の駆動を停止させることで、洗浄水1の表面に浮遊する異物が静止するので、吸引手段が異物を有効に吸引することができる。
マイクロバブル噴射器3の駆動と吸引手段の駆動とを切り換えて複数回行うことで、洗浄水1の表面に浮遊する異物を有効に除去することができる。
吸着手段として、異物に対して親和性の高い物質、例えば、表面がざらついた紙または繊維質の布等を用いることができる。
集合手段として、洗浄槽2の上部に水平方向へスライド可能に取り付けられた平板等を用いることができる。
集合手段により洗浄水1の表面に浮遊する異物を一箇所に集めた後、気体吹き付け機構19が、洗浄槽2に貯留された洗浄水1の水面が分離槽7に向かって移動するように、洗浄水1の水面に向かってドライエアを吹き付けることで、洗浄槽2の洗浄水1の水面から異物を効果的に除去することができる。
これにより、浮上した異物の回りこみを防ぐことができる。
マイクロバブル生成ノズルが、ロボットアーム5から離間する方向にマイクロバブルを噴射することで、ロボットアーム5に異物が付着することを効果的に抑制することができる。
また、この実施の形態に係る洗浄装置は、ロボットアーム5に付着した異物を除去するために、ブラシを備えてもよく、さらに、ロボットアーム5を洗浄するロボットアーム洗浄槽を備えてもよい。
ロボットアーム洗浄槽で、ブラシを用いて、ロボットアーム5を洗浄することで、ロボットアーム5に付着した異物を効果的に除去することができる。
図10はこの実施の形態に係る洗浄装置を示す構成図である。
この実施の形態に係る洗浄装置は、被洗浄体4の粗洗浄を行う第1の洗浄槽20と、被洗浄体4の仕上げ洗浄を行う第2の洗浄槽21と、超音波を用いた洗浄を行う超音波洗浄手段22と、被洗浄体4のすすぎを行うすすぎ手段23と、被洗浄体4を乾燥する乾燥手段24とを備えている。
第1の洗浄槽20では、マイクロバブル噴射器3が被洗浄体4に向かってマイクロバブル6を噴射し、このマイクロバブル6により被洗浄体4が粗く洗浄される。
第2の洗浄槽21では、マイクロバブル噴射器3が、第1の洗浄槽20で粗洗浄された被洗浄体4に向かって、マイクロバブル6を噴射し、このマイクロバブル6により被洗浄体4が洗浄される。
超音波洗浄手段22は、ロボットアーム5の駆動によって、被洗浄体4が出し入れされ、洗浄水1または洗浄水1に洗剤を添加した洗浄液に超音波を供給し、この超音波が、収容された被洗浄体4に照射されることで、被洗浄体4から異物が分離する。
これにより、被洗浄体4には、マイクロバブル6が入り込むことができない微細な凹凸部が形成され、この凹凸部に異物が付着した場合であっても、凹凸部から異物を除去することができる。
すすぎ手段23は、ロボットアーム5の駆動によって、被洗浄体4が出し入れされ、収容された被洗浄体4をすすいで、被洗浄体4に付着した洗浄水1を除去する。
乾燥手段24は、ロボットアーム5の駆動によって、被洗浄体4が出し入れされ、収容された被洗浄体4に空気を吹き付けて、すすぎ手段23によって被洗浄体4に付着した水を除去する。
搬送手段27は、ロボットアーム5を、入口コンベア25、第1の洗浄槽20、第2の洗浄槽21、超音波洗浄手段22、すすぎ手段23、乾燥手段24および出口コンベア26に順に搬送する。
その他の構成は、実施の形態1と同様である。
なお、この洗浄装置は、実施の形態2に記載の制御部17およびCCDカメラ18を備えてもよく、また、実施の形態3に記載の気体吹き付け機構19を備えてもよい。
Claims (10)
- 洗浄液の中で、異物が付着した被洗浄体に向かって微細な気泡を噴射し、前記気泡を前記異物に吸着させ、前記気泡の衝突によって前記異物を前記被洗浄体から分離させ、前記気泡が前記洗浄液の液面に向かって浮上するのに伴って前記異物を浮上させて、前記被洗浄体を洗浄する洗浄装置であって、
前記洗浄液を貯留する洗浄槽と、
前記気泡を噴射する気泡噴射手段と、
前記被洗浄体または前記気泡噴射手段の何れか一方を保持するハンド部を有しているとともに、前記一方を移動させるロボットアームとを備え、
