JP5071072B2 - Development support equipment and semiconductor test equipment - Google Patents

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Description

本発明は、計測システムで用いられるプログラムの開発支援を行う開発支援装置及び当該装置を備える半導体試験装置に関する。   The present invention relates to a development support apparatus that supports development of a program used in a measurement system and a semiconductor test apparatus including the apparatus.

近年において実用化されている種々の計測システムは、高機能化及び高性能化並びに開発コストの低減等を図るために、プログラムに従って動作するようハードウェアが構成され、プログラムに従った動作をすることによって所定の計測を行うものが一般的である。例えば、半導体デバイスから出力される信号（電気信号）を計測して半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置では、ユーザによって作成された試験プログラムに従った動作が行われることにより、半導体デバイスに対する試験が行われる。   Various measurement systems that have been put into practical use in recent years are configured to operate according to programs and operate according to programs in order to achieve higher functionality, higher performance, and lower development costs. In general, a predetermined measurement is performed by the above method. For example, in a semiconductor test apparatus that measures a signal (electrical signal) output from a semiconductor device and tests the semiconductor device, a test for the semiconductor device is performed by performing an operation according to a test program created by a user. Done.

具体的には、ユーザにより作成された試験プログラムの内容に従った試験パターン等が半導体試験装置の内部で生成され、その後に試験パターンに応じた試験信号が半導体デバイスに印加される。そして、試験信号の印加により半導体デバイスから得られる信号をディジタル信号に変換してメモリに記憶し、このディジタル信号に対して所定の演算処理を施して得られた結果を用いて半導体デバイスの良否判定が行われる。   Specifically, a test pattern or the like according to the content of the test program created by the user is generated inside the semiconductor test apparatus, and then a test signal corresponding to the test pattern is applied to the semiconductor device. Then, the signal obtained from the semiconductor device by applying the test signal is converted into a digital signal and stored in a memory, and the result obtained by performing predetermined arithmetic processing on the digital signal is used to determine whether the semiconductor device is good or bad. Is done.

計測システムの動作を制御するプログラムに誤りがあると、計測システムの動作が開発者やユーザの意図しないものとなり、本来得られるべき計測結果とは異なる計測結果が得られてしまう。このため、計測システムを制御するプログラムの開発においては、プログラムを実際に実行させて得られる測定結果を参照しつつプログラムをデバッグする作業が繰り返し行われる。   If there is an error in the program that controls the operation of the measurement system, the operation of the measurement system becomes unintended by the developer or the user, and a measurement result different from the measurement result that should originally be obtained is obtained. For this reason, in the development of a program for controlling the measurement system, the work of debugging the program is repeatedly performed while referring to the measurement result obtained by actually executing the program.

例えば、半導体試験装置で用いられる試験プログラムのデバッグは、図３に示すデバッガと図４に示す波形表示ツールとを用いて行われる。図３は試験プログラムのデバックに用いられる従来のデバッガの表示画面を簡略化して示す図であり、図４は半導体デバイスから出力される信号波形を表示する従来の波形表示ツールの表示画面を簡略化して示す図である。   For example, debugging of a test program used in a semiconductor test apparatus is performed using a debugger shown in FIG. 3 and a waveform display tool shown in FIG. FIG. 3 is a diagram showing a simplified display screen of a conventional debugger used for debugging a test program, and FIG. 4 is a simplified display screen of a conventional waveform display tool for displaying a signal waveform output from a semiconductor device. FIG.

図３に示す通り、デバッガの表示画面であるウィンドウＷ１１内には、ユーザによって作成された試験プログラムを表示する表示領域Ｒ１１と、表示領域Ｒ１１における試験プログラムの表示内容を変更するためのスクロールバーＳＢ１１とが設けられており、ユーザがスクロールバーＳＢ１１を操作することにより、試験プログラムの所望の位置（行）を表示領域Ｒ１１に表示させることができるようになっている。また、このデバッガは、ユーザの必要に応じて試験プログラムの実行を一時停止（ポーズ）させるブレークポイントの設定が可能である。図３に示す例では、試験プログラムの第４６６行にブレークポイントが設定されている。   As shown in FIG. 3, in a window W11 which is a display screen of the debugger, a display area R11 for displaying a test program created by the user, and a scroll bar SB11 for changing the display contents of the test program in the display area R11. And a desired position (row) of the test program can be displayed in the display region R11 by the user operating the scroll bar SB11. In addition, this debugger can set a breakpoint that pauses (pauses) the execution of the test program as required by the user. In the example shown in FIG. 3, a breakpoint is set at the 466th line of the test program.

図４に示す通り、波形表示ツールの表示画面であるウィンドウＷ１２内には、ユーザによって指定された試験結果を表示する表示領域Ｒ１２が設けられている。図４に示す例では、ユーザによって指定された３つの試験結果が表示領域Ｒ１２内に表示されている。尚、図４において、表示領域Ｒ１２に表示された試験結果は、半導体デバイスの異なる３つのピンに現れる電圧の時間変化（波形）を示すものであり、横軸に時間（サンプリング番号（ｐｏｓ））が設定されているとともに縦軸に電圧が設定されている。   As shown in FIG. 4, a display region R12 for displaying a test result designated by the user is provided in a window W12 that is a display screen of the waveform display tool. In the example shown in FIG. 4, three test results designated by the user are displayed in the display area R12. In FIG. 4, the test result displayed in the display region R12 indicates the time change (waveform) of the voltage appearing at three different pins of the semiconductor device, and the horizontal axis indicates time (sampling number (pos)). Is set and the voltage is set on the vertical axis.

試験プログラムのデバッグを行う場合には、まずユーザはデバッガを起動させて不具合の原因と思われる処理が記述されている行又はその近辺の行にブレークポイントを設定した上で試験プログラムを実行させる。これにより、試験プログラムはそのブレークポイントまで実行されて自動的にポーズされるため、そのブレークポイントまでの試験結果が得られる。次に、ユーザは、波形表示ツールを起動させてその試験結果を表示させてブレークポイントまでの試験結果を確認する。以上の作業を、必要に応じて試験プログラムの内容を修正しつつ行うことにより、不具合の発生原因を解析する。   When debugging a test program, the user first activates the debugger to set a breakpoint on a line in which a process that seems to be the cause of a failure is described or a line in the vicinity of the line and execute the test program. As a result, the test program is executed up to the breakpoint and automatically paused, so that the test result up to the breakpoint can be obtained. Next, the user activates the waveform display tool to display the test results and confirms the test results up to the breakpoint. The cause of the failure is analyzed by performing the above operations while modifying the contents of the test program as necessary.

