JP5080750B2 - Microscope and microscope control program - Google Patents

Description

本発明は、顕微鏡のレボルバ回転時に発生する試料の位置ずれを補正する技術に関する。   The present invention relates to a technique for correcting a positional deviation of a sample that occurs when a revolver of a microscope is rotated.

複数の対物レンズを備える顕微鏡は、レボルバというレンズの切り替え装置を用いて対物レンズの倍率を変更できる顕微鏡である。一般に、このような顕微鏡では、レボルバを使用して対物レンズの倍率を変更する場合、物理的に対物レンズが変わることによる光軸のずれ等が発生する。例えば、低倍率レンズを用いて観察画像の中心に表示させた試料が、高倍率のレンズにレボルバを用いて変更すると、観察画像における試料の位置が、中心からずれてしまう。   A microscope having a plurality of objective lenses is a microscope that can change the magnification of the objective lens by using a lens switching device called a revolver. In general, in such a microscope, when the magnification of the objective lens is changed using a revolver, the optical axis shifts due to the physical change of the objective lens. For example, if a sample displayed at the center of an observation image using a low-power lens is changed to a high-power lens using a revolver, the position of the sample in the observation image is shifted from the center.

そして、このような試料の位置ずれに対して、対物レンズ毎に観察画像の画素ピッチを記憶し、その画素ピッチと観察画像とから、光軸のずれによる観察画像上に表示された試料の位置ずれを補正する技術が知られている（例えば、特許文献１）。
特許第３４２９５１５号公報 Then, the pixel pitch of the observation image is stored for each objective lens, and the position of the sample displayed on the observation image due to the deviation of the optical axis is stored from the pixel pitch and the observation image. A technique for correcting the shift is known (for example, Patent Document 1).
Japanese Patent No. 3429515

しかし、特許文献１に記載された技術を用いた場合、試料の位置を記憶するために観察画像全体を読み取り、読み取った観察画像全体に対する試料の位置を求めるため、位置ずれを計算して補正するまでの処理時間がかかる場合がある。従って、研究者等の顕微鏡の使用者は、補正処理が終わるまで、顕微鏡の画像を注視する体勢をとることを強いられることが多かった。   However, when the technique described in Patent Document 1 is used, the entire observation image is read in order to store the position of the sample, and the position deviation is calculated and corrected in order to obtain the position of the sample with respect to the entire read observation image. Processing time may be required. Therefore, researchers and other users of the microscope are often forced to take a posture to watch the microscope image until the correction process is completed.

また、観察画像に特徴的なパターンがひとつだけあるような場合には、対物レンズ毎に観察画像から光軸のずれを補正することは容易であるが、観察画像上に大量のパターンが存在し、しかもそのパターンがそれぞれ似通っているような場合には、目標とするパターンを特定することは非常に困難であった。   In addition, when there is only one characteristic pattern in the observation image, it is easy to correct the deviation of the optical axis from the observation image for each objective lens, but there are many patterns on the observation image. In addition, when the patterns are similar to each other, it is very difficult to specify the target pattern.

本発明は、上記実状に鑑みてなされたものであり、対物レンズを変更したときに発生する試料の位置ずれを速やかに補正する顕微鏡、及び顕微鏡の制御方法を提供することを目的とする。  The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a microscope and a microscope control method that quickly corrects a positional deviation of a sample that occurs when an objective lens is changed.

上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る顕微鏡は、
試料を載置するステージと複数の対物レンズを備え、該対物レンズを変更することにより、前記試料の観察倍率を変更できる顕微鏡であって、
第１の対物レンズを用いて、試料の画像を撮像する第１撮像手段と、
前記第１撮像手段により撮像された前記試料の画像中に、前記複数の対物レンズに含まれ、前記第１の対物レンズよりも倍率がｋ（ｋは１以上の実数）倍の第２の対物レンズの視野に相当するターゲット枠を含む複数のターゲット枠を設定するターゲット枠設定手段と、
前記複数のターゲット枠の中から前記第２の対物レンズの視野に相当する前記ターゲット枠が選択された後、当該選択されたターゲット枠の中心を視野の中心に移動させる移動手段と、当該選択されたターゲット枠内の画像の中心を視野の中心とした第１の画像を記憶する第１の画像記憶手段と、
前記第１の対物レンズが、前記第２の対物レンズに変更された後、前記第１の画像を前記ｋ倍に拡大して得られる前記試料の第２の画像を撮像する第２撮像手段と、
前記第２撮像手段により撮像された前記第２の画像を１／ｋ倍に縮小した第３の画像を生成する縮小手段と、
前記第１の画像記憶手段により記憶された前記第１の画像の位置と前記縮小手段により生成された前記第３の画像の位置との相関をとることにより、前記第１の画像の位置に対する前記第３の画像の位置を求め、この前記第３の画像の位置から、前記第１の画像の撮像位置に対する前記第２の画像の撮像位置の相対的なずれ量を求めるずれ量判別手段と、
前記ずれ量判別手段で判別されたずれ量をキャンセルするように、前記ステージと前記第２の対物レンズとの相対的位置を補正する位置補正手段と、
を備え、
前記ずれ量判別手段は、前記第１の画像の設定対象領域以外の領域をマスクするマスク手段と、
前記マスク手段によりマスクされた前記第１の画像の設定対象領域と前記第３の画像との相関をとることにより、前記第１の画像上の前記第３の画像の位置を求める位置判別手段と、
前記第３の画像の位置から、前記第１の画像の撮像位置に対する前記第２の画像の撮像位置の相対的なずれ量を求める相対ずれ量判別手段と、
を備え、
前記第１の画像の設定対象領域は、前記相対的なずれ量によって前記第１の画像から位置ずれした前記第３の画像の全体を含むように設定され、
前記ステージに対する前記第２の対物レンズの相対的位置が補正された当該第２の対物レンズの位置において前記第２の画像の撮像が行なわれるようにしたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a microscope according to the first aspect of the present invention provides:
A microscope comprising a stage on which a sample is placed and a plurality of objective lenses, and by changing the objective lens, the microscope can change the observation magnification of the sample,
First imaging means for capturing an image of the sample using the first objective lens;
A second objective that is included in the plurality of objective lenses and has a magnification k (k is a real number greater than or equal to 1) times that of the first objective lens in the image of the sample imaged by the first imaging means. Target frame setting means for setting a plurality of target frames including a target frame corresponding to the field of view of the lens;
After the target frame corresponding to the field of view of the second objective lens is selected from the plurality of target frames, the moving means for moving the center of the selected target frame to the center of the field of view is selected. First image storage means for storing a first image with the center of the image in the target frame as the center of the visual field;
Second imaging means for capturing a second image of the sample obtained by enlarging the first image by k times after the first objective lens is changed to the second objective lens; ,
Reduction means for generating a third image obtained by reducing the second image taken by the second imaging means by 1 / k times;
By correlating the position of the first image stored by the first image storage means and the position of the third image generated by the reduction means, the position relative to the position of the first image A deviation amount determining means for obtaining a position of the third image and obtaining a relative deviation amount of the imaging position of the second image with respect to the imaging position of the first image from the position of the third image;
Position correction means for correcting the relative position between the stage and the second objective lens so as to cancel the shift amount determined by the shift amount determination means;
With
The deviation amount determination means includes a mask means for masking an area other than the setting target area of the first image;
Position determining means for obtaining a position of the third image on the first image by correlating the setting target area of the first image masked by the masking means with the third image; ,
A relative deviation amount determining means for obtaining a relative deviation amount of the imaging position of the second image with respect to the imaging position of the first image from the position of the third image;
With
The setting target area of the first image is set so as to include the entire third image that is displaced from the first image by the relative shift amount.
The second image is picked up at the position of the second objective lens in which the relative position of the second objective lens with respect to the stage is corrected.

