JP5073017B2 - Apparatus and method for treating phosphorus-containing wastewater - Google Patents

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Description

本発明の実施形態は、リン含有廃水の処理装置及び処理方法に関する。   Embodiments described herein relate generally to a treatment apparatus and a treatment method for phosphorus-containing wastewater.

液晶パネルの製造工程には、硝子基板上に形成するゲート電極等の金属膜をエッチングする工程などの各種エッチング工程があるが、このエッチング液としてリン酸のようにリン含有の酸性薬品を使用する。使用した酸性薬品は、液体のまま回収してリサイクルする場合もあるが、多くは他の薬品と混合させて使用することから、廃水処理装置にて無害化処理することが多い。   The liquid crystal panel manufacturing process includes various etching processes such as a process of etching a metal film such as a gate electrode formed on a glass substrate. As this etching solution, an acid chemical containing phosphorus such as phosphoric acid is used. . The used acidic chemicals may be collected and recycled in the form of a liquid, but many are used by mixing with other chemicals, and thus are often rendered harmless by a wastewater treatment apparatus.

このリン含有の廃水を無害化する方法として、アルカリ剤による中和処理が有効であり、特に、アルカリ剤(あるいは中和剤)として、消石灰(水酸化カルシウム)が広く使われている。このような方法によって処理水のリン濃度を放流基準以下にする技術として、例えば、pH調整剤とともに、金属成分を鉄とする金属塩などの無機系凝集剤を加えてリン成分を凝集化する技術がある。しかしながら、このような処理では、無機系凝集剤に含まれる金属イオンが汚泥中の不純物として存在することになり、そのままの状態では廃棄物として処分する際に問題となることがあり、当然のことながら、汚泥を肥料として転用することはできない。   As a method for detoxifying this phosphorus-containing wastewater, neutralization treatment with an alkaline agent is effective. In particular, slaked lime (calcium hydroxide) is widely used as the alkaline agent (or neutralizer). As a technique for reducing the phosphorus concentration of treated water below the discharge standard by such a method, for example, a technique for aggregating the phosphorus component by adding an inorganic flocculant such as a metal salt containing iron as a metal component together with a pH adjuster There is. However, in such treatment, the metal ions contained in the inorganic flocculant are present as impurities in the sludge, which may naturally cause problems when disposed as waste. However, sludge cannot be diverted as fertilizer.

また、リンのみならずフッ素を含有した廃水を処理する技術として、フッ素とリンを含む廃水にカルシウム化合物を供給して沈殿物を形成し、処理水を固液分離することによって分離された分離水にアルミニウム化合物を添加して沈殿物を形成する技術がある。しかしながら、リンのみならずフッ素も処理するために、大量のカルシウム化合物を供給する必要があり、加えて、大量の汚泥が生じてしまう。また、フッ素やアルミニウムが汚泥中の不純物として存在することになり、そのままの状態では廃棄物として処分する際に問題となることがあり、当然のことながら、汚泥を肥料として転用することはできない。   In addition, as a technology for treating wastewater containing not only phosphorus but also fluorine, separated water separated by solid-liquid separation of the treated water by supplying calcium compounds to wastewater containing fluorine and phosphorus to form precipitates There is a technique in which an aluminum compound is added to form a precipitate. However, in order to treat not only phosphorus but also fluorine, it is necessary to supply a large amount of calcium compound, and in addition, a large amount of sludge is generated. Further, fluorine and aluminum are present as impurities in the sludge, which may cause problems when disposed as waste in the same state, and naturally, sludge cannot be diverted as fertilizer.

特開平11−333467号公報JP 11-333467 A 特開2008−194585号公報JP 2008-194585 A

本実施形態の目的は、不純物が少なく、且つ、高濃度のリン含有汚泥を回収することが可能なリン含有廃水の処理装置及び処理方法を提供することにある。   The objective of this embodiment is providing the processing apparatus and processing method of a phosphorus containing wastewater with few impurities and which can collect | recover high concentration phosphorus containing sludge.