尚、半導体試験装置で用いられる試験プログラムの従来のデバッグ方法については、例えば以下の特許文献１を参照されたい。
特開２００３−１６７０３３号公報 For a conventional debugging method of a test program used in a semiconductor test apparatus, see, for example, Patent Document 1 below.
Japanese Patent Laid-Open No. 2003-167033

ところで、上述した従来のデバッグ方法において、ユーザが試験結果を確認するためには、まずデバッガに対して上述したブレークポイントの設定を行った上で試験プログラムを実行させる操作を行い、次いで試験プログラムの実行がポーズしている状態で表示させるべき試験結果を波形表示ツールに指示する操作を行う必要がある。特に、解析の初期段階では、問題の発生箇所を絞り込むことが困難な場合が多く、ユーザは上記の操作を頻繁に繰り返す必要がある。   By the way, in the above-described conventional debugging method, in order for the user to check the test result, first, the operation for executing the test program is performed on the debugger after setting the breakpoint described above, and then the test program It is necessary to perform an operation to instruct the waveform display tool about the test result to be displayed in a state where the execution is paused. In particular, at the initial stage of analysis, it is often difficult to narrow down the location where a problem occurs, and the user needs to repeat the above operation frequently.

また、問題の発生箇所を絞り込んで、試験プログラムを修正した後においても、問題が解消されているか否かを確認するために、上記の操作と同様の操作を繰り返す必要がある。このように、従来は、試験結果を参照するためにユーザが行う必要のある操作が多いため、使い勝手が良いとは言えない上に、デバッグ効率が悪化するという問題があった。   In addition, even after narrowing down the location of the problem and correcting the test program, it is necessary to repeat the same operation as the above operation in order to confirm whether or not the problem has been solved. As described above, conventionally, there are many operations that the user needs to perform in order to refer to the test result, so that it is not easy to use and the debugging efficiency is deteriorated.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、ユーザの使い勝手の向上を図ってプログラムのデバッグ効率を高めることができる開発支援装置、及び当該装置を備える半導体試験装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a development support apparatus that can improve the user's usability and increase the debugging efficiency of a program, and a semiconductor test apparatus including the apparatus. To do.

上記課題を解決するために、本発明の開発支援装置は、所定のプログラム（Ｐ１）に従った動作を行うことで所定の計測を行う計測システムで用いられる当該プログラムの開発支援を行う開発支援装置において、ユーザの指示に応じて前記プログラムの編集を行うとともに、前記ユーザの指示に応じて前記プログラムに含まれる配列変数のうちの内容を表示すべき配列変数と当該配列変数の前記プログラム中における表示位置（Ｓ１〜Ｓ３）とを記憶手段（１２）に設定可能な編集手段（２１）と、前記プログラムの実行によって得られる前記配列変数の内容を、個別のウィンドウに波形として表示する変数表示手段（２２）と、前記プログラムの実行位置が前記記憶手段に設定された前記表示位置に至る度に、前記プログラムの実行を中断する制御を行うとともに、前記プログラムの実行を中断した旨を通知する実行制御手段（２０）と、前記実行制御手段から前記プログラムの実行を中断した旨の通知がなされた場合に、前記記憶手段に設定された内容を参照して前記変数表示手段に表示させるべき配列変数を指示し、前記変数表示手段によって前記配列変数の内容が表示される度に、前記プログラムの実行の中断を解除すべき旨を前記実行制御手段に通知する指示手段（２３）とを備えることを特徴としている。
この発明によると、ユーザの指示に応じて表示すべき配列変数とプログラム中における配列変数の表示位置との設定が設定手段で行われると、プログラムの実行位置が設定手段で設定された表示位置に至る度にプログラムの実行が実行制御手段によって自動的に中断され、指示手段が記憶手段を参照して指示した配列変数の内容が個別のウィンドウ内に波形として表示される。また、変数表示手段による波形の表示がなされると、実行の中断を解除すべき旨が指示手段から実行制御手段に対して通知され、中断されていたプログラムの実行が自動的に再開される。
また、本発明の開発支援装置は、前記記憶手段が、前記編集手段の設定内容を記憶する第１記憶手段（１２ａ）と、前記変数表示手段により表示される配列変数の内容を記憶する第２記憶手段（１２ｂ）とを備えており、前記第１記憶手段の記憶内容と前記第２記憶手段の記憶内容とは、所定の識別子によって関連付けられていることを特徴としている。
また、本発明の開発支援装置は、前記実行制御手段が、前記第１記憶手段に記憶された前記識別子から制御状況に応じた識別子を読み出して前記指示手段に通知し、前記指示手段が、前記実行制御手段から通知された識別子を、前記第１記憶手段から読み出した当該識別子に関連した設定内容に応じて前記変数表示手段に通知し、前記変数表示手段が、前記指示手段から通知された識別子に関連付けられている配列変数の内容を前記第２記憶手段から読み出して表示することを特徴としている。
本発明の半導体試験装置は、試験プログラム（Ｐ１）に従った試験信号を被試験デバイス（４０）に印加して当該被試験デバイスから得られる信号を、前記試験プログラムに従って処理することにより前記被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置（１）において、前記試験プログラムを前記所定のプログラムとして開発支援可能な上記の何れかに記載の開発支援装置を備えることを特徴としている。 In order to solve the above problems, a development support apparatus of the present invention provides a development support apparatus that supports development of a program used in a measurement system that performs predetermined measurement by performing an operation according to a predetermined program (P1). And editing the program in accordance with a user instruction, and displaying an array variable to be displayed of the contents of the array variables included in the program in accordance with the user instruction and the display of the array variable in the program Editing means (21) capable of setting the positions (S1 to S3) in the storage means (12), and variable display means for displaying the contents of the array variables obtained by the execution of the program as waveforms on individual windows ( 22) and the execution of the program is interrupted each time the execution position of the program reaches the display position set in the storage means. Control performs that, the execution control means (20) for notifying that interrupts the execution of the program, when the from the execution control unit to the effect that interrupts the execution of the program message is supplied, in the storage means reference to the set contents instructed array variables to be displayed on the variable display means, every time the contents of the variable display means thus the array variable is displayed, it should unsuspend a execution of the program Instructing means (23) for notifying the execution control means of the fact is provided.
According to the present invention, when setting of the array variable to be displayed in accordance with a user instruction and the display position of the array variable in the program is performed by the setting means, the execution position of the program is set to the display position set by the setting means. Every time, the execution of the program is automatically interrupted by the execution control means, and the contents of the array variables instructed by the instruction means with reference to the storage means are displayed as waveforms in individual windows. When the waveform is displayed by the variable display means, the instruction means notifies the execution control means that the suspension of execution should be released, and the execution of the suspended program is automatically resumed.
In the development support apparatus of the present invention, the storage means stores a first storage means (12a) for storing the setting contents of the editing means, and a second storage for storing the contents of the array variable displayed by the variable display means. Storage means (12b), and the storage contents of the first storage means and the storage contents of the second storage means are associated by a predetermined identifier.
Further, in the development support apparatus of the present invention, the execution control unit reads an identifier corresponding to a control situation from the identifier stored in the first storage unit, notifies the instruction unit, and the instruction unit The identifier notified from the execution control means is notified to the variable display means according to the setting contents related to the identifier read from the first storage means, and the variable display means is the identifier notified from the instruction means. The content of the array variable associated with is read from the second storage means and displayed.
The semiconductor test apparatus of the present invention applies the test signal according to the test program (P1) to the device under test (40) and processes the signal obtained from the device under test according to the test program. The semiconductor test apparatus (1) for testing a device includes the development support apparatus according to any one of the above that can support development of the test program as the predetermined program.