さらに、前記ずれ量判別手段は、前記第１の画像の中心と前記第３の画像の中心とのｘ−ｙ座標上のずれを判別し、
前記位置補正手段は、前記ｘ−ｙ座標上のずれをキャンセルするように、前記ステージと前記第２の対物レンズとの相対的位置をｘ座標軸方向及びｙ座標軸方向に補正することを特徴としてもよい。 Further, the shift amount determination means determines a shift on the xy coordinate between the center of the first image and the center of the third image,
The position correction unit may correct the relative position between the stage and the second objective lens in the x-coordinate axis direction and the y-coordinate axis direction so as to cancel the shift on the xy coordinate. Good.

また、前記ステージはｘ−ｙステージから構成され、
前記第１と第２の対物レンズはレボルバーに装着されており、
前記ずれ量判別手段は、前記第１の画像設定手段で前記試料の第１の画像が設定された後に、前記レボルバーが回転され、前記第２の対物レンズにより同一の試料について前記第２の画像を得られたときに、前記第１の画像の画像中心に対する前記第２の画像の画像中心のｘ−ｙ座標上でのずれ量を求め、
前記位置補正手段は、前記第１の画像の画像中心に対応する位置が、前記レボルバーの回転後に前記第２の対物レンズを介して撮像された前記第２の画像の画像中心となるように、ｘ−ｙステージを制御することを特徴としてもよい。 The stage is composed of an xy stage,
The first and second objective lenses are mounted on a revolver;
After the first image of the sample is set by the first image setting unit , the deviation amount determination unit rotates the revolver, and the second objective lens causes the second image to be the second image. Is obtained, a shift amount on the xy coordinates of the image center of the second image with respect to the image center of the first image is obtained,
The position correction unit is configured such that the position corresponding to the image center of the first image is the image center of the second image captured through the second objective lens after the revolver is rotated. It may be characterized by controlling the xy stage.

上記目的を達成するため、本発明の第２の観点に係る顕微鏡の制御プログラムは、
コンピュータに、
第１撮像手段により、第１の対物レンズを用いて試料の画像を撮像し、
前記第１撮像手段により撮像された前記試料の画像中に、前記複数の対物レンズに含まれ、前記第１の対物レンズよりも倍率がｋ（ｋは１以上の実数）倍の第２の対物レンズの視野に相当するターゲット枠を含む複数のターゲット枠をターゲット枠設定手段により設定し、
前記複数のターゲット枠の中から前記第２の対物レンズの視野に相当する前記ターゲット枠が選択された後、
移動手段により、前記選択されたターゲット枠の中心を視野の中心に移動させ、第１の画像記憶手段により、前記選択されたターゲット枠内の画像の中心を視野の中心とした第１の画像を記憶し、
前記第１の対物レンズが、前記第２の対物レンズに変更された後、第２撮像手段により、前記第１の画像を前記ｋ倍に拡大して得られる前記試料の第２の画像を撮像し、
前記第２撮像手段により撮像された前記第２の画像を、縮小手段により、１／ｋ倍に縮小した第３の画像を生成し、
前記第１の画像記憶手段により記憶された前記第１の画像の位置と前記縮小手段により生成された前記第３の画像の位置との相関をとることにより、前記第１の画像の位置に対する前記第３の画像の位置を求め、この前記第３の画像の位置から、前記第１の画像の撮像位置に対する前記第２の画像の撮像位置の相対的なずれ量を、ずれ量判別手段により求め、
前記ずれ量判別手段は、前記第１の画像の設定対象領域以外の領域をマスクするマスク手段によりマスクされた前記第１の画像の設定対象領域と前記第３の画像との相関をとることにより、前記第１の画像上の前記第３の画像の位置を求める位置判別手段と、
前記第３の画像の位置から、前記第１の画像の撮像位置に対する前記第２の画像の撮像位置の相対的なずれ量を求める相対ずれ量判別手段と、
を備え、
前記第１の画像の設定対象領域は、前記相対的なずれ量によって前記第１の画像から位置ずれした前記第３の画像の全体を含むように設定され、
前記ずれ量判別手段で判別されたずれ量をキャンセルするように、前記ステージと前記第２の対物レンズとの相対的位置を補正する、
動作を実行させることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a microscope control program according to the second aspect of the present invention provides:
On the computer,
The first imaging means captures an image of the sample using the first objective lens,
A second objective that is included in the plurality of objective lenses and has a magnification k (k is a real number greater than or equal to 1) times that of the first objective lens in the image of the sample imaged by the first imaging means. A plurality of target frames including a target frame corresponding to the field of view of the lens are set by the target frame setting means,
After the target frame corresponding to the field of view of the second objective lens is selected from the plurality of target frames,
The moving means moves the center of the selected target frame to the center of the field of view, and the first image storing means moves the first image with the center of the image in the selected target frame as the center of the field of view. Remember,
After the first objective lens is changed to the second objective lens, a second image of the sample obtained by enlarging the first image by k times is captured by a second imaging unit. And
Generating a third image obtained by reducing the second image picked up by the second image pickup means by a reduction means to 1 / k times;
By correlating the position of the first image stored by the first image storage means and the position of the third image generated by the reduction means, the position relative to the position of the first image A position of the third image is obtained, and a relative deviation amount of the imaging position of the second image with respect to the imaging position of the first image is obtained from the position of the third image by a deviation amount determining means. ,
The deviation amount determining means obtains a correlation between the setting target area of the first image masked by the masking means for masking an area other than the setting target area of the first image and the third image. Position determining means for determining the position of the third image on the first image;
A relative deviation amount determining means for obtaining a relative deviation amount of the imaging position of the second image with respect to the imaging position of the first image from the position of the third image;
With
The setting target area of the first image is set so as to include the entire third image that is displaced from the first image by the relative shift amount.
Correcting the relative position between the stage and the second objective lens so as to cancel the shift amount determined by the shift amount determination means;
The operation is executed.

