JP5086864B2 - Optical member and optical head device - Google Patents
Optical member and optical head device Download PDFInfo
- Publication number
- JP5086864B2 JP5086864B2 JP2008090319A JP2008090319A JP5086864B2 JP 5086864 B2 JP5086864 B2 JP 5086864B2 JP 2008090319 A JP2008090319 A JP 2008090319A JP 2008090319 A JP2008090319 A JP 2008090319A JP 5086864 B2 JP5086864 B2 JP 5086864B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wavelength
- light
- optical
- polarized light
- band
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Head (AREA)
Description
本発明は、複数の反射層からなる積層膜を有する反射ミラー、プリズム、ビームスプリッタなどの光学部材及びそれを有する光ヘッド装置に関する。 The present invention relates to an optical member such as a reflecting mirror, a prism, and a beam splitter having a laminated film composed of a plurality of reflecting layers, and an optical head device having the same.
従来から、例えばＣＤ（登録商標）、ＤＶＤ（登録商標）、ＨＤＤＶＤ（登録商標）、Ｂｌｕ−Ｒａｙ（登録商標）用の光ディスク等の記録媒体が知られている。 Conventionally, recording media such as optical disks for CD (registered trademark), DVD (registered trademark), HDDVD (registered trademark), and Blu-Ray (registered trademark) are known.
このような記録媒体に音楽や映像などの情報を記録再生する場合、複数の反射層からなる積層膜を有する反射ミラー、プリズム、ビームスプリッタなどの光学部材を備える記録・再生用の光ヘッド装置を有する光ディスク記録再生装置が用いられている。 When recording and reproducing information such as music and video on such a recording medium, an optical head device for recording / reproduction comprising an optical member such as a reflecting mirror, a prism, and a beam splitter having a laminated film composed of a plurality of reflecting layers is provided. An optical disc recording / reproducing apparatus is used.
また、リアプロジェクション・フロントプロジェクション等の画像表示装置にも、画像用の光を射出する光学エンジンから射出される光を反射する反射ミラー、プリズム、ビームスプリッタなどの光学部品を有する。 An image display device such as a rear projection or a front projection also includes optical components such as a reflection mirror, a prism, and a beam splitter that reflect light emitted from an optical engine that emits image light.
更に、液晶露光装置や半導体露光装置等の荷電粒子ビーム装置においても、反射ミラー、ビームスプリッタなどの光学部材が用いられている。 Furthermore, in charged particle beam apparatuses such as liquid crystal exposure apparatuses and semiconductor exposure apparatuses, optical members such as reflection mirrors and beam splitters are used.
これらの光学部材として、例えば特許文献１に示されているように、偏光ビームスプリッタがあり、基板となる透明な平行平面板ＰＴと、その一方の面に施された多層光学薄膜（又は保護膜で覆われた多層光学薄膜）から成る偏光分離膜ＰＣと、他方の面に施された多層光学薄膜（又は保護膜で覆われた多層光学薄膜）から成る反射防止膜ＡＣとで構成されている。偏光分離膜ＰＣは、入射光束のＳ偏光成分をほとんど反射させ、かつ、Ｐ偏光成分をほとんど透過させる偏光分離特性を有するものであり、偏光分離膜ＰＣに対するレーザビームＬ１〜Ｌ３の偏光方向はＳ偏光である。したがって、レーザビームＬ１〜Ｌ３は、空気との接触状態にある偏光分離膜ＰＣで大部分が反射され、これにより各レーザ光源Ｄ１〜Ｄ３から光ディスクＤＫへの光路が形成される。３波長帯（波長４０５ｎｍ帯，波長６５０ｎｍ帯，波長７８０ｎｍ帯），膜面に対する入射角度６０±４°{（Ａ）５６°，（Ｂ）６０°，（Ｃ）６４°}で用いる偏光分離膜ＰＣの偏光分離特性は、次のような透過率（％；太線：Ｓ偏光の透過率，細線：Ｐ偏光の透過率）を示す。すなわち、偏光分離特性を有する偏光分離膜ＰＣは、第２の実施の形態用として最適化したものであり、実使用波長である４００ｎｍ〜４１５ｎｍ，６０±４°の範囲において、Ｐ偏光の透過率Ｔｐ＞９２％，Ｓ偏光の反射率Ｒｓ＞９５％；６５０ｎｍ〜６６５ｎｍ，入射角度６０±４°の範囲において、Ｐ偏光の透過率Ｔｐ＞９０％，Ｓ偏光の反射率Ｒｓ＞９５％；７８０ｎｍ〜７９５ｎｍ，入射角度６０±３°の範囲において、Ｐ偏光の透過率Ｔｐ＞９０％，Ｓ偏光の反射率ＲＳ＞９５％と、良好な特性が得られている。