本実施形態によれば、
フッ素含有廃水とは別系統で回収されたリン含有廃水に中和剤を注入する中和槽と、前記中和槽により中和処理された廃水に高分子凝集剤を注入する凝集槽と、前記凝集槽の廃水を処理水と汚泥とに分離する沈殿槽と、前記沈殿槽で沈殿した汚泥の少なくとも一部を脱水する脱水機と、を具備したことを特徴とするリン含有廃水処理装置が提供される。
According to this embodiment,
A neutralization tank for injecting a neutralizing agent into phosphorus-containing wastewater recovered in a separate system from the fluorine-containing wastewater; a coagulation tank for injecting a polymer flocculant into the wastewater neutralized by the neutralization tank; Provided is a phosphorus-containing wastewater treatment apparatus comprising: a settling tank that separates wastewater of a coagulation tank into treated water and sludge; and a dehydrator that dehydrates at least a part of the sludge precipitated in the settling tank. Is done.

また、本実施形態によれば、
フッ素含有廃水とは別系統で回収されたリン含有廃水に中和剤を注入してリン化合物を析出させ、前記中和剤により中和処理された廃水に高分子凝集剤を注入してリン化合物を凝集し、前記高分子凝集剤により凝集処理された廃水を処理水と汚泥とに分離し、分離された汚泥の少なくとも一部を脱水し、回収する、ことを特徴とするリン含有廃水処理方法が提供される。
Moreover, according to this embodiment,
Phosphorus compounds by injecting a neutralizing agent into phosphorus-containing wastewater collected in a separate system from the fluorine-containing wastewater to precipitate a phosphorus compound, and injecting a polymer flocculant into the wastewater neutralized by the neutralizing agent Waste water coagulated by the polymer flocculant is separated into treated water and sludge, and at least a part of the separated sludge is dehydrated and recovered. Is provided.

図1は、本実施形態におけるリン含有廃水の処理装置の構成を概略的に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a treatment apparatus for phosphorus-containing wastewater in the present embodiment.

以下、本実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、同一又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。   Hereinafter, the present embodiment will be described in detail with reference to the drawings. In each figure, the same reference numerals are given to components that exhibit the same or similar functions, and duplicate descriptions are omitted.

図1は、本実施形態におけるリン含有廃水処理装置1の構成を概略的に示す図である。すなわち、ここに示したリン含有廃水処理装置1は、原水槽11、中和槽12、凝集槽13、沈殿槽14、及び、脱水機15を備えている。   FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a phosphorus-containing wastewater treatment apparatus 1 in the present embodiment. That is, the phosphorus-containing wastewater treatment apparatus 1 shown here includes a raw water tank 11, a neutralization tank 12, a coagulation tank 13, a precipitation tank 14, and a dehydrator 15.

原水槽11では、フッ素含有廃水とは別系統で回収されたリン含有廃水が一時的に蓄えられる。このようなリン含有廃水は、例えば、エッチング液などの廃水であり、フッ酸などのフッ素含有廃水とは混合されることなく回収される。つまり、この原水槽11に蓄えられたリン含有廃水には、フッ素は含まれていない。当然のことながら、このリン含有廃水には、重金属も含まれていない。この原水槽11は、リン含有廃水を送液するための流路を介して中和槽12に繋がっている。   In the raw water tank 11, phosphorus-containing wastewater collected by a separate system from the fluorine-containing wastewater is temporarily stored. Such phosphorus-containing wastewater is, for example, wastewater such as an etching solution, and is recovered without being mixed with fluorine-containing wastewater such as hydrofluoric acid. That is, the phosphorus-containing wastewater stored in the raw water tank 11 does not contain fluorine. Naturally, this phosphorus-containing wastewater does not contain heavy metals. The raw water tank 11 is connected to the neutralization tank 12 through a flow path for feeding phosphorus-containing wastewater.

なお、中和槽12に送液されるリン含有排水のpHを調整するために、pH調整剤を注入しても良い。pH調整剤は、例えば、硫酸である。このようなpH調整剤は、原水槽11から中和槽12に向けて送液されるリン含有廃水に対して、pH調整剤注入装置21によりpHが監視されながら適宜一定量注入される。   In addition, in order to adjust pH of the phosphorus containing waste_water | drain sent to the neutralization tank 12, you may inject | pour a pH adjuster. The pH adjuster is, for example, sulfuric acid. Such a pH adjuster is appropriately injected into the phosphorus-containing wastewater sent from the raw water tank 11 toward the neutralization tank 12 while the pH is monitored by the pH adjuster injection device 21.