本発明によれば、観察画像に対してマスクをかけることにより、大量のパターンが存在し、目標とするパターンを特定するのが困難な観察画像であっても、容易にパターンを特定することが可能となる。またマスクされた領域内で画像処理をすればよいので、画像処理に対する処理時間を短縮できるので、対物レンズを変更したことによる観察画像上の試料の位置ずれを速やかに補正することが可能となり、試料を観察する動作の負荷が軽減される。  According to the present invention, by applying a mask to an observation image, it is possible to easily specify a pattern even if the observation image has a large amount of patterns and it is difficult to specify a target pattern. It becomes possible. Moreover, since image processing only needs to be performed within the masked region, the processing time for image processing can be shortened, so that it is possible to quickly correct the positional deviation of the sample on the observation image by changing the objective lens, The load of the operation of observing the sample is reduced.

以下、この発明の実施の形態に係る顕微鏡について説明する。  Hereinafter, a microscope according to an embodiment of the present invention will be described.

本発明の実施の形態に係る顕微鏡１００は、図１に示すように、レボルバ１０と、対物レンズ２０と、接眼レンズ２５と、試料ステージ３０と、制御装置４０と、記憶装置５０と、入力装置６０と、表示装置７０と、撮像装置８０とから構成される。  As shown in FIG. 1, a microscope 100 according to an embodiment of the present invention includes a revolver 10, an objective lens 20, an eyepiece lens 25, a sample stage 30, a control device 40, a storage device 50, and an input device. 60, a display device 70, and an imaging device 80.

レボルバ１０は、後述する複数の対物レンズ２０を固定するための装置である。検者は、このレボルバ１０を回転させることにより、レボルバ１０に固定された対物レンズ２０を選択して、所望の倍率の対物レンズ２０を用いて試料の観察を行う。   The revolver 10 is a device for fixing a plurality of objective lenses 20 to be described later. The examiner rotates the revolver 10 to select the objective lens 20 fixed to the revolver 10 and observes the sample using the objective lens 20 having a desired magnification.

対物レンズ２０は、凸レンズと凹レンズを組み合わせたアクロマートレンズ等により構成されるレンズであり、検者は、この対物レンズ２０、および後述する接眼レンズ２５を介して試料を観察する。   The objective lens 20 is a lens configured by an achromatic lens or the like that is a combination of a convex lens and a concave lens, and the examiner observes the sample through the objective lens 20 and an eyepiece lens 25 described later.

接眼レンズ２５は、検者が直接眼にあてて対物レンズ２０を介して試料を観察するためのレンズである。   The eyepiece lens 25 is a lens that the examiner directly applies to the eye and observes the sample through the objective lens 20.

試料ステージ３０は、Ｘ軸ステージ３１と、Ｙ軸ステージ３２と、試料搭載台座３３とから構成される、試料を対物レンズ２０で観察するための部品である。検者は、備え付けの電動スイッチやレバー等を用いて、Ｘ軸ステージ３１、またはＹ軸ステージ３２を移動させて、試料を観察画像の所望の位置に表示させることができる。   The sample stage 30 is a component for observing a sample with the objective lens 20, which is composed of an X-axis stage 31, a Y-axis stage 32, and a sample mounting base 33. The examiner can move the X-axis stage 31 or the Y-axis stage 32 by using a built-in electric switch, lever, or the like to display the sample at a desired position in the observation image.

制御装置４０は、例えば、CPU（Central Processing Unit：中央演算処理装置）やワークエリアとなるRAM（Random Access Memory）などから構成され、後述する各種制御動作を実行する。例えば、対物レンズ２０が変更されたことによる試料の位置ずれをパターンマッチングにより補正する計算をする。   The control device 40 includes, for example, a CPU (Central Processing Unit) and a RAM (Random Access Memory) serving as a work area, and executes various control operations described later. For example, the calculation is performed to correct the positional deviation of the sample due to the change of the objective lens 20 by pattern matching.

記憶装置５０は、ハードディスク装置などの外部記憶装置から構成され、制御装置４０が計算した試料の位置ずれの補正計算結果や、表示装置７０に表示された観察画像等を記憶する装置である。   The storage device 50 is composed of an external storage device such as a hard disk device, and is a device for storing the calculation result of the correction of the positional deviation of the sample calculated by the control device 40, the observation image displayed on the display device 70, and the like.

入力装置６０は、電動スイッチやレバー等から構成され、試料ステージ３０をＸＹ平面上に移動させたり、観察を開始する合図を制御装置４０に送る。   The input device 60 includes an electric switch, a lever, and the like, and sends a signal to the control device 40 to move the sample stage 30 on the XY plane and to start observation.

表示装置７０は、ディスプレイ等から構成され、対物レンズ２０を介して後述する撮像装置８０が撮像した観察画像を表示する装置である。   The display device 70 is a device that includes a display or the like, and displays an observation image captured by an imaging device 80 described later via the objective lens 20.

撮像装置８０は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ等から構成され、対物レンズ２０を介して試料搭載台座３３に置かれた試料を撮像する装置である。   The imaging device 80 is configured by a CCD (Charge Coupled Device) camera or the like, and is a device that images a sample placed on the sample mounting base 33 via the objective lens 20.

次に、本実施形態の顕微鏡１００の位置ずれ補正処理の動作について、図１０〜図１１を参照して説明する。この位置ずれ補正処理は、画像記憶処理と、位置補正処理とから構成される。   Next, the operation of the misalignment correction process of the microscope 100 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. This misalignment correction process includes an image storage process and a position correction process.