As these optical members, for example, as shown in
また、特許文献１の図８には、反射による位相の変化｛（Ａ）波長４０５ｎｍ，（Ｂ）波長６５０ｎｍ，（Ｃ）波長７８０ｎｍでのＳ偏光の位相シフト｝が示されている。この図８から分かるように、反射による位相シフトは各波長帯の使用角度範囲において概ね直線的になっている光学部材、もしくは、３波長帯（波長４０５ｎｍ帯，波長６５０ｎｍ帯，波長７８０ｎｍ帯），膜面に対する入射角度４５±４°｛（Ａ）４１°，（Ｂ）４５°，（Ｃ）４９°｝で用いる偏光分離膜ＰＣの偏光分離特性を反射率（％；Ｒｓ：Ｓ偏光の反射率，Ｒｐ：Ｐ偏光の反射率）で示している。
Further, FIG. 8 of
特許文献１の図１０に、３波長帯（波長４０５ｎｍ帯，波長６５０ｎｍ帯，波長７８０ｎｍ帯），膜面に対する入射角度４５±４°｛（Ａ）４１°，（Ｂ）４５°，（Ｃ）４９°｝で用いる偏光分離膜ＰＣの偏光分離特性を透過率（％；太線：Ｓ偏光の透過率，細線：Ｐ偏光の透過率）で示す。この偏光分離特性を有する偏光分離膜ＰＣは、偏光ビームスプリッタＢＳの配置を第２の実施の形態の状態から変えて最適化したものであり、実使用波長である４００ｎｍ〜４１５ｎｍ，入射角度４５±４°の範囲において、Ｐ偏光の透過率Ｔｐ＞９２％，Ｓ偏光の反射率Ｒｓ＞９５％；６５０ｎｍ〜６６５ｎｍ，入射角度４５±４°の範囲において、Ｐ偏光の透過率Ｔｐ＞９０％，Ｓ偏光の反射率Ｒｓ＞９５％；７８０ｎｍ〜７９５ｎｍ，入射角度４５±３°の範囲において、Ｐ偏光の透過率Ｔｐ＞９０％，Ｓ偏光の反射率ＲＳ＞９５％と、良好な特性が得られている。
In FIG. 10 of
また、特許文献１の図１１には、反射による位相の変化｛（Ａ）波長４０５ｎｍ，（Ｂ）波長６５０ｎｍ，（Ｃ）波長７８０ｎｍでのＳ偏光の位相シフト｝が示されている。図１１から分かるように、反射による位相シフトは各波長帯の使用角度範囲において概ね直線的になっている光学部材が示されている。
しかしながら、上述した特許文献１では、反射による位相シフトは各波長帯の使用角度範囲において概ね直線的になっているとはいえ、波長４０５ｎｍ、波長６５０ｎｍ、波長７８０ｎｍの光を分光するための特性変化量が充分ではないため、分光に伴う光の損失が生じてしまう虞がある。
However, in
そのため、ｐ偏光やｓ偏光の光であっても高い反射率特性を維持し、ＨＤ ＤＶＤ用、Ｂｌｕ−Ｒａｙ Ｄｉｓｃ用の光ディスクの情報を再生記録するとき、高品質高画質の音声や画像などの情報を再生記録することができない。 Therefore, even when p-polarized light or s-polarized light is used, high reflectivity characteristics are maintained, and when reproducing and recording information on an optical disc for HD DVD or Blu-Ray Disc, high-quality, high-quality audio, images, etc. Information cannot be reproduced and recorded.
そこで、本発明は、近紫外域、可視域、赤外域におけるそれぞれの広帯域において分光特性変化量を０．５％／ｎｍ以下の変化量に抑え、特にＰ偏光の光において高い反射率特性あるいは透過率測定を維持し、Ｂｌｕｅ・ＤＶＤ・ＣＤ波長を集中し、光路を変える機能と、モニターへ一部光を逃がす機能（３波長を同時に）を有し、ＣＤ用、ＨＤＤＶＤ用、Ｂｌｕ−Ｒａｙ Ｄｉｓｃ用の光ディスクの情報を再生記録するとき、高品質高画質の音声や画像などの情報の再生記録を可能にする反射ミラーを提供することを目的とする。 Therefore, the present invention suppresses the spectral characteristic change amount to a change amount of 0.5% / nm or less in each of the broadband in the near ultraviolet region, the visible region, and the infrared region, and particularly has high reflectance property or transmission in the P-polarized light. Maintains rate measurement, concentrates blue, DVD, and CD wavelengths, has a function to change the optical path, and a function to let some light escape to the monitor (3 wavelengths at the same time). For CD, HDDVD, Blu-Ray Disc An object of the present invention is to provide a reflection mirror that enables the reproduction and recording of information such as high-quality and high-quality sound and images when reproducing and recording information on an optical disc for use.