中和槽12では、原水槽11から送液されたリン含有廃水に中和剤が注入される。中和剤は、アルカリ性であり、例えば、消石灰(水酸化カルシウム)である。このような中和剤は、中和剤注入装置22によりpHなどが監視されながら適宜注入される。この中和槽12は、中和処理された廃水を送液するための流路を介して凝集槽13に繋がっている。   In the neutralization tank 12, a neutralizer is injected into the phosphorus-containing wastewater sent from the raw water tank 11. The neutralizing agent is alkaline, for example, slaked lime (calcium hydroxide). Such a neutralizing agent is appropriately injected while the pH and the like are monitored by the neutralizing agent injection device 22. The neutralization tank 12 is connected to the aggregation tank 13 through a flow path for feeding the neutralized waste water.

凝集槽13では、中和槽12から送液された廃水に高分子凝集剤が注入される。高分子凝集剤は、例えば、アクリルアミドとアクリル酸ソーダの共重合物を主成分としたものである。すなわち、本実施形態においては、無機系の凝集剤は一切使用していない。このような高分子凝集剤は、高分子凝集剤注入装置23から注入される。この凝集槽13は、廃水を送液するための流路を介して沈殿槽14に繋がっている。   In the coagulation tank 13, the polymer coagulant is injected into the waste water sent from the neutralization tank 12. The polymer flocculant is mainly composed of a copolymer of acrylamide and sodium acrylate, for example. That is, in this embodiment, no inorganic flocculant is used. Such a polymer flocculant is injected from the polymer flocculant injection device 23. The agglomeration tank 13 is connected to the precipitation tank 14 through a flow path for sending waste water.

沈殿槽14では、凝集槽13から送液された排水が処理水と汚泥とに分離される。この沈殿槽14において、処理水と汚泥とは、重力作用により分離される。この沈殿槽14において沈殿した汚泥の少なくとも一部は、脱水機15に供給される。脱水機15は、沈殿槽14から供給された汚泥を脱水する。また、沈殿槽14は、沈殿した汚泥の一部を返送するための流路を介して中和槽12に繋がっている。一方で、沈殿槽14において汚泥から分離された処理水(つまり、上澄み水)は、必要に応じて後段に供給される。   In the settling tank 14, the wastewater sent from the coagulation tank 13 is separated into treated water and sludge. In the settling tank 14, the treated water and the sludge are separated by a gravity action. At least a part of the sludge precipitated in the settling tank 14 is supplied to the dehydrator 15. The dehydrator 15 dehydrates the sludge supplied from the settling tank 14. Moreover, the sedimentation tank 14 is connected to the neutralization tank 12 through a flow path for returning a part of the precipitated sludge. On the other hand, the treated water (that is, the supernatant water) separated from the sludge in the settling tank 14 is supplied to the subsequent stage as needed.

図1に示した例では、リン含有廃水処理装置1は、さらに、原水槽31、pH調整槽32、及び、生物学的処理槽33を備えている。   In the example shown in FIG. 1, the phosphorus-containing wastewater treatment apparatus 1 further includes a raw water tank 31, a pH adjustment tank 32, and a biological treatment tank 33.

原水槽31では、有機系廃水が一時的に蓄えられる。このような有機系廃水は、例えば、現像液や剥離液のリンス水などである。この原水槽31は、原水槽11とは別個に設けられている。この原水槽31は、有機系廃水を送液するための流路を介してpH調整槽32に繋がっている。   In the raw water tank 31, organic wastewater is temporarily stored. Such organic waste water is, for example, a rinsing water for a developer or a stripping solution. The raw water tank 31 is provided separately from the raw water tank 11. The raw water tank 31 is connected to the pH adjustment tank 32 through a flow path for feeding organic waste water.

pH調整槽32では、原水槽31から送液された有機系排水と、沈殿槽14で分離された処理水とが混合され、pH調整剤が注入される。pH調整剤は、例えば、硫酸や水酸化ナトリウムである。このようなpH調整剤は、pH調整剤注入装置41によりpHが監視されながら適宜注入される。このpH調整槽32は、pH調整された処理水を送液するための流路を介して生物学的処理槽33に繋がっている。   In the pH adjustment tank 32, the organic waste water sent from the raw water tank 31 and the treated water separated in the precipitation tank 14 are mixed, and a pH adjusting agent is injected. The pH adjuster is, for example, sulfuric acid or sodium hydroxide. Such a pH adjuster is appropriately injected while the pH is monitored by the pH adjuster injection device 41. The pH adjustment tank 32 is connected to the biological treatment tank 33 through a flow path for feeding pH-adjusted treated water.