まず、検者は試料を試料搭載台座３３に載せる。そして、顕微鏡１００の電源をＯＮにすると撮像装置８０で試料の撮像を開始して、画像記憶処理が始まる。   First, the examiner places the sample on the sample mounting base 33. Then, when the power of the microscope 100 is turned on, the imaging device 80 starts imaging the sample, and image storage processing starts.

この画像記憶処理では、制御装置４０は、まず撮像装置８０に撮像指示を出し、この指示にもとづいて、撮像装置８０は試料を撮像する。そして、その画像を表示装置７０に表示する（ステップＳ１０）。   In this image storage process, the control device 40 first issues an imaging instruction to the imaging device 80, and the imaging device 80 images the sample based on this instruction. Then, the image is displayed on the display device 70 (step S10).

そして制御装置４０は、ステップＳ１０で撮像された画像から試料を検知して、その重心を中心として、図２（ａ）に示すようなターゲット枠９０および９１を設定し、その画像を表示装置７０に表示する（ステップＳ１１）。なお、ターゲット枠の大きさは、現在のものより高い倍率の対物レンズ２０を選択した時に、その対物レンズ２０によって画像を拡大した際に得られる視野に相当する。従って複数ある対物レンズ２０がそれぞれ選択された場合に表示されるターゲット枠は各々の倍率によって大きさが異なる。   Then, the control device 40 detects the sample from the image captured in step S10, sets the target frames 90 and 91 as shown in FIG. 2A around the center of gravity, and displays the image on the display device 70. (Step S11). Note that the size of the target frame corresponds to the field of view obtained when the objective lens 20 having a higher magnification than the current one is selected and the image is enlarged by the objective lens 20. Accordingly, the size of the target frame displayed when a plurality of objective lenses 20 are selected differs depending on the magnification.

次に、検者はステップＳ１１で撮像したターゲット枠９０および９１から所望のターゲット枠９０を入力装置６０を介して選択し、制御装置４０の制御の下でＸ軸ステージ３１、Ｙ軸ステージ３２を駆動して、図２（ｂ）に示すように、選択したターゲット枠９０の中心を自動的に視野の中心に移動させる。その結果、選択した試料Ｐａが視野の中心に設定される。画像１には観察対象である試料Ｐａの他にも大小様々なパターンが存在する。図２においては試料Ｐａの他にも例えばパターンＰｂやパターンＰｃといった２つのパターンが見えているが、ターゲット枠９０の中心が視野の中心に移動した結果、パターンＰｂはターゲット枠９０の外に位置し、パターンＰｃは一部がターゲット枠９０内に位置している。   Next, the examiner selects a desired target frame 90 from the target frames 90 and 91 captured in step S11 via the input device 60, and selects the X-axis stage 31 and the Y-axis stage 32 under the control of the control device 40. When driven, as shown in FIG. 2B, the center of the selected target frame 90 is automatically moved to the center of the visual field. As a result, the selected sample Pa is set at the center of the visual field. The image 1 includes various patterns other than the sample Pa to be observed. In FIG. 2, in addition to the sample Pa, two patterns such as the pattern Pb and the pattern Pc are visible, but as a result of the center of the target frame 90 moving to the center of the field of view, the pattern Pb is positioned outside the target frame 90. However, a part of the pattern Pc is located in the target frame 90.

その後制御装置４０は、中央に位置されたターゲット枠９０の各頂点座標を記憶する。また、その画像を画像１として記憶する（ステップＳ１２）。   Thereafter, the control device 40 stores the vertex coordinates of the target frame 90 positioned at the center. The image is stored as image 1 (step S12).

次に、検者は、レボルバ１０を回転させて、画像１を拡大するために、高倍率の対物レンズ２０を設定する。制御装置４０は、対物レンズ２０が変更されたことを検出すると、位置補正処理を開始する。   Next, the examiner rotates the revolver 10 to set the high-magnification objective lens 20 in order to enlarge the image 1. When detecting that the objective lens 20 has been changed, the control device 40 starts position correction processing.

位置補正処理では、制御装置４０は、まず撮像装置８０に撮像指示を出し、この指示にもとづいて、撮像装置８０は試料を撮像する。そして、図３に示すように、その画像を表示装置７０に表示し、ＲＡＭにその画像を画像２として記憶し、さらに図３に示すようなターゲット枠９０ａの座標（ｘ１,ｙ１）〜（ｘ４,ｙ４）を記憶する（ステップＳ２０）。   In the position correction process, the control device 40 first issues an imaging instruction to the imaging device 80, and the imaging device 80 images the sample based on this instruction. Then, as shown in FIG. 3, the image is displayed on the display device 70, the image is stored in the RAM as the image 2, and the coordinates (x1, y1) to (x4) of the target frame 90a as shown in FIG. , y4) are stored (step S20).

このとき、レボルバ１０を回転させることにより、ステップＳ１０で撮像した画像1と画像２との関係は、図４に示すようにΔｙだけ位置ずれが生じた状態となっている。その結果、画像１においてはターゲット枠９０内にはなかったパターンＰｂが視野内に大部分が位置し、パターンＰｃもほぼ全体が視野内に位置するようになっている。   At this time, by rotating the revolver 10, the relationship between the image 1 and the image 2 captured in step S10 is in a state in which a positional deviation has occurred by Δy as shown in FIG. As a result, in the image 1, most of the pattern Pb that was not in the target frame 90 is located in the field of view, and almost the entire pattern Pc is also located in the field of view.

