JP5083825B2 - 液体中プラズマ放電装置 - Google Patents
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Description
高井治、「ソルーションプラズマによるナノ微粒子合成と界面制御」、粉砕、ホソカワ粉体技術研究所、2007年12月28日、No.51、p.30−36
図1は本発明の実施の形態1に係るソリューションプラズマ放電装置21を示す断面図である。シリコンゴム製の基板2を、2つの放電電極1・1が貫通するように固定されている。2つの放電電極1・1の間隔は下部Aが狭く、上部Bに向かって広くなるように配置されている。さらに2つの放電電極1・1の上部Bは、基板2の下面に設けられた凹部3で囲まれた空間の内部にある。凹部3は耐熱性・絶縁性のあるセラミックで形成された被覆材4で覆われている。また2つの放電電極1・1のそれぞれは、シリコンゴムを貫通する部分をセラミックチューブ10・10で覆われている。基板2に固定されたこれら2つの放電電極1・1が容器11内の溶液(液体)12に浸されている。凹部3は溶液12の液面より下にある。
図2は本発明の実施の形態2に係るソリューションプラズマ放電装置22を示す断面図である。実施の形態1と同一の構成のものは同じ符号を付しその説明を省略する。凹部3は四角形状の断面をもち、放電電極1aは基板2に対して垂直に固定され凹部に挿入されている。一方、放電電極1bは基板2に対して水平に固定され凹部に挿入されている。放電電極1bは水平方向に位置を動かすことができ、放電電極1aとの距離を調整できるようになっている。放電電極1bは水平に容器11を貫通するように配置されているので、溶液が漏れないようにシールされている。
図3は本発明の実施の形態3に係るソリューションプラズマ放電装置23を示す断面図である。実施の形態1と同一の構成のものは同じ符号を付しその説明を省略する。凹部3は四角形状の断面をもち、2つの放電電極1c・1cは、容器11の下面を貫通し互いに平行になるよう凹部3に挿入されている。2つの放電電極1c・1cは容器11を貫通する部分を絶縁性のチューブ10で覆われている。そして2つの放電電極1c・1cはチューブ10から露出した部分(中間部D)でそれぞれ反対側に曲げられており、中間部Dの放電電極間の距離は小さく、凹部3で囲まれた内部にある上部Eの放電電極間の距離は大きくなっている。放電電極1c及びチューブ10が容器11を貫通している部分はシールされている。また2つの放電電極1c・1cの周囲を囲うように、上下が開口した円錐形状の整流部材5が配置されている。
図4は本発明の実施の形態4に係るソリューションプラズマ放電装置24を示す断面図である。実施の形態1と同一の構成のものは同じ符号を付しその説明を省略する。凹部3は四角形状の断面をもち、2つの放電電極1d・1dは、基板2に固定され、互いが平行になるように配置されている。
図5は本発明の実施の形態5に係るソリューションプラズマ放電装置25を示す断面図である。実施の形態1と同一の構成のものは同じ符号を付しその説明を省略する。凹部3は四角形状の断面をもち、2つの放電電極1e・1eは、基板2に固定され、互いが平行になるように配置されている。さらに容器11の底面に加熱装置6が設置されている。容器11内の、加熱装置6が配置された上部に、上下が開口した円錐形状の整流部材5が配置されている。
2 基板
3 凹部
4 被覆材
5 整流部材
6 加熱装置
10 チューブ
11 容器
12 溶液(液体)
A 下部
B 上部
C 領域
D 中間部
E 上部
F 領域
G 領域
H 領域
I 位置
21、22、23、24、25 ソリューションプラズマ放電装置
Claims (8)
- 液体中に配置した2つの放電電極間に電圧を印加し、放電させる液体中プラズマ放電装置において、
上記2つの放電電極の上部に配置された基板を備え、
上記基板はその下面に、上記2つの放電電極間の放電により発生した気泡を蓄える凹部を有し、
上記2つの放電電極のそれぞれの上部は、上記凹部に囲まれた気泡を蓄える空間内に配置されており、
上記2つの放電電極のそれぞれの下部は、上記凹部に囲まれた気泡を蓄える上記空間の外に配置されており、
上記2つの放電電極の放電電極間距離は、上記2つの放電電極の上記下部より上記上部において広く、上記凹部に向かうにつれ広がるようになっており、
上記空間の外の、上記2つの放電電極の上記下部の間においてプラズマ放電を発生させ、
気泡が蓄えられた上記空間内の、上記2つの放電電極の上記上部の間において上記プラズマ放電を維持することを特徴とする液体中プラズマ放電装置。 - 上記2つの放電電極は、それぞれ棒状の電極であり、鉛直方向から互いに反対側に傾いて配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液体中プラズマ放電装置。
- 上記液体を加熱し気泡を発生させるための加熱装置をさらに備えていることを特徴とする請求項1または2に記載の液体中プラズマ放電装置。
- 上記液体中で発生した上記気泡を上記凹部へ導く整流部材をさらに備えていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の液体中プラズマ放電装置。
- 上記凹部は、放電により発生する熱により上昇した上記気泡の温度に耐える材料で構成されることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の液体中プラズマ放電装置。
- 上記凹部は、絶縁性の材料で構成されることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の液体中プラズマ放電装置。
- 上記凹部は、セラミックで構成されることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の液体中プラズマ放電装置。
- 上記凹部は、シリコンゴムで構成されることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の液体中プラズマ放電装置。
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