生物学的処理槽33では、pH調整槽32から送液された処理水が生物化学的に処理される。より具体的には、この生物学的処理槽33では、バクテリアなどの微生物により、有機物が分解され、また、処理水に含まれるリンが消費される。これにより、この生物学的処理槽33を経た処理水は、そのリン濃度が放流基準以下まで低下し、放流可能となる。   In the biological treatment tank 33, the treated water sent from the pH adjustment tank 32 is treated biochemically. More specifically, in the biological treatment tank 33, organic substances are decomposed by microorganisms such as bacteria, and phosphorus contained in the treated water is consumed. As a result, the treated water that has passed through the biological treatment tank 33 has its phosphorus concentration lowered below the discharge standard, and can be discharged.

次に、上述したリン含有廃水処理装置1におけるリン含有廃水の処理方法について簡単に説明する。   Next, the processing method of the phosphorus containing wastewater in the phosphorus containing wastewater processing apparatus 1 mentioned above is demonstrated easily.

リン含有廃水は、原水槽11に一旦蓄えられ、流量を調整しながら中和槽12へ送られる。中和槽12では、リン含有廃水のpHを調整しながら、中和剤注入装置22から中和剤として消石灰がリン含有廃水に注入される。   The phosphorus-containing wastewater is temporarily stored in the raw water tank 11 and sent to the neutralization tank 12 while adjusting the flow rate. In the neutralization tank 12, slaked lime is injected into the phosphorus-containing wastewater as a neutralizing agent from the neutralizer injection device 22 while adjusting the pH of the phosphorus-containing wastewater.

なお、ここでは、リン含有廃水が原水槽11から中和槽12へ送液される際に、pH調整剤注入装置21からpH調整剤として硫酸を一定量注入してpHを下げている。これにより、中和槽12での消石灰の注入量を増やし、リンと消石灰との反応を促進させることができる。つまり、この中和槽12における中和処理により、リン化合物の析出を促進することができるとともに、廃水中のリン濃度を下げることができる。析出したリン化合物のほとんどは、中和槽12において廃水中に分散している。   Here, when phosphorus-containing wastewater is fed from the raw water tank 11 to the neutralization tank 12, a certain amount of sulfuric acid is injected as a pH adjuster from the pH adjuster injector 21 to lower the pH. Thereby, the injection quantity of the slaked lime in the neutralization tank 12 can be increased, and reaction with phosphorus and slaked lime can be accelerated | stimulated. That is, the neutralization treatment in the neutralization tank 12 can promote the precipitation of the phosphorus compound and reduce the phosphorus concentration in the wastewater. Most of the precipitated phosphorus compound is dispersed in the wastewater in the neutralization tank 12.

中和槽12においては、廃水のpHが7程度になるように調整するのが理想的であるが、廃水中のリンの濃度によっては、廃水のpHが8程度になる場合もある。中和槽12において、中和処理された廃水は、凝集槽13に送液される。凝集槽13では、高分子凝集剤注入装置23から高分子凝集剤が廃水に注入される。これにより、廃水中に分散していたリン化合物が凝集する。   In the neutralization tank 12, it is ideal to adjust the pH of the wastewater to be about 7, but depending on the phosphorus concentration in the wastewater, the pH of the wastewater may be about 8. In the neutralization tank 12, the neutralized waste water is sent to the aggregation tank 13. In the coagulation tank 13, the polymer coagulant is injected into the waste water from the polymer coagulant injection device 23. As a result, the phosphorus compound dispersed in the wastewater aggregates.

凝集槽13において、凝集処理された廃水は、沈殿槽14に送液される。沈殿槽14では、廃水が重力作用により沈降分離される。これにより、上澄み水である処理水と、凝集したリン化合物を含む沈殿物である汚泥とに分離される。廃水に含まれていたリンは、リン化合物として汚泥に含まれるため、処理水のリン濃度は大幅に減少する一方で、汚泥には高濃度のリンが含まれる。   In the coagulation tank 13, the coagulated waste water is sent to the precipitation tank 14. In the settling tank 14, the waste water is settled and separated by gravity. Thereby, it isolate | separates into the treated water which is supernatant water, and the sludge which is the deposit containing the aggregated phosphorus compound. Since phosphorus contained in the wastewater is contained in the sludge as a phosphorus compound, the phosphorus concentration in the treated water is greatly reduced, while the sludge contains a high concentration of phosphorus.