本発明によれば、実際にプログラムを実行させたときのプログラムの実行位置が予めユーザの指示によって設定された変数の表示位置に至る度に、実行制御手段がプログラムの実行を自動的に中断し、指示手段が記憶手段を参照して指示した配列情報を個別のウィンドウ内に波形として表示させる。変数表示手段による波形の表示がなされると、実行制御手段が中断したプログラムの実行を自動的に再開させるため、ユーザが特別な操作をしなくとも予め設定した設定内容に応じて配列変数の内容が波形として表示される。このため、ユーザによって変数の表示位置が複数設定された場合であっても、従来に比べてデバッグに必要になるユーザの操作を低減することができ、ユーザの使い勝手を向上させることができるという効果がある。
以上から、本発明によれば、ユーザの使い勝手が極めて高く、プログラムのデバッグ効率を飛躍的に高めることができるという効果がある。 According to the present invention, every time the execution position of the program when the program is actually executed reaches the display position of the variable set in advance by the user's instruction, the execution control means automatically interrupts the execution of the program. The arrangement information indicated by the instruction means with reference to the storage means is displayed as a waveform in an individual window. When the waveform display is performed by the variable display means, the execution control means automatically resumes the execution of the interrupted program, so that the contents of the array variable can be set according to the setting contents set in advance without any special operation by the user. Is displayed as a waveform. For this reason, even when a plurality of variable display positions are set by the user, it is possible to reduce user operations required for debugging as compared to the conventional case, and to improve user convenience. There is.
As described above, according to the present invention, the user convenience is extremely high, and there is an effect that the debugging efficiency of the program can be dramatically improved.

以下、図面を参照して本発明の一実施形態による開発支援装置及び半導体試験装置について詳細に説明する。尚、以下では、本実施形態の開発支援装置が、試験プログラムに従った試験信号を被試験デバイスに印加し、この被試験デバイスから得られる信号を試験プログラムに従って処理することにより被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置に設けられている態様について説明する。   Hereinafter, a development support apparatus and a semiconductor test apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the following, the development support apparatus of the present embodiment applies a test signal according to the test program to the device under test, and processes the signal obtained from the device under test according to the test program, thereby testing the device under test. The aspect provided in the semiconductor test apparatus which performs is demonstrated.

図１は、本発明の一実施形態による半導体試験装置の要部構成を示すブロック図である。図１に示す通り、本実施形態の半導体試験装置１は、試験装置本体２と端末装置３とを備えており、端末装置３から試験開始の指示があった場合に、試験装置本体２が被試験デバイス（以下、ＤＵＴ（Device Under Test）という）４０に対して試験信号を印加してＤＵＴ４０から出力される信号に基づいてパス／フェイルを判定することによりＤＵＴ４０の試験を行う。尚、ＤＵＴ４０は、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display：液晶表示装置）の駆動ドライバ、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の半導体デバイスである。   FIG. 1 is a block diagram showing a main configuration of a semiconductor test apparatus according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the semiconductor test apparatus 1 of the present embodiment includes a test apparatus body 2 and a terminal apparatus 3, and when the terminal apparatus 3 gives an instruction to start a test, the test apparatus body 2 The DUT 40 is tested by applying a test signal to a test device (hereinafter referred to as DUT (Device Under Test)) 40 and determining pass / fail based on a signal output from the DUT 40. The DUT 40 is a semiconductor device such as a drive driver of an LCD (Liquid Crystal Display) and a RAM (Random Access Memory).

試験装置本体２は、ユーザによって作成された試験プログラムＰ１に従った試験信号を生成してＤＵＴ４０に印加するとともに、試験信号の印加によってＤＵＴ４０から得られる信号を試験プログラムＰ１に従って処理する（パス／フェイルの判定等を行う）ことによりＤＵＴ４０の試験を行う。この試験装置本体２は、ＣＰＵ（中央処理装置）１１、ＲＡＭ１２（記憶手段）、ハードディスク１３、及び通信部１４を備える。尚、図１においては、パターンジェネレータ及びドライバ等の試験信号を生成するための構成、並びにコンパレータ等のＤＵＴ４０からの信号を処理するための構成については図示を省略している。 The test apparatus body 2 generates a test signal according to the test program P1 created by the user and applies it to the DUT 40, and processes the signal obtained from the DUT 40 by applying the test signal according to the test program P1 (pass / fail). The DUT 40 is tested. The test apparatus main body 2 includes a CPU (central processing unit) 11, a RAM 12 (storage means) , a hard disk 13, and a communication unit 14. In FIG. 1, a configuration for generating test signals such as a pattern generator and a driver, and a configuration for processing a signal from the DUT 40 such as a comparator are not shown.

ＣＰＵ１１は、ハードディスク１３に格納された各種のプログラムに従って、試験装置本体２の動作を統括的に制御する。この試験装置本体２には、例えばマルチタスクが可能なオペレーティング・システム（ＯＳ）が実装されており、ＣＰＵ１１が見かけ上複数のプログラムを同時に実行することが可能な環境が整備されている。具体的に、ＣＰＵ１１がハードディスク１３に格納された試験プログラムＰ１を読み出すことにより試験プログラムプロセス２０（実行制御手段）が実行され、これにより試験プログラムＰ１に応じたＤＵＴ４０の試験が開始される。   The CPU 11 comprehensively controls the operation of the test apparatus main body 2 according to various programs stored in the hard disk 13. For example, an operating system (OS) capable of multitasking is mounted on the test apparatus main body 2, and an environment in which the CPU 11 can apparently execute a plurality of programs simultaneously is prepared. Specifically, the test program process 20 (execution control means) is executed when the CPU 11 reads the test program P1 stored in the hard disk 13, and thereby the test of the DUT 40 corresponding to the test program P1 is started.

また、ＣＰＵ１１がハードディスク１３に格納されたデバッガプログラムＰ１１を読み出すことにより、ユーザによって作成された試験プログラムＰ１の編集を行うための試験プログラムデバッガ２１（編集手段）が実行される。更に、ＣＰＵ１１がハードディスク１３に格納された表示ツールプログラムＰ１２を読み出すことにより、ＤＵＴ４０の試験により得られた試験結果を表示するための配列変数表示ツール２２（変数表示手段）が実行される。   Further, when the CPU 11 reads the debugger program P11 stored in the hard disk 13, the test program debugger 21 (editing means) for editing the test program P1 created by the user is executed. Further, when the CPU 11 reads the display tool program P12 stored in the hard disk 13, the array variable display tool 22 (variable display means) for displaying the test result obtained by the test of the DUT 40 is executed.