続いて、ステップＳ１２で記憶した画像1を呼出し、その画像１に図５に示すように、周知の技術によりマスキングをする（ステップＳ２１）。具体的には、ステップＳ１２で記憶した画像１のターゲット枠９０の頂点座標で囲まれる矩形に対して、あらかじめ記憶された余白（ΔＸ、ΔＹ）を含めた頂点（Ｘ１＋ΔＸ、Ｙ１＋ΔＹ）〜（Ｘ４−ΔＸ、Ｙ４＋ΔＹ）で囲まれる矩形以外の領域をマスキングし、この枠をマスキング枠９０Ａとする。余白を設定するのは、上述したように画像１と画像２との関係がΔｙだけ位置ずれした結果、パターンＰｂの一部や、パターンＰｃの大部分が存在するようになった画像２と画像１の相関を取らなければならないために、画像１のターゲット枠９０をパターンＰｂとパターンＰｃが含まれる領域まで拡大するためである。余白は、レボルバの位置決め精度や、拡大率によって適正な値が異なる。従って複数ある対物レンズ２０それぞれにおいて異なる値になる場合がほとんどである。
このようにすることで、現在のものより高い倍率の対物レンズ２０を選択したときに画像がずれても正しく相関をとることができるようになる。極端な場合、位置ずれによって画像１の試料Ｐａが画像２上から外れてしまっても画像１にマスクが設定された領域９０ＡにパターンＰｂとパターンＰｃが含まれ、画像２にパターンＰｂとパターンＰｃが含まれていれば、パターンＰｂとパターンＰｃを頼りに位置ずれ補正を行なうことも可能である。なお、ΔＸとΔＹは同じ値であってもよいし、互いに異なる値であってもよい。 Subsequently, the image 1 stored in step S12 is called, and the image 1 is masked by a known technique as shown in FIG. 5 (step S21). Specifically, the vertices (X1 + ΔX, Y1 + ΔY) to (X4−) including the margins (ΔX, ΔY) stored in advance with respect to the rectangle surrounded by the vertex coordinates of the target frame 90 of the image 1 stored in step S12. An area other than the rectangle surrounded by (ΔX, Y4 + ΔY) is masked, and this frame is defined as a masking frame 90A. As described above, the margin is set because the relationship between the image 1 and the image 2 is shifted by Δy, and as a result, a part of the pattern Pb and most of the pattern Pc are present. This is because the target frame 90 of the image 1 is expanded to the area including the pattern Pb and the pattern Pc because the correlation of 1 must be obtained. The appropriate value of the margin varies depending on the positioning accuracy of the revolver and the enlargement ratio. Therefore, in most cases, the value becomes different in each of the plurality of objective lenses 20.
By doing so, it becomes possible to correctly correlate even if the image is shifted when the objective lens 20 having a higher magnification than the current one is selected. In an extreme case, even if the sample Pa of the image 1 deviates from the top of the image 2 due to the displacement, the pattern 90 is included in the area 90A where the mask is set in the image 1, and the pattern Pb and the pattern Pc are included in the image 2. Is included, it is also possible to perform misalignment correction using the patterns Pb and Pc. Note that ΔX and ΔY may be the same value or different values.

次に、制御装置４０は、ステップＳ２０で撮像した画像２を制御装置４０のＲＡＭから呼び出す（ステップＳ２２）。ここで撮像した画像２を呼び出すのは、後述するマッチング処理で用いるためである。   Next, the control device 40 calls up the image 2 captured in step S20 from the RAM of the control device 40 (step S22). The reason why the captured image 2 is called here is to use it in matching processing described later.

そして、制御装置４０はステップＳ２０で記憶したターゲット枠９０の座標を、ステップＳ２０で記憶したマッチング処理をするための座標に合わせることにより、マッチング開始位置を設定する（ステップＳ２３）。具体的には、ステップＳ２０で記憶した座標（Ｘ４−ΔＸ,Ｙ４＋ΔＹ）に、座標（ｘ４、ｙ４）を座標変換等を行ってマッチング開始位置を求める。   And the control apparatus 40 sets a matching start position by matching the coordinate of the target frame 90 memorize | stored at step S20 with the coordinate for the matching process memorize | stored at step S20 (step S23). Specifically, the coordinate (x4, y4) is subjected to coordinate transformation or the like on the coordinates (X4−ΔX, Y4 + ΔY) stored in step S20 to obtain a matching start position.

続いて制御装置４０は、ステップＳ１０で撮像した画像１と画像２の相関をとるために画素数等を用いて周知の方法により、ステップＳ２０で撮像してＲＡＭに記憶した画像２を縮小し画像３を得る。そして、制御装置４０は、画像３を１画素ずつＸＹ方向にずらす毎に画像１と画像３の相関をとるマッチング処理を行う（ステップＳ２４）。マッチング処理を開始するときの画像を図６に示す。なお、必要とされる位置ずれ量の補正精度によっては、必ずしも１画素ずつ移動する必要は無いし、マッチング処理も移動毎に行なわなくとも良い場合がある。   Subsequently, the control device 40 reduces the image 2 captured in step S20 and stored in the RAM by a known method using the number of pixels or the like in order to correlate the image 1 and the image 2 captured in step S10. Get 3. Then, the control device 40 performs a matching process that correlates the image 1 and the image 3 every time the image 3 is shifted pixel by pixel in the XY direction (step S24). An image when the matching process is started is shown in FIG. Depending on the required correction accuracy of the positional deviation amount, it is not always necessary to move one pixel at a time, and the matching process may not be performed for each movement.

制御装置４０は、画像１の（Ｘ４−ΔＸ、Ｙ４＋ΔＹ）〜（Ｘ２+ΔＸ、Ｙ２−ΔＹ）で囲まれる矩形領域内で画像３を最小１画素ずつＸＹ方向に移動させる（ステップＳ２６）毎にマッチング処理を行なう（ステップＳ２４）。マッチング処理は図６に示すように、マスキング枠９０Ａの座標（Ｘ４−ΔＸ、Ｙ４＋ΔＹ）と画像３の（ｘ４、ｙ４）を合わせた状態から行い、マスキング枠９０Ａと画像３のターゲット枠９０ａのそれぞれ対応する座標、すなわち（Ｘ１＋ΔＸ、Ｙ１＋ΔＹ）と（ｘ１、ｙ１）、（Ｘ２＋ΔＸ、Ｙ２−ΔＹ）と（ｘ２、ｙ２）、（Ｘ３―ΔＸ、Ｙ３―ΔＹ）と（ｘ３、ｙ３）がそれぞれ一致するように移動して、マスキング枠９０Ａ内の全域において画像３との相関を取る。本実施例においては画像３のターゲット枠９０ａの座標（ｘ３、ｙ３）が、マスキング枠９０Ａの座標（Ｘ３−ΔＸ、Ｙ３−ΔＹ）に到達したところでマッチング処理を完了させる。   The control device 40 moves the image 3 in the XY direction by a minimum of one pixel within the rectangular region surrounded by (X4−ΔX, Y4 + ΔY) to (X2 + ΔX, Y2−ΔY) of the image 1 (step S26). A matching process is performed (step S24). As shown in FIG. 6, the matching process is performed from the state where the coordinates (X4−ΔX, Y4 + ΔY) of the masking frame 90A and (x4, y4) of the image 3 are matched, and each of the masking frame 90A and the target frame 90a of the image 3 is performed. Corresponding coordinates, that is, (X1 + ΔX, Y1 + ΔY) and (x1, y1), (X2 + ΔX, Y2−ΔY), (x2, y2), (X3−ΔX, Y3−ΔY), and (x3, y3) respectively match. To obtain a correlation with the image 3 in the entire area within the masking frame 90A. In this embodiment, the matching process is completed when the coordinates (x3, y3) of the target frame 90a of the image 3 reach the coordinates (X3-ΔX, Y3-ΔY) of the masking frame 90A.