前記ロボットアームは、前記一方の前記被洗浄体または前記気泡噴射手段を移動させて、前記被洗浄体に付着した前記異物と前記気泡噴射手段の先端部との間の距離が10cm以下となり、かつ、前記被洗浄体に付着した前記異物と前記気泡噴射手段の前記先端部の中心との間の径方向のずれが±4cm以下となるように、前記被洗浄体と前記気泡噴射手段との相対位置を変えながら、前記気泡を前記被洗浄体に衝突させることを特徴とする洗浄装置。 - 前記被洗浄体の形状のデータが入力され、前記ロボットアームの動作を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記データを基に、前記被洗浄体と前記気泡噴射手段の前記先端部との間の距離が10cm以下となるように、前記ロボットアームの動作を制御することを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。 - 洗浄液の中で、異物が付着した被洗浄体に向かって微細な気泡を噴射し、前記気泡を前記異物に吸着させ、前記気泡の衝突によって前記異物を前記被洗浄体から分離させ、前記気泡が前記洗浄液の液面に向かって浮上するのに伴って前記異物を浮上させて、前記被洗浄体を洗浄する洗浄方法であって、
前記被洗浄体または前記気泡を噴射する気泡噴射手段の何れか一方を保持するハンド部を有したロボットアームが、前記洗浄液が貯留された洗浄槽の内側で、前記一方の前記被洗浄体または前記気泡噴射手段を移動させて、前記被洗浄体に付着した前記異物と前記気泡噴射手段の先端部との間の距離が10cm以下となり、かつ、前記被洗浄体に付着した前記異物と前記気泡噴射手段の前記先端部の中心との間の径方向のずれが±4cm以下となるように、前記被洗浄体と前記気泡噴射手段との相対位置を変えながら、前記気泡を前記被洗浄体に衝突させることを特徴とする洗浄方法。 - 前記ロボットアームの動作を制御する制御部に、前記被洗浄体の形状のデータを入力し、前記制御部は、前記データを基に、前記被洗浄体と前記気泡噴射手段の前記先端部との間の距離が10cm以下となるように、前記ロボットアームの動作を制御することを特徴とする請求項3に記載の洗浄方法。
- 前記ハンド部は、前記被洗浄体を前記洗浄液に浸漬したまま、前記被洗浄体における前記ハンド部との接触位置を変更することを特徴とする請求項3または請求項4に記載の洗浄方法。
- 前記ロボットアームは、前記被洗浄体の表面における前記洗浄水の流れのレイノルズ数が2000以上となるように、前記被洗浄体または前記気泡噴射手段を移動させることを特徴とする請求項3ないし請求項5の何れか1項に記載の洗浄方法。
- 前記気泡が前記洗浄液の液面に向かって浮上するのに伴って浮上した前記異物を前記洗浄槽の外側へ排出することを特徴とする請求項3ないし請求項6の何れか1項に記載の洗浄方法。
- 前記洗浄液の液面に気体を吹き付けて、前記異物を前記洗浄槽の外側に向かって押し出すことを特徴とする請求項7に記載の洗浄方法。
- 前記被洗浄体を洗浄した後、洗浄された前記被洗浄体をすすいで前記被洗浄体に付着した前記洗浄液を除去し、前記被洗浄体をすすいだ後、前記洗浄液が除去された前記被洗浄体を乾燥することを特徴とする請求項3ないし請求項8の何れか1項に記載の洗浄方法。
- 請求項3ないし請求項9に記載された洗浄方法によって洗浄された被洗浄体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009035631A JP5089628B2 (ja) | 2009-02-18 | 2009-02-18 | 洗浄装置、洗浄方法および被洗浄体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009035631A JP5089628B2 (ja) | 2009-02-18 | 2009-02-18 | 洗浄装置、洗浄方法および被洗浄体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010188286A JP2010188286A (ja) | 2010-09-02 |
JP5089628B2 true JP5089628B2 (ja) | 2012-12-05 |
Family
ID=42814926
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009035631A Expired - Fee Related JP5089628B2 (ja) | 2009-02-18 | 2009-02-18 | 洗浄装置、洗浄方法および被洗浄体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5089628B2 (ja) |
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A977 | Report on retrieval |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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