ここで試験プログラムプロセス２０又は配列変数表示ツール２２が実行された場合には、ハードディスク１３からインターフェイスプログラムＰ１３が読み出されて、配列変数表示ツール２２と試験プログラムプロセス２０との間で各種情報の授受を行うためのインターフェイス部２３（指示手段）が実行される。尚、以上説明した試験プログラムプロセス２０、試験プログラムデバッガ２１、配列変数表示ツール２２、及びインターフェイス部２３の詳細については後述する。   Here, when the test program process 20 or the array variable display tool 22 is executed, the interface program P13 is read from the hard disk 13, and various information is exchanged between the array variable display tool 22 and the test program process 20. The interface unit 23 (instruction means) for performing the above is executed. Details of the test program process 20, the test program debugger 21, the array variable display tool 22, and the interface unit 23 described above will be described later.

ＲＡＭ１２は、ＤＵＴ４０の試験により得られた試験結果や、ＣＰＵ１１で行われる処理で用いられる各種変数の値を一時的に記憶する。このＲＡＭ１２には、ユーザが試験プログラムデバッガ２１を操作して設定した各種設定情報を保存する変数表示条件保存領域１２ａ（第１記憶手段）と、配列変数表示ツール２２によって表示すべき試験結果が保存される表示対象変数保存領域１２ｂ（第２記憶手段）とが設けられる。尚、図１では、説明の便宜上、上記の変数表示条件保存領域１２ａ及び表示対象変数保存領域１２ｂがＲＡＭ１２に設けられる例について図示しているが、これらの領域はハードディスク１３に設けられても良い。   The RAM 12 temporarily stores test results obtained by the test of the DUT 40 and various variable values used in processing performed by the CPU 11. The RAM 12 stores a variable display condition storage area 12a (first storage means) for storing various setting information set by the user by operating the test program debugger 21, and test results to be displayed by the array variable display tool 22. Display target variable storage area 12b (second storage means). 1 shows an example in which the variable display condition storage area 12a and the display target variable storage area 12b are provided in the RAM 12 for convenience of explanation, these areas may be provided in the hard disk 13. .

ハードディスク１３は、上述した試験プログラムＰ１を始めとしてデバッガプログラムＰ１１、表示ツールプログラムＰ１２、及びインターフェイスプログラムＰ１３等の各種プログラムを格納する。通信部１４は、端末装置３との間で通信を行うことにより、例えば端末装置３から送信されてくる各種指示をＣＰＵ１１に受け渡すとともに、ＣＰＵ１１で行われた各種処理の処理結果を示す情報を端末装置３に送信する。   The hard disk 13 stores various programs such as the above-described test program P1, the debugger program P11, the display tool program P12, and the interface program P13. The communication unit 14 communicates with the terminal device 3 to pass various instructions transmitted from, for example, the terminal device 3 to the CPU 11 and information indicating processing results of various processes performed by the CPU 11. It transmits to the terminal device 3.

端末装置３は、キーボード３ａやマウス３ｂ等の入力装置と液晶表示装置３ｃ等の表示装置とを備えており、試験装置本体２に対する指示の入力、並びに、試験装置本体２によるＤＵＴ４０の試験結果、試験プログラムデバッガ２１及び配列変数表示ツール２２の表示画面の表示等を行う。尚、端末装置３は、例えば一般的なパーソナルコンピュータで実現することができる。   The terminal device 3 includes an input device such as a keyboard 3a and a mouse 3b and a display device such as a liquid crystal display device 3c. The terminal device 3 inputs instructions to the test apparatus body 2, and the test result of the DUT 40 by the test apparatus body 2. The display screen of the test program debugger 21 and the array variable display tool 22 is displayed. The terminal device 3 can be realized by a general personal computer, for example.

次に、ＣＰＵ１１で実行される試験プログラムプロセス２０、試験プログラムデバッガ２１、配列変数表示ツール２２、及びインターフェイス部２３、並びに、ＲＡＭ１２に設けられる変数表示条件保存領域１２ａ及び表示対象変数保存領域１２ｂについて詳細に説明する。尚、これらは本発明の一実施形態による開発支援装置の要部をなすものである。図２は、本発明の一実施形態による開発支援装置の要部構成の関係を示すブロック図である。   Next, the test program process 20 executed by the CPU 11, the test program debugger 21, the array variable display tool 22, the interface unit 23, and the variable display condition storage area 12a and the display target variable storage area 12b provided in the RAM 12 will be described in detail. Explained. These are the main parts of the development support apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a block diagram showing the relationship of the main configuration of the development support apparatus according to the embodiment of the present invention.

図２に示す通り、試験プログラムデバッガ２１の表示画面であるウィンドウＷ１内には、ユーザによって作成された試験プログラムＰ１を表示する表示領域Ｒ１が設けられている。尚、試験プログラムＰ１の全てを表示領域Ｒ１に表示することができない場合には、その一部が表示領域Ｒ１に表示される。試験プログラムデバッガ２１は、端末装置３を操作するユーザの指示に応じて試験プログラムＰ１の編集を行うとともに、ユーザの指示に応じて試験プログラムＰ１に含まれる変数（配列変数）のうちの内容を表示すべき変数と、その変数の試験プログラムＰ１中における表示位置（変数表示ポイント）とが設定可能である。   As shown in FIG. 2, a display area R1 for displaying the test program P1 created by the user is provided in a window W1 that is a display screen of the test program debugger 21. In addition, when all of the test program P1 cannot be displayed in the display area R1, a part of the test program P1 is displayed in the display area R1. The test program debugger 21 edits the test program P1 in accordance with an instruction from the user who operates the terminal device 3, and displays the contents of variables (array variables) included in the test program P1 in accordance with the user instruction. A variable to be set and a display position (variable display point) of the variable in the test program P1 can be set.

例えば、ユーザがマウス３ｂを操作して表示領域Ｒ１に表示されている変数の表示位置をクリックして変数を選択した後に、変数表示ポイント設定ボタンＢ１をクリックする操作を行えば内容を表示すべき変数とその変数表示ポイントとの設定を行うことができる。図２に示す例では、表示領域Ｒ１に３つの変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」が表示されているが、ユーザが変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」の各々について上記の操作を行うことにより各々の変数についての変数表示ポイントＳ１〜Ｓ３を設定することができる。   For example, if the user operates the mouse 3b to select a variable by clicking the display position of the variable displayed in the display area R1, and then clicks the variable display point setting button B1, the contents should be displayed. A variable and its variable display point can be set. In the example shown in FIG. 2, three variables “@aaa”, “@bbb”, and “@ccc” are displayed in the display area R1, but the user has variables “@aaa”, “@bbb”, “@ By performing the above operation for each of “ccc”, the variable display points S1 to S3 for each variable can be set.

