JP5084069B2 - 誘導加熱装置および誘導加熱方法 - Google Patents
誘導加熱装置および誘導加熱方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5084069B2 JP5084069B2 JP2012152412A JP2012152412A JP5084069B2 JP 5084069 B2 JP5084069 B2 JP 5084069B2 JP 2012152412 A JP2012152412 A JP 2012152412A JP 2012152412 A JP2012152412 A JP 2012152412A JP 5084069 B2 JP5084069 B2 JP 5084069B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating coil
- subordinate
- coil
- induction
- induction heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims description 268
- 230000006698 induction Effects 0.000 title claims description 91
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 23
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 23
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 23
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 21
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 26
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 6
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- General Induction Heating (AREA)
Description
熱処理装置10は、ウエハ54と水平配置されたサセプタ52を垂直方向に多段に積層配置したボート50と、サセプタ52を加熱する誘導加熱コイル(詳細を後述する主加熱コイル30、従属加熱コイル32,34、逆結合コイル36,38)、および誘導加熱コイルに電力を供給する電源部12とを基本として構成される。
と示すことができる(L1、L2は、一次巻線、二次巻線における自己インダクタンス)。なお、自己インダクタンスLは、数式5で求めることができる。
Claims (3)
- コアの端面から放出する磁束で誘導加熱する、コアを有する3組の誘導加熱コイルと、前記誘導加熱コイルのそれぞれに接続される3つのインバータとを有し、3組の前記誘導加熱コイルは、前記コアの端面を揃えて積層配置すると共に、その中段を主加熱コイル、上段を上段従属加熱コイル、下段を下段従属加熱コイルと定めて構成する誘導加熱装置であって、
前記上段従属加熱コイルのコアには上段従属加熱コイルと磁気結合する別のコイルを設け、
前記下段従属加熱コイルのコアには下段従属加熱コイルと磁気結合する別のコイルを設け、
前記3つのインバータのうち、第1のインバータと前記上段従属加熱コイルとを接続し、第3のインバータと前記下段従属加熱コイルとを接続し、第2のインバータに対して前記上段従属加熱コイルのコアに設けられた別のコイルと前記下段従属加熱コイルのコアに設けられた別のコイル、および前記主加熱コイルを直列に接続したことを特徴とする誘導加熱装置。 - コアの端面から放出する磁束で誘導加熱する、コアを有する3組の誘導加熱コイルと、前記誘導加熱コイルのそれぞれに接続される3つのインバータとを有し、3組の前記誘導加熱コイルは、前記コアの端面を揃えて積層配置すると共に、その中段を主加熱コイル、上段を上段従属加熱コイル、下段を下段従属加熱コイルと定めて構成する誘導加熱装置を用いた誘導加熱方法であって、
前記主加熱コイルと前記上段従属加熱コイル及び前記下段従属加熱コイルの結合インダクタンスに対して、逆結合インダクタンスを発生するように、
前記上段従属加熱コイル用コアに設けられた別のコイル及び前記下段従属加熱コイル用コアに設けられた別のコイルを接続し、前記インバータを運転することを特徴とする誘導加熱方法。 - 前記第1のインバータ、前記第2のインバータ、および前記第3のインバータからそれぞれの加熱コイルへ給電する電流を同期させることを特徴とする請求項2に記載の誘導加熱方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012152412A JP5084069B2 (ja) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | 誘導加熱装置および誘導加熱方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012152412A JP5084069B2 (ja) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | 誘導加熱装置および誘導加熱方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010178725A Division JP5063755B2 (ja) | 2010-08-09 | 2010-08-09 | 誘導加熱装置および誘導加熱方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012186186A JP2012186186A (ja) | 2012-09-27 |
JP5084069B2 true JP5084069B2 (ja) | 2012-11-28 |
Family
ID=47016035
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012152412A Active JP5084069B2 (ja) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | 誘導加熱装置および誘導加熱方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5084069B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5877920B1 (ja) * | 2015-04-28 | 2016-03-08 | 株式会社ワイエイシイデンコー | 急速昇降温熱処理炉 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03145122A (ja) * | 1989-10-31 | 1991-06-20 | Toshiba Corp | 半導体熱処理装置用温度制御装置 |
JP4262908B2 (ja) * | 2001-08-10 | 2009-05-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置及び熱処理方法 |
JP2003297544A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 誘導加熱装置 |
-
2012
- 2012-07-06 JP JP2012152412A patent/JP5084069B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012186186A (ja) | 2012-09-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5063755B2 (ja) | 誘導加熱装置および誘導加熱方法 | |
JP4676567B1 (ja) | 半導体基板熱処理装置 | |
JP4313775B2 (ja) | 誘導加熱方法および装置 | |
WO2012086268A1 (ja) | 誘導加熱装置および誘導加熱方法 | |
JP5084069B2 (ja) | 誘導加熱装置および誘導加熱方法 | |
KR101184133B1 (ko) | 유도가열 장치 | |
KR101196555B1 (ko) | 유도가열 장치 | |
KR101309385B1 (ko) | 유도가열장치 | |
JP5443228B2 (ja) | 半導体熱処理装置 | |
JP5616271B2 (ja) | 誘導加熱装置および磁極 | |
JP5005120B1 (ja) | 誘導加熱方法 | |
JP5628731B2 (ja) | 誘導加熱装置 | |
JP5297307B2 (ja) | 誘導加熱方法および誘導加熱装置 | |
JP5453072B2 (ja) | 半導体基板熱処理装置 | |
JP2012089775A (ja) | サセプタおよび半導体基板加熱装置 | |
JP2015035361A (ja) | 誘導加熱装置 | |
JP2015032382A (ja) | 誘導加熱装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120712 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20120712 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20120823 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120829 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120903 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5084069 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150914 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |