JP5083597B2 - 半導体試験装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明に係る半導体試験装置の一実施形態である半導体試験装置100の構成例を示した説明図である。半導体試験装置100は、ウエハ上に形成された複数のDUTに対して動作確認等の試験を複数回行っていき、試験の進行に従って試験結果を順々に画面表示したマルチDUTテスト結果の各DUTに表示する装置である。
まず、マルチDUTテスト結果上で特定のDUTを強調表示する特定DUT強調機能について説明する。半導体試験装置100が、装置本体120やテストヘッド130によって、ウエハ上に形成された複数のDUTに対してプローブを接触させて試験信号の出力や信号の判定等を行っていき順々に複数回の試験を行っていく。情報処理部110の制御部111は、試験の進行に従って試験が行われたDUTから順々に、パスまたはフェイルと判定された試験結果等の情報を装置本体120から取得し、これをDUTの座標情報と関連付けて試験情報記憶部114に記憶させる。
次に、試験の進行に従って試験結果の履歴を順々に表示するパス/フェイル結果履歴表示機能について説明する。半導体試験装置100が、装置本体120やテストヘッド130によって、ウエハ上に形成された複数のDUTに対してプローブを接触させて試験信号の出力や信号の判定等を行っていき順々に複数回の試験を行っていく。情報処理部110の制御部111は、試験の進行に従って試験が行われたDUTから順々に、パスまたはフェイルと判定された試験結果等の情報を装置本体120から取得し、これをDUTの座標情報と関連付けて試験情報記憶部114に記憶させる。
上述の実施の形態において、特定DUT強調機能では、指定操作部113によりユーザが注目したい1つのDUTを指定して強調表示していたが、以下のようにして一定の範囲を指定し、この範囲内に含まれる複数のDUTを強調表示しても良い。
110 情報処理部
111 制御部
112 表示制御部
113 指定操作部
114 試験情報記憶部
115 画像表示部
120 装置本体
130 テストヘッド
Claims (1)
- ウエハ上に形成された複数の被試験対象を、相互に識別可能な画像として表示する画像表示手段と、
前記画像表示手段により表示される各被試験対象の画像上に、被試験対象に対して行われる試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果を表示する結果表示手段と、
前記画像表示手段により画像として表示された各被試験対象について、前記結果表示手段により表示された試験結果の履歴を試験の進行に従って順々に蓄積して表示する履歴表示手段とを備えたことを特徴とする半導体試験装置。
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JP2004031690A (ja) * | 2002-06-26 | 2004-01-29 | Agilent Technologies Japan Ltd | データ解析装置 |
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