変数表示条件保存領域１２ａは、ユーザが試験プログラムデバッガ２１を操作して設定した各種設定情報を保存する。具体的には、図２に示す通り、重複せずに一意に割り当てられた識別子（ＩＤ）と、変数表示ポイントの設定位置（表示位置）と、変数の内容を表示するアプリケーションを特定する情報（アプリケーション）とが一組とされた情報が、ユーザの設定毎に保存される。尚、上記の識別子は試験プログラムデバッガ２１によって割り当てられる。   The variable display condition storage area 12a stores various setting information set by the user operating the test program debugger 21. Specifically, as shown in FIG. 2, an identifier (ID) uniquely assigned without duplication, a variable display point setting position (display position), and information for identifying an application for displaying the contents of the variable ( Information) is stored for each user setting. The identifier is assigned by the test program debugger 21.

図２に示す例では、試験プログラムデバッガ２１の表示領域Ｒ１に表示された変数「＠ａａａ」については、識別子「０」、ファイル名「xxx.tdl」及びその行数「５０」を示す情報、並びに配列変数表示ツール２２を示す情報とが一組とされた情報が保存され、変数「＠ｂｂｂ」については、識別子「１」、ファイル名「xxx.tdl」及びその行数「７０」を示す情報、並びに配列変数表示ツール２２を示す情報とが一組とされた情報が保存される。また、変数「＠ｃｃｃ」については、識別子「２」、ファイル名「xxx.tdl」及びその行数「９０」を示す情報、並びに配列変数表示ツール２２を示す情報とが一組とされた情報が保存される。   In the example shown in FIG. 2, for the variable “@aaa” displayed in the display area R1 of the test program debugger 21, information indicating an identifier “0”, a file name “xxx.tdl”, and its line number “50”; The information indicating the array variable display tool 22 is stored as a set, and the variable “@bbb” indicates the identifier “1”, the file name “xxx.tdl”, and the number of lines “70”. Information in which a set of information and information indicating the array variable display tool 22 is set is stored. As for the variable “@ccc”, the identifier “2”, the file name “xxx.tdl”, the information indicating the number of lines “90”, and the information indicating the array variable display tool 22 are combined as information. Is saved.

また、図２に示す通り、配列変数表示ツール２２の表示画面であるウィンドウＷ２内には、ユーザにより指定された試験結果を表示する表示領域Ｒ２が設けられている。配列変数表示ツール２２は、表示対象変数保存領域１２ｂに保存された変数（表示対象変数）の内容を読み出して表示領域Ｒ２に表示する。ここで、試験プログラムデバッガ２１によって割り当てられた識別子及び内容を表示すべき変数（「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」）を示す情報は、試験プログラムデバッガ２１から配列変数表示ツール２２に渡され、配列変数表示ツール２２が表示対象変数保存領域１２ｂに保存する。尚、これらの変数の内容は試験プログラムＰ１が実行されることによって表示対象変数保存領域１２ｂに保存される点に注意されたい。   As shown in FIG. 2, a display area R <b> 2 for displaying a test result designated by the user is provided in a window W <b> 2 that is a display screen of the array variable display tool 22. The array variable display tool 22 reads the contents of the variables (display target variables) stored in the display target variable storage area 12b and displays them in the display area R2. Here, information indicating the identifiers assigned by the test program debugger 21 and the variables (“@aaa”, “@bbb”, “@ccc”) whose contents are to be displayed is sent from the test program debugger 21 to the array variable display tool 22. And the array variable display tool 22 stores it in the display target variable storage area 12b. It should be noted that the contents of these variables are saved in the display target variable saving area 12b when the test program P1 is executed.

表示対象変数保存領域１２ｂは、ユーザが試験プログラムデバッガ２１を操作して設定した変数の内容を保存する。図２に示す例では変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」がユーザによって設定されているため、上記の識別子とともに試験プログラムＰ１を実行して得られるこれらの変数の内容が表示対象変数保存領域１２ｂに保存される。具体的には、識別子「０」とともに変数「＠ａａａ」の内容が保存され、識別子「１」とともに変数「＠ｂｂｂ」の内容が保存され、識別子「２」とともに変数「＠ｃｃｃ」の内容が保存される。このように、変数表示条件保存領域１２ａに保存される情報に含まれる識別子と、表示対象変数保存領域１２ｂに保存される情報にふくまれる識別子とは１対１に対応している。このため、変数表示条件保存領域１２ａに保存される情報と表示対象変数保存領域１２ｂに保存される情報とは、識別子によって関連付けられることになる。   The display target variable storage area 12b stores the contents of variables set by the user operating the test program debugger 21. In the example shown in FIG. 2, since the variables “@aaa”, “@bbb”, and “@ccc” are set by the user, the contents of these variables obtained by executing the test program P1 together with the above identifiers are displayed. It is stored in the target variable storage area 12b. Specifically, the content of the variable “@aaa” is stored together with the identifier “0”, the content of the variable “@bbb” is stored together with the identifier “1”, and the content of the variable “@ccc” is stored together with the identifier “2”. Saved. Thus, the identifier included in the information stored in the variable display condition storage area 12a and the identifier included in the information stored in the display target variable storage area 12b have a one-to-one correspondence. For this reason, the information stored in the variable display condition storage area 12a and the information stored in the display target variable storage area 12b are associated by an identifier.

試験プログラムプロセス２０は試験プログラムＰ１がＣＰＵ１１で実行されることにより実現され、この試験プログラムプロセス２０の制御の下でＤＵＴ４０の試験が行われる。この試験プログラムプロセス２０は、変数表示条件保存領域１２ａの内容を参照しつつ、試験プログラムＰ１の実行位置と変数表示ポイントとの位置関係に応じて試験プログラムＰ１を中断する制御を行うとともに、中断した試験プログラムを再開させる制御を行う。尚、試験プログラムプロセス２０は、試験プログラムＰ１を中断した場合には、その旨を示す信号をインターフェイス部２３に通知する。   The test program process 20 is realized by the test program P1 being executed by the CPU 11, and the test of the DUT 40 is performed under the control of the test program process 20. The test program process 20 performs control for interrupting the test program P1 according to the positional relationship between the execution position of the test program P1 and the variable display point while referring to the contents of the variable display condition storage area 12a. Control to restart the test program. When the test program P1 is interrupted, the test program process 20 notifies the interface unit 23 of a signal indicating that.

インターフェイス部２３は、配列変数表示ツール２２と試験プログラムプロセス２０との間で各種情報の授受を行う。具体的には、試験プログラムプロセス２０から試験プログラムＰ１を中断した旨を示す信号が入力された場合には、変数表示条件保存領域１２ａの内容を参照して表示させる変数を配列変数表示ツール２２に指示する。また、配列変数表示ツール２２で変数の内容表示が終了した場合には、試験プログラムＰ１の実行の中断を解除すべき旨を試験プログラムプロセス２０に通知する。   The interface unit 23 exchanges various information between the array variable display tool 22 and the test program process 20. Specifically, when a signal indicating that the test program P1 is interrupted is input from the test program process 20, a variable to be displayed with reference to the contents of the variable display condition storage area 12a is displayed in the array variable display tool 22. Instruct. Further, when the variable content display by the array variable display tool 22 is completed, the test program process 20 is notified that the suspension of the execution of the test program P1 should be released.