ＸＹ方向に画像３を移動させるにあたっては、マスキング枠９０Ａ内でＸ方向に往復動しながらマスキング枠９０Ａの−Ｙ方向に移動して行ってもよいし、同様にＹ方向に往復動しながら＋Ｘ方向に移動して行ってもよい。また、マッチング処理をスタートする位置は上述した位置でなくともよく、マスキング枠９０Ａと画像３のターゲット枠９０ａのそれぞれ対応する座標、すなわち（Ｘ１＋ΔＸ、Ｙ１＋ΔＹ）と（ｘ１、ｙ１）、（Ｘ２＋ΔＸ、Ｙ２−ΔＹ）と（ｘ２、ｙ２）、（Ｘ３―ΔＸ、Ｙ３―ΔＹ）と（ｘ３、ｙ３）のうち任意の場所から選んでよい。その場合のマッチング処理が終了する場所はマッチング処理スタート位置に応じてマスキング枠９０Ａ内の全域において画像３との相関が取れさえすればどこで終わってもよい。   When moving the image 3 in the XY direction, the image 3 may be moved in the -Y direction of the masking frame 90A while reciprocating in the X direction within the masking frame 90A. You may move in the direction. The position where the matching process is started may not be the above-described position, and the coordinates corresponding to the masking frame 90A and the target frame 90a of the image 3, that is, (X1 + ΔX, Y1 + ΔY) and (x1, y1), (X2 + ΔX, Y2). -ΔY), (x2, y2), (X3-ΔX, Y3-ΔY), and (x3, y3) may be selected from any location. The place where the matching process ends in that case may end where the correlation with the image 3 is obtained in the entire area within the masking frame 90A according to the matching process start position.

制御装置４０は、縮小した画像の座標（ｘ３、ｙ３）が、マスキング枠９０Ａの座標（Ｘ３−ΔＸ、Ｙ３−ΔＹ）に到達したと判断したとき（ステップＳ２５；Ｙｅｓ）は、ステップＳ３４でマッチング処理した画像の中から、図７に示すような最もマッチング度の高い画像の座標を特定する（ステップＳ２７）。マッチング処理は、複数の画素毎に移動して画像１と画像３の相関を取り、マッチング度の高い領域を割り出してから、その領域内において細かく移動して画像１と画像３の相関を取り、最終的に最もマッチング度の高い画像の座標を特定するようにしても良い、このようにすればマッチング処理のさらなる高速化が可能である。   When the control device 40 determines that the coordinates (x3, y3) of the reduced image have reached the coordinates (X3-ΔX, Y3-ΔY) of the masking frame 90A (step S25; Yes), matching is performed in step S34. Among the processed images, the coordinates of the image with the highest matching degree as shown in FIG. 7 are specified (step S27). The matching process moves for each of a plurality of pixels to obtain the correlation between the image 1 and the image 3, determines a region having a high degree of matching, and then moves finely within the region to obtain the correlation between the image 1 and the image 3. Finally, the coordinates of the image with the highest matching degree may be specified. In this way, the matching process can be further speeded up.

そして、制御装置４０は、ステップＳ２７で特定した座標から、原点を求め、その移動量を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向に分けて算出する（ステップＳ２８）。   And the control apparatus 40 calculates | requires an origin from the coordinate specified by step S27, and calculates the moving amount | division separately in a X-axis direction and a Y-axis direction (step S28).

その後、制御装置４０は、図１に示すＸ軸ステージ３１をステップＳ２８で求めたＸ軸方向の原点移動量だけ移動させる（ステップＳ２９）。さらに、制御装置４０は、Ｙ軸ステージ３２をＹ軸方向の原点移動量だけ移動させる（ステップＳ３０）。   Thereafter, the control device 40 moves the X-axis stage 31 shown in FIG. 1 by the origin movement amount in the X-axis direction obtained in step S28 (step S29). Further, the control device 40 moves the Y-axis stage 32 by the origin movement amount in the Y-axis direction (step S30).

そして、このような位置ずれ補正処理を行って試料ステージ３０を移動させることにより、対物レンズ２０の倍率を高倍率に変更し、試料の位置ずれが生じたときでも、速やかにその位置ずれを補正することができる。   Then, by performing such misalignment correction processing and moving the sample stage 30, the magnification of the objective lens 20 is changed to a high magnification, and even when the misalignment of the sample occurs, the misalignment is quickly corrected. can do.

上記実施の形態は一例であり、本発明はこれに限られない。すなわち、種々の応用が可能であり、あらゆる実施の形態が本発明の範囲に含まれる。   The above embodiment is an example, and the present invention is not limited to this. That is, various applications are possible, and all embodiments are included in the scope of the present invention.

例えば、上記実施例では、対物レンズ２０を変更したときにも、試料が表示装置７０が表示した画像に全て収まっている例を示しているが、例えば対物レンズ２０の倍率を変更したときに、図８に示すような状態となっている場合でも、その画像を縮小して、図９に示すようにマッチング処理を開始することにより、試料が一部分しか表示装置７０に表示されていない場合であっても位置ずれを補正することができる。   For example, in the above embodiment, even when the objective lens 20 is changed, an example is shown in which the sample is entirely contained in the image displayed by the display device 70. For example, when the magnification of the objective lens 20 is changed, Even in the state shown in FIG. 8, the image is reduced and the matching process is started as shown in FIG. 9, so that only a part of the sample is displayed on the display device 70. However, the positional deviation can be corrected.

尚、顕微鏡１００の構成や動作等については、同様の機能構成が得られるならば、任意に変更可能である。例えば、上記実施形態では、制御装置４０、記憶装置５０等が顕微鏡本体と一体となった形態としているが、リモートコントローラ等を用いて、顕微鏡の試料ステージ３０等を遠隔操作して、対物レンズ２０を変更したときに用いるターゲット枠９０の設定を行ってもよい。   Note that the configuration and operation of the microscope 100 can be arbitrarily changed as long as the same functional configuration can be obtained. For example, in the above embodiment, the control device 40, the storage device 50, and the like are integrated with the microscope main body. However, the objective lens 20 is remotely operated by using a remote controller or the like to remotely operate the sample stage 30 of the microscope. You may set the target frame 90 used when changing.