沈殿槽14において沈殿した汚泥の一部は、中和槽12へ返送され再利用される。これにより、汚泥に含まれる未反応の消石灰が再度中和槽12において廃水の中和処理に利用可能となり、消石灰の使用量を低減することが可能となる。   Part of the sludge precipitated in the settling tank 14 is returned to the neutralization tank 12 and reused. Thereby, the unreacted slaked lime contained in the sludge can be used again for the neutralization treatment of the wastewater in the neutralization tank 12, and the amount of slaked lime used can be reduced.

沈殿槽14において沈殿した汚泥の他の一部は、汚泥濃度を調整するため、脱水機15へ送られる。脱水機15では、供給された汚泥の脱水処理がなされる。このようにして脱水処理された汚泥には、リンが多く含まれ、かつ、無機凝集剤の金属物が含まれないことから、農業用の肥料などへの転用が可能である。   Another part of the sludge precipitated in the settling tank 14 is sent to the dehydrator 15 in order to adjust the sludge concentration. In the dehydrator 15, the supplied sludge is dehydrated. The sludge thus dehydrated contains a large amount of phosphorus and does not contain a metal substance of an inorganic flocculant, so that it can be diverted to an agricultural fertilizer.

沈殿槽14において、汚泥から分離された処理水は、そのpHが概ね7程度であるが、依然としてリン濃度が十分に下がらない(例えば、リン濃度が放流基準以下にならない)場合がある。このような処理水は、原水槽31から送液された有機系廃水とpH調整槽32で混合され、必要に応じてpH調整剤注入装置41からpH調整剤が注入されることにより、中和される(pHはほぼ7となる)。   In the sedimentation tank 14, the treated water separated from the sludge has a pH of about 7, but the phosphorus concentration still does not fall sufficiently (for example, the phosphorus concentration does not fall below the discharge standard). Such treated water is mixed with the organic waste water sent from the raw water tank 31 in the pH adjusting tank 32, and neutralized by injecting the pH adjusting agent from the pH adjusting agent injection device 41 as necessary. (PH is approximately 7).

そして、pH調整槽32から送液された処理水は、生物学的処理槽33において、生物化学的に処理される。これにより、処理水に含まれるリンを消費させる、つまり、リン濃度を低下させることが可能となる。この生物化学的処理では、処理水のリン濃度が放流基準以下になるように処理される。   The treated water sent from the pH adjusting tank 32 is biochemically treated in the biological treatment tank 33. Thereby, phosphorus contained in the treated water can be consumed, that is, the phosphorus concentration can be reduced. In this biochemical treatment, the treatment water is treated so that the phosphorus concentration of the treated water is not more than the discharge standard.

本実施形態のリン含有廃水処理装置1においては、リン廃水を無害化する処理において、無機系の凝集剤を使用しないため、汚泥中に含まれる金属性の不純物を低減するとともに、高濃度のリン含有汚泥を回収することができる。このため、リン含有汚泥を肥料として有効に活用することが可能になる。また、pH調整剤や中和剤といった薬品の使用量を低減し、これに伴う汚泥の発生量を低減することができる。結果として、運転コストの増大を抑制することができ、安定した稼動が可能となった。   In the phosphorus-containing wastewater treatment apparatus 1 of the present embodiment, an inorganic flocculant is not used in the treatment for detoxifying the phosphorus wastewater, so that metallic impurities contained in the sludge are reduced and high-concentration phosphorus The contained sludge can be recovered. For this reason, it becomes possible to utilize phosphorus containing sludge effectively as a fertilizer. Moreover, the usage-amount of chemical | medical agents, such as a pH adjuster and a neutralizer, can be reduced, and the generation amount of the sludge accompanying this can be reduced. As a result, an increase in operating cost can be suppressed and stable operation is possible.

また、フッ素含有廃水とともにリン含有廃水を処理する設備と比較して、小規模化が可能となる。   In addition, the scale can be reduced as compared with the facility for treating phosphorus-containing wastewater together with fluorine-containing wastewater.

本実施形態のリン含有廃水処理装置1によれば、一例として、リン濃度が100mg/lのリン含有廃水を処理することにより、リン濃度が1mg/l以下の処理水を安定的に得ることが出来た。また、25〜30%程度のリン酸を含有した汚泥を回収することが出来た。   According to the phosphorus-containing wastewater treatment apparatus 1 of the present embodiment, for example, by treating phosphorus-containing wastewater having a phosphorus concentration of 100 mg / l, it is possible to stably obtain treated water having a phosphorus concentration of 1 mg / l or less. done. Moreover, the sludge containing about 25-30% phosphoric acid was able to be collect | recovered.