次に、試験プログラムＰ１のデバッグ時の動作について説明する。試験プログラムＰ１のデバッグを行うときには、まずユーザが端末装置３のキーボード３ａ又はマウス３ｂを操作して試験プログラムデバッガ２１の起動を指示する。かかる指示がなされると、ＣＰＵ１１がハードディスク１３からデバッガプログラムＰ１１を読み出して実行することにより、試験プログラムデバッガ２１が起動される。次に、ユーザはデバッグ対象の試験プログラムＰ１を選択して試験プログラムデバッガ２１に読み込ませる。以上の操作により、試験プログラムＰ１のデバッグが可能な状態になる。   Next, the operation at the time of debugging the test program P1 will be described. When debugging the test program P1, the user first operates the keyboard 3a or mouse 3b of the terminal device 3 to instruct the activation of the test program debugger 21. When such an instruction is given, the CPU 11 reads the debugger program P11 from the hard disk 13 and executes it, thereby starting the test program debugger 21. Next, the user selects the test program P1 to be debugged and causes the test program debugger 21 to read it. With the above operation, the test program P1 can be debugged.

ここで、ユーザが試験プログラムＰ１の実行途中での変数の内容を確認する場合には、まずマウス３ｂを操作して試験プログラムデバッガ２１の表示領域Ｒ１に表示されている変数の表示位置をクリックして変数を選択した後に、変数表示ポイント設定ボタンＢ１をクリックする操作を行う。尚、ここでは、図２に示す３つの変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」について上記の操作がなされたとし、これらの変数の各々について変数表示ポイントＳ１〜Ｓ３がそれぞれ設定されたとする。   Here, when the user confirms the contents of the variable during the execution of the test program P1, the user first operates the mouse 3b and clicks the display position of the variable displayed in the display area R1 of the test program debugger 21. After selecting the variable, an operation of clicking the variable display point setting button B1 is performed. Here, it is assumed that the above operation is performed for the three variables “@aaa”, “@bbb”, and “@ccc” shown in FIG. 2, and variable display points S1 to S3 are set for each of these variables. Suppose that

すると、試験プログラムデバッガ２１は、一意に定まる識別子を割り当てながらユーザによって設定された設定情報を変数表示条件保存領域１２ａに保存する。これにより、変数表示条件保存領域１２ａには、図２に示す通り、変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」の各々について、識別子（ＩＤ）、変数表示ポイント（表示位置）、及び配列変数表示ツール２２を示す情報（アプリケーション）が一組とされた情報が保存される。   Then, the test program debugger 21 stores the setting information set by the user in the variable display condition storage area 12a while assigning a uniquely determined identifier. Thereby, in the variable display condition storage area 12a, as shown in FIG. 2, for each of the variables “@aaa”, “@bbb”, “@ccc”, an identifier (ID), a variable display point (display position), And information including a set of information (application) indicating the array variable display tool 22 is stored.

また、試験プログラムデバッガ２１によって割り当てられた識別子及び内容を表示すべき変数（「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」）を示す情報は、試験プログラムデバッガ２１から配列変数表示ツール２２に渡され、配列変数表示ツール２２によって表示対象変数保存領域１２ｂに保存される。これにより、表示対象変数保存領域１２ｂには、図２に示す通り、変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」の各々について、識別子（ＩＤ）とそれら変数の各々を示す情報（表示対象変数）とが一組とされた情報が保存される。   Further, information indicating the identifiers assigned by the test program debugger 21 and the variables (“@aaa”, “@bbb”, “@ccc”) whose contents are to be displayed is sent from the test program debugger 21 to the array variable display tool 22. Then, it is stored in the display target variable storage area 12b by the array variable display tool 22. As a result, as shown in FIG. 2, the display target variable storage area 12b has identifiers (ID) and information indicating each of the variables (@aaaa), “@bbb”, and “@ccc” ( Information that is a set of display target variables) is stored.

変数表示ポイントの設定を終えると、ユーザは試験プログラムデバッガ２１上から試験プログラムＰ１の実行を指示する。すると、ハードディスク１３から試験プログラムＰ１が読み出されることにより試験プログラムプロセス２０が実行される。尚、ここでは試験プログラムプロセス２０の実行とともに、インターフェイス部２３も実行されるとする。試験プログラムプロセス２０は、試験プログラムＰ１をその先頭の行から順次実行する。ここで、試験プログラムプロセス２０は、変数表示条件保存領域１２ａに保存された内容を確認しつつ試験プログラムＰ１を実行する。具体的には、試験プログラムＰ１の実行位置（実行行）が、変数表示条件保存領域１２ａに保存された表示位置に至ったか否かを確認しつつ試験プログラムＰ１を実行する。   When the setting of the variable display point is completed, the user instructs execution of the test program P1 from the test program debugger 21. Then, the test program process 20 is executed by reading the test program P1 from the hard disk 13. Here, it is assumed that the interface unit 23 is also executed together with the execution of the test program process 20. The test program process 20 sequentially executes the test program P1 from the top line. Here, the test program process 20 executes the test program P1 while confirming the contents stored in the variable display condition storage area 12a. Specifically, the test program P1 is executed while confirming whether or not the execution position (execution line) of the test program P1 has reached the display position stored in the variable display condition storage area 12a.

試験プログラムＰ１の実行位置（実行行）が、変数表示条件保存領域１２ａに保存された表示位置に至っていないと判断した場合には、試験プログラムプロセス２０は、そのまま試験プログラムＰ１の実行を継続する。これに対し、試験プログラムＰ１の実行位置（実行行）が、変数表示条件保存領域１２ａに保存された表示位置に至ったと判断した場合（例えば、変数表示ポイントＳ１が設定された行に至ったと判断した場合）には、試験プログラムプロセス２０は、その行の処理を終了した後に試験プログラムＰ１の実行を中断（ポーズ）し、変数表示条件保存領域１２ａから制御状況に応じた識別子を読み出して、この識別子を中断した旨とともにインターフェイス部２３に通知する。尚、変数表示ポイントＳ１が設定された行の処理が実行されることにより、変数「＠ａａａ」の内容が変数表示条件保存領域１２ａに保存される。   If it is determined that the execution position (execution line) of the test program P1 has not reached the display position stored in the variable display condition storage area 12a, the test program process 20 continues to execute the test program P1. On the other hand, when it is determined that the execution position (execution line) of the test program P1 has reached the display position stored in the variable display condition storage area 12a (for example, it is determined that the variable display point S1 has been set). The test program process 20 interrupts (pauses) the execution of the test program P1 after finishing the processing of the line, reads the identifier corresponding to the control status from the variable display condition storage area 12a, The interface unit 23 is notified together with the fact that the identifier has been interrupted. Note that, by executing the processing of the line in which the variable display point S1 is set, the content of the variable “@aaa” is stored in the variable display condition storage area 12a.