上述した目的を達成するため、この発明は、特許請求の範囲の各請求項に記載した事項を特徴とする。 In order to achieve the above-described object, the present invention is characterized by matters described in the claims.
以上により、本発明は、近紫外域、可視域、赤外域におけるそれぞれの広帯域において分光特性変化量を０．５％／ｎｍ以下の変化量に抑え、特にＰ偏光の光において高い反射率特性あるいは透過率測定を維持し、ＣＤ用、ＨＤＤＶＤ用、Ｂｌｕ−Ｒａｙ Ｄｉｓｃ用の光ディスクの情報を再生記録するとき、高品質高画質の音声や画像などの情報の再生記録を可能にする反射ミラーを提供することができる。 As described above, the present invention suppresses the spectral characteristic change amount to a change amount of 0.5% / nm or less in each of the broadband in the near ultraviolet region, the visible region, and the infrared region. Provides a reflection mirror that maintains the transmittance measurement and enables playback and recording of high-quality, high-quality audio and image information when reproducing and recording information on optical discs for CDs, HDDVDs, and Blu-Ray discs. can do.
また、波長４０５ｎｍ、波長６５０ｎｍ、波長７８０ｎｍそれぞれの光源の温度ドリフトに対応して、各波長範囲で透過率の変化がほとんどない光学部材を提供することができる。 Further, it is possible to provide an optical member having almost no change in transmittance in each wavelength range corresponding to the temperature drift of the light sources having wavelengths of 405 nm, 650 nm, and 780 nm.
また、Ｐ偏光の一部の光を透過もしくは反射させることができ、３波長用の反射ミラーにも適用することができる。 Further, a part of the P-polarized light can be transmitted or reflected, and can also be applied to a reflection mirror for three wavelengths.
また、部品点数を削減することができる。 In addition, the number of parts can be reduced.
図面に基づいて本発明の実施例を説明する。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図１は、本発明に係る光ヘッドを示す。 FIG. 1 shows an optical head according to the present invention.
ＴＭＲ（三波長用反射ミラー）１は、断面が台形状の透明基板と、透明基板の下底（一方の面）にコーティングして成膜した光学多層膜を有している。この光学多層膜のコーティング方法は、真空蒸着・イオンアシスト・イオンプレーティング・スパッタリング等の物理蒸着法でも良いし、コート液に浸漬させコートする浸漬法、スピン法などであってもよい。 The TMR (three-wavelength reflection mirror) 1 includes a transparent substrate having a trapezoidal cross section and an optical multilayer film formed by coating the lower base (one surface) of the transparent substrate. The coating method of the optical multilayer film may be a physical vapor deposition method such as vacuum vapor deposition, ion assist, ion plating, or sputtering, or may be an immersion method in which coating is performed by dipping in a coating solution, a spin method, or the like.
基板は、断面が台形形状の基板に限定されず、断面が矩形形状のものであってもよい。 The substrate is not limited to a substrate having a trapezoidal cross section, and may have a rectangular cross section.
また、成膜する光学多層膜は、好ましくは、透明基板（基材）上に、低屈折率材料であるＳｉＯ２と高屈折率材料であるＮｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２、ＨｆＯ２、ＺｒＯ２等の一つ以上の材料による交互層で３０層からなる。この積層構造によって、所定の分光特性を有する。 Further, the optical multilayer film to be formed is preferably one or more of SiO2 as a low refractive index material and Nb2O5, Ta2O5, TiO2, HfO2, ZrO2 and the like as a high refractive index material on a transparent substrate (base material). It consists of 30 layers of alternating layers of the above materials. This laminated structure has predetermined spectral characteristics.
また、透明基板（基材）は、透明なガラス基板のような光学基材であればよい。更に、例えば液晶露光装置や半導体露光装置等の荷電粒子ビーム装置などに反射ミラーとして用いる場合には、透明基板（基材）に石英、蛍石（ＣａＦ２）などの光学基材を用いてもよい。 The transparent substrate (base material) may be an optical base material such as a transparent glass substrate. Further, for example, when used as a reflection mirror in a charged particle beam apparatus such as a liquid crystal exposure apparatus or a semiconductor exposure apparatus, an optical base material such as quartz or fluorite (CaF 2 ) may be used as the transparent substrate (base material). Good.
また、プリズムなどの底面（貼り合わせ面）に上記多層膜を積層し、２つ以上のプリズムを組み合わせ、ビームスプリッタなどの光学部材に適用してもよい。 Further, the multilayer film may be laminated on the bottom surface (bonding surface) of a prism or the like, and two or more prisms may be combined and applied to an optical member such as a beam splitter.