本発明の実施の形態に係る顕微鏡を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the microscope which concerns on embodiment of this invention. 図１に示す撮像装置が試料ステージに置かれた試料を撮像したイメージ図である。It is the image figure which imaged the sample which the imaging device shown in FIG. 1 placed on the sample stage. 図１に示すレボルバを操作して高倍率の対物レンズを用いて撮像装置が試料ステージに置かれた試料を撮像したイメージ図である。It is the image figure which operated the revolver shown in FIG. 1, and imaged the sample in which the imaging device was set | placed on the sample stage using the high magnification objective lens. 図３に示す高倍率の対物レンズの画像と、低倍率の画像との位置ずれをあらわすイメージ図である。It is an image figure showing the position shift of the image of the high magnification objective lens shown in FIG. 3, and the low magnification image. 撮像した画像をマスキングしたときの画像のイメージ図である。It is an image figure of an image when the captured image is masked. パターンマッチング処理を開始するときの画像のイメージ図である。It is an image figure of an image when pattern matching processing is started. パターンマッチング処理の結果を示す画像のイメージ図である。It is an image figure which shows the result of a pattern matching process. 試料が全てターゲット枠に収まらない場合の高倍率画像のイメージ図である。It is an image figure of the high-magnification image when all the samples do not fit in the target frame. 図８に示す画像のパターンマッチング処理を開始するときのイメージ図である。FIG. 9 is an image diagram when starting pattern matching processing of the image shown in FIG. 本発明の実施をするための画像記憶処理の処理動作を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the processing operation | movement of the image storage process for implementing this invention. 本発明の実施をするための位置補正処理の処理動作を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the processing operation | movement of the position correction process for implementing this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１００ 顕微鏡
１０ レボルバー
２０ 対物レンズ
３０ 試料ステージ
３１ Ｘ軸ステージ
３２ Ｙ軸ステージ
３３ 試料搭載台座
４０ 制御装置
５０ 記憶装置
６０ 入力装置
７０ 表示装置
８０ 撮像装置
９０ ターゲット枠（倍率変更前）
９０ａ ターゲット枠（倍率変更後）
９０Ａ マスキング枠 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Microscope 10 Revolver 20 Objective lens 30 Sample stage 31 X-axis stage 32 Y-axis stage 33 Sample mounting base 40 Controller 50 Storage device 60 Input device 70 Display device 80 Imaging device 90 Target frame (before magnification change)
90a Target frame (after changing magnification)
90A masking frame

Claims (4)