インターフェイス部２３は、試験プログラムプロセス２０から試験プログラムＰ１の実行を中断した旨及び識別子の通知があると、変数表示条件保存領域１２ａからその識別子と組にされているアプリケーションを示す情報を読み出す。具体的に、インターフェイス部２３は、例えば試験プログラムプロセス２０から識別子「０」が通知された場合には、この識別子と組にされている配列変数表示ツール２２を示す情報（図２参照）が読み出される。そして、インターフェイス部２３は、読み出した情報で示されるアプリケーション（配列変数表示ツール２２）に対して、その読み出した識別子を通知する。   When the test program process 20 interrupts the execution of the test program P1 and notifies the identifier, the interface unit 23 reads information indicating the application paired with the identifier from the variable display condition storage area 12a. Specifically, for example, when the identifier “0” is notified from the test program process 20, the interface unit 23 reads information (see FIG. 2) indicating the array variable display tool 22 paired with this identifier. It is. Then, the interface unit 23 notifies the read identifier to the application (array variable display tool 22) indicated by the read information.

インターフェイス部２３からの通知がなされると、配列変数表示ツール２２が自動的に起動されて端末装置３の液晶表示装置３ｃには新たなウィンドウＷ２が表示される。そして、配列変数表示ツール２２は、インターフェイス部２３から通知された識別子（識別子「０」）と組にされている変数の内容を表示対象変数保存領域１２ｂから読み出して新たなウィンドウＷ２の表示領域Ｒ２に表示する処理を行う。以上の処理によって、変数「＠ａａａ」の波形が配列変数表示ツール２２の表示領域Ｒ２に表示される。   When the notification from the interface unit 23 is made, the array variable display tool 22 is automatically activated and a new window W2 is displayed on the liquid crystal display device 3c of the terminal device 3. Then, the array variable display tool 22 reads the content of the variable paired with the identifier (identifier “0”) notified from the interface unit 23 from the display target variable storage area 12b, and displays the display area R2 of the new window W2. Process to be displayed. With the above processing, the waveform of the variable “@aaa” is displayed in the display area R2 of the array variable display tool 22.

表示処理が終了すると、配列変数表示ツール２２はインターフェイス部２３に対して表示処理を終えた旨を通知する。この通知を受けると、インターフェイス部２３は、試験プログラムプロセス２０に対して試験プログラムの中断を解除すべき旨を通知する。インターフェイス部２３からの通知によって、試験プログラムプロセス２０は試験プログラムＰ１の実行を再開する。以下、同様の処理が行われて、試験プログラムＰ１の実行が変数表示ポイントＳ２に至ると配列変数表示ツール２２によって新たなウィンドウＷ２が表示されて変数「＠ｂｂｂ」の内容が表示される。更に、試験プログラムＰ１の実行が変数表示ポイントＳ３に至ると配列変数表示ツール２２によって新たなウィンドウＷ２が表示されて変数「＠ｃｃｃ」の内容が表示される。   When the display process is completed, the array variable display tool 22 notifies the interface unit 23 that the display process has been completed. Upon receiving this notification, the interface unit 23 notifies the test program process 20 that the interruption of the test program should be released. By the notification from the interface unit 23, the test program process 20 resumes the execution of the test program P1. Thereafter, the same processing is performed, and when the execution of the test program P1 reaches the variable display point S2, a new window W2 is displayed by the array variable display tool 22, and the contents of the variable “@bbb” are displayed. Further, when the execution of the test program P1 reaches the variable display point S3, the array variable display tool 22 displays a new window W2 to display the contents of the variable “@ccc”.

以上の処理によって、端末装置３の液晶表示装置３ｃには、変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」の内容がそれぞれ表示された３つのウィンドウＷ２が表示される。このため、ユーザは試験プログラムＰ１の実行後においてもウィンドウＷ２を切り替えながら、変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」の内容の妥当性を時間をかけて詳細に検討することができる。   Through the above processing, the liquid crystal display device 3c of the terminal device 3 displays three windows W2 in which the contents of the variables “@aaa”, “@bbb”, and “@ccc” are displayed. For this reason, the user can examine the validity of the contents of the variables “@aaa”, “@bbb”, “@ccc” over time while switching the window W2 even after the execution of the test program P1. it can.

以上説明した通り、本実施形態によれば、予めユーザが試験プログラムデバッガ２１を操作して内容を表示すべき変数と変数表示ポイントとを設定しておくことにより、変数表示ポイントにおいて自動的に試験プログラムＰ１の実行が中断されて変数の内容が配列変数表示ツール２２によって表示される。このため、従来に比べてデバッグに必要になるユーザの操作を低減することができ、ユーザの使い勝手を向上させることができる。   As described above, according to the present embodiment, when the user operates the test program debugger 21 in advance to set the variables to be displayed and the variable display points, the test is automatically performed at the variable display points. Execution of the program P1 is interrupted and the contents of the variable are displayed by the array variable display tool 22. For this reason, it is possible to reduce the user operation required for debugging as compared with the conventional case, and to improve the user-friendliness.

また、本実施形態によれば、配列変数表示ツール２２の表示処理が終了したときには自動的に中断した試験プログラムＰ１の実行が再開される。このため、ユーザによって変数表示ポイントが複数設定された場合であっても、ユーザの操作を必要とせずに変数表示ポイントの各々において変数の内容が配列変数表示ツール２２によって自動的に表示される。しかも、各々の変数の内容は異なる配列変数表示ツール２２のウィンドウＷ２に表示される。このため、デバッグに必要になるユーザの操作を低減することができるとともに、試験プログラムＰ１の実行後に、複数の変数の内容を見比べながら検討するといったことができ、これによってもユーザの使い勝手を向上させることができる。以上から、本実施形態によれば、ユーザの使い勝手が極めて高く、試験プログラムＰ１のデバッグ効率を飛躍的に高めることができる。   Further, according to the present embodiment, when the display processing of the array variable display tool 22 is completed, the execution of the test program P1 that was automatically interrupted is resumed. Therefore, even when a plurality of variable display points are set by the user, the contents of the variable are automatically displayed by the array variable display tool 22 at each variable display point without requiring any user operation. In addition, the contents of each variable are displayed in a window W2 of a different array variable display tool 22. For this reason, it is possible to reduce user operations required for debugging, and to examine the contents of a plurality of variables by comparing them after the execution of the test program P1, thereby improving user convenience. be able to. From the above, according to the present embodiment, the user convenience is extremely high, and the debugging efficiency of the test program P1 can be dramatically increased.