ここで、Ｂｌｕ−Ｒａｙ用、ＨＤＤＶＤ用光ディスクに用いられる波長は、好ましくは、４０５ｎｍを含む３８０ｎｍ〜４４０ｎｍの波長域であり、ＤＶＤ用に用いられる波長は、波長６３０ｎｍ〜６９０ｎｍであり、ＣＤ用に用いられる波長は、７５０ｎｍ〜８３０ｎｍの波長域である。 Here, the wavelength used for the optical disc for Blu-Ray and HDDVD is preferably in the wavelength range of 380 nm to 440 nm including 405 nm, and the wavelength used for DVD is 630 nm to 690 nm, and is used for CD. The wavelength used is a wavelength region of 750 nm to 830 nm.
ＣＤ、ＤＶＤ、Ｂｌｕ−Ｒａｙ用のそれぞれの光源から発光されたレーザ光は、それぞれ下記のように、ＣＤ、ＤＶＤ、Ｂｌｕ−Ｒａｙディスクなどの記録媒体に導光され、音楽、映像などの情報を記録再生する。 Laser light emitted from each light source for CD, DVD, and Blu-Ray is guided to a recording medium such as a CD, DVD, and Blu-Ray disc as follows, and information such as music and video is transmitted. Record and play back.
すなわち、それぞれのレーザ光は、レーザ光源から記録媒体に向かう往路、復路で下記のような光路をとる。 That is, each laser beam takes the following optical path in the forward path and the return path from the laser light source to the recording medium.
＜往路＞
Ｂｌｕ−Ｒａｙ用の場合、図１に例示するように、順に、ＬＤ（ブルー用半導体レーザ）２、Ｐｒｉｓｍ（プリズム）３、ＰＢＳ（偏光ビームスプリッタ）４、ＴＭＲ（三波長用ミラー）１、ＣＬ（集光レンズ）５、ＲＭＲ（反射ミラー）６を通過し、Ｂｌｕ−Ｒａｙ用レーザ光は、ＦＭＰＤ（レーザ光量測定器）９で光量が充分かどうか測定検査される。
<Outward trip>
In the case of Blu-Ray, as illustrated in FIG. 1, LD (blue semiconductor laser) 2, Prism (prism) 3, PBS (polarizing beam splitter) 4, TMR (three-wavelength mirror) 1, CL in order (Condenser lens) 5 and RMR (reflection mirror) 6 are passed through, and the Blu-Ray laser light is measured and inspected by an FMPD (laser light amount measuring device) 9 to determine whether the light amount is sufficient.
ＤＶＤ用の場合、順に、ＬＤ（半導体レーザ）７、Ｐｒｉｓｍ（プリズム）３、ＰＢＳ（偏光ビームスプリッタ）４、ＴＭＲ（三波長用ミラー）１、ＣＬ（集光レンズ）５、ＲＭＲ（反射ミラー）６を通過し、ＤＶＤ用レーザ光は、ＦＭＰＤ（レーザ光量測定器）９で光量が充分なのか測定検査される。 In the case of DVD, in order, LD (semiconductor laser) 7, Prism (prism) 3, PBS (polarization beam splitter) 4, TMR (three-wavelength mirror) 1, CL (condensing lens) 5, RMR (reflection mirror) 6, the DVD laser light is measured and inspected by an FMPD (laser light amount measuring device) 9 to determine whether the light amount is sufficient.
ＣＤ用の場合、順に、ＬＤ（半導体レーザ）８、ＴＭＲ（三波長用ミラー）１、ＣＬ（集光レンズ）５、ＲＭＲ（反射ミラー）６を通過し、ＦＭＰＤ（レーザ光量測定器）９で光量が充分なのか測定検査される。 In the case of a CD, the laser beam passes through an LD (semiconductor laser) 8, a TMR (three-wavelength mirror) 1, a CL (condensing lens) 5, and an RMR (reflection mirror) 6, and an FMPD (laser light amount measuring device) 9. It is measured and inspected for sufficient light.
＜復路＞
Ｂｌｕ−Ｒａｙ用の場合、順に、ＲＭＲ（反射ミラー）６、ＣＬ（集光レンズ）５、ＴＭＲ（三波長用ミラー）１、ＰＢＳ（偏光ビームスプリッタ）４を通過し、ＰＤ（光量測定器）１０で測定検査される。
<Return trip>
In the case of Blu-Ray, the light passes through RMR (reflecting mirror) 6, CL (condensing lens) 5, TMR (three-wavelength mirror) 1, PBS (polarizing beam splitter) 4, and PD (light quantity measuring device) in this order. 10 is measured and inspected.