試料を載置するステージと複数の対物レンズを備え、該対物レンズを変更することにより、前記試料の観察倍率を変更できる顕微鏡であって、
第１の対物レンズを用いて、前記試料の画像を撮像する第１撮像手段と、
前記第１撮像手段により撮像された前記試料の画像中に、前記複数の対物レンズに含まれ、前記第１の対物レンズよりも倍率がｋ（ｋは１以上の実数）倍の第２の対物レンズの視野に相当するターゲット枠を含む複数のターゲット枠を設定するターゲット枠設定手段と、
前記複数のターゲット枠の中から前記第２の対物レンズの視野に相当する前記ターゲット枠が選択された後、当該選択されたターゲット枠の中心を視野の中心に移動させる移動手段と、当該選択されたターゲット枠内の画像の中心を視野の中心とした第１の画像を記憶する第１の画像記憶手段と、
前記第１の対物レンズが、前記第２の対物レンズに変更された後、前記第１の画像を前記ｋ倍に拡大して得られる前記試料の第２の画像を撮像する第２撮像手段と、
前記第２撮像手段により撮像された前記第２の画像を１／ｋ倍に縮小した第３の画像を生成する縮小手段と、
前記第１の画像記憶手段により記憶された前記第１の画像の位置と前記縮小手段により生成された前記第３の画像の位置との相関をとることにより、前記第１の画像の位置に対する前記第３の画像の位置を求め、この前記第３の画像の位置から、前記第１の画像の撮像位置に対する前記第２の画像の撮像位置の相対的なずれ量を求めるずれ量判別手段と、
前記ずれ量判別手段で判別されたずれ量をキャンセルするように、前記ステージと前記第２の対物レンズとの相対的位置を補正する位置補正手段と、
を備え、
前記ずれ量判別手段は、前記第１の画像の設定対象領域以外の領域をマスクするマスク手段と、
前記マスク手段によりマスクされた前記第１の画像の設定対象領域と前記第３の画像との相関をとることにより、前記第１の画像上の前記第３の画像の位置を求める位置判別手段と、
前記第３の画像の位置から、前記第１の画像の撮像位置に対する前記第２の画像の撮像位置の相対的なずれ量を求める相対ずれ量判別手段と、
を備え、
前記第１の画像の設定対象領域は、前記相対的なずれ量によって前記第１の画像から位置ずれした前記第３の画像の全体を含むように設定され、
前記ステージに対する前記第２の対物レンズの相対的位置が補正された当該第２の対物レンズの位置において前記第２の画像の撮像が行なわれるようにしたことを特徴とする顕微鏡。 A microscope comprising a stage on which a sample is placed and a plurality of objective lenses, and by changing the objective lens, the microscope can change the observation magnification of the sample,
First imaging means for capturing an image of the sample using a first objective lens;
A second objective that is included in the plurality of objective lenses and has a magnification k (k is a real number greater than or equal to 1) times that of the first objective lens in the image of the sample imaged by the first imaging means. Target frame setting means for setting a plurality of target frames including a target frame corresponding to the field of view of the lens;
After the target frame corresponding to the field of view of the second objective lens is selected from the plurality of target frames, the moving means for moving the center of the selected target frame to the center of the field of view is selected. First image storage means for storing a first image with the center of the image in the target frame as the center of the visual field;
Second imaging means for capturing a second image of the sample obtained by enlarging the first image by k times after the first objective lens is changed to the second objective lens; ,
Reduction means for generating a third image obtained by reducing the second image taken by the second imaging means by 1 / k times;
By correlating the position of the first image stored by the first image storage means and the position of the third image generated by the reduction means, the position relative to the position of the first image A deviation amount determining means for obtaining a position of the third image and obtaining a relative deviation amount of the imaging position of the second image with respect to the imaging position of the first image from the position of the third image;
Position correction means for correcting the relative position between the stage and the second objective lens so as to cancel the shift amount determined by the shift amount determination means;
With
The deviation amount determination means includes a mask means for masking an area other than the setting target area of the first image;
Position determining means for obtaining a position of the third image on the first image by correlating the setting target area of the first image masked by the masking means with the third image; ,
A relative deviation amount determining means for obtaining a relative deviation amount of the imaging position of the second image with respect to the imaging position of the first image from the position of the third image;
With
The setting target area of the first image is set so as to include the entire third image that is displaced from the first image by the relative shift amount.
2. The microscope according to claim 1, wherein the second image is picked up at a position of the second objective lens in which a relative position of the second objective lens with respect to the stage is corrected. 前記ずれ量判別手段は、前記第１の画像の中心と前記第３の画像の中心とのｘ−ｙ座標上のずれを判別し、
前記位置補正手段は、前記ｘ−ｙ座標上のずれをキャンセルするように、前記ステージと前記第２の対物レンズとの相対的位置をｘ座標軸方向及びｙ座標軸方向に補正する、
ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。 The shift amount determination unit determines a shift in the xy coordinates between the center of the first image and the center of the third image,
The position correction unit corrects the relative position between the stage and the second objective lens in the x-coordinate axis direction and the y-coordinate axis direction so as to cancel the shift on the xy coordinate;
The microscope according to claim 1 . 前記ステージはｘ−ｙステージから構成され、
前記第１と第２の対物レンズはレボルバーに装着されており、
前記ずれ量判別手段は、前記第１の画像設定手段で前記試料の第１の画像が設定された後に、前記レボルバーが回転され、前記第２の対物レンズにより同一の前記試料について前記第２の画像を得られたときに、前記第１の画像の画像中心に対する前記第２の画像の画像中心のｘ−ｙ座標上でのずれ量を求め、
前記位置補正手段は、前記第１の画像の画像中心に対応する位置が、前記レボルバーの回転後に前記第２の対物レンズを介して撮像された前記第２の画像の画像中心となるように、前記ｘ−ｙステージを制御する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の顕微鏡。 The stage is composed of an xy stage,
The first and second objective lenses are mounted on a revolver;
The deviation amount determining means rotates the revolver after the first image of the sample is set by the first image setting means, and the second objective lens makes the second sample for the same sample. When an image is obtained, a shift amount on the xy coordinate of the image center of the second image with respect to the image center of the first image is obtained.
The position correction unit is configured such that the position corresponding to the image center of the first image is the image center of the second image captured through the second objective lens after the revolver is rotated. Controlling the xy stage;
The microscope according to claim 1 or 2 , wherein コンピュータに、
第１撮像手段により、第１の対物レンズを用いて試料の画像を撮像し、
前記第１撮像手段により撮像された前記試料の画像中に、前記複数の対物レンズに含まれ、前記第１の対物レンズよりも倍率がｋ（ｋは１以上の実数）倍の第２の対物レンズの視野に相当するターゲット枠を含む複数のターゲット枠をターゲット枠設定手段により設定し、
前記複数のターゲット枠の中から前記第２の対物レンズの視野に相当する前記ターゲット枠が選択された後、
移動手段により、前記選択されたターゲット枠の中心を視野の中心に移動させ、第１の画像記憶手段により、前記選択されたターゲット枠内の画像の中心を視野の中心とした第１の画像を記憶し、
前記第１の対物レンズが、前記第２の対物レンズに変更された後、第２撮像手段により、前記第１の画像を前記ｋ倍に拡大して得られる前記試料の第２の画像を撮像し、
前記第２撮像手段により撮像された前記第２の画像を、縮小手段により、１／ｋ倍に縮小した第３の画像を生成し、
前記第１の画像記憶手段により記憶された前記第１の画像の位置と前記縮小手段により生成された前記第３の画像の位置との相関をとることにより、前記第１の画像の位置に対する前記第３の画像の位置を求め、この前記第３の画像の位置から、前記第１の画像の撮像位置に対する前記第２の画像の撮像位置の相対的なずれ量を、ずれ量判別手段により求め、
前記ずれ量判別手段は、前記第１の画像の設定対象領域以外の領域をマスクするマスク手段によりマスクされた前記第１の画像の設定対象領域と前記第３の画像との相関をとることにより、前記第１の画像上の前記第３の画像の位置を求める位置判別手段と、
前記第３の画像の位置から、前記第１の画像の撮像位置に対する前記第２の画像の撮像位置の相対的なずれ量を求める相対ずれ量判別手段と、
を備え、
前記第１の画像の設定対象領域は、前記相対的なずれ量によって前記第１の画像から位置ずれした前記第３の画像の全体を含むように設定され、
前記ずれ量判別手段で判別されたずれ量をキャンセルするように、前記ステージと前記第２の対物レンズとの相対的位置を補正する、
動作を実行させる顕微鏡の制御プログラム。 On the computer,
The first imaging means captures an image of the sample using the first objective lens,
A second objective that is included in the plurality of objective lenses and has a magnification k (k is a real number greater than or equal to 1) times that of the first objective lens in the image of the sample imaged by the first imaging means. A plurality of target frames including a target frame corresponding to the field of view of the lens are set by the target frame setting means,
After the target frame corresponding to the field of view of the second objective lens is selected from the plurality of target frames,
The moving means moves the center of the selected target frame to the center of the field of view, and the first image storing means moves the first image with the center of the image in the selected target frame as the center of the field of view. Remember,
After the first objective lens is changed to the second objective lens, a second image of the sample obtained by enlarging the first image by k times is captured by a second imaging unit. And
Generating a third image obtained by reducing the second image picked up by the second image pickup means by a reduction means to 1 / k times;
By correlating the position of the first image stored by the first image storage means and the position of the third image generated by the reduction means, the position relative to the position of the first image A position of the third image is obtained, and a relative deviation amount of the imaging position of the second image with respect to the imaging position of the first image is obtained from the position of the third image by a deviation amount determining means. ,
The deviation amount determining means obtains a correlation between the setting target area of the first image masked by the masking means for masking an area other than the setting target area of the first image and the third image. Position determining means for determining the position of the third image on the first image;
A relative deviation amount determining means for obtaining a relative deviation amount of the imaging position of the second image with respect to the imaging position of the first image from the position of the third image;
With
The setting target area of the first image is set so as to include the entire third image that is displaced from the first image by the relative shift amount.
Correcting the relative position between the stage and the second objective lens so as to cancel the shift amount determined by the shift amount determination means;
Microscope control program that executes operations.

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