以上説明したように、本実施形態によれば、不純物が少なく、且つ、高濃度のリン含有汚泥を回収することが可能なリン含有廃水の処理装置及び処理方法を提供することができる。   As described above, according to the present embodiment, it is possible to provide a treatment apparatus and a treatment method for phosphorus-containing wastewater that are low in impurities and capable of recovering high-concentration phosphorus-containing sludge.

なお、この発明は、上記実施形態そのものに限定されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment itself, In the stage of implementation, it can change and implement a component within the range which does not deviate from the summary. Further, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the embodiment. For example, some components may be deleted from all the components shown in the embodiment. Furthermore, you may combine suitably the component covering different embodiment.

1…リン含有廃水処理装置
11…原水槽
12…中和槽
13…凝集槽
14…沈殿槽
15…脱水機
21…pH調整剤注入装置
22…中和剤注入装置
23…高分子凝集剤注入装置
31…原水槽
32…pH調整槽
33…生物学的処理槽
41…pH調整剤注入装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Phosphorus containing wastewater treatment apparatus 11 ... Raw water tank 12 ... Neutralization tank 13 ... Coagulation tank 14 ... Precipitation tank 15 ... Dehydrator 21 ... pH adjuster injection apparatus 22 ... Neutralization agent injection apparatus 23 ... Polymer flocculant injection apparatus 31 ... Raw water tank 32 ... pH adjustment tank 33 ... Biological treatment tank 41 ... pH adjuster injection device

Claims (5)

フッ素含有廃水とは別系統で回収されたエッチング液を含むリン含有廃水に中和剤を注入する中和槽と、
前記中和槽により中和処理された廃水に高分子凝集剤を注入する凝集槽と、
前記凝集槽の廃水を処理水と汚泥とに分離する沈殿槽と、
前記沈殿槽で沈殿した汚泥の少なくとも一部を脱水する脱水機と、
を具備したことを特徴とするリン含有廃水処理装置。
A neutralization tank for injecting a neutralizing agent into phosphorus-containing wastewater containing an etching solution recovered in a separate system from the fluorine-containing wastewater;
A coagulation tank for injecting a polymer flocculant into the wastewater neutralized by the neutralization tank;
A settling tank for separating waste water of the coagulation tank into treated water and sludge;
A dehydrator for dehydrating at least part of the sludge precipitated in the settling tank;
A phosphorus-containing wastewater treatment apparatus characterized by comprising:
さらに、前記沈殿槽で分離された処理水を生物学的に処理する生物学的処理槽を具備したことを特徴とする請求項1に記載のリン含有廃水処理装置。   The phosphorus-containing wastewater treatment apparatus according to claim 1, further comprising a biological treatment tank for biologically treating the treated water separated in the settling tank. さらに、前記中和槽に送液されるリン含有排水を一時的に蓄える原水槽と、
前記原水槽から前記中和槽に向けて送液されるリン含有廃水にpH調整剤を注入するpH調整剤注入装置と、
を具備したことを特徴とする請求項1または2に記載のリン含有廃水処理装置。
Furthermore, a raw water tank for temporarily storing phosphorus-containing wastewater sent to the neutralization tank,
A pH adjuster injection device for injecting a pH adjuster into the phosphorus-containing wastewater sent from the raw water tank toward the neutralization tank;
The phosphorus-containing wastewater treatment apparatus according to claim 1 or 2, characterized by comprising:
フッ素含有廃水とは別系統で回収されたエッチング液を含むリン含有廃水に中和剤を注入してリン化合物を析出させ、
前記中和剤により中和処理された廃水に高分子凝集剤を注入してリン化合物を凝集し、
前記高分子凝集剤により凝集処理された廃水を処理水と汚泥とに分離し、
分離された汚泥の少なくとも一部を脱水し、回収する、
ことを特徴とするリン含有廃水処理方法。
Injecting a neutralizing agent into phosphorus-containing wastewater containing an etching solution collected in a separate system from the fluorine-containing wastewater to precipitate a phosphorus compound,
Injecting a polymer flocculant into the wastewater neutralized with the neutralizer to aggregate the phosphorus compound,
Separating waste water coagulated by the polymer flocculant into treated water and sludge,
Dewatering and collecting at least a portion of the separated sludge;
A method for treating waste water containing phosphorus.
汚泥から分離された処理水を生物学的に処理することを特徴とする請求項4に記載のリン含有廃水処理方法。   The method for treating phosphorus-containing wastewater according to claim 4, wherein the treated water separated from the sludge is biologically treated.
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