ＤＶＤ用の場合、順に、ＲＭＲ（反射ミラー）６、ＣＬ（集光レンズ）５、ＴＭＲ（三波長用ミラー）１、ＰＢＳ（偏光ビームスプリッタ）４を通過し、ＰＤ（光量測定器）１０で光量が充分なのか測定検査される。 In the case of a DVD, the light passes through an RMR (reflecting mirror) 6, a CL (condensing lens) 5, a TMR (three-wavelength mirror) 1, and a PBS (polarizing beam splitter) 4, and a PD (light quantity measuring device) 10. It is measured and inspected for sufficient light.
ＣＤ用の場合、順に、ＲＭＲ（反射ミラー）６、ＣＬ（集光レンズ）５、ＴＭＲ（三波長用ミラー）１を通過し、ＰＤ（光量測定器）１０で光量が充分なのか測定検査される。 In the case of a CD, the light passes through an RMR (reflecting mirror) 6, CL (condensing lens) 5, and TMR (three-wavelength mirror) 1 in order, and a PD (light quantity measuring device) 10 measures and inspects whether the light quantity is sufficient. The
往路および復路のいずれにおいても、三波長用ミラー（ＴＭＲ）１を透過あるいは反射する。 It transmits or reflects through the three-wavelength mirror (TMR) 1 in both the forward path and the return path.
三波長用反射ミラー（ＴＭＲ）１に積層した膜の構成は、好ましくは、表１に示すとおりである。ＳｉＯ２−Ｎｂ２Ｏ３の交互層（３０層）の光学薄膜である。
また、ＳｉＯ２−Ｎｂ２Ｏ３の交互層の光学薄膜以外にも、Ｔａ２Ｏ５−ＳｉＯ２の交互層の光学薄膜であってもよい。三波長用反射ミラー（ＴＭＲ）１にＴａ２Ｏ５−ＳｉＯ２の交互層を積層した膜の構成は、好ましくは、表２に示すとおりである。Ｔａ２Ｏ５−ＳｉＯ２の交互層（３８層）の光学薄膜である。
本発明に係る好ましい光学部材は、所定の波長の多くとも１０％以下の光を透過させ、所定の波長帯域の分光特性変化量が０．５％／ｎｍ以下の変化量である光学薄膜を有することを特徴としている。 A preferred optical member according to the present invention has an optical thin film that transmits at most 10% or less of a predetermined wavelength and has a spectral characteristic change amount of a predetermined wavelength band of 0.5% / nm or less. It is characterized by that.
あるいは、本発明に係る好ましい光学部材は、所定の波長の少なくとも９０％以上の光を透過させるための波長帯域の分光特性変化量が０．５％／ｎｍ以下の変化量である成膜を有することを特徴としている。 Alternatively, a preferable optical member according to the present invention has a film formation in which a spectral characteristic variation in a wavelength band for transmitting light of at least 90% or more of a predetermined wavelength is a variation of 0.5% / nm or less. It is characterized by that.
あるいは、好ましくは、おおよそ３８０ｎｍ〜４４０ｎｍの波長帯域、６３０ｎｍ〜６９０ｎｍの波長帯域、７５０ｎｍ〜８３０ｎｍの波長帯域の各波長帯域の１つ以上の波長帯域の波長の多くとも１０％以下の光を透過させるための波長帯域の分光特性変化量が０．５％／ｎｍ以下の変化量であり、上記各波長帯域の１つ以上の波長帯域の波長の少なくとも９０％以上の光を透過させるための波長帯域の分光特性変化量が０．５％／ｎｍ以下の変化量である光学薄膜を有する。 Alternatively, preferably, at most 10% or less of light in one or more of the wavelength bands of approximately 380 nm to 440 nm, 630 nm to 690 nm, and 750 nm to 830 nm is transmitted. A wavelength band for transmitting light having a wavelength characteristic change amount of 0.5% / nm or less for transmitting light of at least 90% of one or more wavelength bands of each wavelength band The optical thin film has a spectral characteristic change amount of 0.5% / nm or less.
また、好ましくは、おおよそ３８０ｎｍ〜４４０ｎｍの波長帯域、６３０ｎｍ〜６９０ｎｍの波長帯域、７５０ｎｍ〜８３０ｎｍの波長帯域の各波長帯域の１つ以上の波長帯域の波長の多くとも５％の光を透過させるための波長帯域の分光平坦度が０．５％以下の変化量であり、上記各波長帯域の１つ以上の波長帯域の波長の少なくとも９５％の光を透過させるための波長帯域の分光平坦度が０．５％以下の変化量である光学薄膜を有する。 Preferably, at most 5% of light in one or more of the wavelength bands of approximately 380 nm to 440 nm, 630 nm to 690 nm, and 750 nm to 830 nm is transmitted. The spectral flatness of the wavelength band is a change amount of 0.5% or less, and the spectral flatness of the wavelength band for transmitting light of at least 95% of the wavelength of one or more wavelength bands of each wavelength band is An optical thin film having a change amount of 0.5% or less is included.