以上、本発明の一実施形態による開発支援装置及び半導体試験装置について説明したが、本発明は上述した実施形態に制限されることなく、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば、上記実施形態では、ユーザが試験プログラムデバッガ２１を操作して設定した設定情報を変数表示条件保存領域１２ａと表示対象変数保存領域１２ｂとに分けて保存したが、１つの保存領域に設定情報を保存しても良い。   The development support apparatus and the semiconductor test apparatus according to the embodiment of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be freely changed within the scope of the present invention. For example, in the above embodiment, the setting information set by the user by operating the test program debugger 21 is stored separately in the variable display condition storage area 12a and the display target variable storage area 12b, but the setting information is stored in one storage area. May be saved.

また、上記実施形態では、開発支援装置が半導体試験装置に設けられている形態について説明したが、本発明の開発支援装置は、半導体試験装置以外にも所定のプログラムに従った動作を行うことで所定の計測を行う種々の計測システムに適用することができる。例えば、自動車のエンジンの状況（エンジンの回転数、温度等）を計測する計測システム、電車の運行状況（速度、加速度等）を計測するシステムに適用することができる。更には、プラントに設けられた各種機器の状況を計測する計測システムにも適用可能である。   Moreover, although the said embodiment demonstrated the form with which the development support apparatus was provided in the semiconductor test apparatus, the development support apparatus of this invention performs operation | movement according to a predetermined program besides a semiconductor test apparatus. The present invention can be applied to various measurement systems that perform predetermined measurement. For example, the present invention can be applied to a measurement system that measures the state of an automobile engine (engine speed, temperature, etc.) and a system that measures a train operation state (speed, acceleration, etc.). Furthermore, the present invention can also be applied to a measurement system that measures the status of various devices provided in the plant.

本発明の一実施形態による半導体試験装置の要部構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the principal part structure of the semiconductor test apparatus by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による開発支援装置の要部構成の関係を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the relationship of the principal part structure of the development assistance apparatus by one Embodiment of this invention. 試験プログラムのデバックに用いられる従来のデバッガの表示画面を簡略化して示す図である。It is a figure which simplifies and shows the display screen of the conventional debugger used for the debugging of a test program. 半導体デバイスから出力される信号波形を表示する従来の波形表示ツールの表示画面を簡略化して示す図である。It is a figure which simplifies and shows the display screen of the conventional waveform display tool which displays the signal waveform output from a semiconductor device.

符号の説明Explanation of symbols

１ 半導体試験装置
１２ａ 変数表示条件保存領域
１２ｂ 表示対象変数保存領域
２０ 試験プログラムプロセス
２１ 試験プログラムデバッガ
２２ 配列変数表示ツール
２３ インターフェイス部
４０ ＤＵＴ
Ｐ１ 試験プログラム
Ｓ１〜Ｓ３ 変数表示ポイント DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor test apparatus 12a Variable display condition storage area 12b Display object variable storage area 20 Test program process 21 Test program debugger 22 Array variable display tool 23 Interface section 40 DUT
P1 test program S1-S3 Variable display points

Claims (4)

所定のプログラムに従った動作を行うことで所定の計測を行う計測システムで用いられる当該プログラムの開発支援を行う開発支援装置において、
ユーザの指示に応じて前記プログラムの編集を行うとともに、前記ユーザの指示に応じて前記プログラムに含まれる配列変数のうちの内容を表示すべき配列変数と当該配列変数の前記プログラム中における表示位置とを記憶手段に設定可能な編集手段と、
前記プログラムの実行によって得られる前記配列変数の内容を、個別のウィンドウに波形として表示する変数表示手段と、
前記プログラムの実行位置が前記記憶手段に設定された前記表示位置に至る度に、前記プログラムの実行を中断する制御を行うとともに、前記プログラムの実行を中断した旨を通知する実行制御手段と、
前記実行制御手段から前記プログラムの実行を中断した旨の通知がなされた場合に、前記記憶手段に設定された内容を参照して前記変数表示手段に表示させるべき配列変数を指示し、前記変数表示手段によって前記配列変数の内容が表示される度に、前記プログラムの実行の中断を解除すべき旨を前記実行制御手段に通知する指示手段と
を備えることを特徴とする開発支援装置。 In a development support apparatus for supporting development of the program used in a measurement system that performs predetermined measurement by performing an operation according to a predetermined program,
Editing the program in accordance with a user instruction, an array variable to display the contents of the array variables included in the program in accordance with the user instruction, and a display position of the array variable in the program Editing means that can be set as storage means,
Variable display means for displaying the contents of the array variables obtained by the execution of the program as waveforms in individual windows;
Execution control means for performing control to interrupt execution of the program each time the execution position of the program reaches the display position set in the storage means, and notifying that the execution of the program has been interrupted;
When said from the execution control unit to the effect that interrupts the execution of the program message is supplied, with reference to the set contents in the storage means indicates the array variable to be displayed on the variable display means, said variable display Each time the contents of the means thus the array variable is displayed, development support apparatus characterized by comprising an instruction unit for notifying should unsuspend a execution of the program to the execution control unit. 前記記憶手段は、前記編集手段の設定内容を記憶する第１記憶手段と、前記変数表示手段により表示される配列変数の内容を記憶する第２記憶手段とを備えており、
前記第１記憶手段の記憶内容と前記第２記憶手段の記憶内容とは、所定の識別子によって関連付けられている
ことを特徴とする請求項１記載の開発支援装置。 The storage means includes first storage means for storing the setting contents of the editing means, and second storage means for storing the contents of the array variable displayed by the variable display means,
The development support apparatus according to claim 1, wherein the storage content of the first storage unit and the storage content of the second storage unit are associated with each other by a predetermined identifier. 前記実行制御手段は、前記第１記憶手段に記憶された前記識別子から制御状況に応じた識別子を読み出して前記指示手段に通知し、
前記指示手段は、前記実行制御手段から通知された識別子を、前記第１記憶手段から読み出した当該識別子に関連した設定内容に応じて前記変数表示手段に通知し、
前記変数表示手段は、前記指示手段から通知された識別子に関連付けられている配列変数の内容を前記第２記憶手段から読み出して表示する
ことを特徴とする請求項２記載の開発支援装置。 The execution control means reads an identifier corresponding to a control situation from the identifier stored in the first storage means and notifies the instruction means,
The instruction unit notifies the variable display unit of the identifier notified from the execution control unit according to the setting content related to the identifier read from the first storage unit,
The development support apparatus according to claim 2, wherein the variable display unit reads out and displays the contents of the array variable associated with the identifier notified from the instruction unit from the second storage unit. 試験プログラムに従った試験信号を被試験デバイスに印加して当該被試験デバイスから得られる信号を、前記試験プログラムに従って処理することにより前記被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置において、
前記試験プログラムを前記所定のプログラムとして開発支援可能な請求項１から請求項３の何れか一項に記載の開発支援装置を備えることを特徴とする半導体試験装置。 In a semiconductor test apparatus for testing a device under test by applying a test signal according to a test program to the device under test and processing a signal obtained from the device under test according to the test program,
A semiconductor test apparatus comprising the development support apparatus according to claim 1, which can support development of the test program as the predetermined program.
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