また、好ましくは、おおよそ３８０ｎｍ〜４４０ｎｍの波長帯域においてブルーレイディスクに用いられる波長の光の一部を透過させ、残りの光を反射させ、おおよそ６３０ｎｍ〜６９０ｎｍの波長帯域においてＤＶＤに用いられる波長の光の一部を透過させ、残りの光を反射させ、おおよそ７５０ｎｍ〜８３０ｎｍの波長帯域においてＣＤに用いられる波長の光の一部を透過させ、残りの光を反射させるための波長帯域の分光特性変化量が０．５％／ｎｍ以下の変化量である光学薄膜を有する。 Preferably, a part of light having a wavelength used for a Blu-ray disc is transmitted in a wavelength band of approximately 380 nm to 440 nm, a remaining light is reflected, and a light having a wavelength used for a DVD in a wavelength band of approximately 630 nm to 690 nm. Of the wavelength band for transmitting a part of the light, reflecting the remaining light, transmitting a part of the light of the wavelength used for the CD in the wavelength band of approximately 750 nm to 830 nm, and reflecting the remaining light It has an optical thin film whose amount is a change amount of 0.5% / nm or less.
また、好ましくは、おおよそ３８０ｎｍ〜４４０ｎｍの波長帯域においてブルーレイディスクに用いられる波長の光の多くとも１０％以下の光を透過させるための波長帯域の分光特性変化量が０．５％／ｎｍ以下の変化量であり、
また、好ましくは、おおよそ６３０ｎｍ〜６９０ｎｍの波長帯域においてＤＶＤに用いられる波長の光の少なくとも１０％以下の光を透過させるための波長帯域の分光特性変化量が０．５％／ｎｍ以下の変化量であり、おおよそ７５０ｎｍ〜８３０ｎｍの波長帯域においてＣＤに用いられる波長の少なくとも９０％以上の光を透過させるための波長帯域の分光特性変化量が０．５％／ｎｍ以下の変化量である光学薄膜を有する。
Preferably, the spectral characteristic change amount in the wavelength band for transmitting at most 10% of the light of the wavelength used for the Blu-ray disc in the wavelength band of approximately 380 nm to 440 nm is 0.5% / nm or less. The amount of change,
Preferably, the amount of change in the spectral characteristics of the wavelength band for transmitting at least 10% or less of the light having the wavelength used for the DVD in the wavelength band of approximately 630 nm to 690 nm is 0.5% / nm or less. An optical thin film whose spectral characteristic change amount in a wavelength band for transmitting light of at least 90% or more of a wavelength used for CD in a wavelength range of approximately 750 nm to 830 nm is a change amount of 0.5% / nm or less Have
また、上述した反射ミラー、プリズム、ビームスプリッタなどの光学部材を、ＣＤ用、ＤＶＤ用、あるいはＢｌｕ−ＲａｙＤｉｓｃ用の録音録画再生のレコーダなどの光ヘッド装置に設け、それぞれの波長帯域で透過した光を検知するモニタ光学部材を有し、それぞれの波長帯域で反射した光によりブルーレイディスクまたはＤＶＤまたはＣＤに投影し、録音録画再生を行うようにしてもよい。 Further, the above-described optical members such as the reflecting mirror, prism, and beam splitter are provided in an optical head device such as a recording / reproducing recorder for CD, DVD, or Blu-Ray Disc, and transmitted through each wavelength band. May be recorded on a Blu-ray disc, DVD, or CD by light reflected in each wavelength band, and recording, recording, and reproduction may be performed.
図２〜４は、Ｐ偏光の透過率と波長との関係（Ｔｐ）と、Ｓ偏光の透過率と波長との関係（Ｔｓ）を示す。 2 to 4 show the relationship between the transmittance of P-polarized light and the wavelength (Tp) and the relationship between the transmittance of S-polarized light and the wavelength (Ts).
本発明の前述の実施例では、図２に示すように、所定波長のＰ偏光の一部の光を透過もしくは反射する光学部材に適用しているが、本発明は、これに限定されず、Ｓ偏光の一部の光を透過もしくは反射する光学部材に用いても良い。なお、Ｂｌｕ−ＲａｙＤｉｓｃ用の波長は、レーザーパワーが大きいため、図３〜４に示すように、Ｔａ２Ｏ５−ＳｉＯ２の光学薄膜を積層した光学部材を用いても良い。 In the above-described embodiment of the present invention, as shown in FIG. 2, the present invention is applied to an optical member that transmits or reflects a part of P-polarized light having a predetermined wavelength, but the present invention is not limited to this. You may use for the optical member which permeate | transmits or reflects a part of light of S polarized light. Since the wavelength for Blu-Ray Disc has a large laser power, an optical member in which an optical thin film of Ta 2 O 5 —SiO 2 is laminated may be used as shown in FIGS.
以上の構成により、以下のような効果が得られる。 With the above configuration, the following effects can be obtained.
３８０ｎｍ〜４４０ｎｍ、６３０ｎｍ〜６９０ｎｍ、７５０ｎｍ〜８３０ｎｍの波長域のレーザ光に対して、光量測定器ＦＭＰＤを一つ設置するだけでよく、部品点数が少なくなる。 It is only necessary to install one light quantity measuring device FMPD for the laser light in the wavelength regions of 380 nm to 440 nm, 630 nm to 690 nm, and 750 nm to 830 nm, and the number of parts is reduced.
また、三波長用反射ミラーなどの光学部材に積層する膜は、蒸着膜でも良く、貼り合わせが無く部品信頼性が向上する。 Further, the film laminated on the optical member such as the three-wavelength reflection mirror may be a vapor-deposited film, and there is no bonding and the component reliability is improved.
また、波面収差管理が容易になる。今まで、ＣＤ用にミラーを三波長用反射ミラーに貼付していたが、上記三波長用反射ミラーなどの光学部材により、裏にミラーを貼る必要がなくなり、製造工程がすくなくなる。分光平坦性が良好であり，ＬＤ温度特性に対して広帯域となり、温度特性、経時的変化などによりレーザ光の波長域が安定しなくなった場合においても対応することができ、製品の信頼性がさらに向上する。 In addition, wavefront aberration management becomes easy. Until now, mirrors for CDs have been affixed to three-wavelength reflecting mirrors, but optical members such as the above-mentioned three-wavelength reflecting mirrors eliminate the need to affix a mirror on the back, making the manufacturing process short. Spectral flatness is good, it has a wide band with respect to LD temperature characteristics, and even when the wavelength range of laser light becomes unstable due to temperature characteristics, changes over time, etc., it can cope with further reliability of the product improves.
本発明は、近紫外域、可視域、赤外域におけるそれぞれの広帯域において分光特性変化量を０．５％／ｎｍ以下の変化量に抑え、特にＰ偏光の光において高い反射率特性あるいは透過率測定を維持し、ＣＤ用、ＨＤＤＶＤ用、Ｂｌｕ−Ｒａｙ Ｄｉｓｃ用の光ディスクの情報を再生記録するとき、高品質高画質の音声や画像などの情報の再生記録を可能にする反射ミラーを提供することができる。 The present invention suppresses the spectral characteristic change amount to a change amount of 0.5% / nm or less in each of the broadband in the near ultraviolet region, the visible region, and the infrared region, and particularly has high reflectance property or transmittance measurement in the P-polarized light. To provide a reflection mirror that enables reproduction and recording of information such as high-quality, high-quality sound and images when reproducing and recording information on an optical disk for CD, HDDVD, and Blu-Ray Disc. it can.
また、波長４０５ｎｍ、波長６５０ｎｍ、波長７８０ｎｍそれぞれの光源の温度ドリフトに対応して、各波長範囲で透過率の変化がほとんどない光学部材を提供することができる。また、Ｐ偏光の一部の光を透過もしくは反射させることができ、３波長用の反射ミラーにも適用することができる。また、部品点数を削減することができる。 Further, it is possible to provide an optical member having almost no change in transmittance in each wavelength range corresponding to the temperature drift of the light sources having wavelengths of 405 nm, 650 nm, and 780 nm. Further, a part of the P-polarized light can be transmitted or reflected, and can also be applied to a reflection mirror for three wavelengths. In addition, the number of parts can be reduced.
１ 三波長用ミラー（ＴＭＲ）
４ 偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）
５ 集光レンズ（ＣＬ）
６ 反射ミラー（ＲＭＲ）
１０ 光量測定器（ＰＤ）
1 Three-wavelength mirror (TMR)
4 Polarizing beam splitter (PBS)
5 Condenser lens (CL)
6 Reflection mirror (RMR)
10 Light meter (PD)
Claims (1)
おおよそ６３０ｎｍ〜６９０ｎｍの波長帯域においてＤＶＤに用いられる波長の光の多くとも１０％以下の光を透過させるための波長帯域の分光特性変化量が０．５％／ｎｍ以下の変化量であり、
おおよそ７５０ｎｍ〜８３０ｎｍの波長帯域においてＣＤに用いられる波長の９０％以上９５％以下の光を透過させるための波長帯域の分光特性変化量が０．５％／ｎｍ以下の変化量である光学薄膜を有することを特徴とする光学部材。 In the wavelength band of approximately 380 nm to 440 nm, the spectral characteristic change amount in the wavelength band for transmitting at most 10% of the light of the wavelength used for the Blu-ray disc is a change amount of 0.5% / nm or less,
In the wavelength band of about 630 nm to 690 nm, the spectral characteristic change amount of the wavelength band for transmitting at most 10% of the light of the wavelength used for DVD is a change amount of 0.5% / nm or less,
An optical thin film having a change amount of a spectral characteristic in a wavelength band for transmitting light of 90% to 95% of a wavelength used for a CD in a wavelength range of approximately 750 nm to 830 nm is 0.5% / nm or less. An optical member comprising:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008090319A JP5086864B2 (en) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | Optical member and optical head device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008090319A JP5086864B2 (en) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | Optical member and optical head device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009245506A JP2009245506A (en) | 2009-10-22 |
| JP5086864B2 true JP5086864B2 (en) | 2012-11-28 |
Family
ID=41307228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008090319A Expired - Fee Related JP5086864B2 (en) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | Optical member and optical head device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5086864B2 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9909549B2 (en) | 2014-10-01 | 2018-03-06 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Ducted fuel injection |
| US10138855B2 (en) | 2015-07-01 | 2018-11-27 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Ducted fuel injection with ignition assist |
| US10161626B2 (en) | 2015-07-01 | 2018-12-25 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Ducted fuel injection |
| US10801395B1 (en) | 2016-11-29 | 2020-10-13 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Ducted fuel injection |
| US11713742B1 (en) | 2021-03-09 | 2023-08-01 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Ducted fuel injection system alignment device |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002117567A (en) * | 2000-10-04 | 2002-04-19 | Toyo Commun Equip Co Ltd | Optical pickup and method for controlling light quantity of laser beam |
| JP3993876B2 (en) * | 2004-02-17 | 2007-10-17 | 松下電器産業株式会社 | Optical disk drive |
| JP4496940B2 (en) * | 2004-11-29 | 2010-07-07 | コニカミノルタオプト株式会社 | Optical element and optical pickup device using the same |
| JP2007035114A (en) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Konica Minolta Opto Inc | Polarization separating element and optical pickup apparatus |
| JP2008004135A (en) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Epson Toyocom Corp | Leakage prism and optical pickup |
-
2008
- 2008-03-31 JP JP2008090319A patent/JP5086864B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9909549B2 (en) | 2014-10-01 | 2018-03-06 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Ducted fuel injection |
| US10138855B2 (en) | 2015-07-01 | 2018-11-27 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Ducted fuel injection with ignition assist |
| US10161626B2 (en) | 2015-07-01 | 2018-12-25 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Ducted fuel injection |
| US10801395B1 (en) | 2016-11-29 | 2020-10-13 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Ducted fuel injection |
| US11713742B1 (en) | 2021-03-09 | 2023-08-01 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Ducted fuel injection system alignment device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2009245506A (en) | 2009-10-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI410965B (en) | Optical pick-up apparatus | |
| JP5040952B2 (en) | Wave plate and optical pickup | |
| JP5086864B2 (en) | Optical member and optical head device | |
| US20100254008A1 (en) | Cemented optical element and cementing method | |
| JP2008257777A (en) | Optical component | |
| JP2009104732A (en) | Optical pickup lens | |
| JP4742630B2 (en) | Reflective optical element and optical pickup device | |
| WO2007142179A1 (en) | Quarter-wave plate, and optical pickup device | |
| JP2005129186A (en) | Optical pickup unit | |
| JP3757962B2 (en) | Optical pickup prism and optical pickup manufacturing method | |
| JPH10308031A (en) | Optical pickup device | |
| JP5382124B2 (en) | Optical pickup device | |
| JPH07121923A (en) | Optical-pickup head device | |
| JP2008262662A (en) | Quarter wavelength plate for optical pickup, and optical head device | |
| JP4211443B2 (en) | Prism manufacturing method and optical system manufacturing method | |
| JP2008152069A (en) | Antireflection film | |
| JP2007035114A (en) | Polarization separating element and optical pickup apparatus | |
| JPH10255317A (en) | Optical disk device | |
| JP2010231829A (en) | Non-polarizing beam splitter and optical pickup | |
| KR100403623B1 (en) | A compatible optical pick up | |
| JP2011181166A (en) | Optical pickup device | |
| JP5074312B2 (en) | Optical head device | |
| JP5339209B2 (en) | Optical pickup device and prism | |
| JP2002063730A (en) | Optical pickup device | |
| JPWO2009078291A1 (en) | Optical pickup device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110107 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120118 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120221 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120418 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120904 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120907 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150914 Year of fee payment: 3 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |